JP6645532B2 - 光源装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
照明装置ILは、照明領域に配置されたマスクMの一部分を、均一な照度分布の露光光ELで照明する。
図2及び図3に示すように、第1遮光部材31Aは、内部空間30において、第3給気部43と対向するように、且つ、第3給気部43を塞がないように、保持本体部28と楕円鏡2との間に配置される。本実施形態において、第3給気部43に面する第1遮光部材31Aの第1面311の上端は、第3給気部43の上端近傍の保持本体部28の内面に接続され、第1面311の下端は、第3給気部43(保持本体部28の内面)から離れた位置に配置される。
本実施形態において、第1面311と間隙を介して対向する第2遮光部材31Bの第2面312の上端は、第3給気部43の下端近傍の保持本体部28の内面に接続され、第2面312の下端は、プレート部29の上面に接続される。
これにより、第2口金部1Bが保持機構21に固定されていない状態で、支持部材24をハウジング部材22に収容してしまった場合でも、支持部材24(保持機構21)の移動に伴って、第2口金部1Bが保持機構21に固定されるように、回転レバー55を作動することができる。したがって、第2口金部1Bが保持機構21に固定されていない状態で、ランプ1に電力を供給してしまうといった不具合の発生を抑制できる。
ケーブル26が加熱してしまうと、第1口金部1Aに供給される気体の温度が上昇してしまい、第1口金部1Aを冷却することが困難となる可能性がある。本実施形態においては、第2給気部42が導く気体によってケーブル26が冷却されるので、第1口金部1Aに供給される気体の温度上昇も未然に防ぐことができる。
各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
Claims (10)
- ランプを着脱可能に保持する保持部と、
前記ランプが発光する光を反射させる反射鏡と、
前記反射鏡のうち、前記ランプからの光を反射する第1面を冷却する気体を供給する第1給気部と、
前記ランプが有する第2口金部に接続され前記ランプへ電力供給するために接続されたケーブルの外面を冷却する気体を供給する第2給気部と、
前記反射鏡のうち、前記第1面とは異なる第2面を冷却する気体を供給する第3給気部と、を備え、
前記第3給気部から前記第2面に供給された気体が前記保持部側へ排出される光源装置。 - 前記第3給気部が設けられ、前記反射鏡を保持する保持部材と、
前記保持部が設けられ、前記保持部材を着脱可能に支持する支持部材と、を備え、
前記保持部材は、前記支持部材を流れた気体が、前記第3給気部に供給されるように、前記支持部材に対して位置合わせされる請求項1に記載の光源装置。 - 前記保持部材は、前記第2面を冷却した気体を前記支持部材側へ排出する排気口を有する請求項2に記載の光源装置。
- 前記保持部材は、前記第3給気部から供給された気体が前記第2面に沿って流れるように、前記気体の流れをガイドするガイド部材を有する請求項2または3に記載の光源装置。
- 前記第1給気部は、前記反射鏡の前記第1面に対向するように設けられる請求項1から4の何れか一項に記載の光源装置。
- 前記第2給気部は、前記第1面により反射された光が照射された前記ケーブルの外面と対向するように設けられる請求項1から5の何れか一項に記載の光源装置。
- マスクに形成されたパターンを介して感光基板を露光する露光装置であって、
請求項1から6の何れか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置に装着された前記ランプからの発光光によって前記パターンを照明する照明装置と、を備える露光装置。 - 前記照明装置によって照明された前記パターンの像を投影する投影光学系を備え、
前記感光基板は、前記投影光学系を介して露光される請求項7に記載の露光装置。 - 前記感光基板は、フラットパネルディスプレイに用いられる請求項7又は8に記載の露光装置。
- 請求項7から9の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記感光基板を露光することと、
露光された前記感光基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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