JP5825546B2 - 露光装置用光照射装置 - Google Patents
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Description
特許文献2の光照射装置には、光源が、光出射口を有する支持体に互いに離間して固定され、離間する各光源間に隣接する光源への光を遮断する隔離壁を設け、冷却媒体を流通させるための流路を備えた冷却ブロックを隔離壁に当接させることが記載されている。
特許文献3の光照射器には、シャッタミラー全体の冷却効率を上げるために、ミラー保持枠のミラーに複数の放熱用の冷却フィンが設けられることが記載されている。
また、特許文献2の光照射装置によれば、それぞれの光源を冷却する効果を十分に得ることができない。
また、特許文献3の光照射器によれば、ミラーに冷却フィンが設けられている構造のため、ランプの交換に時間がかかる虞があった。
(1) 発光部と該発光部から発生された光に指向性をもたせて射出する反射光学系をそれぞれ含む複数の光源部と、
所定数の前記光源部をそれぞれ取り付け可能なカセットと、
を備え、
前記カセットには、その前面側外周縁に沿って複数の放熱フィンが設けられ、且つ、前記光源部と重ならない位置において前記カセットの内部と外部とを連通する複数の冷却孔が設けられ、
前記カセットには、前記冷却孔と連通するように、冷却媒体を導入するための冷却管が密封部材を介して接続されている
ことを特徴とする露光装置用光照射装置。
(2) 複数の前記カセットを取り付け可能な支持体を備え、
該支持体には、その前面側外周縁に沿って複数の他の放熱フィンがさらに設けられる
ことを特徴とする(1)に記載の露光装置用光照射装置。
(3) 前記各冷却孔の断面積は、200mm2〜500mm2である
ことを特徴とする(1)又は(2)に記載の露光装置用光照射装置。
(4) 前記冷却媒体は水である
ことを特徴とする(1)〜(3)の何れか1項に記載の露光装置用光照射装置。
めることが可能となる。
先ず、本実施形態の露光装置用光照射装置が適用される分割逐次近接露光装置について説明する。図1及び図2に示すように、第1実施形態の分割逐次近接露光装置PEは、マスクMを保持するマスクステージ10と、ガラス基板(被露光材)Wを保持する基板ステージ20と、パターン露光用の光を照射する照明光学系70と、を備えている。
なお、ランプ押さえカバー84は、複数の支持体により構成される骨組構造とし、該支持体に連通孔や連通溝が形成されたカバー板を別途取り付けることで、連通孔や連通溝を構成するようにしてもよい。
よってランプ71を定格の寿命時間使用したかどうか確認できるもの、或いは、ランプ71の使用時間が確認できるようにしてもよい。
次に、露光装置用光照射装置の第2実施形態について図16及び図17を参照して説明する。なお、第1実施形態と同一または同等部分については同一符号又は相当符号を付して、説明を簡略化又は省略する。
72 反射鏡(反射光学系)
73 光源部
79 ブロアユニット(吸引手段)
80 露光装置用光照射装置
81 カセット
82 支持体
83 光源支持部
83c 冷却孔
83d 前面側外周縁
91b 前面側外周縁
101 放熱フィン
102 放熱フィン
110 冷却管
112 密封部材
Claims (4)
- 発光部と該発光部から発生された光に指向性をもたせて射出する反射光学系をそれぞれ含む複数の光源部と、
所定数の前記光源部をそれぞれ取り付け可能なカセットと、
を備え、
前記カセットには、その前面側外周縁に沿って複数の放熱フィンが設けられ、且つ、前記光源部と重ならない位置において前記カセットの内部と外部とを連通する複数の冷却孔が設けられ、
前記カセットには、前記冷却孔と連通するように、冷却媒体を導入するための冷却管が密封部材を介して接続されている
ことを特徴とする露光装置用光照射装置。 - 複数の前記カセットを取り付け可能な支持体を備え、
該支持体には、その前面側外周縁に沿って複数の他の放熱フィンがさらに設けられる
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置用光照射装置。 - 前記各冷却孔の断面積は、200mm2〜500mm2である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置用光照射装置。 - 前記冷却媒体は水である
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の露光装置用光照射装置。
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JP2011040756A JP5825546B2 (ja) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | 露光装置用光照射装置 |
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JP2012177799A JP2012177799A (ja) | 2012-09-13 |
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