JPH0729081B2 - 光照射装置 - Google Patents
光照射装置Info
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- JPH0729081B2 JPH0729081B2 JP22843387A JP22843387A JPH0729081B2 JP H0729081 B2 JPH0729081 B2 JP H0729081B2 JP 22843387 A JP22843387 A JP 22843387A JP 22843387 A JP22843387 A JP 22843387A JP H0729081 B2 JPH0729081 B2 JP H0729081B2
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- light
- light irradiation
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はショートアーク型の放電灯からの放射光を被
照射物に導いて、被照射物を光処理する光照射装置に関
するものである。
照射物に導いて、被照射物を光処理する光照射装置に関
するものである。
［従来の技術］ 光照射によって、接着剤，塗料，インク及びレジスト等
を硬化させたり乾燥させたり、また、逆に溶融させたり
軟化させたり、様々な処理をすることが行われている。
そして、上記被照射物である接着剤，塗料，インク，レ
ジスト等は、例えばキセノンランプや超高圧水銀灯等の
ショートアーク型の放電灯からの光を利用して、被照射
物に光照射処理が行われている。
を硬化させたり乾燥させたり、また、逆に溶融させたり
軟化させたり、様々な処理をすることが行われている。
そして、上記被照射物である接着剤，塗料，インク，レ
ジスト等は、例えばキセノンランプや超高圧水銀灯等の
ショートアーク型の放電灯からの光を利用して、被照射
物に光照射処理が行われている。
第３図は従来の光照射装置の側断面図であり、１はショ
ートアーク型の放電灯（以下ランプという）、1aはラン
プ１の上端に設けられたねじ込むためのリード棒、1bは
下部端子、２′はこのランプ１の保持体、この保持体
２′にランプ１のリード棒1aをねじ込んで保持する。2
4′,25′は保持体２′に設けられたランプ位置調節ピン
で、24′がＺ軸方向の調節用で、25′はXY方向の調節用
である。３は前記ランプ１の放電アークの中心がその第
１焦点に位置するように配置された楕円集光鏡、3aはこ
の楕円集光鏡３の底部開口部、５はランプ１からの光を
被照射物に導くための導光ファイバ51′は導光ファイバ
取付ホルダで、この導光ファイバ５の出射側の先端部に
集光レンズ54を取付ける。６′は集光鏡保持板、6a′は
この集光鏡保持板６′の通風孔、７′は上下に２分割可
能な筐筒、７′ａは筐筒７′の通風孔、71はスタンドア
ーム、72はスタンド、73はスタンド底板、10′は送風フ
ァンである。また、Ｐは電源部で、l1，l2はリード線で
あり、この電源部Ｐにも不図示の冷却ファンが設けられ
ている。
ートアーク型の放電灯（以下ランプという）、1aはラン
プ１の上端に設けられたねじ込むためのリード棒、1bは
下部端子、２′はこのランプ１の保持体、この保持体
２′にランプ１のリード棒1aをねじ込んで保持する。2
4′,25′は保持体２′に設けられたランプ位置調節ピン
で、24′がＺ軸方向の調節用で、25′はXY方向の調節用
である。３は前記ランプ１の放電アークの中心がその第
１焦点に位置するように配置された楕円集光鏡、3aはこ
の楕円集光鏡３の底部開口部、５はランプ１からの光を
被照射物に導くための導光ファイバ51′は導光ファイバ
取付ホルダで、この導光ファイバ５の出射側の先端部に
集光レンズ54を取付ける。６′は集光鏡保持板、6a′は
この集光鏡保持板６′の通風孔、７′は上下に２分割可
能な筐筒、７′ａは筐筒７′の通風孔、71はスタンドア
ーム、72はスタンド、73はスタンド底板、10′は送風フ
ァンである。また、Ｐは電源部で、l1，l2はリード線で
あり、この電源部Ｐにも不図示の冷却ファンが設けられ
ている。
第３図の装置において、導光ファイバ５の入射側端面5a
は楕円集光鏡３の第２焦点に位置するように設置されて
いるので、ランプ１の光は導光ファイバ５の端面5aに効
率良く入射し、出射側でレンズ54により再び集光されて
被照射物に光照射される。そして、この筐筒７′の内部
は送風ファン10′からの風が筐筒７′の通風孔7a′より
入り、集光鏡３の底部開口部3aもしくは通風孔6a′を経
て不図示の保持体通風孔より外部へ排出される。
は楕円集光鏡３の第２焦点に位置するように設置されて
いるので、ランプ１の光は導光ファイバ５の端面5aに効
率良く入射し、出射側でレンズ54により再び集光されて
被照射物に光照射される。そして、この筐筒７′の内部
は送風ファン10′からの風が筐筒７′の通風孔7a′より
入り、集光鏡３の底部開口部3aもしくは通風孔6a′を経
て不図示の保持体通風孔より外部へ排出される。
また、ランプ１の保守，点検、交換等の作業の際は、筐
体７′を上下に２分割して、上部の筐筒を別の場所に持
っていき作業を行う。ランプ交換の際はランプの位置調
節が必要となるが、この場合は、ランプ保持体２′に設
けられたランプ位置調節ピン24′,25′を操作して位置
調節を行う。
体７′を上下に２分割して、上部の筐筒を別の場所に持
っていき作業を行う。ランプ交換の際はランプの位置調
節が必要となるが、この場合は、ランプ保持体２′に設
けられたランプ位置調節ピン24′,25′を操作して位置
調節を行う。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような従来の光照射装置は、ランプ用の電源部と
光照射部が別体であるため、広いスペースを必要とし、
操作性が悪いので、前記電源部と光照射部とを一つの筐
体に一体に収納することが考えられている。しかしなが
ら、その場合、ランプの位置調節機構を操作するための
操作窓を筐体に設ける必要があるが、この操作窓からラ
ンプの光が漏れるため、操作に支障をきたすという問題
があった。
光照射部が別体であるため、広いスペースを必要とし、
操作性が悪いので、前記電源部と光照射部とを一つの筐
体に一体に収納することが考えられている。しかしなが
ら、その場合、ランプの位置調節機構を操作するための
操作窓を筐体に設ける必要があるが、この操作窓からラ
ンプの光が漏れるため、操作に支障をきたすという問題
があった。
また、前述の通り、ランプの保守等の際は筐体を２分割
にに分解して行うため、作業が煩わしく、また広いスペ
ースが必要であるという問題もあった。
にに分解して行うため、作業が煩わしく、また広いスペ
ースが必要であるという問題もあった。
この発明はかかる従来の問題点を解決するためになされ
たもので、支障なくランプの位置調節ができ、かつコン
パクトな光照射装置であって、ランプの保守等が簡単で
きる光照射装置を提供をすることを目的とする。
たもので、支障なくランプの位置調節ができ、かつコン
パクトな光照射装置であって、ランプの保守等が簡単で
きる光照射装置を提供をすることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を解決するために、前記筐体の外壁の一部
は、取はずし自在のパネルで構成され、このパネルに放
電灯の位置調節機構用の開閉可能な操作窓を備え、この
操作窓に対して、少なくとも１つの操作窓用の遮光板を
設けた構成を有するものである。
は、取はずし自在のパネルで構成され、このパネルに放
電灯の位置調節機構用の開閉可能な操作窓を備え、この
操作窓に対して、少なくとも１つの操作窓用の遮光板を
設けた構成を有するものである。
［作用］ 上記の構成を有することにより、パネル側壁に設けられ
た操作窓を開いてランプ位置を調節する際に、遮光板の
影響でランプの光が手元に漏れてくることがなく、ラン
プの保持等の際は取ははずしてパネルをはずして行う。
た操作窓を開いてランプ位置を調節する際に、遮光板の
影響でランプの光が手元に漏れてくることがなく、ラン
プの保持等の際は取ははずしてパネルをはずして行う。
［実施例］ 第１図（ａ］はこの発明の一実施例を示す光照射装置の
主要部の断面図で、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面
図、同図（ｃ）は同図（ａ）の平面図である。21はラン
プ保持体支持板、21′はこのランプ保持体支持板21の下
面に位置する操作窓用の第１の遮光板、22はこのランプ
保持体支持板21の支柱、23は電源コード取付端子、24は
Ｚ軸方向の位置調節ピン、25はXY軸方向の位置調節ピ
ン、31は集光鏡支持板で、支柱22やランプ保持体支持板
21などは、この集光鏡支持板31上に設けられていて、こ
れらが一体となって光照射台を形成している。４はコー
ルドミラーからなる平面反射鏡、41はスペーサ、51は導
光ファイバ取付ホルダ、52はビス、53は熱線カットフィ
ルタ、６は鋳物で一体成形された平面反射鏡４を支持す
る支持フレームで、前記光照射台が一体に滑動する滑動
レール部6bを有している。6aは支持フレーム６の通風
孔、61は支持フレーム６を引出す引出板、62は引出用の
ビスで、前記光照射台を支持フレーム６に固定する役割
も有している。７は筐体、7aは電源部の吸気孔、7a′は
筐体底部吸気孔、7bは取はずしパネル、7b1はランプの
位置を調節するために、その上方を前部に倒すことによ
って開閉する位置調節機構用の操作窓で、7cはこの操作
窓7b1を開閉させるための螺番、700は操作窓用の第２の
遮光板、８は支柱、９は受光した熱線による熱を放熱す
るための放熱フィン9aを取付けたフィン支持板、10は排
風ファン、11はシャッタ板、12はシャッタ板11を駆動す
るロータリソレノイド、13は光照射部と電源部を仕切る
仕切板、14は制風板、14aは制風板通風孔、15はランプ
制風板、16,17は遮光兼通風筒、Ｈは光照射部、Ｐは電
源部である。
主要部の断面図で、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面
図、同図（ｃ）は同図（ａ）の平面図である。21はラン
プ保持体支持板、21′はこのランプ保持体支持板21の下
面に位置する操作窓用の第１の遮光板、22はこのランプ
保持体支持板21の支柱、23は電源コード取付端子、24は
Ｚ軸方向の位置調節ピン、25はXY軸方向の位置調節ピ
ン、31は集光鏡支持板で、支柱22やランプ保持体支持板
21などは、この集光鏡支持板31上に設けられていて、こ
れらが一体となって光照射台を形成している。４はコー
ルドミラーからなる平面反射鏡、41はスペーサ、51は導
光ファイバ取付ホルダ、52はビス、53は熱線カットフィ
ルタ、６は鋳物で一体成形された平面反射鏡４を支持す
る支持フレームで、前記光照射台が一体に滑動する滑動
レール部6bを有している。6aは支持フレーム６の通風
孔、61は支持フレーム６を引出す引出板、62は引出用の
ビスで、前記光照射台を支持フレーム６に固定する役割
も有している。７は筐体、7aは電源部の吸気孔、7a′は
筐体底部吸気孔、7bは取はずしパネル、7b1はランプの
位置を調節するために、その上方を前部に倒すことによ
って開閉する位置調節機構用の操作窓で、7cはこの操作
窓7b1を開閉させるための螺番、700は操作窓用の第２の
遮光板、８は支柱、９は受光した熱線による熱を放熱す
るための放熱フィン9aを取付けたフィン支持板、10は排
風ファン、11はシャッタ板、12はシャッタ板11を駆動す
るロータリソレノイド、13は光照射部と電源部を仕切る
仕切板、14は制風板、14aは制風板通風孔、15はランプ
制風板、16,17は遮光兼通風筒、Ｈは光照射部、Ｐは電
源部である。
また、第２図は第１図の仕切板13を詳細に示した図で、
13a,13b,13c,13dはこの仕切板13に設けられた通風孔
で、13aはステム部1cの封止部周辺を冷却するためにそ
の近傍に、また、13bはシャッタ板11の駆動源であるロ
ータリソレノイド12を冷却するためにその近傍に、さら
に13cは導光ファイバ５の端面5aを冷却するためにその
近傍に、13dは制風板14の通風孔14aの近傍に、それぞれ
配設される。そして、電源部に設けられた吸気孔7aは第
１図（ｂ）に示す位置でもよいし、排風ファン10と同じ
側に設けてもよい。また、第１図，第２図において、第
３図と同一符号は同一または相当部分を示す。
13a,13b,13c,13dはこの仕切板13に設けられた通風孔
で、13aはステム部1cの封止部周辺を冷却するためにそ
の近傍に、また、13bはシャッタ板11の駆動源であるロ
ータリソレノイド12を冷却するためにその近傍に、さら
に13cは導光ファイバ５の端面5aを冷却するためにその
近傍に、13dは制風板14の通風孔14aの近傍に、それぞれ
配設される。そして、電源部に設けられた吸気孔7aは第
１図（ｂ）に示す位置でもよいし、排風ファン10と同じ
側に設けてもよい。また、第１図，第２図において、第
３図と同一符号は同一または相当部分を示す。
第１図，第２図において、ランプ１の保守，例えば交換
の場合は、取はずしパネル7bをはずし、引出し用のビス
62をまわして、そのまま引っぱり、引出板61及び集光鏡
支持板31やランプ保持体支持板21などの光照射台を一体
に引出して、ランプ１を取出しやすくしてランプ１を交
換する。
の場合は、取はずしパネル7bをはずし、引出し用のビス
62をまわして、そのまま引っぱり、引出板61及び集光鏡
支持板31やランプ保持体支持板21などの光照射台を一体
に引出して、ランプ１を取出しやすくしてランプ１を交
換する。
第１図において、ランプ１の位置を調節する場合、筐体
７の側壁の一部である取はずしパネル7bに設けられた位
置調節機構用操作窓7b1を前方に倒して開放し、Ｚ軸方
向に位置調節ピン24もしくはXY軸方向の位置調節ピン25
を左右に廻動して位置調整をする。
７の側壁の一部である取はずしパネル7bに設けられた位
置調節機構用操作窓7b1を前方に倒して開放し、Ｚ軸方
向に位置調節ピン24もしくはXY軸方向の位置調節ピン25
を左右に廻動して位置調整をする。
この位置調整を行う場合、ランプ１のアークの位置をモ
ニタしながら行うため、当然ランプ１を点灯させなけれ
ばならないが、操作窓用の第１の遮光板21′及び第２の
遮光板700によって、ランプ１の光は遮光されているの
で、操作者はランプ１からの光のうち人体に有害な紫外
線の影響を受けることがなく、位置調節ピン24,25をま
わして調節できる。
ニタしながら行うため、当然ランプ１を点灯させなけれ
ばならないが、操作窓用の第１の遮光板21′及び第２の
遮光板700によって、ランプ１の光は遮光されているの
で、操作者はランプ１からの光のうち人体に有害な紫外
線の影響を受けることがなく、位置調節ピン24,25をま
わして調節できる。
その上、取はずしパネル7bに対するランプ１からの光
は、この取はずしパネル7bに設けられた第２の遮光板70
0で遮光されているので、さらに遮光効果が増し、かつ
取はずしパネルに対する遮熱の役目もしている。
は、この取はずしパネル7bに設けられた第２の遮光板70
0で遮光されているので、さらに遮光効果が増し、かつ
取はずしパネルに対する遮熱の役目もしている。
また、楕円集光鏡３は、冷却風の通風路を確保するため
底部開口部3aを有するが、ここからの漏れ光を遮光しつ
つ、かつ通風路を形成させるため、遮光兼通風筒16,17
が設けられている。この際、ランプ１の取付箇所も含め
て全く蔽ってしまうと、ランプ取付の際、取付箇所が見
えないため取付が手間取る問題があり、そのため本実施
例では、上方の遮光兼通風筒16はランプ１を360°蔽う
ことなく、取はずしパネル7bの側には開口部を設け、さ
らに第２の遮光板700にこの開口部をふさぐ役目をさせ
ている。第２の遮光板700は、取はずしパネル7bに設け
られているので、取はずしパネル7bをはずすとランプ１
の取付箇所がすぐ見えるので、ランプ１の取付がし易
い。
底部開口部3aを有するが、ここからの漏れ光を遮光しつ
つ、かつ通風路を形成させるため、遮光兼通風筒16,17
が設けられている。この際、ランプ１の取付箇所も含め
て全く蔽ってしまうと、ランプ取付の際、取付箇所が見
えないため取付が手間取る問題があり、そのため本実施
例では、上方の遮光兼通風筒16はランプ１を360°蔽う
ことなく、取はずしパネル7bの側には開口部を設け、さ
らに第２の遮光板700にこの開口部をふさぐ役目をさせ
ている。第２の遮光板700は、取はずしパネル7bに設け
られているので、取はずしパネル7bをはずすとランプ１
の取付箇所がすぐ見えるので、ランプ１の取付がし易
い。
本実施例の導光ファイバ取付ホルダ51には、取付構造の
同一な種々のタイプの導光ファイバや直接照射の光学ユ
ニットなどを適宜交換して取付ける。
同一な種々のタイプの導光ファイバや直接照射の光学ユ
ニットなどを適宜交換して取付ける。
尚、上記実施例においては、仕切板13に４個の通風孔を
設けた場合について説明したが、仕切板13の各通風孔は
４個に限らず、必要に応じて必要な場所に必要な個数設
けることができるのは当然のことである。
設けた場合について説明したが、仕切板13の各通風孔は
４個に限らず、必要に応じて必要な場所に必要な個数設
けることができるのは当然のことである。
また、実施例の装置は、導ファイバを筐体の側面から取
出しているので、操作がし易く、その上、電源部と光照
射部が１つの筐体内に収納されているので、装置が非常
にコンパクトにできる。
出しているので、操作がし易く、その上、電源部と光照
射部が１つの筐体内に収納されているので、装置が非常
にコンパクトにできる。
［発明の効果］ 以上詳細に説明したとおり、この発明における光照射装
置は、筐体の外壁の一部が取はずし自在のパネルで構成
され、このパネルにランプの位置調節機構用の開閉可能
な操作窓を備え、この操作窓に対して、少なくとも１つ
の操作窓用の遮光板を設けたのでパネルを取はずすだけ
でランプの取付，取はずしが簡単にでき、またランプの
位置調節機構の操作が操作窓を開けることによりランプ
の光を浴びることなくできる。
置は、筐体の外壁の一部が取はずし自在のパネルで構成
され、このパネルにランプの位置調節機構用の開閉可能
な操作窓を備え、この操作窓に対して、少なくとも１つ
の操作窓用の遮光板を設けたのでパネルを取はずすだけ
でランプの取付，取はずしが簡単にでき、またランプの
位置調節機構の操作が操作窓を開けることによりランプ
の光を浴びることなくできる。
第１図（ａ）はこの発明の１実施例を示す光照射装置の
主要部の断面図で、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面
図、同図（ｃ）は同図（ａ）の平面図、第２図は第１図
の仕切板を詳細に示した図、第３図は従来の光照射装置
の側断面図である。 図中． 1:ランプ、3:楕円集光鏡 4:平面反射鏡、5:導光ファイバ 7:筐体、7b:取はずしパネル 7b1：操作窓、9:フィン支持板 10:排風ファン、11:シャッタ板 12:ロータリソレノイド 13:仕切板 13a,13b,13c,13d:通風孔 21:ランプ保持体支持板 21′,700:遮光板
主要部の断面図で、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面
図、同図（ｃ）は同図（ａ）の平面図、第２図は第１図
の仕切板を詳細に示した図、第３図は従来の光照射装置
の側断面図である。 図中． 1:ランプ、3:楕円集光鏡 4:平面反射鏡、5:導光ファイバ 7:筐体、7b:取はずしパネル 7b1：操作窓、9:フィン支持板 10:排風ファン、11:シャッタ板 12:ロータリソレノイド 13:仕切板 13a,13b,13c,13d:通風孔 21:ランプ保持体支持板 21′,700:遮光板
Claims (2)
- 【請求項１】ショートアーク型の放電灯と、この放電灯
の位置調節機構を備えた放電灯保持体とを収納した筐体
を有する光照射装置において、前記筐体の外壁の一部
は、取はずし自在のパネルで構成され、このパネルに放
電灯の位置調節機構用の開閉可能な操作窓を備え、この
操作等に対して、少なくとも１つの操作窓用の遮光板を
設けたことを特徴とする光照射装置。 - 【請求項２】操作窓用の遮光板の１つはパネル側壁に設
けたことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の
光照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22843387A JPH0729081B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | 光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22843387A JPH0729081B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | 光照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6475070A JPS6475070A (en) | 1989-03-20 |
| JPH0729081B2 true JPH0729081B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=16876411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22843387A Expired - Fee Related JPH0729081B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | 光照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729081B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4541571B2 (ja) * | 2001-01-23 | 2010-09-08 | キヤノン株式会社 | 半導体製造装置 |
| JP6197641B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-09-20 | ウシオ電機株式会社 | 真空紫外光照射処理装置 |
| TWI771788B (zh) * | 2014-03-28 | 2022-07-21 | 日商尼康股份有限公司 | 光源裝置 |
| JP6645532B2 (ja) * | 2018-04-11 | 2020-02-14 | 株式会社ニコン | 光源装置、露光装置、およびデバイス製造方法 |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP22843387A patent/JPH0729081B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6475070A (en) | 1989-03-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |