JP2016170430A - メンテナンス方法 - Google Patents
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Abstract
Description
照明装置ILは、照明領域に配置されたマスクMの一部分を、均一な照度分布の露光光ELで照明する。
図2及び図3に示すように、第1遮光部材31Aは、内部空間30において、第3給気部43と対向するように、且つ、第3給気部43を塞がないように、保持本体部28と楕円鏡2との間に配置される。本実施形態において、第3給気部43に面する第1遮光部材31Aの第1面311の上端は、第3給気部43の上端近傍の保持本体部28の内面に接続され、第1面311の下端は、第3給気部43(保持本体部28の内面)から離れた位置に配置される。
本実施形態において、第1面311と間隙を介して対向する第2遮光部材31Bの第2面312の上端は、第3給気部43の下端近傍の保持本体部28の内面に接続され、第2面312の下端は、プレート部29の上面に接続される。
これにより、第2口金部1Bが保持機構21に固定されていない状態で、支持部材24をハウジング部材22に収容してしまった場合でも、支持部材24(保持機構21)の移動に伴って、第2口金部1Bが保持機構21に固定されるように、回転レバー55を作動することができる。したがって、第2口金部1Bが保持機構21に固定されていない状態で、ランプ1に電力を供給してしまうといった不具合の発生を抑制できる。
ケーブル26が加熱してしまうと、第1口金部1Aに供給される気体の温度が上昇してしまい、第1口金部1Aを冷却することが困難となる可能性がある。本実施形態においては、第2給気部42が導く気体によってケーブル26が冷却されるので、第1口金部1Aに供給される気体の温度上昇も未然に防ぐことができる。
各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
Claims (1)
- ランプから発した光を射出する光源装置のメンテナンス方法であって、
第1ランプに対する電力の供給を停止して前記第1ランプを消灯することと、
電力供給のために前記第1ランプに接続されたケーブルを前記第1ランプから外すことと、
前記第1ランプを保持してハウジング部材の内部に収容された保持機構を、前記ハウジング部材に設けられた開口部を介して、前記ハウジング部材の外部に出すことと、
前記保持機構に対して固定された前記第1ランプの固定状態を解除することと、
前記固定状態が解除された前記第1ランプを前記保持機構から取り外すことと、
第2ランプを前記保持機構に固定し、前記第2ランプが固定された前記保持機構を前記ハウジング部材の内部に収容することと、
前記第2ランプに前記ケーブルを接続することと、
前記ケーブルを介して前記第2ランプに電力を供給して前記第2ランプを点灯させることと、
前記第2ランプからの光が照射される前記ケーブルの少なくとも一部に、前記ケーブルの外面に対向する位置に配置され、かつ気体供給装置と接続された給気口から、前記気体供給装置の気体を導くことと、
を含むメンテナンス方法。
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