JP2013202429A - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外線照射装置は、紫外線を射出する紫外線射出手段と、紫外線を反射する反射手段と、を備え、紫外線射出手段と反射手段とは並列して配置されており、反射手段は、紫外線射出手段から紫外線射出手段と反射手段との並び方向に射出されて反射手段に照射される紫外線を、紫外線射出手段と反射手段との並び方向と交差する方向に反射する反射面を備える。
【選択図】図3
Description
紫外線射出手段と反射手段との並び方向に平行であって、紫外線射出手段及び反射手段と交差する仮想面を、並び面と表記する。供給孔と排出孔とは紫外線射出手段と反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、供給孔と排出孔との間に、紫外線射出手段及び反射手段を挟む位置に形成されている。すなわち、供給孔と排出孔とは、紫外線射出手段と反射手段との並び方向において、供給孔と排出孔との間に、紫外線射出手段及び反射手段を挟む位置に形成されているとともに、並び面を挟む位置に形成されている。したがって、供給孔から排出孔に向かう気体は、並び面と交差する経路を流動する。すなわち、供給孔から排出孔に向かう気体の流れは、並び面に位置する紫外線射出手段に吹き付けられ易い。気体が紫外線射出手段に吹き付けられることで、効率よく紫外線射出手段の温度を調整(冷却)することができる。
さらに、反射面は、一方の端がもう一方の端より、紫外線射出手段と反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、供給孔に近い位置に位置する方向に傾いている。この構成により、反射面に吹き付けられて反射面に沿って流動する気体は、紫外線射出手段と反射手段との並び方向において供給孔側から排出孔側に移動するとともに、並び面と交差する経路を流動する。紫外線射出手段と並べて配設された反射手段の反射面に沿って流動する気体が並び面と交差する経路を流動することで、当該気体を反射手段と並べて配設された紫外線射出手段に吹き付けられ易くすることができる。気体が紫外線射出手段に吹き付けられることで、効率よく紫外線射出手段の温度を調整(冷却)することができる。
最初に、描画対象物に、画像を描画する描画装置ユニットについて、図1を参照して説明する。描画対象物は、例えば、半導体チップを保持基板の上に整列させて仮固定した、チップ描画体などである。図1は、描画装置ユニットの構成を示す説明図である。
描画対象物は、所定のマガジンに装着される。描画対象物が装着されたマガジンをロード装置105に装填することで、描画対象物が、描画装置ユニット100に供給される。
描画装置ユニット100における処理が終了した描画対象物は、アンロード装置106の待機テーブル上に移動され、アンロード装置106に装填されたマガジンに装着される。当該マガジンをアンロード装置106から取り出すことによって、処理済みの描画対象物が、描画装置ユニット100から除材される。
入出力装置108は、描画ユニット制御装置107に接続されている。入出力装置108は、描画ユニット制御装置107の記憶装置に記憶させるプログラムやデータなどを入力するための入力手段として機能する。描画ユニット制御装置107は、記憶装置に記憶されたプログラムやデータなどにしたがって、上記した各装置などを制御する。また、入出力装置108は、各装置などの稼働にともなって取得されるデータの出力手段としても、機能する。
表示装置109は、各装置などの稼働状態などを表示する手段として機能する。
次に、前処理装置103について、図2を参照して説明する。図2は、前処理装置の要部の概略構成を示す説明図である。
支持枠75a及び支持枠75bは、図示省略したソケットを備えており、それぞれのソケットが互いに対向する状態で立設されている。紫外線ランプ74は、円柱形状を有し、円柱の両端から円柱形状の軸方向に、電極ピン(図示省略)が、突出している。紫外線ランプ74は、電極ピンが、支持枠75a及び支持枠75bに形成されたソケットに嵌合しており、支持枠75aと支持枠75bとの間に差し渡された状態で支持されている。本実施形態の前処理装置103は、6本の紫外線ランプ74を備えている。6本の紫外線ランプ74は、略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。
前処理装置103が、紫外線照射装置に相当する。紫外線ランプ74が、紫外線照射手段に相当する。反射板72が、反射手段に相当する。
給除材位置は、搬送ロボット102によって、描画対象物15などを、前処理テーブル71に給材又は前処理テーブル71から除材する位置である。給除材位置は、チャンバー本体61の外に設定されている。図2に示した前処理テーブル71は、給除材位置に位置しており、チャンバー本体61の外に位置している。
前処理位置は、前処理テーブル71に保持された描画対象物15などを、紫外線ランプ74に臨ませて紫外線を照射させる位置である。前処理位置は、チャンバー本体61の中に設定されている。テーブル搬送装置73は、前処理位置において、図示省略した回動装置によって前処理テーブル71を、矢印c1又は矢印c2で示した方向に回動させて、前処理テーブル71の載置面を、6本の紫外線ランプ74からなる壁に臨ませる。図2に二点差線で示した前処理テーブル71Aは、回動させられた前処理テーブル71を示している。紫外線を照射させた後は、前処理テーブル71Aを矢印d1又は矢印d2で示した方向に回動させて、水平状態に戻す。
なお、図2においては、図面を分かりやすくするために、前処理テーブル71と紫外線ランプ74とを、離して記載してある。実際の前処理装置103においては、前処理テーブル71及びテーブル搬送装置73は、描画対象物15などを、直近で紫外線ランプ74に臨ませるような位置に配設されている。
次に、紫外線ランプ74及び反射板72の配置位置について、図3を参照して説明する。図3は、紫外線ランプ及び反射板の配置位置を、チャンバーの断面とともに示す説明図である。図3(a)は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、紫外線ランプ及び反射板の配置位置を示す説明図であり、図3(b)は、紫外線ランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状と、紫外線ランプ及び反射板の配置位置と、を示す説明図である。
なお、図面を簡単にするために、図3(a)における紫外線ランプ74は、ガラス管の外形のみを示してある。図3に示したX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向は、図2に示したX軸方向、Y軸方向、又はZ軸方向と同じ方向である。
前処理装置103が備える反射板72を、鉛直方向における上側の反射板72から順に、反射板721、反射板722、反射板723、反射板724、反射板725、反射板726と表記する。
図3に示すように、排気孔63は、吸引ポンプ82に接続されている。吸引ポンプ82を稼働させることで、チャンバー本体61内の空気が、排気孔63を通って、排出される。チャンバー本体61内には、給気孔62を経由して給気開口62aから空気が流入し、排気孔63から排出された空気が補充される。チャンバー本体61内には、給気開口62aから排気孔63にいたる空気の流れが形成される。
排気孔63及び給気開口62aのチャンバー本体61内の開口形状は、紫外線ランプ74の延在方向(Y軸方向)に長い長方形形状を有している。給気開口62aから流入して排気孔63から流出する空気の流れの断面形状は、紫外線ランプ74の延在方向(Y軸方向)に長い形状になり易い。
次に、反射板72による、紫外線ランプ74から射出された紫外線の反射について、図4を参照して説明する。図4は、紫外線ランプから射出された紫外線の進行方向を示す説明図である。図4(a)は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、前処理装置の構成と紫外線の進行方向とを示す説明図であり、図4(b)は、紫外線ランプと反射板との位置関係及び紫外線の進行方向を示す部分拡大図である。
紫外線ランプ742から射出される紫外線の中で、紫外線光束L2と紫外線光束L4との間の紫外線、及び紫外線光束L3と紫外線光束L1との間の紫外線は、描画対象物15に照射されない。
ランプユニット74Aが備える他の紫外線ランプ74においても同様に、射出される紫外線の中で、一部の紫外線が、描画対象物15a又は描画対象物15bに照射され、一部の紫外線は、描画対象物15に照射されない。
図4に示したように、反射面72a及び反射面72bは、鉛直方向(Z軸方向)において上側(排気孔63に近い側)の端が、X軸方向においてユニット平面174から離れる(排気孔63に近くなる)方向に傾いている。
紫外線光束L11と紫外線光束L21との間で紫外線ランプ742から射出される紫外線は、紫外線光束L3と紫外線光束L1との間の紫外線に含まれており、反射板722の反射面72bに反射されない場合は、描画対象物15に照射されない紫外線である。
紫外線光束L31と紫外線光束L41との間で紫外線ランプ742から射出される紫外線は、紫外線光束L2と紫外線光束L4との間の紫外線に含まれており、反射板723の反射面72aに反射されない場合は、描画対象物15に照射されない紫外線である。
次に、反射板72による、給気開口62aから排気孔63にいたる空気の流れの、流動方向の誘導について、図5を参照して説明する。図5は、給気開口から排気孔にいたる空気の流れの、流動方向を示す説明図である。図5(a)は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、前処理装置の構成と給気開口から排気孔にいたる空気の流れの流動方向とを示す説明図であり、図5(b)は、紫外線ランプと反射板との位置関係及び空気の流動方向を示す部分拡大図である。
(1)前処理装置103が備える6本の紫外線ランプ74は、略鉛直方向に並んで、6本の円柱からなる壁のようになっている。この構成により、紫外線ランプ74の壁の両側においてそれぞれ壁に臨む位置に保持された描画対象物15に、同時に紫外線を照射することができる。
Claims (5)
- 紫外線を射出する紫外線射出手段と、
紫外線を反射する反射手段と、を備え、
前記紫外線射出手段と前記反射手段とは並列して配置されており、前記反射手段は、前記紫外線射出手段から前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向に射出されて前記反射手段に照射される紫外線を、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向と交差する方向に反射する反射面を備える、
ことを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記反射手段は、2個の前記反射面を備えることを特徴とする、請求項1に記載の紫外線照射装置。
- 内部空間に前記紫外線射出手段及び前記反射手段が配設されている装置筐体をさらに備え、
前記装置筐体は、前記内部空間に気体を流入させるための供給孔と、前記内部空間から気体を排出させるための排出孔と、を備え、
前記供給孔と前記排出孔とは、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、前記供給孔と前記排出孔との間に、前記紫外線射出手段及び前記反射手段を挟む位置に形成されており、
前記反射面は、一方の端がもう一方の端より、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、前記供給孔に近い位置に位置する方向に傾いている、
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載の紫外線照射装置。 - 前記紫外線射出手段は柱状の形状を有し、
前記供給孔及び前記排出孔の前記内部空間側の開口は、前記紫外線射出手段の柱状の形状における長手方向に長い形状を有する、
ことを特徴とする、請求項3に記載の紫外線照射装置。 - 前記反射手段は、前記反射面の面方向が、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向に対して、30度から60度の角度で傾いている姿勢で配設されていることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012070894A JP2013202429A (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 紫外線照射装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103962346A (zh) * | 2014-05-21 | 2014-08-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 可调整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004119942A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Japan Storage Battery Co Ltd | 紫外線照射装置 |
JP2004249076A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-09-09 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 脱臭装置 |
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2012
- 2012-03-27 JP JP2012070894A patent/JP2013202429A/ja not_active Withdrawn
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