JP2013103427A - 照射装置、及び照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】照射装置は、光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源と、光源が内部に配置されているチャンバーと、を備え、チャンバーは、チャンバー本体と、チャンバー本体に形成された第1気体流入口及び第1気体流出口と、を有し、第1気体流入口及び第1気体流出口は、光源管におけるアマルガム合金体が配設された部分の外面が、第1気体流入口から流入して第1気体流出口から流出する気体の流路の中に位置するように配設されている。
【選択図】図3
Description
特許文献2には、UV硬化型のプリンタ装置において、プリンタヘッドを挟んで左右に取り付けられる光源ユニットについて、光源ユニットは、出射面が印刷媒体と対向して設けられ印刷媒体に紫外光を出射する光源と、上方から導入した外気を光源に送風して冷却するファンと、冷却風を誘導する誘導構造とを備え、誘導構造は、ファンにより送風され光源を冷却した空気が、光源の出射面に沿ってプリンタヘッドに近接する側から遠ざかる方向に流れるように誘導することで、印刷媒体上を漂うインクミストによる光源ユニットの汚れを抑制して照射効率を安定的に維持し得る手段を提供することができる紫外線硬化型インクジェットプリンタ及び紫外線硬化型インクジェットプリンタ用の光源ユニットが開示されている。
特許文献2に開示された紫外線硬化型インクジェットプリンタ及び紫外線硬化型インクジェットプリンタ用の光源ユニットでは、誘導構造などは、光源の特徴に対応したものではないため、光源の機能を好適に維持するための冷却として適切な冷却が、必ずしも実施できないという課題があった。
アマルガム合金体は、光源の長さ方向における、第1の端よりも、第1の端の反対側の端である第2の端に近い位置に配設されている。このため、光源管の内部の第2の端の側の端に配設された放電電極は、アマルガム合金体の近くに位置している。これにより、第2の端の側に配設された放電電極は、第1気体流入口から流入して第1気体流出口から流出する気体によって、アマルガム合金体の温度を調整する際に、併せて温度を調整することができる。したがって、第2の端の側に配設された放電電極の温度を調整するために第2気体流入口及び第1気体流出口を設けることなく、第2の端の側に配設された放電電極の温度を調整することができるため、照射装置の構成を簡単にすることができる。
最初に、被描画媒体に描画する描画工程の一例を、図1を参照して説明する。図1は、描画工程の各工程を示す説明図である。図1(a)は、描画工程のフローチャートであり、図1(b)は、前処理工程を示す説明図であり、図1(c)は、印刷工程を示す説明図であり、図1(d)は、硬化工程を示す説明図である。
図1(a)のステップS1では、前処理としての表面改質処理を実施する。表面改質処理を実施する際は、図1(b)に示すように、パッケージ体90を、前処理装置40(図3参照)の媒体保持装置75に保持させる。媒体保持装置75に保持されたパッケージ体90をアマルガムランプ51に対向させて、アマルガムランプ51から射出される改質光を印刷面92に照射することによって、印刷面92を改質する。アマルガムランプ51は紫外線ランプであり、改質光は紫外線である。印刷面92に紫外線を照射することで、例えば、印刷面92を、画像を印刷するために用いる機能液9に対して親液性側に改質する。
媒体載置台33を媒体走査機構によって媒体走査方向に移動させることによって、媒体載置台33に載置されたパッケージ体90を媒体走査方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ヘッドユニット21をヘッド走査機構によってヘッド走査方向に移動させることによって、ヘッドユニット21が備える液滴吐出ヘッド20を、ヘッド走査方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
印刷に際して、媒体載置台33又はヘッドユニット21を移動させて、液滴吐出ヘッド20とパッケージ体90とを、吐出開始位置に位置させる。次に、液滴吐出ヘッド20と媒体載置台33(パッケージ体90)とを、吐出走査方向に相対移動させるとともに、所定の相対位置関係になる時点で、液滴吐出ヘッド20から機能液9を液滴9aとして吐出して、印刷面92に着弾させる。媒体走査機構による移動と、ヘッド走査機構による移動とを、相対的に制御することにより、パッケージ体90上の任意の位置、すなわち半導体パッケージ91の印刷面92の任意の位置に液滴9aを着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。
液滴吐出ヘッド20からの液滴9aの吐出に略並行して、紫外線照射部25からパッケージ体90に向けて紫外線を照射することで、印刷面92に着弾した機能液9bを硬化させて、仮硬化した機能液9cにする。機能液9cは、パッケージ体90の姿勢が変わっても流動しない程度以上に硬化された、機能液9である。
次に、アマルガムランプ51の構成について、図2を参照して説明する。図2は、アマルガムランプの主要な構成を示す説明図である。アマルガムランプ51は、低圧水銀ランプである。
図2に示すように、アマルガムランプ51は、ガラス管52の両端から電極ピン57が突出した略棒形状を有している。ガラス管52は、石英ガラスで形成された管であり、管の両端が封止されている。ガラス管52の内部には、アルゴンガスが封入されている。ガラス管52の内部の一方の端には、放電電極55aが配設されており、もう一方の端には放電電極55bが配設されている。放電電極55a及び放電電極55bは、両端がそれぞれ、電極ピン57と電気的に接続されている。ガラス管52の内壁には、水銀アマルガムが島状に配設されたアマルガムスポット53が形成されている。アマルガムスポット53は、ガラス管52におけるガラス管52の中央より放電電極55aが形成された端の側に寄った位置に形成されている。
電極ピン57を介して電源に接続して、放電電極55a又は放電電極55bに電流を流すことによって、放電電極55a又は放電電極55bから電子が放出される。放出された電子は、反対側の放電電極55a又は放電電極55bに移動し、放電が始まる。放電によって流れる電子は、水銀電子に衝突する。水銀電子は電子に衝突されることで、紫外線を発生させる。なお、電源として交流電源を用いるため、放電電極55aと放電電極55bとは略同じ形状に形成されている。
アマルガムランプ51が、光源に相当する。ガラス管52が、光源管に相当する。アマルガムスポット53が、アマルガム合金体に相当する。ガラス管52の延在方向が、光源管の延在方向に相当する。
ガラス管52における放電電極55aが形成された側の端が、第2の端に相当する。ガラス管52における放電電極55bが形成された側の端が、第1の端に相当する。
次に、前処理装置40について、図3を参照して説明する。図3は、前処理装置の構成を示す説明図である。図3(a)は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図であり、図3(b)は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略直交する断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図である。なお、図面を簡単にするために、図3(b)におけるアマルガムランプ51は、ガラス管52の外形のみを示してある。
図3に示すように、前処理装置40は、チャンバー61と、アマルガムランプ51と、ランプ保持装置77と、媒体保持装置75と、吸引ポンプ71と、温度調整装置73と、を備えている。
チャンバー本体60の中に、ランプ保持装置77が配設されている。ランプ保持装置77を構成する保持枠77a及び保持枠77bが、チャンバー本体60の中で、床壁611に立設されている。保持枠77a及び保持枠77bは、電極ピン57が嵌合可能なソケットを備え、それぞれが備えるソケットが、互いに対向している。アマルガムランプ51は、電極ピン57が、保持枠77a及び保持枠77bに形成されたソケットに嵌合しており、保持枠77aと保持枠77bとの間に差し渡された状態で支持されている。前処理装置40は、7本のアマルガムランプ51を備えている。7本のアマルガムランプ51は、略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。
流入口62a及び流入口62bは、床壁611に形成された開口である。流出口63a及び流出口63bは、天壁612に形成された開口である。
前処理装置40において、7本のアマルガムランプ51は、略鉛直方向に並んでいる。それぞれのアマルガムランプ51に形成されたアマルガムスポット53も、略鉛直方向に並んでいる。7個のアマルガムスポット53の並びを、アマルガムスポット列53Aと表記する。アマルガムスポット列53Aは、略鉛直に延在している。
それぞれのアマルガムランプ51に形成された放電電極55aや放電電極55bも、それぞれ略鉛直方向に並んでいる。7本のアマルガムランプ51のそれぞれに形成された放電電極55aや放電電極55bの並びを、放電電極列55Aと表記する。放電電極55aや放電電極55bの放電電極列55Aも、略鉛直に延在している。
流入口62aは、鉛直方向に並んでいる7個のアマルガムスポット53の下方に開口しており、流出口63aは、鉛直方向に並んでいる7個のアマルガムスポット53の上方に開口している。言いかえると、流入口62a及び流出口63aは、アマルガムスポット列53Aの延長線が床壁611又は天壁612と交差する位置に開口している。
流入口62bは、鉛直方向に並んでいる7個の放電電極55bの下方に開口しており、流出口63bは、鉛直方向に並んでいる7個の放電電極55bの上方に開口している。言いかえると、流入口62b及び流出口63bは、放電電極列55Aの延長線が床壁611又は天壁612と交差する位置に開口している。
流出口63aは、鉛直方向に並んでいる7個のアマルガムスポット53の上方に開口している。したがって、流出口63aは、アマルガムスポット列53Aの延長線が天壁612と交差する点を含む位置に開口している。
流出口63bは、鉛直方向に並んでいる7個の放電電極55bの上方に開口している。したがって、流出口63bは、放電電極55bの放電電極列55Aの延長線が天壁612と交差する点を含む位置に開口している。
流入口62aは、7個のアマルガムスポット53の下方に開口しており、流出口63aは、7個のアマルガムスポット53の上方に開口している。このため、ガラス管52におけるアマルガムスポット53が位置する部分の外面は、流入口62aから流出口63aにいたる空気の流れの中に位置している。
流入口62bは、7個の放電電極55bの下方に開口しており、流出口63bは、7個の放電電極55bの上方に開口している。このため、ガラス管52における放電電極55bが位置する部分の外面は、流入口62bから流出口63bにいたる空気の流れの中に位置している。
流入口62aが、第1気体流入口に相当する。流入口62bが、第2気体流入口に相当する。流出口63aが、第1気体流出口に相当する。流出口63bが、第2気体流出口に相当する。吸引ポンプ71が、吸引手段に相当する。
温度調整装置73が、気体温度調整部に相当する。前処理装置40が、照射装置に相当する。
次に、上述したアマルガムランプ51とは外観形状が異なるアマルガムランプ151について、図4を参照して説明する。図4は、アマルガムランプの主要な構成を示す説明図である。
図4に示すように、アマルガムランプ151は、中央で曲げられたガラス管152を備えている。ガラス管152は、中央の円弧管部152bと、円弧管部152bの一端にそれぞれ接続された直線管部152a及び直線管部152cと、を備えている。円弧管部152bは、管の中心軸線が、中心角180度の円弧形状を有している。円弧管部152bのそれぞれの端から延在する直線管部152aと、直線管部152cとは、管の中心軸が、互いに略平行である。ガラス管152は、石英ガラスで形成された管であり、管の両端が封止されている。ガラス管152の内部には、アルゴンガスが封入されている。直線管部152aの内部の端には、放電電極155aが配設されており、直線管部152cの内部の端には放電電極155bが配設されている。放電電極155a及び放電電極155bは、両端がそれぞれ、電極ピン157と電気的に接続されている。直線管部152aの内壁には、水銀アマルガムが島状に配設されたアマルガムスポット153が形成されている。
電極ピン157を介して電源に接続して、放電電極155a又は放電電極55bに電流を流すことによって、放電電極155a又は放電電極155bから電子が放出される。放出された電子は、反対側の放電電極155a又は放電電極155bに移動し、放電が始まる。放電によって流れる電子は、水銀電子に衝突する。水銀電子は電子に衝突されることで、紫外線を発生させる。なお、電源として交流電源を用いるため、放電電極155aと放電電極155bとは略同じ形状に形成されている。
アマルガムランプ151が、光源に相当する。ガラス管152が、光源管に相当する。アマルガムスポット153が、アマルガム合金体に相当する。直線管部152a及び直線管部152cの延在方向が、光源管の延在方向に相当する。
(1)前処理装置40において、流入口62aは、7個のアマルガムスポット53の下方に開口しており、流出口63aは、7個のアマルガムスポット53の上方に開口している。このため、ガラス管52におけるアマルガムスポット53が位置する部分の外面は、流入口62aから流出口63aにいたる空気の流れの中に位置している。これにより、流入口62aから流出口63aに流れる空気をガラス管52におけるアマルガムスポット53が位置する部分の外面に当てて、アマルガムスポット53の温度を調節することができる。例えば、アマルガムランプ51が発光することによってアマルガムスポット53の温度が上昇することを、効率よく抑制することができる。アマルガムスポット53の温度が上昇することを抑制することで、アマルガムスポット53の温度が上昇しすぎることに起因してアマルガムランプ51の発光効率が低下することを、抑制することができる。
Claims (10)
- 光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源と、
前記光源が内部に配置されているチャンバーと、
を備え、
前記チャンバーは、
チャンバー本体と、
前記チャンバー本体に形成された第1気体流入口及び第1気体流出口と、
を有し、
前記第1気体流入口及び前記第1気体流出口は、前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面が、前記第1気体流入口から流入して前記第1気体流出口から流出する気体の流路の中に位置するように配設されていることを特徴とする照射装置。 - 前記第1気体流入口と前記第1気体流出口とは、前記光源管の延在方向に交差する方向において、前記第1気体流入口と前記第1気体流出口との間に前記アマルガム合金体を挟む位置に配設されていることを特徴とする、請求項1に記載の照射装置。
- 前記第1気体流出口は、前記アマルガム合金体の鉛直方向における上方に配設されており、
前記第1気体流入口は、前記アマルガム合金体の鉛直方向における下方に配設されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の照射装置。 - 前記光源は、放電電極を備えており、
前記チャンバーは、前記チャンバー本体に形成された第2気体流入口及び第2気体流出口をさらに有し、
前記第2気体流入口及び前記第2気体流出口は、前記光源管における前記放電電極が配設された部分の外面が、前記第2気体流入口から流入して前記第2気体流出口から流出する気体の流路の中に位置するように配設されていることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の照射装置。 - 前記第2気体流入口と前記第2気体流出口とは、前記光源管の延在方向に交差する方向において、前記第2気体流入口と前記第2気体流出口との間に前記放電電極を挟む位置に配設されていることを特徴とする、請求項4に記載の照射装置。
- 前記第2気体流出口は、前記放電電極の鉛直方向における上方に配設されており、
前記第2気体流入口は、前記放電電極の鉛直方向における下方に配設されていることを特徴とする、請求項5に記載の照射装置。 - 前記アマルガム合金体は、前記光源の長さ方向における、第1の端よりも、前記第1の端の反対側の端である第2の端に近い位置に配設されており、
前記放電電極は、前記光源管の内部に配置されており、前記第1の端側に配置された第1放電電極と、前記第2の端側に配設された第2放電電極とを有し、
前記第2気体流入口及び前記第2気体流出口は、前記第1放電電極が配設された部分の外面が、前記第2気体流入口から流入して前記第2気体流出口から流出する気体の流路の中に位置するように配設されていることを特徴する、請求項4乃至6のいずれか一項に記載の照射装置。 - 前記第1気体流入口及び前記第2気体流入口の少なくとも一方から前記チャンバー本体に供給される気体の温度を調整可能な気体温度調整部をさらに備えることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の照射装置。
- 前記第1気体流出口及び前記第2気体流出口の少なくとも一方を介して前記チャンバー本体内の気体を吸引可能な吸引手段をさらに備えることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の照射装置。
- 光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源から射出される光を照射する照射方法であって、
前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面を、前記光源が配置されたチャンバーに形成された第1気体流入口から流入して、前記チャンバーに形成された第1気体流出口から流出する気体の気流の中に位置させることを特徴とする照射方法。
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