JP2013202429A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】紫外線射出手段を一様に冷却して最適な紫外線射出手段の温度を実現するとともに、紫外線射出手段からの紫外線を効率的に反射して被照射体に効率的に紫外線を照射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射装置は、紫外線を射出する紫外線射出手段と、紫外線を反射する反射手段と、を備え、紫外線射出手段と反射手段とは並列して配置されており、反射手段は、紫外線射出手段から紫外線射出手段と反射手段との並び方向に射出されて反射手段に照射される紫外線を、紫外線射出手段と反射手段との並び方向と交差する方向に反射する反射面を備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、紫外線照射装置に関する。

従来から、光源から射出される紫外線を被処理部材に照射し、被処理部材を処理する紫外線照射装置が知られている。処理は、例えば被処理部材の表面の改質や、洗浄などである。多くの光源においては、紫外線が放射状に射出されるため、被処理部材が在る方向とは異なる方向に向かって放射される紫外線が存在し、当該紫外線は有効に使われない可能性が高い。また、多くの光源は、紫外線を射出するのに伴って自身が発熱する熱などによって温度が上昇する。温度が上昇することによって、光源は、紫外線の射出能力が低下したり、寿命が低下したりする場合が多かった。

特許文献１には、低圧水銀ランプと反射ミラーとを備える紫外線照射装置が開示されている。反射ミラーは、隣接する低圧水銀ランプの間に突出する突出反射部を備えている。反射ミラーは、また、低圧水銀ランプの長手方向に沿って複数の領域に分けられ、各領域に大きさの異なる排気孔が設けられている。特許文献１では、これらの構成によって、低圧水銀ランプを一様に冷却して最適な管壁温度を達成し、低圧水銀ランプからの紫外線を効率的に反射して被照射体に効率的に紫外線を照射できるとしている。

特開２００３−８６５７０号公報

しかしながら、特許文献１に開示された装置の構成では、排気孔の部分は紫外線を反射できないため、排気孔を設けることで、反射効率が低下するという課題があった。反射効率を上げるために排気孔を減らすと冷却効果が損なわれるという課題があった。すなわち、特許文献１に開示された構成では、低圧水銀ランプの充分な冷却と効率的な紫外線の反射との両方は、必ずしも実現できないという課題があった。すなわち、低圧水銀ランプを一様に冷却して最適な管壁温度を達成することと、低圧水銀ランプからの紫外線を効率的に反射して被照射体に効率的に紫外線を照射することとの両方は、必ずしも実現できないという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる紫外線照射装置は、紫外線を射出する紫外線射出手段と、紫外線を反射する反射手段と、を備え、前記紫外線射出手段と前記反射手段とは並列して配置されており、前記反射手段は、前記紫外線射出手段から前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向に射出されて前記反射手段に照射される紫外線を、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向と交差する方向に反射する反射面を備えることを特徴とする。

本適用例にかかる紫外線照射装置によれば、紫外線射出手段から紫外線射出手段と反射手段との並び方向に射出されて反射手段に照射される紫外線は、紫外線射出手段と反射手段との並び方向と交差する方向に反射される。並び方向と交差する方向に被照射部材を配置することによって、紫外線射出手段から並び方向と交差する方向に向けて射出された紫外線と、並び方向に射出されて反射手段によって反射された紫外線との両方を、被照射部材に照射することができる。また、並び方向と交差する方向における紫外線射出手段の両側に配置されたそれぞれの被照射部材に、並び方向と交差する方向に向けて射出された紫外線と、並び方向に射出されて反射手段によって反射された紫外線との両方を、照射することができる。すなわち、紫外線射出手段から射出された紫外線における被照射部材に照射される部分を増加させて、紫外線射出手段から射出された紫外線を、効率よく被照射部材に照射することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記反射手段は、２個の前記反射面を備えることが好ましい。

この紫外線照射装置によれば、反射手段が２個の反射面を備えるため、反射手段を紫外線射出手段と紫外線射出手段との間に配置して、それぞれの紫外線射出手段に臨んでいる反射面によって、当該紫外線射出手段から射出されて反射面に入射する紫外線を反射させることができる。紫外線射出手段と紫外線射出手段との間に２個の反射手段を配置する構成にくらべて、反射手段を配設することに起因して紫外線射出手段と紫外線射出手段との間が広くなることを抑制することができる。

［適用例３］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、内部空間に前記紫外線射出手段及び前記反射手段が配設されている装置筐体をさらに備え、前記装置筐体は、前記内部空間に気体を流入させるための供給孔と、前記内部空間から気体を排出させるための排出孔と、を備え、前記供給孔と前記排出孔とは、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、前記供給孔と前記排出孔との間に、前記紫外線射出手段及び前記反射手段を挟む位置に形成されており、前記反射面は、一方の端がもう一方の端より、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、前記供給孔に近い位置に位置する方向に傾いていることが好ましい。

この紫外線照射装置によれば、供給孔から内部空間に流入し、排出孔から排出される気体の温度を調整することによって、内部空間に配設されている紫外線射出手段の温度を調整（例えば、冷却）することができる。
紫外線射出手段と反射手段との並び方向に平行であって、紫外線射出手段及び反射手段と交差する仮想面を、並び面と表記する。供給孔と排出孔とは紫外線射出手段と反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、供給孔と排出孔との間に、紫外線射出手段及び反射手段を挟む位置に形成されている。すなわち、供給孔と排出孔とは、紫外線射出手段と反射手段との並び方向において、供給孔と排出孔との間に、紫外線射出手段及び反射手段を挟む位置に形成されているとともに、並び面を挟む位置に形成されている。したがって、供給孔から排出孔に向かう気体は、並び面と交差する経路を流動する。すなわち、供給孔から排出孔に向かう気体の流れは、並び面に位置する紫外線射出手段に吹き付けられ易い。気体が紫外線射出手段に吹き付けられることで、効率よく紫外線射出手段の温度を調整（冷却）することができる。
さらに、反射面は、一方の端がもう一方の端より、紫外線射出手段と反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、供給孔に近い位置に位置する方向に傾いている。この構成により、反射面に吹き付けられて反射面に沿って流動する気体は、紫外線射出手段と反射手段との並び方向において供給孔側から排出孔側に移動するとともに、並び面と交差する経路を流動する。紫外線射出手段と並べて配設された反射手段の反射面に沿って流動する気体が並び面と交差する経路を流動することで、当該気体を反射手段と並べて配設された紫外線射出手段に吹き付けられ易くすることができる。気体が紫外線射出手段に吹き付けられることで、効率よく紫外線射出手段の温度を調整（冷却）することができる。

［適用例４］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記紫外線射出手段は柱状の形状を有し、前記供給孔及び前記排出孔の前記内部空間側の開口は、前記紫外線射出手段の柱状の形状における長手方向に長い形状を有することが好ましい。

この紫外線照射装置によれば、供給孔及び排出孔の内部空間側の開口は、紫外線射出手段の柱状の形状における長手方向に長い形状を有している。このため、供給孔から流入して排出孔から流出する気体の流路の断面形状は、紫外線射出手段の柱状の形状における長手方向に長い形状になり易い。すなわち、流路の断面形状を、紫外線射出手段の形状に近い形状にし易くすることができる。言い換えると、流路の断面形状を、流路の断面と、当該断面に投影される紫外線射出手段の形状と、を効率よく重ねられる形状にすることができる。これにより、供給孔から流入して排出孔から流出する気体を、効率よく紫外線射出手段に当てることができる。

［適用例５］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記反射手段は、前記反射面の面方向が、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向に対して、３０度から６０度の角度で傾いている姿勢で配設されていることが好ましい。

この紫外線照射装置によれば、反射面の面方向は、紫外線射出手段と反射手段との並び方向に対して、３０度から６０度の角度で傾いている。反射面の当該傾き角度が９０度に近い方が、紫外線射出手段と反射手段との並び方向における、反射手段の両側の紫外線射出手段間の距離を短くすることができる。反射面の当該傾き角度が０度に近い方が、紫外線射出手段から射出されて反射面で反射された紫外線が、当該紫外線を射出した紫外線射出手段に照射される割合を小さくすることができる。反射面の当該傾き角度を、３０度から６０度にすることで、紫外線射出手段間の距離が長くなることを抑制するとともに、反射面で反射された紫外線が当該紫外線を射出した紫外線射出手段に照射される割合が増加することを抑制することができる。

描画装置ユニットの構成を示す説明図。 前処理装置の要部の概略構成を示す説明図。 （ａ）は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、紫外線ランプ及び反射板の配置位置を示す説明図。（ｂ）は、紫外線ランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状と、紫外線ランプ及び反射板の配置位置と、を示す説明図。 （ａ）は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、前処理装置の構成と紫外線の進行方向とを示す説明図。（ｂ）は、紫外線ランプと反射板との位置関係及び紫外線の進行方向を示す部分拡大図。 （ａ）は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、前処理装置の構成と給気開口から排気孔にいたる空気の流れの流動方向とを示す説明図。（ｂ）は、紫外線ランプと反射板との位置関係及び空気の流動方向を示す部分拡大図。

以下、本発明に係る紫外線照射装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態は、マーキング対象物にマーキング画像を形成する描画装置ユニットにおける前処理装置を例にして説明する。前処理装置は、マーキング対象物に紫外線を照射して、マーキング対象物における画像を形成する面を改質する装置である。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

＜描画装置ユニット＞
最初に、描画対象物に、画像を描画する描画装置ユニットについて、図１を参照して説明する。描画対象物は、例えば、半導体チップを保持基板の上に整列させて仮固定した、チップ描画体などである。図１は、描画装置ユニットの構成を示す説明図である。

図１に示したように、描画装置ユニット１００は、液滴吐出装置１０１と、搬送ロボット１０２と、前処理装置１０３と、温度調整装置１０４ａと、温度調整装置１０４ｂと、ロード装置１０５と、アンロード装置１０６と、描画ユニット制御装置１０７と、入出力装置１０８と、表示装置１０９と、を備えている。
描画対象物は、所定のマガジンに装着される。描画対象物が装着されたマガジンをロード装置１０５に装填することで、描画対象物が、描画装置ユニット１００に供給される。
描画装置ユニット１００における処理が終了した描画対象物は、アンロード装置１０６の待機テーブル上に移動され、アンロード装置１０６に装填されたマガジンに装着される。当該マガジンをアンロード装置１０６から取り出すことによって、処理済みの描画対象物が、描画装置ユニット１００から除材される。

搬送ロボット１０２は、ロード装置１０５に装填されたマガジンから取り出されて待機テーブル上に置かれた描画対象物を、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などにおける所定の位置に載置する。搬送ロボット１０２は、また、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などで処理された描画対象物を、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などから除材して、次の処理を実施する装置に供給する。搬送ロボット１０２は、さらに、描画装置ユニット１００における処理が終了した描画対象物を、アンロード装置１０６の待機テーブル上に移動させる。

液滴吐出装置１０１は、描画対象物に、画像を描画する。液滴吐出装置１０１は、搬送ロボット１０２によって、媒体載置台３１上に供給された描画対象物を吸着保持して、画像を描画する。

前処理装置１０３は、描画対象物を、液滴吐出装置１０１によって描画するために好適な状態にするための前処理を実施する。また、画像を構成する機能液を硬化させるための硬化光を照射する硬化装置として用いられる場合もある。前処理装置１０３は、搬送ロボット１０２によって、前処理テーブル７１上に供給された描画対象物を吸着保持して、前処理などを実施する。

温度調整装置１０４ａ及び温度調整装置１０４ｂは、描画対象物の温度を、前処理装置１０３による処理や、液滴吐出装置１０１による描画を実施するために好適な温度に調整する。また、画像を構成する機能液を硬化させるための加熱などの後処理を実施するために用いられる場合もある。

描画ユニット制御装置１０７は、画像データにしたがって、上記した各装置などを制御して、描画対象物に、画像を描画させる。
入出力装置１０８は、描画ユニット制御装置１０７に接続されている。入出力装置１０８は、描画ユニット制御装置１０７の記憶装置に記憶させるプログラムやデータなどを入力するための入力手段として機能する。描画ユニット制御装置１０７は、記憶装置に記憶されたプログラムやデータなどにしたがって、上記した各装置などを制御する。また、入出力装置１０８は、各装置などの稼働にともなって取得されるデータの出力手段としても、機能する。
表示装置１０９は、各装置などの稼働状態などを表示する手段として機能する。

＜前処理装置＞
次に、前処理装置１０３について、図２を参照して説明する。図２は、前処理装置の要部の概略構成を示す説明図である。

図２に示したように、前処理装置１０３は、チャンバー６０と、前処理テーブル７１と、反射板７２と、紫外線ランプ７４と、ランプ支持枠７５と、テーブル搬送装置７３と、装置基台７７と、吸引ポンプ８２と、給気温度調整装置８４と、を備えている。

チャンバー６０は、チャンバー本体６１を備えている。チャンバー本体６１は、略直方体の箱形状を有している。チャンバー本体６１は、箱形状の中の床面を構成する床壁６１１と、床面に対向する天面を構成する天壁６１２と、床壁６１１と天壁６１２とを接続する４枚の側壁６１４と、を備えている。天壁６１２には、排気孔６３が形成されている。床壁６１１には、給気孔６２が形成されている。なお、図２に示したチャンバー本体６１は、壁の厚さを省略して示している。チャンバー６０が、装置筐体に相当する。排気孔６３が、排出孔に相当する。

ランプ支持枠７５は、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとを備えている。支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂは、装置基台７７に立設されている。装置基台７７は、チャンバー本体６１の床壁６１１上に配設されている。装置基台７７には、床壁６１１に形成された給気孔６２に連通する給気開口６２ａが形成されている。給気孔６２と、給気開口６２ａとが、供給孔に相当する。
支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂは、図示省略したソケットを備えており、それぞれのソケットが互いに対向する状態で立設されている。紫外線ランプ７４は、円柱形状を有し、円柱の両端から円柱形状の軸方向に、電極ピン（図示省略）が、突出している。紫外線ランプ７４は、電極ピンが、支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂに形成されたソケットに嵌合しており、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとの間に差し渡された状態で支持されている。本実施形態の前処理装置１０３は、６本の紫外線ランプ７４を備えている。６本の紫外線ランプ７４は、略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。

反射板７２は、板状の長方形形状を有している。板状の両面には、反射面７２ａと反射面７２ｂとが形成されている。反射板７２の両側の短辺は、図示省略した取付部材を介して、それぞれ支持枠７５ａ又は支持枠７５ｂに固定されている。反射板７２は、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとの間に差し渡された状態で支持されている。反射板７２は、同様に支持枠７５ａと支持枠７５ｂとの間に差し渡された状態で支持されている紫外線ランプ７４の鉛直方向上方に位置しており、反射板７２と紫外線ランプ７４とは並んで配設されている。本実施形態の前処理装置１０３は、６個の反射板７２を備えている。６個の反射板７２は、６本の紫外線ランプ７４と、交互に略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。なお、図２では、紫外線ランプ７４を明示するために、反射板７２は、３個のみ示してある。反射板７２と紫外線ランプ７４との位置関係の詳細は、後述する。
前処理装置１０３が、紫外線照射装置に相当する。紫外線ランプ７４が、紫外線照射手段に相当する。反射板７２が、反射手段に相当する。

テーブル搬送装置７３は、紫外線ランプ７４の延在方向と略平行に延在している。前処理テーブル７１は、図２に矢印ａ及び矢印ｂで示したテーブル搬送装置７３の延在方向に移動可能に、テーブル搬送装置７３に支持されている。前処理装置１０３は、前処理テーブル７１とテーブル搬送装置７３とをそれぞれ２個備えており、前処理テーブル７１とテーブル搬送装置７３の組が、６本の紫外線ランプ７４からなる壁の両側にそれぞれ配設されている。

前処理テーブル７１は、載置面に吸着パッド７８が配設されている。吸着パッド７８の中央に形成された吸着孔は、図示省略した吸引装置に連通している。描画対象物１５などが前処理テーブル７１の載置面に載置されると、吸着パッド７８に接触して支持される。吸引装置によって吸引されることで、描画対象物１５などが吸着パッド７８に吸着されて、前処理テーブル７１に保持される。

テーブル搬送装置７３は、前処理テーブル７１を、給除材位置又は前処理位置に保持する。テーブル搬送装置７３は、また、前処理テーブル７１を、給除材位置と前処理位置との間で移動させる。
給除材位置は、搬送ロボット１０２によって、描画対象物１５などを、前処理テーブル７１に給材又は前処理テーブル７１から除材する位置である。給除材位置は、チャンバー本体６１の外に設定されている。図２に示した前処理テーブル７１は、給除材位置に位置しており、チャンバー本体６１の外に位置している。
前処理位置は、前処理テーブル７１に保持された描画対象物１５などを、紫外線ランプ７４に臨ませて紫外線を照射させる位置である。前処理位置は、チャンバー本体６１の中に設定されている。テーブル搬送装置７３は、前処理位置において、図示省略した回動装置によって前処理テーブル７１を、矢印ｃ１又は矢印ｃ２で示した方向に回動させて、前処理テーブル７１の載置面を、６本の紫外線ランプ７４からなる壁に臨ませる。図２に二点差線で示した前処理テーブル７１Ａは、回動させられた前処理テーブル７１を示している。紫外線を照射させた後は、前処理テーブル７１Ａを矢印ｄ１又は矢印ｄ２で示した方向に回動させて、水平状態に戻す。

前処理テーブル７１は、側壁６１４に形成された媒体入出口（図示省略）を通って、給除材位置と前処理位置との間を移動させられる。媒体入出口には、扉（図示省略）が配設されており、通常は、閉鎖されている。前処理テーブル７１が給除材位置と前処理位置との間を移動する際には、扉が開かれて、媒体入出口が開放される。
なお、図２においては、図面を分かりやすくするために、前処理テーブル７１と紫外線ランプ７４とを、離して記載してある。実際の前処理装置１０３においては、前処理テーブル７１及びテーブル搬送装置７３は、描画対象物１５などを、直近で紫外線ランプ７４に臨ませるような位置に配設されている。

＜紫外線ランプ及び反射板＞
次に、紫外線ランプ７４及び反射板７２の配置位置について、図３を参照して説明する。図３は、紫外線ランプ及び反射板の配置位置を、チャンバーの断面とともに示す説明図である。図３（ａ）は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、紫外線ランプ及び反射板の配置位置を示す説明図であり、図３（ｂ）は、紫外線ランプの延在方向に略平行な断面におけるチャンバーの断面形状と、紫外線ランプ及び反射板の配置位置と、を示す説明図である。
なお、図面を簡単にするために、図３（ａ）における紫外線ランプ７４は、ガラス管の外形のみを示してある。図３に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、図２に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、又はＺ軸方向と同じ方向である。

上述したように、前処理装置１０３は、６本の紫外線ランプ７４を備えている。紫外線ランプ７４は、円柱形状を有し、６本の紫外線ランプ７４は、略鉛直方向に並んで、６本の円柱からなる壁のようになっている。６本の紫外線ランプ７４を、ランプユニット７４Ａと表記する。６本の紫外線ランプ７４の円柱形状の中心軸を通る仮想平面をユニット平面１７４と表記する。ユニット平面１７４は、鉛直方向及び紫外線ランプ７４の延在方向に平行な面であって、Ｙ軸Ｚ軸平面に平行な面である。ランプユニット７４Ａが備える紫外線ランプ７４を、鉛直方向における上側の紫外線ランプ７４から順に、紫外線ランプ７４１、紫外線ランプ７４２、紫外線ランプ７４３、紫外線ランプ７４４、紫外線ランプ７４５、紫外線ランプ７４６と表記する。

上述したように、反射板７２は、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとの間に差し渡された状態で支持されている。反射板７２は、同様に支持枠７５ａと支持枠７５ｂとの間に差し渡された状態で支持されている紫外線ランプ７４の鉛直方向上方に位置しており、反射板７２と紫外線ランプ７４とは並んで配設されている。６個の反射板７２は、６本の紫外線ランプ７４と、交互に略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。６個の反射板７２と、６本の紫外線ランプ７４との並び方向は、鉛直方向である。鉛直方向が、紫外線射出手段と反射手段との並び方向に相当する。
前処理装置１０３が備える反射板７２を、鉛直方向における上側の反射板７２から順に、反射板７２１、反射板７２２、反射板７２３、反射板７２４、反射板７２５、反射板７２６と表記する。

反射板７２は、板状の長方形形状を有しており、長方形の短辺方向が、ユニット平面１７４に対して傾いている。すなわち、反射板７２が備える反射面７２ａ及び反射面７２ｂは、ユニット平面１７４に対して傾いている。反射面７２ａ及び反射面７２ｂは、Ｘ軸方向において排気孔６３に近い方の端が、Ｚ軸方向においても排気孔６３に近くなるように傾いている。言い換えると、反射面７２ａ及び反射面７２ｂは、Ｘ軸方向において給気開口６２ａに近い方の端が、Ｚ軸方向においても給気開口６２ａに近くなるように傾いている。

上述したように、チャンバー本体６１の天壁６１２には、排気孔６３が形成されており、床壁６１１には、給気孔６２が形成されており、装置基台７７には、給気孔６２に連通する給気開口６２ａが形成されている。
図３に示すように、排気孔６３は、吸引ポンプ８２に接続されている。吸引ポンプ８２を稼働させることで、チャンバー本体６１内の空気が、排気孔６３を通って、排出される。チャンバー本体６１内には、給気孔６２を経由して給気開口６２ａから空気が流入し、排気孔６３から排出された空気が補充される。チャンバー本体６１内には、給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気の流れが形成される。

排気孔６３と給気開口６２ａとは、ユニット平面１７４を間に挟む位置に形成されている。また、排気孔６３と給気開口６２ａとは、鉛直方向において、間にランプユニット７４Ａを挟む位置に形成されている。このため、給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気の流れは、ユニット平面１７４と交差して流れる。すなわち、給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気は、ランプユニット７４Ａを横切って流れ、その際に、紫外線ランプ７４に吹き付けられる。
排気孔６３及び給気開口６２ａのチャンバー本体６１内の開口形状は、紫外線ランプ７４の延在方向（Ｙ軸方向）に長い長方形形状を有している。給気開口６２ａから流入して排気孔６３から流出する空気の流れの断面形状は、紫外線ランプ７４の延在方向（Ｙ軸方向）に長い形状になり易い。

給気温度調整装置８４は、気体の温度を調整する装置であり、チャンバー６０とは別に設けられている。給気温度調整装置８４における、温度を調整した気体が放出される放出管８４ａは、チャンバー本体６１の外側で、給気孔６２に臨んで開口している。放出管８４ａから放出される空気の大部分は、給気孔６２から、給気開口６２ａを通って、チャンバー本体６１内に流入する。給気開口６２ａからチャンバー本体６１内に流入する空気の大部分は、給気温度調整装置８４によって温度が調整された空気である。

＜反射板による紫外線の反射＞
次に、反射板７２による、紫外線ランプ７４から射出された紫外線の反射について、図４を参照して説明する。図４は、紫外線ランプから射出された紫外線の進行方向を示す説明図である。図４（ａ）は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、前処理装置の構成と紫外線の進行方向とを示す説明図であり、図４（ｂ）は、紫外線ランプと反射板との位置関係及び紫外線の進行方向を示す部分拡大図である。

図４に矢印で示した紫外線光束Ｌ１などは、紫外線ランプ７４から射出される紫外線の光束である。紫外線光束Ｌ１は、紫外線ランプ７４２から射出されて、前処理位置にある描画対象物１５（以降この描画対象物１５を、描画対象物１５ａと表記することがある。）の鉛直方向の上端付近に照射される光束である。紫外線光束Ｌ２は、紫外線ランプ７４２から射出されて、描画対象物１５ａの鉛直方向の下端付近に照射される光束である。紫外線ランプ７４から射出される紫外線の中で、紫外線光束Ｌ１と紫外線光束Ｌ２との間の紫外線は、前処理位置にある描画対象物１５ａに照射される。同様に、紫外線ランプ７４２から射出される紫外線の中で、紫外線光束Ｌ３と紫外線光束Ｌ４との間の紫外線は、紫外線光束Ｌ１などが照射される描画対象物１５ａとは反対側の前処理位置に位置する描画対象物１５（以降この描画対象物１５を、描画対象物１５ｂと表記することがある。）に照射される。
紫外線ランプ７４２から射出される紫外線の中で、紫外線光束Ｌ２と紫外線光束Ｌ４との間の紫外線、及び紫外線光束Ｌ３と紫外線光束Ｌ１との間の紫外線は、描画対象物１５に照射されない。

紫外線ランプ７４２から射出される紫外線と同様に、紫外線ランプ７４４から射出される紫外線の中で、紫外線光束Ｌ５と紫外線光束Ｌ６との間の紫外線、及び紫外線光束Ｌ７と紫外線光束Ｌ８との間の紫外線が、描画対象物１５ａ又は描画対象物１５ｂに照射される。紫外線ランプ７４２から射出される紫外線の中で、紫外線光束Ｌ６と紫外線光束Ｌ８との間の紫外線、及び紫外線光束Ｌ７と紫外線光束Ｌ５との間の紫外線は、描画対象物１５に照射されない。
ランプユニット７４Ａが備える他の紫外線ランプ７４においても同様に、射出される紫外線の中で、一部の紫外線が、描画対象物１５ａ又は描画対象物１５ｂに照射され、一部の紫外線は、描画対象物１５に照射されない。

上述したように、反射板７２が備える反射面７２ａ及び反射面７２ｂは、ユニット平面１７４に対して傾いている。反射板７２の鉛直方向の上側の面が反射面７２ａであり、下側の面が反射面７２ｂである。
図４に示したように、反射面７２ａ及び反射面７２ｂは、鉛直方向（Ｚ軸方向）において上側（排気孔６３に近い側）の端が、Ｘ軸方向においてユニット平面１７４から離れる（排気孔６３に近くなる）方向に傾いている。

紫外線光束Ｌ１１は、紫外線ランプ７４２から射出されて、反射板７２２の反射面７２ｂの鉛直方向の下側の端付近に照射されて、反射される。紫外線光束Ｌ１１が反射板７２２の反射面７２ｂに反射された紫外線光束Ｌ１２は、描画対象物１５ａに照射される。紫外線光束Ｌ２１は、紫外線ランプ７４２から射出されて、反射板７２２の反射面７２ｂの鉛直方向の上側の端付近に照射されて、反射される。紫外線光束Ｌ２１が反射板７２２の反射面７２ｂに反射された紫外線光束Ｌ２２も、描画対象物１５ａに照射される。紫外線光束Ｌ１１と紫外線光束Ｌ２１との間で紫外線ランプ７４２から射出される紫外線は、反射板７２２の反射面７２ｂに反射されて、描画対象物１５ａに照射される。
紫外線光束Ｌ１１と紫外線光束Ｌ２１との間で紫外線ランプ７４２から射出される紫外線は、紫外線光束Ｌ３と紫外線光束Ｌ１との間の紫外線に含まれており、反射板７２２の反射面７２ｂに反射されない場合は、描画対象物１５に照射されない紫外線である。

同様に、紫外線光束Ｌ３１は、紫外線ランプ７４２から射出されて、反射板７２３の反射面７２ａの鉛直方向の上側の端付近に照射されて、反射される。紫外線光束Ｌ３１が反射板７２３の反射面７２ａに反射された紫外線光束Ｌ３２は、描画対象物１５ｂに照射される。紫外線光束Ｌ４１は、紫外線ランプ７４２から射出されて、反射板７２３の反射面７２ａの鉛直方向の下側の端付近に照射されて、反射される。紫外線光束Ｌ４１が反射板７２３の反射面７２ａに反射された紫外線光束Ｌ４２も、描画対象物１５ｂに照射される。紫外線光束Ｌ３１と紫外線光束Ｌ４１との間で紫外線ランプ７４２から射出される紫外線は、反射板７２３の反射面７２ａに反射されて、描画対象物１５ｂに照射される。
紫外線光束Ｌ３１と紫外線光束Ｌ４１との間で紫外線ランプ７４２から射出される紫外線は、紫外線光束Ｌ２と紫外線光束Ｌ４との間の紫外線に含まれており、反射板７２３の反射面７２ａに反射されない場合は、描画対象物１５に照射されない紫外線である。

紫外線ランプ７４１、紫外線ランプ７４３、紫外線ランプ７４４、紫外線ランプ７４５、及び紫外線ランプ７４６から射出される紫外線も同様に、反射板７２１、反射板７２２、反射板７２３、反射板７２４、反射板７２５、又は反射板７２６によって反射させることによって、描画対象物１５に照射させることができる。

反射面７２ａ及び反射面７２ｂのユニット平面１７４に対する傾きは、小さいほうが、紫外線ランプ７４から射出されて反射板７２に照射される紫外線が、紫外線ランプ７４の方に反射され難い。しかし、傾きが小さいと、紫外線ランプ７４のＸ軸方向の幅に対応する反射板７２のＸ軸方向の幅を実現するために、反射板７２のＺ軸方向の幅を広くすることが必要になる。すなわち、紫外線ランプ７４の間隔を広くすることが必要になる。紫外線ランプ７４の間隔を広くすると、ランプユニット７４Ａが大きくなったり、紫外線の照射密度が低下したりする。市外線が紫外線ランプ７４の方に反射されることを抑制するとともに、紫外線ランプ７４の間隔が広くなることを抑制するために、反射面７２ａ及び反射面７２ｂのユニット平面１７４に対する傾きは、３０度から６０度であることが好ましい。

＜反射板による空気の流動方向＞
次に、反射板７２による、給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気の流れの、流動方向の誘導について、図５を参照して説明する。図５は、給気開口から排気孔にいたる空気の流れの、流動方向を示す説明図である。図５（ａ）は、紫外線ランプの延在方向に直交する断面において、前処理装置の構成と給気開口から排気孔にいたる空気の流れの流動方向とを示す説明図であり、図５（ｂ）は、紫外線ランプと反射板との位置関係及び空気の流動方向を示す部分拡大図である。

上述したように、吸引ポンプ８２を稼働させることで、チャンバー本体６１内の空気が、排気孔６３を通って排出され、チャンバー本体６１内には、給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気の流れが形成される。排気孔６３と給気開口６２ａとは、間にユニット平面１７４を挟む位置に形成されている。また、排気孔６３と給気開口６２ａとは、鉛直方向において、間にランプユニット７４Ａを挟む位置に形成されている。このため、給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気の流れは、ユニット平面１７４と交差して流れる。給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気の流れの方向は、流動する空気全体としては、図５（ａ）に矢印Ｆで示したような、給気開口６２ａから排気孔６３に向かう方向である。

給気開口６２ａからランプユニット７４Ａにいたる空気の流れの方向は、図５（ｂ）に矢印ｆ１で示したような方向である。ランプユニット７４Ａの紫外線ランプ７４の鉛直方向上方には、反射板７２が配設されている。矢印ｆ１で示したような方向に流動してきた空気は、反射板７２に遮られるため、反射板７２の反射面７２ｂに沿って、矢印ｆ２で示した方向に流動する。反射板７２と反射板７２との間を矢印ｆ２で示した方向に流動する空気に対して、反射板７２と反射板７２との間に配設されている紫外線ランプ７４は、空気の流動を阻害する障害物である。したがって、反射板７２と反射板７２との間を流動する空気は、反射板７２と反射板７２との間に配設されている紫外線ランプ７４に吹き付けられる。ランプユニット７４Ａを通過した空気は、矢印ｆ３で示したような、排気孔６３に向かう方向に流動する。

反射面７２ａ及び反射面７２ｂのユニット平面１７４に対する傾きは、小さいほうが、空気を紫外線ランプ７４の方に導き易い。しかし、傾きが小さいと、紫外線ランプ７４のＸ軸方向の幅に対応する反射板７２のＸ軸方向の幅を実現するために、反射板７２のＺ軸方向の幅を広くすることが必要になる。すなわち、紫外線ランプ７４の間隔を広くすることが必要になる。紫外線ランプ７４の間隔を広くすると、ランプユニット７４Ａが大きくなったり、紫外線の照射密度が低下したりする。空気を紫外線ランプ７４のほうに効率よく導くとともに、紫外線ランプ７４の間隔が広くなることを抑制するために、反射面７２ａ及び反射面７２ｂのユニット平面１７４に対する傾きは、３０度から６０度であることが好ましい。

以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）前処理装置１０３が備える６本の紫外線ランプ７４は、略鉛直方向に並んで、６本の円柱からなる壁のようになっている。この構成により、紫外線ランプ７４の壁の両側においてそれぞれ壁に臨む位置に保持された描画対象物１５に、同時に紫外線を照射することができる。

（２）紫外線ランプ７４に対して、Ｚ軸方向に並べて反射板７２が配設されている。また、反射板７２は、板状の長方形形状を有しており、反射板７２の反射面７２ａ及び反射面７２ｂは、長方形の短辺方向が、ユニット平面１７４に対して傾いている。この構成により、紫外線ランプ７４から射出される紫外線の中の、進行方向がＺ軸方向などであって、描画対象物１５に照射されない紫外線の一部を、反射板７２で反射することによって、描画対象物１５に照射させることができる。

（３）反射板７２は、Ｚ軸方向に並べて配設されている紫外線ランプ７４の間に配設されている。この構成により、紫外線ランプ７４から射出された紫外線を反射板７２で反射することによって、紫外線ランプ７４から射出された紫外線が並べて配設された隣の紫外線ランプ７４に照射されることを抑制することができる。

（４）排気孔６３は天壁６１２に形成されており、給気孔６２は床壁６１１に形成されており、給気開口６２ａは給気孔６２に連通している。また、排気孔６３と給気開口６２ａ（給気孔６２）とは、ユニット平面１７４を間に挟む位置に形成されている。この構成により、給気開口６２ａから排気孔６３に流れる空気を、ランプユニット７４Ａを横切って流動させ、その際に、紫外線ランプ７４に吹き付けられるようにすることができる。

（５）反射板７２の反射面７２ａ及び反射面７２ｂは、Ｘ軸方向において給気開口６２ａに近い方の端が、Ｚ軸方向においても給気開口６２ａに近くなるように傾いている。このため、給気開口６２ａから流動してきた空気は、反射面７２ｂの端に当たると、反射面７２ｂに沿う方向に誘導される。空気を反射面７２ｂに沿うように流動させることで、当該空気を、反射板７２と並べて配設されている紫外線ランプ７４に吹きつけ易くすることができる。

（６）排気孔６３は、吸引ポンプ８２に接続されている。吸引ポンプ８２を稼働させることで、チャンバー本体６１内の空気が、排気孔６３を通って、排出される。チャンバー本体６１内には、給気孔６２を経由して給気開口６２ａから空気が流入し、排気孔６３から排出された空気が補充される。これにより、チャンバー本体６１内に、給気開口６２ａから排気孔６３にいたる空気の流れを形成することができる。

（７）給気温度調整装置８４における、温度を調整した気体が放出される放出管８４ａは、チャンバー本体６１の外側で、給気孔６２に臨んで開口している。この構成により、給気温度調整装置８４によって、給気孔６２を介してチャンバー本体６１内に供給される空気の温度を調整することができる。たとえば、給気温度調整装置８４によって、チャンバー本体６１内に供給される空気の温度を低くすることで、紫外線ランプ７４を冷却し易くすることができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、反射板７２は、反射面７２ａ及び反射面７２ｂを備えていた。しかし、反射手段が備える反射面が２個であることは必須ではない。反射手段が備える反射面は、１個であってもよい。

（変形例２）前記実施形態においては、前処理装置１０３は、６個の紫外線ランプ７４に対応して６個の反射板７２を備えていた。しかし、紫外線照射装置が備える反射手段は何個であってもよい。紫外線照射装置が備える紫外線射出手段の数がｎの場合、例えば、ｎ＋１個の反射手段を配設して、全ての紫外線射出手段の両側に反射手段が位置するように配置してもよい。あるいは、２ｎ個の反射手段を配設して、全ての紫外線射出手段ごとに２個の反射手段を配置してもよい。

（変形例３）前記実施形態においては、紫外線ランプ７４や反射板７２を内部に収容しているチャンバー６０を備えていた。しかし、紫外線照射装置が、内部空間に紫外線射出手段及び反射手段が配設されている装置筐体を備えることは必須ではない。紫外線照射装置は、紫外線射出手段や反射手段が配設されている空間が開放された空間であってもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、排気孔６３が天壁６１２に形成されており、給気孔６２が床壁６１１に形成されており、給気孔６２に連通する給気開口６２ａが装置基台７７に形成されていた。しかし、装置筐体が、内部空間に気体を流入させるための供給孔と、内部空間から気体を排出させるための排出孔とを備えることは必須ではない。装置筐体は、内部空間の気体を入れ替えるための供給孔や排出孔を特に備えない構成であってもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、前処理装置１０３は、６本の紫外線ランプ７４を備えていた。しかし、紫外線照射装置が備える紫外線射出手段は６個に限定されない、紫外線照射装置が備える紫外線射出手段は、何個であってもよい。

（変形例６）前記実施形態においては、紫外線ランプ７４及び反射板７２の並び方向は鉛直方向であった。しかし、紫外線射出手段と反射手段との並び方向が鉛直方向であることは必須ではない。紫外線射出手段と反射手段との並び方向は、例えば水平方向などであってもよい。

（変形例７）前記実施形態においては、紫外線ランプ７４は直管形状の外形形状を有していたが、紫外線射出手段の外形形状は直管形状に限らない。紫外線射出手段の外形形状は、例えば、直管の中央が１８０度曲げられたＵ字形状形などであってもよい。この場合、１個の紫外線射出手段におけるＵ字形状形の空間部分にも、反射手段を配設してもよい。

（変形例８）前記実施形態においては、前処理装置１０３は、描画対象物に、画像を描画する描画装置ユニット１００において、描画対象物に前処理や後処理を実施するための紫外線照射装置であった。しかし、上記実施形態で説明したような紫外線照射装置が好適に紫外線を照射できる対象物は、描画対象物に限らない。紫外線照射装置は、半導体の製造装置や液晶装置の製造装置における、半導体基板や液晶表示装置の基板の表面改質装置や表面洗浄装置としての紫外線照射装置であってもよい。

（変形例９）前記実施形態においては、前処理装置１０３は、排気孔６３に接続された吸引ポンプ８２を備えていた。しかし、紫外線照射装置が装置筐体内の気体を流動させるために吸引ポンプのような装置を備えることは必須ではない。供給孔から気体を送り込む送風装置を備える構成であってもよい。あるいは、吸引ポンプや送風装置などを設けることなく、自然対流によって温度を調整する構成であってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、前処理装置１０３は、給気温度調整装置８４を備えており、給気孔６２を介してチャンバー本体６１内に供給される空気の温度を調整していた。しかし、装置筐体内に供給する気体の温度を調整することは必須ではない。紫外線照射装置は、紫外線照射装置の周囲の気体を、温度を調整することなく装置筐体内に供給する構成であってもよい。

１５，１５ａ，１５ｂ…描画対象物、６０…チャンバー、６１…チャンバー本体、６２…給気孔、６２ａ…給気開口、６３…排気孔、７１…前処理テーブル、７１Ａ…前処理テーブル、７２…反射板、７２ａ…反射面、７２ｂ…反射面、７４…紫外線ランプ、７４Ａ…ランプユニット、７５…ランプ支持枠、７７…装置基台、８２…吸引ポンプ、８４…給気温度調整装置、１００…描画装置ユニット、１０１…液滴吐出装置、１０２…搬送ロボット、１０３…前処理装置、１０５…ロード装置、１０６…アンロード装置、１０７…描画ユニット制御装置、１７４…ユニット平面、６１１…床壁、６１２…天壁、６１４…側壁、７２１，７２２，７２３，７２４，７２５，７２６…反射板、７４１，７４２，７４３，７４４，７４５，７４６…紫外線ランプ、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ２１，Ｌ２２，Ｌ３１，Ｌ３２，Ｌ４１，Ｌ４２…紫外線光束。

Claims (5)

1. 紫外線を射出する紫外線射出手段と、
   紫外線を反射する反射手段と、を備え、
   前記紫外線射出手段と前記反射手段とは並列して配置されており、前記反射手段は、前記紫外線射出手段から前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向に射出されて前記反射手段に照射される紫外線を、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向と交差する方向に反射する反射面を備える、
   ことを特徴とする紫外線照射装置。
2. 前記反射手段は、２個の前記反射面を備えることを特徴とする、請求項１に記載の紫外線照射装置。
3. 内部空間に前記紫外線射出手段及び前記反射手段が配設されている装置筐体をさらに備え、
   前記装置筐体は、前記内部空間に気体を流入させるための供給孔と、前記内部空間から気体を排出させるための排出孔と、を備え、
   前記供給孔と前記排出孔とは、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、前記供給孔と前記排出孔との間に、前記紫外線射出手段及び前記反射手段を挟む位置に形成されており、
   前記反射面は、一方の端がもう一方の端より、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向及び並び方向と交差する方向において、前記供給孔に近い位置に位置する方向に傾いている、
   ことを特徴とする、請求項１又は２に記載の紫外線照射装置。
4. 前記紫外線射出手段は柱状の形状を有し、
   前記供給孔及び前記排出孔の前記内部空間側の開口は、前記紫外線射出手段の柱状の形状における長手方向に長い形状を有する、
   ことを特徴とする、請求項３に記載の紫外線照射装置。
5. 前記反射手段は、前記反射面の面方向が、前記紫外線射出手段と前記反射手段との並び方向に対して、３０度から６０度の角度で傾いている姿勢で配設されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。

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