JP5857654B2 - 照射装置 - Google Patents

Description

本発明は、紫外線などを射出する光源を備える照射装置に関する。

従来から、機能液を液滴として吐出して、被描画媒体上に着弾させることによって、被描画媒体上に機能液を配置し、当該機能液を硬化させることによって画像などを描画する描画装置が知られている。機能液の硬化時期や硬化時間を制御する方法のひとつとして、光硬化型の機能液を用い、配置した機能液に硬化光を照射することによって機能液を硬化させることが行われている。また、被描画媒体に着弾した機能液の広がり方を制御したり、機能液の被描画媒体への親和性を制御したりするために、改質光を被描画媒体の被描画面に照射することが、行われている。これらの硬化光や改質光の照射を安定して実施するためには、これらの光を射出する光源が、安定して性能を発揮することが必要である。

特許文献１には、紫外線光の照射により硬化する光硬化型インクを記録媒体上に吐出する記録ヘッドと、吐出されたインクに紫外線光を照射する光源を備える光照射装置と、光照射装置を冷却する冷却装置と、光照射装置の温度を検出する温度検出手段と、温度検出手段の検出温度に応じて冷却装置の温度制御を行う制御手段とを備え、低出力紫外線光源の発光効率を安定させて画像形成を行うインクジェット記録装置が開示されている。
特許文献２には、ＵＶ硬化型のプリンタ装置において、プリンタヘッドを挟んで左右に取り付けられる光源ユニットについて、光源ユニットは、出射面が印刷媒体と対向して設けられ印刷媒体に紫外光を出射する光源と、上方から導入した外気を光源に送風して冷却するファンと、冷却風を誘導する誘導構造とを備え、誘導構造は、ファンにより送風され光源を冷却した空気が、光源の出射面に沿ってプリンタヘッドに近接する側から遠ざかる方向に流れるように誘導することで、印刷媒体上を漂うインクミストによる光源ユニットの汚れを抑制して照射効率を安定的に維持し得る手段を提供することができる紫外線硬化型インクジェットプリンタ及び紫外線硬化型インクジェットプリンタ用の光源ユニットが開示されている。

特開２００５−１２５７５２号公報 特開２０１０−７３５号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたインクジェット記録装置では、温度検出手段などを設けることが必要であり、インクジェット記録装置が複雑になり、大型になるという課題があった。また、光源における光源の特性と関連付けられる部分の温度を、射出された光の進路を遮ることなく、適切に測定できるとは限らないため、必ずしも適切な制御ができないという課題もあった。
特許文献２に開示された紫外線硬化型インクジェットプリンタ及び紫外線硬化型インクジェットプリンタ用の光源ユニットでは、誘導構造などは、光源の特徴に対応したものではないため、光源の機能を好適に維持するための冷却として適切な冷却が、必ずしも実施できないという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる照射装置は、光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源と、前記光源が内部に配置されているチャンバーと、を備え、前記チャンバーは、チャンバー本体と、前記チャンバー本体に形成された第１気体流入口及び第１気体流出口と、前記第１気体流入口から前記チャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に当たる方向に導く第１導流体と、を備えことを特徴とする。

本適用例にかかる照射装置によれば、チャンバー本体内の気体が、第１気体流出口から排出される。チャンバー本体内には、第１気体流入口から気体が補充される。第１気体流入口からチャンバー本体内に流入する気体は、第１導流体によって、光源管におけるアマルガム合金体が配設された部分の外面に当たる方向に導かれる。これにより、光源管におけるアマルガム合金体が配設された部分の外面を、第１気体流入口から流入して第１気体流出口から流出する気体の流路の中に位置させることができる。アマルガム合金体は、アマルガム合金が、例えば島状に、光源管の内壁に配設されたものである。アマルガム合金体を備える光源（以降、「アマルガム光源」と表記する。）は、発光特性がアマルガム合金体の温度に依存する。アマルガム合金体が配設された部分の外面が、第１気体流入口から流入して第１気体流出口から流出する気体の流路の中に位置することで、第１気体流入口から流入して第１気体流出口から流出する気体によって、アマルガム合金体の温度を調整することができる。アマルガム合金体の温度を、好適な発光ができる適切な温度に調整することで、アマルガム光源を適切に発光させることができる。アマルガム合金体の温度を調整することで、アマルガム光源全体の温度を調整する場合にくらべて、効率よく温度を調整することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる照射装置において、前記第１導流体は、一端が前記第１気体流入口に臨んで開口する第１開口と、他の一端が前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に臨んで開口する第２開口とを有する第１導流路を備えることが好ましい。

この照射装置によれば、気体流入口からチャンバー本体内に流入する気体は、第１気体流入口から第１導流路を通り、光源管におけるアマルガム合金体が配設された部分の外面に臨んで開口する第１導流路の第２開口から流出して、当該第２開口が臨んでいる光源管に当たる。これにより、光源管におけるアマルガム合金体が配設された部分の外面を、第１気体流入口から流入して第１気体流出口から流出する気体の流路の中に位置させることができる。

［適用例３］上記適用例にかかる照射装置において、前記第１導流体と前記第１気体流出口とは、前記光源管の延在方向に交差する方向において、前記第２開口と前記第１気体流出口との間に前記アマルガム合金体を挟む位置に配設されていることが好ましい。

この照射装置によれば、第１導流体と第１気体流出口とは、光源管の延在方向に交差する方向において、第１導流路の第２開口と第１気体流出口との間にアマルガム合金体を挟む位置に配設されている。これにより、第１気体流入口から流入して、第１導流路の第２開口からチャンバー本体内に流入し、第１気体流出口から流出する気体を、アマルガム光源における光源管の側方からアマルガム合金体が配設された部分に当てることができる。気体を、光源管の側方からアマルガム合金体が配設された部分に当てることで、効率よくアマルガム合金体の温度を調整することができる。

［適用例４］上記適用例にかかる照射装置において、前記第１導流路と前記光源管との間に、前記第１導流路を流れた気体が前記光源管に当たることを制限する第１整流体を設けたことが好ましい。

この照射装置によれば、第１導流路を流れた気体が光源管に当たることを制限する第１整流体が設けられている。
照射装置が複数の光源を備える場合、被照射物を複数の光源に対向させることで効率よく光を照射することができる。複数の光源に対向させるためには、被照射物は、複数の光源が並べられた並び方向に交差する方向に位置させることが好ましい。被照射物に遮蔽されることなく光源管に気流を当てるためには、第１導流体は、光源管の並び方向の延長上に位置することが好ましい。第１導流体が光源管の並び方向の延長上に位置する場合、第１導流体に最も近い位置の１番目の光源管には気流が直接当たるが、２番目以降の光源管には、気流が１番目の光源管に遮られるため、気流が当たり難い。第１整流体を設けることで、１番目の光源管に当たる気体の量を制限することができる。第１整流体を設けることで１番目の光源管に当たらなかった気体は、第１気体流出口の方に流れるため、１番目の光源管を迂回する状態で、２番目以降の光源管に当たる。これにより、２番目以降の光源管に配設されたアマルガム合金体の温度を調整し易くすることができる。

［適用例５］上記適用例にかかる照射装置において、前記第１整流体の、前記第１導流体から前記光源管に流れる気流の方向に略直交する方向であるとともに、前記光源管の延在方向に略直交する方向である方向における幅が、前記光源管の外径より小さいことが好ましい。

この照射装置によれば、第１整流体の、第１導流体から光源管に流れる気流の方向に略直交する方向であるとともに、光源管の延在方向に略直交する方向である方向における幅が、光源管の外径より小さい。すなわち、気流の断面に投影される第１整流体の幅が、気流の断面に投影される光源管の外径より小さい。
第１整流体は、第１導流路と光源管との間に配設されているため、第１整流体と光源管は、気流の方向に並んでいる。第１整流体の幅が光源管の外径より大きい場合、第１整流体がない場合に第１整流体に最も近い１番目の光源管に当たる気体の大部分が第１整流体に遮られるため、１番目の光源管の温度調整がし難くなる。第１整流体の幅を光源管の外径より小さくすることで、第１整流体に最も近い１番目の光源管に当たる気体の一部に、当該光源管を迂回させて、１番目の光源管及び２番目以降の光源管の双方の温度調整をし易くすることができる。

［適用例６］上記適用例にかかる照射装置において、前記光源は、放電電極を備えており、前記チャンバーは、前記チャンバー本体に形成された第２気体流入口及び第２気体流出口と、前記第２気体流入口から前記チャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記放電電極が配設された部分の外面に当たる方向に導く第２導流体と、をさらに備えることが好ましい。

この照射装置によれば、チャンバー本体内の気体が、第２気体流出口から排出される。チャンバー本体内には、第２気体流入口から気体が補充される。第２気体流入口からチャンバー本体内に流入する気体は、第２導流体によって、光源管における放電電極が配設された部分の外面に当たる方向に導かれる。これにより、光源管における放電電極が配設された部分の外面を、第２気体流入口から流入して第２気体流出口から流出する気体の流路の中に位置させることができる。放電電極を備える光源は、放電電極の寿命によって光源の寿命が定まる場合が多い。放電電極の寿命は、放電電極の温度に依存する。放電電極が配設された部分の外面が、第２気体流入口から流入して第２気体流出口から流出する気体の流路の中に位置することで、第２気体流入口から流入して第２気体流出口から流出する気体によって、放電電極の温度を調整することができる。放電電極の温度を、放電電極の寿命が損なわれ難い温度に調整することで、放電電極の温度が不適切な温度であることに起因して光源の寿命が損なわれることを、抑制することができる。放電電極の温度を調整することで、アマルガム光源全体の温度を調整する場合にくらべて、効率よく温度を調整することができる。

［適用例７］上記適用例にかかる照射装置において、前記第２導流体は、一端が前記第２気体流入口に臨んで開口する第３開口と、他の一端が前記光源管における前記放電電極が配設された部分の外面に臨んで開口する第４開口とを有する第２導流路を備えることが好ましい。

この照射装置によれば、第２気体流入口からチャンバー本体内に流入する気体は、第２気体流入口から第２導流路を通り、光源管における放電電極が配設された部分の外面に臨んで開口する第２導流路の第４開口から流出して、当該第４開口が臨んでいる光源管に当たる。これにより、光源管における放電電極が配設された部分の外面を、第２気体流入口から流入して第２気体流出口から流出する気体の流路の中に位置させることができる。

［適用例８］上記適用例にかかる照射装置において、前記第２導流体と前記第２気体流出口とは、前記光源管の延在方向に交差する方向において、前記第４開口と前記第２気体流出口との間に前記放電電極を挟む位置に配設されていることが好ましい。

この照射装置によれば、第２導流体と第２気体流出口とは、光源管の延在方向に交差する方向において、第２導流路の第４開口と第２気体流出口との間に放電電極を挟む位置に配設されている。これにより、第２気体流入口から流入して、第２導流路の第４開口からチャンバー本体内に流入し、第２気体流出口から流出する気体を、アマルガム光源における光源管の側方から放電電極が配設された部分に当てることができる。気体を、光源管の側方から放電電極が配設された部分に当てることで、効率よく放電電極の温度を調整することができる。

［適用例９］上記適用例にかかる照射装置において、前記第２導流体と前記光源管との間に、前記第２導流路を流れた気体が前記光源管に当たることを制限する第２整流体を設けたことが好ましい。

この照射装置によれば、第２導流路を流れた気体が光源管に当たることを制限する第２整流体が設けられている。
照射装置が複数の光源を備える場合、被照射物を複数の光源に対向させることで効率よく光を照射することができる。複数の光源に対向させるためには、被照射物は、複数の光源が並べられた並び方向に交差する方向に位置させることが好ましい。被照射物に遮蔽されることなく光源管に気流を当てるためには、第２導流体は、光源管の並び方向の延長上に位置することが好ましい。第２導流体が光源管の並び方向の延長上に位置する場合、第２導流体に最も近い位置の１番目の光源管には気流が直接当たるが、２番目以降の光源管には、気流が１番目の光源管に遮られるため、気流が当たり難い。第２整流体を設けることで、１番目の光源管に当たる気体の量を制限することができる。第２整流体を設けることで１番目の光源管に当たらなかった気体は、第２気体流出口の方に流れるため、１番目の光源管を迂回する状態で、２番目以降の光源管に当たる。これにより、２番目以降の光源管に配設された放電電極の温度を調整し易くすることができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる照射装置において、前記第２整流体の、前記第２導流体から前記光源管に流れる気流の方向に略直交する方向であるとともに、前記光源管の延在方向に略直交する方向である方向における幅が、前記光源管の外径より小さいことが好ましい。

この照射装置によれば、第２整流体の、第２導流体から光源管に流れる気流の方向に略直交する方向であるとともに、光源管の延在方向に略直交する方向である方向における幅が、光源管の外径より小さい。すなわち、気流が流れる方向に略直交する面に投影される第２整流体の幅が、当該面に投影される光源管の外径より小さい。
第２整流体は、第２導流路と光源管との間に配設されているため、第２整流体と光源管は、気流の方向に並んでいる。第２整流体の幅が光源管の外径より大きい場合、第２整流体がない場合に第２整流体に最も近い１番目の光源管に当たる気体の大部分が第２整流体に遮られるため、１番目の光源管の温度調整がし難くなる。第２整流体の幅を光源管の外径より小さくすることで、第２整流体に最も近い１番目の光源管に当たる気体の一部に、当該光源管を迂回させて、１番目の光源管及び２番目以降の光源管の双方の温度調整をし易くすることができる。

［適用例１１］上記適用例にかかる照射装置において、前記第１気体流入口及び前記第２気体流入口の少なくとも一方から前記チャンバー本体に供給される気体の温度を調整可能な気体温度調整部をさらに備えることが好ましい。

この照射装置によれば、気体温度調整部によってチャンバー本体に供給される気体の温度を調整することができる。気体の温度を、アマルガム合金体や放電電極の温度を適切な温度にするために好適な温度に調整することで、アマルガム合金体や放電電極の温度を適切な温度に調整することができる。

［適用例１２］上記適用例にかかる照射装置において、前記第１気体流出口及び前記第２気体流出口の少なくとも一方を介して前記チャンバー本体内の気体を吸引可能な吸引手段をさらに備えることが好ましい。

この照射装置によれば、吸引手段によって、第１気体流出口又は第２気体流出口を介してチャンバー本体内の気体を吸引し、チャンバー本体内を負圧にすることができる。

（ａ）は、描画工程のフローチャート。（ｂ）は、前処理工程を示す説明図。（ｃ）は、印刷工程を示す説明図。（ｄ）は、硬化工程を示す説明図。 アマルガムランプの主要な構成を示す説明図。 （ａ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図。（ｂ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略直交する断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図。 （ａ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図。（ｂ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略直交する断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図。 アマルガムランプの主要な構成を示す説明図。

以下、本発明に係る照射装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、機能液を液滴として吐出する液滴吐出装置を備え、該液滴吐出装置を用いて、被描画媒体の任意の位置に機能液を配置することで画像などを描画する描画装置ユニットが備える、前処理装置を例に説明する。前処理装置は、紫外線照射装置であって、被描画媒体における被描画面に紫外線を照射することによって、被描画面を改質したり、被描画面上の異物を除去したりするものである。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

＜描画工程＞
最初に、被描画媒体に描画する描画工程の一例を、図１を参照して説明する。図１は、描画工程の各工程を示す説明図である。図１（ａ）は、描画工程のフローチャートであり、図１（ｂ）は、前処理工程を示す説明図であり、図１（ｃ）は、印刷工程を示す説明図であり、図１（ｄ）は、硬化工程を示す説明図である。

被描画媒体としてのパッケージ体９０は、半導体パッケージ９１が整列されて、搬送基板９３の上に固定されている。半導体パッケージ９１は、印刷面９２の反対側の面が搬送基板９３に固定されている。本描画工程において、印刷面９２に、製品型番などを印刷する。
図１（ａ）のステップＳ１では、前処理としての表面改質処理を実施する。表面改質処理を実施する際は、図１（ｂ）に示すように、パッケージ体９０を、前処理装置４０（図３参照）の媒体保持装置７５に保持させる。媒体保持装置７５に保持されたパッケージ体９０をアマルガムランプ５１に対向させて、アマルガムランプ５１から射出される改質光を印刷面９２に照射することによって、印刷面９２を改質する。アマルガムランプ５１は紫外線ランプであり、改質光は紫外線である。印刷面９２に紫外線を照射することで、例えば、印刷面９２を、画像を印刷するために用いる機能液９に対して親液性側に改質する。

次に、図１（ａ）のステップＳ２では、印刷面９２に、機能液９を配置して、製品型番などを印刷する。図１（ｃ）に示すように、パッケージ体９０を、液滴吐出装置１の媒体載置台３３に載置して保持させる。ヘッドユニット２１が備える液滴吐出ヘッド２０を印刷面９２に臨ませた状態で、液滴吐出ヘッド２０から機能液９を液滴９ａとして吐出して、印刷面９２に着弾させる。
媒体載置台３３を媒体走査機構によって媒体走査方向に移動させることによって、媒体載置台３３に載置されたパッケージ体９０を媒体走査方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ヘッドユニット２１をヘッド走査機構によってヘッド走査方向に移動させることによって、ヘッドユニット２１が備える液滴吐出ヘッド２０を、ヘッド走査方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
印刷に際して、媒体載置台３３又はヘッドユニット２１を移動させて、液滴吐出ヘッド２０とパッケージ体９０とを、吐出開始位置に位置させる。次に、液滴吐出ヘッド２０と媒体載置台３３（パッケージ体９０）とを、吐出走査方向に相対移動させるとともに、所定の相対位置関係になる時点で、液滴吐出ヘッド２０から機能液９を液滴９ａとして吐出して、印刷面９２に着弾させる。媒体走査機構による移動と、ヘッド走査機構による移動とを、相対的に制御することにより、パッケージ体９０上の任意の位置、すなわち半導体パッケージ９１の印刷面９２の任意の位置に液滴９ａを着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。

ヘッドユニット２１は、紫外線照射部２５も備えている。ヘッドユニット２１は２個の紫外線照射部２５を備えており、２個の紫外線照射部２５は、吐出走査方向において液滴吐出ヘッド２０を挟む位置に、それぞれ１個ずつ配設されている。紫外線照射部２５は、媒体載置台３３に臨む位置で、パッケージ体９０に紫外線を照射することができる。
液滴吐出ヘッド２０からの液滴９ａの吐出に略並行して、紫外線照射部２５からパッケージ体９０に向けて紫外線を照射することで、印刷面９２に着弾した機能液９ｂを硬化させて、仮硬化した機能液９ｃにする。機能液９ｃは、パッケージ体９０の姿勢が変わっても流動しない程度以上に硬化された、機能液９である。

次に、図１（ａ）のステップＳ３では、機能液９ｃを本硬化させる。図１（ｄ）に示すように、上述した表面改質処理と同様に、パッケージ体９０を、本硬化装置の媒体保持装置に保持させる。媒体保持装置に保持されたパッケージ体９０を、硬化光（紫外線）を射出する光源（紫外線ランプ）に対向させて、紫外線ランプから射出される紫外線を印刷面９２上の機能液９ｃに照射することで、機能液９ｃを硬化させて、本硬化した機能液９ｄにする。機能液９ｄは、例えば硬化率９０％以上に硬化された、機能液９である。

＜アマルガムランプ＞
次に、アマルガムランプ５１の構成について、図２を参照して説明する。図２は、アマルガムランプの主要な構成を示す説明図である。アマルガムランプ５１は、低圧水銀ランプである。
図２に示すように、アマルガムランプ５１は、ガラス管５２の両端から電極ピン５７が突出した略棒形状を有している。ガラス管５２は、石英ガラスで形成された管であり、管の両端が封止されている。ガラス管５２の内部には、アルゴンガスが封入されている。ガラス管５２の内部の一方の端には、放電電極５５ａが配設されており、もう一方の端には放電電極５５ｂが配設されている。放電電極５５ａ及び放電電極５５ｂは、両端がそれぞれ、電極ピン５７と電気的に接続されている。ガラス管５２の内壁には、水銀アマルガムが島状に配設されたアマルガムスポット５３が形成されている。アマルガムスポット５３は、ガラス管５２におけるガラス管５２の中央より放電電極５５ａが形成された端の側に寄った位置に形成されている。

電極ピン５７を介して電源に接続して、放電電極５５ａ又は放電電極５５ｂに電流を流すことによって、放電電極５５ａ又は放電電極５５ｂから電子が放出される。放出された電子は、反対側の放電電極５５ａ又は放電電極５５ｂに移動し、放電が始まる。放電によって流れる電子は、水銀電子に衝突する。水銀電子は電子に衝突されることで、紫外線を発生させる。なお、電源として交流電源を用いるため、放電電極５５ａと放電電極５５ｂとは略同じ形状に形成されている。
アマルガムランプ５１が、光源に相当する。ガラス管５２が、光源管に相当する。アマルガムスポット５３が、アマルガム合金体に相当する。ガラス管５２の延在方向が、光源管の延在方向に相当する。
ガラス管５２における放電電極５５ａが形成された側の端が、第２の端に相当する。ガラス管５２における放電電極５５ｂが形成された側の端が、第１の端に相当する。

＜前処理装置＞
次に、前処理装置４０について、図３を参照して説明する。図３は、前処理装置の構成を示す説明図である。図３（ａ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図であり、図３（ｂ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略直交する断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図である。なお、図面を簡単にするために、図３（ｂ）におけるアマルガムランプ５１は、ガラス管５２の外形のみを示してある。
図３に示すように、前処理装置４０は、チャンバー６１と、アマルガムランプ５１と、ランプ保持装置７７と、媒体保持装置７５と、吸引ポンプ７１と、温度調整装置７３と、を備えている。

チャンバー６１は略直方体の箱形状のチャンバー本体６０を備えている。チャンバー本体６０は、床面を構成する床壁６１１と、床面に対向する天面を構成する天壁６１２と、床壁６１１と天壁６１２とを接続する４枚の側壁６１４と、を備えている。
チャンバー本体６０の中に、ランプ保持装置７７が配設されている。ランプ保持装置７７を構成する保持枠７７ａ及び保持枠７７ｂが、チャンバー本体６０の中で、床壁６１１に立設されている。保持枠７７ａ及び保持枠７７ｂは、電極ピン５７が嵌合可能なソケットを備え、それぞれが備えるソケットが、互いに対向している。アマルガムランプ５１は、電極ピン５７が、保持枠７７ａ及び保持枠７７ｂに形成されたソケットに嵌合しており、保持枠７７ａと保持枠７７ｂとの間に差し渡された状態で支持されている。前処理装置４０は、７本のアマルガムランプ５１を備えている。７本のアマルガムランプ５１は、略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。

媒体保持装置７５は、パッケージ体９０を、略鉛直に立てた状態で保持する。パッケージ体９０を立てた状態で保持することで、パッケージ体９０を、鉛直方向に並んだ７本のアマルガムランプ５１に臨ませることができる。前処理装置４０は、媒体保持装置７５を２個備えている。２個の媒体保持装置７５を用いて、７本のアマルガムランプ５１の壁の両側から、それぞれパッケージ体９０をアマルガムランプ５１に臨ませることができる。アマルガムランプ５１から紫外線を射出することで、アマルガムランプ５１に臨んだパッケージ体９０（印刷面９２）に紫外線を照射することによって、例えば、印刷面９２を、画像を印刷するために用いる機能液９に対して親液性側に改質する。媒体保持装置７５は、パッケージ体９０を保持した状態で、側壁６１４に形成された媒体入出口（図示省略）から、チャンバー本体６０の中に、入出可能である。

チャンバー本体６０は、流入口６２ａ、流入口６２ｂ、流出口６３ａ、流出口６３ｂ、導流体６６ａ、導流体６６ｂ、導流路６７ａ及び導流路６７ｂを備えている。
流入口６２ａ及び流入口６２ｂは、床壁６１１に形成された開口である。流出口６３ａ及び流出口６３ｂは、天壁６１２に形成された開口である。
導流体６６ａ及び導流体６６ｂは、床壁６１１に立設された管である。導流路６７ａ及び導流路６７ｂは、管形状を有する導流体６６ａ又は導流体６６ｂの中空部分である。
導流路６７ａは流入口６２ａと連通しており、流入口６２ａと導流路６７ａとで、チャンバー本体６０の外面から内面まで貫通している。同様に、導流路６７ｂは流入口６２ｂと連通しており、流入口６２ｂと導流路６７ｂとで、チャンバー本体６０の外面から内面まで貫通している。導流路６７ａ及び導流路６７ｂは床壁６１１と一体形成されていてもよいし、別々に形成したものを接続したものでもよい。

前処理装置４０において、７本のアマルガムランプ５１は、略鉛直方向に並んでいる。それぞれのアマルガムランプ５１に形成されたアマルガムスポット５３も、略鉛直方向に並んでいる。７個のアマルガムスポット５３の並びを、アマルガムスポット列５３Ａと表記する。アマルガムスポット列５３Ａは、略鉛直に延在している。
それぞれのアマルガムランプ５１に形成された放電電極５５ａや放電電極５５ｂも、それぞれ略鉛直方向に並んでいる。７本のアマルガムランプ５１のそれぞれに形成された放電電極５５ａや放電電極５５ｂの並びを、放電電極列５５Ａと表記する。放電電極５５ａや放電電極５５ｂの放電電極列５５Ａも、略鉛直に延在している。

流入口６２ａは、鉛直方向に並んでいる７個のアマルガムスポット５３の下方に開口しており、流出口６３ａは、鉛直方向に並んでいる７個のアマルガムスポット５３の上方に開口している。言いかえると、流入口６２ａ及び流出口６３ａは、アマルガムスポット列５３Ａの延長線が床壁６１１又は天壁６１２と交差する位置に開口している。
流入口６２ｂは、鉛直方向に並んでいる７個の放電電極５５ｂの下方に開口しており、流出口６３ｂは、鉛直方向に並んでいる７個の放電電極５５ｂの上方に開口している。言いかえると、流入口６２ｂ及び流出口６３ｂは、放電電極列５５Ａの延長線が床壁６１１又は天壁６１２と交差する位置に開口している。
導流体６６ａは、鉛直方向に並んでいる７個のアマルガムスポット５３の下方に位置している。導流体６６ａの上端は、１番下のアマルガムランプ５１の直近に位置している。導流体６６ａの上端面に開口している導流路６７ａは、１番下のアマルガムランプ５１の直近で、ガラス管５２におけるアマルガムスポット５３が形成された部分の外面に臨んで開口している。導流路６７ａは、アマルガムスポット列５３Ａの延長線が導流体６６ａの上端面と交差する点を含む位置において、導流体６６ａの上端面に開口している。
導流体６６ｂは、鉛直方向に並んでいる７個の放電電極５５ｂの下方に位置している。導流体６６ｂの上端は、１番下のアマルガムランプ５１の直近に位置している。導流体６６ｂの上端に開口している導流路６７ｂは、１番下のアマルガムランプ５１の直近で、ガラス管５２における放電電極５５ｂが形成された部分の外面に臨んで開口している。導流路６７ｂは、放電電極列５５Ａの延長線が導流体６６ｂの上端面と交差する点を含む位置において、導流体６６ｂの上端面に開口している。
流出口６３ａは、鉛直方向に並んでいる７個のアマルガムスポット５３の上方に開口している。したがって、流出口６３ａは、アマルガムスポット列５３Ａの延長線が天壁６１２と交差する点を含む位置に開口している。
流出口６３ｂは、鉛直方向に並んでいる７個の放電電極５５ｂの上方に開口している。したがって、流出口６３ｂは、放電電極５５ｂの放電電極列５５Ａの延長線が天壁６１２と交差する点を含む位置に開口している。

流出口６３ａ及び流出口６３ｂは、吸引ポンプ７１に接続されている。吸引ポンプ７１を稼働させることで、チャンバー本体６０内の空気が、流出口６３ａ又は流出口６３ｂを通って、排出される。チャンバー本体６０内には、流入口６２ａ及び流入口６２ｂから空気が流入して、流出口６３ａや流出口６３ｂから排出された空気が補充される。チャンバー本体６０内には、流入口６２ａから導流路６７ａを通って流出口６３ａにいたる空気の流れと、流入口６２ｂから導流路６７ｂを通って流出口６３ｂにいたる空気の流れと、が形成される。

導流路６７ａは、７個のアマルガムスポット５３の下方に開口しており、流出口６３ａは、７個のアマルガムスポット５３の上方に開口している。導流路６７ａの開口と流出口６３ａとは、アマルガムスポット列５３Ａの延在方向において、アマルガムスポット列５３Ａを挟んで配置されている。このため、導流路６７ａから流出口６３ａにいたる空気の流れはアマルガムスポット列５３Ａに沿って流れ、ガラス管５２におけるアマルガムスポット５３が位置する部分の外面は、導流路６７ａから流出口６３ａにいたる空気の流れの中に位置している。
導流路６７ｂは、７個の放電電極５５ｂの下方に開口しており、流出口６３ｂは、７個の放電電極５５ｂの上方に開口している。導流路６７ｂの開口と流出口６３ｂとは、放電電極列５５Ａの延在方向において、放電電極列５５Ａを挟んで配置されている。このため、導流路６７ｂから流出口６３ｂにいたる空気の流れは放電電極列５５Ａに沿って流れ、ガラス管５２における放電電極５５ｂが位置する部分の外面は、導流路６７ｂから流出口６３ｂにいたる空気の流れの中に位置している。
流入口６２ａが、第１気体流入口に相当する。流入口６２ｂが、第２気体流入口に相当する。導流体６６ａが、第１導流体に相当する。導流体６６ｂが、第２導流体に相当する。導流路６７ａが、第１導流路に相当する。導流路６７ｂが、第２導流路に相当する。導流路６７ａの流入口６２ａに臨む開口が、第１開口に相当する。導流路６７ａのガラス管５２に臨む開口が、第２開口に相当する。導流路６７ｂの流入口６２ｂに臨む開口が、第３開口に相当する。導流路６７ｂのガラス管５２に臨む開口が、第４開口に相当する。流出口６３ａが、第１気体流出口に相当する。流出口６３ｂが、第２気体流出口に相当する。吸引ポンプ７１が、吸引手段に相当する。

温度調整装置７３は、気体の温度を調整する装置であり、チャンバー本体６０とは別に設けられている。温度調整装置７３における、温度を調整した気体が放出される放出口７３ａは、流入口６２ａ、及び流入口６２ｂに臨んで開口している。放出口７３ａから放出される空気の大部分は、流入口６２ａ、又は流入口６２ｂからチャンバー本体６０内に流入する。流入口６２ａ及び流入口６２ｂからチャンバー本体６０内に流入する空気の大部分は、温度調整装置７３によって温度が調整された空気である。
温度調整装置７３が、気体温度調整部に相当する。前処理装置４０が、照射装置に相当する。

＜他の前処理装置の例＞
次に、上述した前処理装置４０と一部の構成が異なる前処理装置１４０について、図４を参照して説明する。図４において、図３と同じ構成のものは図３と同じ符号を付し説明は省略する。図４は、前処理装置の構成を示す説明図である。図４（ａ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図であり、図４（ｂ）は、前処理装置の構成を、アマルガムランプの延在方向に略直交する断面におけるチャンバーの断面形状とともに示す説明図である。なお、図面を簡単にするために、図４（ｂ）におけるアマルガムランプ５１は、ガラス管５２の外形のみを示してある。
図４の前処理装置１４０が図３の前処理装置４０と異なる点は、チャンバー本体６０が、整流体６８ａと整流体６８ｂとをさらに備えている点である。
整流体６８ａ及び整流体６８ｂは、導流体６６ａ又は導流体６６ｂの上面に配設されている。整流体６８ａ及び整流体６８ｂは、導流路６７ａ又は導流路６７ｂの開口に略平行な断面における形状が略長方形であり、導流路６７ａ又は導流路６７ｂの開口を横断して２つに分ける状態で配設されている。
流出口６３ａ及び流出口６３ｂは、天壁６１２に形成された開口である。

整流体６８ａは、導流体６６ａの上面に、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ａの開口を略２等分して、配設されている。整流体６８ａのアマルガムランプ５１の延在方向と略直交する方向における幅は、アマルガムランプ５１のガラス管５２の直径より小さく設定されている。整流体６８ａの幅は、例えば、ガラス管５２の直径の２／３程度である。

整流体６８ｂは、導流体６６ｂの上面に、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ｂの開口を略２等分して、配設されている。整流体６８ｂのアマルガムランプ５１の延在方向と略直交する方向における幅は、アマルガムランプ５１のガラス管５２の直径より小さく設定されている。整流体６８ｂの幅は、例えば、ガラス管５２の直径の２／３程度である。

整流体６８ａが、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ａの開口を略２等分しているため、導流路６７ａから流出する空気は２分される。整流体６８ａに１番近い位置にあるアマルガムランプ５１において、ガラス管５２における整流体６８ａに臨む部分の、ガラス管５２の径方向における中央付近は、空気の流れが整流体６８ａによって遮られる位置にある。このため、ガラス管５２に当たる空気の量が整流体６８ａによって制限される。整流体６８ａによって２分されて流出口６３ａの方に流れる空気は、壁状に並ぶ７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁の両面に沿って流れる。当該空気の流れは、整流体６８ａの幅が、例えば、ガラス管５２の直径の２／３程度であるため、７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁から離れることなく、空気の流れがガラス管５２に当たる状態で流動する。
整流体６８ａが、第１整流体に相当する。

整流体６８ｂが、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ｂの開口を略２等分しているため、導流路６７ｂから流出する空気は２分される。整流体６８ｂに１番近い位置にあるアマルガムランプ５１において、ガラス管５２における整流体６８ｂに臨む部分の、ガラス管５２の径方向における中央付近は、空気の流れが整流体６８ｂによって遮られる位置にある。このため、ガラス管５２に当たる空気の量が整流体６８ｂによって制限される。整流体６８ｂによって２分されて流出口６３ｂの方に流れる空気は、壁状に並ぶ７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁の両面に沿って流れる。当該空気の流れは、整流体６８ｂの幅が、例えば、ガラス管５２の直径の２／３程度であるため、７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁から離れることなく、空気の流れがガラス管５２に当たる状態で流動する。
整流体６８ｂが、第２整流体に相当する。

＜他のアマルガムランプ例＞
次に、上述したアマルガムランプ５１とは外観形状が異なるアマルガムランプ１５１について、図５を参照して説明する。図５は、アマルガムランプの主要な構成を示す説明図である。
図５に示すように、アマルガムランプ１５１は、中央で曲げられたガラス管１５２を備えている。ガラス管１５２は、中央の円弧管部１５２ｂと、円弧管部１５２ｂの一端にそれぞれ接続された直線管部１５２ａ及び直線管部１５２ｃと、を備えている。円弧管部１５２ｂは、管の中心軸線が、中心角１８０度の円弧形状を有している。円弧管部１５２ｂのそれぞれの端から延在する直線管部１５２ａと、直線管部１５２ｃとは、管の中心軸が、互いに略平行である。ガラス管１５２は、石英ガラスで形成された管であり、管の両端が封止されている。ガラス管１５２の内部には、アルゴンガスが封入されている。直線管部１５２ａの内部の端には、放電電極１５５ａが配設されており、直線管部１５２ｃの内部の端には放電電極１５５ｂが配設されている。放電電極１５５ａ及び放電電極１５５ｂは、両端がそれぞれ、電極ピン１５７と電気的に接続されている。直線管部１５２ａの内壁には、水銀アマルガムが島状に配設されたアマルガムスポット１５３が形成されている。

電極ピン１５７を介して電源に接続して、放電電極１５５ａ又は放電電極５５ｂに電流を流すことによって、放電電極１５５ａ又は放電電極１５５ｂから電子が放出される。放出された電子は、反対側の放電電極１５５ａ又は放電電極１５５ｂに移動し、放電が始まる。放電によって流れる電子は、水銀電子に衝突する。水銀電子は電子に衝突されることで、紫外線を発生させる。なお、電源として交流電源を用いるため、放電電極１５５ａと放電電極１５５ｂとは略同じ形状に形成されている。
アマルガムランプ１５１が、光源に相当する。ガラス管１５２が、光源管に相当する。アマルガムスポット１５３が、アマルガム合金体に相当する。直線管部１５２ａ及び直線管部１５２ｃの延在方向が、光源管の延在方向に相当する。

以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）前処理装置４０は、導流路６７ａを備える導流体６６ａを備えている。導流路６７ａは、一端が、アマルガムランプ５１の直近で、ガラス管５２におけるアマルガムスポット５３が形成された部分の外面に臨んで開口しており、もう一端が、流入口６２ａと連通しており、流入口６２ａと導流路６７ａとで、チャンバー本体６０の外面から内面まで貫通している。これにより、流入口６２ａを介してチャンバー本体６０の外部から流入する空気を、ガラス管５２におけるアマルガムスポット５３が形成された部分の外面近くに導くことができる。

（２）前処理装置４０において、導流路６７ａは、７個のアマルガムスポット５３の下方に開口しており、流出口６３ａは、７個のアマルガムスポット５３の上方に開口している。導流路６７ａの開口と流出口６３ａとは、アマルガムスポット列５３Ａの延在方向において、アマルガムスポット列５３Ａを挟んで配置されている。このため、導流路６７ａから流出口６３ａにいたる空気の流れはアマルガムスポット列５３Ａに沿って流れ、ガラス管５２におけるアマルガムスポット５３が位置する部分の外面は、導流路６７ａから流出口６３ａにいたる空気の流れの中に位置している。これにより、導流路６７ａから流出口６３ａに流れる空気をガラス管５２におけるアマルガムスポット５３が位置する部分の外面に当てて、アマルガムスポット５３の温度を調節することができる。例えば、アマルガムランプ５１が発光することによってアマルガムスポット５３の温度が上昇することを、効率よく抑制することができる。アマルガムスポット５３の温度が上昇することを抑制することで、アマルガムスポット５３の温度が上昇しすぎることに起因してアマルガムランプ５１の発光効率が低下することを、抑制することができる。

（３）前処理装置４０は、導流路６７ｂを備える導流体６６ｂを備えている。導流路６７ｂは、一端が、アマルガムランプ５１の直近で、ガラス管５２における放電電極５５ｂが形成された部分の外面に臨んで開口しており、もう一端が、流入口６２ｂと連通しており、流入口６２ｂと導流路６７ｂとで、チャンバー本体６０の外面から内面まで貫通している。これにより、流入口６２ｂを介してチャンバー本体６０の外部から流入する空気を、ガラス管５２における放電電極５５ｂが形成された部分の外面近くに導くことができる。

（４）前処理装置４０において、導流路６７ｂは、７個の放電電極５５ｂの下方に開口しており、流出口６３ｂは、７個の放電電極５５ｂの上方に開口している。導流路６７ｂの開口と流出口６３ｂとは、放電電極列５５Ａの延在方向において、放電電極列５５Ａを挟んで配置されている。このため、導流路６７ｂから流出口６３ｂにいたる空気の流れは放電電極列５５Ａに沿って流れ、ガラス管５２における放電電極５５ｂが位置する部分の外面は、導流路６７ｂから流出口６３ｂにいたる空気の流れの中に位置している。流入口６２ｂは、７個の放電電極５５ｂの下方に開口しており、流出口６３ｂは、７個の放電電極５５ｂの上方に開口している。このため、ガラス管５２における放電電極５５ｂが位置する部分の外面は、導流路６７ｂから流出口６３ｂにいたる空気の流れの中に位置している。これにより、導流路６７ｂから流出口６３ｂに流れる空気をガラス管５２における放電電極５５ｂが位置する部分の外面に当てて、放電電極５５ｂの温度を調節することができる。例えば、アマルガムランプ５１が発光することによって放電電極５５ｂの温度が上昇することを、効率よく抑制することができる。放電電極５５ｂの温度が上昇することを抑制することで、放電電極５５ｂの温度が上昇しすぎることに起因してアマルガムランプ５１の寿命が低下することを、抑制することができる。

（５）前処理装置１４０は、整流体６８ａを備えている。整流体６８ａが、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ａの開口を略２等分しているため、導流路６７ａから流出する空気は２分される。整流体６８ａに１番近い位置にあるアマルガムランプ５１においては、空気の流れが整流体６８ａによって遮られ、ガラス管５２に当たる空気の量が制限される。整流体６８ａによって２分されて流出口６３ａの方に流れる空気は、壁状に並ぶ７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁の両面に沿って流れる。これにより、７本のアマルガムランプ５１のそれぞれにあたる空気の量が、アマルガムランプ５１ごとにばらつくことを抑制することができる。

（６）前処理装置１４０は、整流体６８ｂを備えている。整流体６８ｂが、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ｂの開口を略２等分しているため、導流路６７ｂから流出する空気は２分される。整流体６８ｂに１番近い位置にあるアマルガムランプ５１においては、空気の流れが整流体６８ｂによって遮られ、ガラス管５２に当たる空気の量が制限される。整流体６８ｂによって２分されて流出口６３ｂの方に流れる空気は、壁状に並ぶ７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁の両面に沿って流れる。これにより、７本のアマルガムランプ５１のそれぞれにあたる空気の量が、アマルガムランプ５１ごとにばらつくことを抑制することができる。

（７）前処理装置１４０は、整流体６８ａを備えている。整流体６８ａが、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ａの開口を略２等分しているため、導流路６７ａから流出する空気は２分される。整流体６８ａの幅は、ガラス管５２の直径の２／３程度である。これにより、整流体６８ａによって２分された空気を、７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁から離れることなく、空気の流れがガラス管５２に当たる状態で流動させることができる。

（８）前処理装置１４０は、整流体６８ｂを備えている。整流体６８ｂが、アマルガムランプ５１の延在方向と略平行に延在して、導流路６７ｂの開口を略２等分しているため、導流路６７ｂから流出する空気は２分される。整流体６８ｂの幅は、ガラス管５２の直径の２／３程度である。これにより、整流体６８ｂによって２分された空気を、７本のアマルガムランプ５１によって形成された壁から離れることなく、空気の流れがガラス管５２に当たる状態で流動させることができる。

（９）前処理装置４０、及び前処理装置１４０は、温度調整装置７３を備えており、流入口６２ａや流入口６２ｂなどからチャンバー本体６０などに流入する空気の大部分は、温度調整装置７３によって温度が調整された空気である。温度調整装置７３によってチャンバー本体６０などに流入する空気の温度を調整することで、アマルガムスポット５３やアマルガムスポット１５３や放電電極５５ｂや放電電極１５５ａや放電電極１５５ｂの温度を、適切な温度に調整し易くすることができる。

（１０）前処理装置４０及び前処理装置１４０では、アマルガムランプ５１のガラス管５２におけるアマルガムスポット５３が位置する部分の外面が、導流路６７ａなどから流出口６３ａなどにいたる空気の流れの中に位置している。アマルガムランプ５１において、アマルガムスポット５３は、放電電極５５ａの近くに形成されている。この構成により、導流路６７ａなどから流出口６３ａなどにいたる空気の一部は、ガラス管５２における放電電極５５ａが位置する部分の外面に当たる。これにより、導流路６７ａを備える導流体６６ａなど及び流出口６３ａなどを設けることによって、放電電極５５ａの温度も調整することができる。放電電極５５ａの温度を調整するための導流路６７ａを備える導流体６６ａなど及び流出口６３ａなどを別途設ける構成にくらべて、チャンバー本体６０の構成を簡単にすることができる。

（１１）前処理装置４０及び前処理装置１４０において、流出口６３ａ及び流出口６３ｂは、天壁６１２に形成された開口である。導流路６７ａを備える導流体６６ａは、床壁６１１に形成されている。導流路６７ｂを備える導流体６６ｂは、床壁６１１に形成されている。導流路６７ａや導流路６７ｂなどから流入し、アマルガムスポット５３や放電電極５５ｂを冷却したことによって温度が上昇した空気は、上昇し易いため、上方に開口した流出口６３ａなどの方に導かれ易くなる。これにより、導流路６７ａなどから流入した空気を、流出口６３ａなどから流出し易くすることができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、照射装置としての前処理装置４０は、例えば、印刷面９２を、画像を印刷するために用いる機能液９に対して親液性側に改質する装置であった。しかし、前記実施形態に示したような照射装置の用途は、前処理や、対象面の改質に限らない。前記実施形態に示したような照射装置は、対象面の異物を除去する洗浄装置としてや、対象面を殺菌する殺菌装置としてや、光硬化型の機能液を硬化させるための硬化光を照射する硬化装置として用いることもできる。

（変形例２）前記実施形態においては、照射装置としての前処理装置４０のチャンバー本体６０は、放電電極５５ｂの温度を調整するための導流路６７ｂを備える導流体６６ｂ、及び流出口６３ｂを備えていた。しかし、第２気体流入口及び第２気体流出口と、第２気体流入口からチャンバー本体内に流入する気体を、光源管における放電電極が配設された部分の外面に当たる方向に導く第２導流体とを、チャンバー本体に設けることは必須ではない。照射装置は、チャンバー本体が第１気体流入口と第１気体流出口と第１導流体とを備え、第２気体流入口、第２気体流出口、及び第２導流体を備えない構成であってもよい。

（変形例３）前記実施形態においては、照射装置としての前処理装置４０のチャンバー本体６０は、放電電極５５ｂの温度を調整するための導流路６７ｂを備える導流体６６ｂ、及び流出口６３ｂを、１組備えていた。しかし、チャンバー本体が備える第２気体流入口と第２気体流出口と第２導流体との組が１組であることは必須ではない。放電電極５５ａの放電電極列５５Ａ、及び放電電極５５ｂの放電電極列５５Ａを備える前処理装置４０のように、複数の放電電極が、互いに離れた位置に配設されている照射装置においては、第２気体流入口と第２気体流出口と第２導流体との組を、複数組設ける構成であってもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、前処理装置４０は、光源としてのアマルガムランプ５１を７本備えていた。しかし、照射装置が備える光源の数は、７本に限らない。照射装置が備える光源の数は、何個であってもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、アマルガムスポット列５３Ａ、放電電極列５５Ａの延在方向は、鉛直方向であった。しかし、複数のアマルガム合金体や、放電電極の複数の組を備える照射装置において、アマルガム合金体や放電電極の並び方向が鉛直方向であることは必須ではない。照射装置において、複数のアマルガム合金体や放電電極の並び方向は、水平方向であってもよいし、鉛直方向や水平方向に対して傾いた方向であってもよい。

（変形例６）前記実施形態においては、照射装置としての前処理装置４０のチャンバー本体６０は、第１気体流入口としての流入口６２ａと、第１導流体としての導流体６６ａと、第１気体流出口としての流出口６３ａとの組を１組備えていた。しかし、照射装置のチャンバー本体が備える第１気体流入口や第１気体流出口や第１導流体は、１個に限らない。多数の光源を備え、光源管におけるアマルガム合金体が配設された部分の外面が、互いに離れた位置に配設されているような照射装置においては、チャンバー本体が、複数の第１気体流入口や第１気体流出口や第１導流体を備える構成であってもよい。

（変形例７）前記実施形態においては、照射装置としての前処理装置４０のチャンバー本体６０は、導流体としての導流体６６ａを１個に対して、気体流出口としての流出口６３ａを１個備えていた。しかし、導流体と、気体流出口とが、１対１の組になるように構成することは必須ではない。１個の導流体又は気体流出口に対して、複数の気体流出口又は導流体が組になるように構成してもよい。

（変形例８）前記実施形態においては、前処理装置４０は、１個の吸引ポンプ７１を備えており、１個の吸引ポンプ７１で、流出口６３ａ及び流出口６３ｂなど、複数の流出口から、チャンバー本体６０の内部の空気を吸引していた。しかし、照射装置が備える吸引手段は１個に限らない。照射装置は、複数の吸引手段を備えてもよい。第１気体流出口や第２気体流出口ごとに、それぞれ吸引手段を設ける構成であってもよい。第１気体流出口や第２気体流出口ごとに、それぞれ吸引手段を設けることで、対応するアマルガム合金体や放電電極ごとに個別に温度調整を実施し易くすることができる。

（変形例９）前記実施形態においては、前処理装置４０は、温度調整装置７３を備えていたが、照射装置が気体温度調整部を備えることは必須ではない。チャンバー本体に流入する気体の温度は特に調整しない構成であってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、前処理装置４０は、１個の温度調整装置７３を備えており、１個の温度調整装置７３で、流入口６２ａ及び流入口６２ｂなど、複数の流入口から、チャンバー本体６０の内部に流入する空気の温度を一律に調整していた。しかし、照射装置が備える気体温度調整部は１個に限らない。照射装置は、複数の気体温度調整部を備えてもよい。第１気体流入口や第２気体流入口ごとに、それぞれ気体温度調整部を設ける構成であってもよい。第１気体流入口や第２気体流入口ごとに、それぞれ気体温度調整部を設けることで、対応するアマルガム合金体や放電電極ごとに個別に、流動させる気体の温度を変えてもよい。

（変形例１１）前記実施形態における前処理装置４０及び前処理装置１４０を９０度回転した構成としてもよい。すなわち、前処理装置４０及び前処理装置１４０における床壁６１１及び天壁６１２を側壁とし、前処理装置４０及び前処理装置１４０における側壁６１４のうちいずれか一つを床壁とし、これに対向する側壁６１４を天壁となるように前処理装置４０及び前処理装置１４０を回転させた構成としてもよい。

（変形例１２）前記実施形態における前処理装置４０及び前処理装置１４０で用いられたアマルガムランプ５１に変えて、＜他のアマルガムランプ例＞で説明したアマルガムランプ１５１を用いるようにしてもよい。

１…液滴吐出装置、９…機能液、９ａ…液滴、９ｂ，９ｃ，９ｄ…機能液、２０…液滴吐出ヘッド、２５…紫外線照射部、３３…媒体載置台、４０…前処理装置、５１…アマルガムランプ、５２…ガラス管、５３…アマルガムスポット、５３Ａ…アマルガムスポット列、５５Ａ…放電電極列、５５ａ…放電電極、５５ｂ…放電電極、５７…電極ピン、６０…チャンバー本体、６１…チャンバー、６２ａ，６２ｂ…流入口、６３ａ，６３ｂ…流出口、６６ａ，６６ｂ…導流体、６７ａ，６７ｂ…導流路、７１…吸引ポンプ、７３…温度調整装置、７３ａ…放出口、７５…媒体保持装置、７７…ランプ保持装置、９０…パッケージ体、９１…半導体パッケージ、９２…印刷面、１４０…前処理装置、１５１…アマルガムランプ、１５２…ガラス管、１５３…アマルガムスポット、１５５ａ…放電電極、１５５ｂ…放電電極、１５７…電極ピン、６２ａ，６２ｂ…流入口、６６ａ，６６ｂ…導流体、６７ａ，６７ｂ…導流路、６８ａ，６８ｂ…整流体、６１１…床壁、６１２…天壁、６１４…側壁。

Claims (10)

1. 光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源と、
   前記光源が内部に配置されているチャンバーと、
   を備え、
   前記チャンバーは、
   チャンバー本体と、
   前記チャンバー本体に形成された第１気体流入口及び第１気体流出口と、
   前記第１気体流入口から前記チャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に当たる方向に導く第１導流体と、
   を有し、
   前記第１導流体は、一端が前記第１気体流入口に臨んで開口する第１開口と、他の一端が前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に臨んで開口する第２開口とを有する第１導流路を有し、
   前記第１導流体と前記第１気体流出口とは、前記光源管の延在方向に交差する方向において、前記第２開口と前記第１気体流出口との間に前記アマルガム合金体を挟む位置に配設されていることを特徴とする照射装置。
2. 光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源と、
   前記光源が内部に配置されているチャンバーと、
   を備え、
   前記チャンバーは、
   チャンバー本体と、
   前記チャンバー本体に形成された第１気体流入口及び第１気体流出口と、
   前記第１気体流入口から前記チャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に当たる方向に導く第１導流体と、
   を有し、
   前記第１導流体は、一端が前記第１気体流入口に臨んで開口する第１開口と、他の一端が前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に臨んで開口する第２開口とを有する第１導流路を有し、
   前記第１導流路と前記光源管との間に、前記第１導流路を流れた気体が前記光源管に当たることを制限する第１整流体を設けたことを特徴とする照射装置。
3. 前記第１整流体の、前記第１導流体から前記光源管に流れる気流の方向に略直交する方向であるとともに、前記光源管の延在方向に略直交する方向である方向における幅が、前記光源管の外径より小さいことを特徴とする、請求項２に記載の照射装置。
4. 光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源と、
   前記光源が内部に配置されているチャンバーと、
   を備え、
   前記チャンバーは、
   チャンバー本体と、
   前記チャンバー本体に形成された第１気体流入口及び第１気体流出口と、
   前記第１気体流入口から前記チャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に当たる方向に導く第１導流体と、
   を有し、
   前記光源は、放電電極を備えており、
   前記チャンバーは、
   前記チャンバー本体に形成された第２気体流入口及び第２気体流出口と、
   前記第２気体流入口から前記チャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記放電電極が配設された部分の外面に当たる方向に導く第２導流体と、
   をさらに備えることを特徴とする照射装置。
5. 前記第２導流体は、一端が前記第２気体流入口に臨んで開口する第３開口と、他の一端が前記光源管における前記放電電極が配設された部分の外面に臨んで開口する第４開口とを有する第２導流路を備えることを特徴とする、請求項４に記載の照射装置。
6. 前記第２導流体と前記第２気体流出口とは、前記光源管の延在方向に交差する方向において、前記第４開口と前記第２気体流出口との間に前記放電電極を挟む位置に配設されていることを特徴とする、請求項５に記載の照射装置。
7. 前記第２導流体と前記光源管との間に、前記第２導流路を流れた気体が前記光源管に当たることを制限する第２整流体を設けたことを特徴とする、請求項５又は６に記載の照射装置。
8. 前記第２整流体の、前記第２導流体から前記光源管に流れる気流の方向に略直交する方向であるとともに、前記光源管の延在方向に略直交する方向である方向における幅が、前記光源管の外径より小さいことを特徴とする、請求項７に記載の照射装置。
9. 前記第１気体流入口及び前記第２気体流入口の少なくとも一方から前記チャンバー本体に供給される気体の温度を調整可能な気体温度調整部をさらに備えることを特徴とする請求項４乃至８のいずれか一項に記載の照射装置。
10. 前記第１気体流出口及び前記第２気体流出口の少なくとも一方を介して前記チャンバー本体内の気体を吸引可能な吸引手段をさらに備えることを特徴とする、請求項４乃至９のいずれか一項に記載の照射装置。

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