JPH0741190B2 - 光照射処理装置 - Google Patents
光照射処理装置Info
- Publication number
- JPH0741190B2 JPH0741190B2 JP62228435A JP22843587A JPH0741190B2 JP H0741190 B2 JPH0741190 B2 JP H0741190B2 JP 62228435 A JP62228435 A JP 62228435A JP 22843587 A JP22843587 A JP 22843587A JP H0741190 B2 JPH0741190 B2 JP H0741190B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shutter
- irradiation processing
- processing device
- light irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はショートアーク型の放電灯からの放射光を被
照射物に導いて、この被照射物に対して光照射処理する
光照射処理装置に関するものである。
照射物に導いて、この被照射物に対して光照射処理する
光照射処理装置に関するものである。
［従来の技術］ 光照射によって、接着剤、塗料、インク及びレジスト等
を硬化させたり、乾燥させたり、また、逆に溶融させた
り、軟化させたり、様々な処理をすることが行われてい
る。そして、上記被照射物である接着剤、塗料、イン
ク、レジスト等の被照射物はショートアーク型の放電灯
からの光を利用して、被照射物に光照射処理することに
よって行われている。
を硬化させたり、乾燥させたり、また、逆に溶融させた
り、軟化させたり、様々な処理をすることが行われてい
る。そして、上記被照射物である接着剤、塗料、イン
ク、レジスト等の被照射物はショートアーク型の放電灯
からの光を利用して、被照射物に光照射処理することに
よって行われている。
被照射物の所望の部分に、ショートアーク型の放電灯か
らの光を集光して導いて照射する微小域光照射処理装置
が従来からある。
らの光を集光して導いて照射する微小域光照射処理装置
が従来からある。
第３図は従来の光照射処理装置の側断面図であり、１は
ショートアーク型の放電灯（以下ランプという）、２は
このランプ１の放電アークの中心が、その第１焦点に位
置するように配置された楕円集光鏡、３は前記楕円集光
鏡２からの光を反射する反射ミラー、４はこの反射ミラ
ー３からの光を遮断するための平板状のシャッタ、５は
このシャッタ４を介した光束から熱線をカットするフィ
ルタ、６は前記ランプ1,楕円集光鏡2,反射ミラー3,シャ
ッタ４を収納する灯体、７は導光ファイバ、８は前記シ
ャッタ４を駆動するロータリソレノイドである。そし
て、この灯体６の光出射口には、前記フィルタ５を介し
た光束を導出する種々の導光ファイバやレンズ系からな
る出射光学ユニットを適宜交換，取付け可能にした出射
用の光学ユニット取付ホルダ11が設けられており、この
出射用の光学ユニット取付ホルダ11に上述の如く導光フ
ァイバ７が取付け，取はずし自在に行えるようになって
いる。
ショートアーク型の放電灯（以下ランプという）、２は
このランプ１の放電アークの中心が、その第１焦点に位
置するように配置された楕円集光鏡、３は前記楕円集光
鏡２からの光を反射する反射ミラー、４はこの反射ミラ
ー３からの光を遮断するための平板状のシャッタ、５は
このシャッタ４を介した光束から熱線をカットするフィ
ルタ、６は前記ランプ1,楕円集光鏡2,反射ミラー3,シャ
ッタ４を収納する灯体、７は導光ファイバ、８は前記シ
ャッタ４を駆動するロータリソレノイドである。そし
て、この灯体６の光出射口には、前記フィルタ５を介し
た光束を導出する種々の導光ファイバやレンズ系からな
る出射光学ユニットを適宜交換，取付け可能にした出射
用の光学ユニット取付ホルダ11が設けられており、この
出射用の光学ユニット取付ホルダ11に上述の如く導光フ
ァイバ７が取付け，取はずし自在に行えるようになって
いる。
尚、ネジ12は導光ファイバ７を光学ユニット取付ホルダ
11に固定する為のものである。
11に固定する為のものである。
上記のような光照射処理装置は、第１焦点に位置するラ
ンプ１のアークからの光が楕円集光鏡２によって、反射
ミラー3,シャッタ4,フィルタ５を介して第２焦点に集ま
る。この第２焦点の位置の近傍には、導光ファイバ７の
入射端面が設けてあるので、ランプ１の光は導光ファイ
バ７に効率良く入射し、該ファイバ７を経て、不図示の
被照射物の光照射処理部分に光照射される。
ンプ１のアークからの光が楕円集光鏡２によって、反射
ミラー3,シャッタ4,フィルタ５を介して第２焦点に集ま
る。この第２焦点の位置の近傍には、導光ファイバ７の
入射端面が設けてあるので、ランプ１の光は導光ファイ
バ７に効率良く入射し、該ファイバ７を経て、不図示の
被照射物の光照射処理部分に光照射される。
一般に被照射処理物は様々な形状，大きさ，構造のもの
があり、また、照射箇所も１つもしくは複数存在するこ
ともある。従って、光照射装置を上記のような被照射処
理物に照射するためには、それに対応して導光ファイバ
７や他のレンズ系からなる出射光学ユニット等を選択す
る必要がある。例えば、光照射すべき領域が小さい場合
や非常に狭い場合にある場合などは導光ファイバを使用
し、ある程度強い照射強度が必要なな場合などにはレン
ズや反射ミラーのみからなる出射光学ユニットなどを使
用する。
があり、また、照射箇所も１つもしくは複数存在するこ
ともある。従って、光照射装置を上記のような被照射処
理物に照射するためには、それに対応して導光ファイバ
７や他のレンズ系からなる出射光学ユニット等を選択す
る必要がある。例えば、光照射すべき領域が小さい場合
や非常に狭い場合にある場合などは導光ファイバを使用
し、ある程度強い照射強度が必要なな場合などにはレン
ズや反射ミラーのみからなる出射光学ユニットなどを使
用する。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような従来の装置においては、シャッタが閉じて
いる状態でも、迷光（各部所からの反射光，直射光から
なる）に起因する漏れ光が若干存在し、その漏れ光が導
光ファイバに入射して、導光ファイバの出射側に漏洩す
るという問題があった。特に、レジスト膜の露光とか半
導体製造におけるウエハ周辺部の残留レジスト膜の除去
等の高精度の光照射処理が要求される場合とか、光のう
ち、特に人体に悪影響を及ぼす紫外線を主として利用す
る場合等に問題があった。
いる状態でも、迷光（各部所からの反射光，直射光から
なる）に起因する漏れ光が若干存在し、その漏れ光が導
光ファイバに入射して、導光ファイバの出射側に漏洩す
るという問題があった。特に、レジスト膜の露光とか半
導体製造におけるウエハ周辺部の残留レジスト膜の除去
等の高精度の光照射処理が要求される場合とか、光のう
ち、特に人体に悪影響を及ぼす紫外線を主として利用す
る場合等に問題があった。
また、シャッタが閉じている時の光の漏洩を防ぐために
シャッタを必要以上に大きくすることが考えられるが、
シャッタを大きくすると、そのために大きな駆動力が必
要となり、装置が大がかりになってコンパクトにできな
いという問題があった。
シャッタを必要以上に大きくすることが考えられるが、
シャッタを大きくすると、そのために大きな駆動力が必
要となり、装置が大がかりになってコンパクトにできな
いという問題があった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、シャッタが閉じた時の漏れ光をなくすことのできる
コンパクトな微小域光照射処理装置を提供することを目
的とする。
で、シャッタが閉じた時の漏れ光をなくすことのできる
コンパクトな微小域光照射処理装置を提供することを目
的とする。
［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明の微小域光照射
処理装置はシャッタを閉じた時、このシャッタを蔽い、
かつその光路部分に２つの光通過用の穴を穿設した、袋
状または樋状のシャッタ遮光板を設けた構成を有するも
のである。
処理装置はシャッタを閉じた時、このシャッタを蔽い、
かつその光路部分に２つの光通過用の穴を穿設した、袋
状または樋状のシャッタ遮光板を設けた構成を有するも
のである。
［作用］ 上記の構成を有することにより、シャッタが閉じた時の
漏れ光はシャッタ遮光板に遮られて、光出射口から漏洩
することはない。
漏れ光はシャッタ遮光板に遮られて、光出射口から漏洩
することはない。
［実施例］ 第１図はこの発明の光照射処理装置の一実施例を示す断
面図で、９は袋状に形成されたシャッタ遮光板、9a1,9a
2はこのシャッタ遮光板９に設けられた光通過用の穴で
ある。第２図（ａ）は第１図のシャッタ遮光板の詳細を
示す斜視図で、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面図であ
る。また、第１図，第２図において、第３図と同一符号
は同一又は相当部分を示す。
面図で、９は袋状に形成されたシャッタ遮光板、9a1,9a
2はこのシャッタ遮光板９に設けられた光通過用の穴で
ある。第２図（ａ）は第１図のシャッタ遮光板の詳細を
示す斜視図で、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面図であ
る。また、第１図，第２図において、第３図と同一符号
は同一又は相当部分を示す。
第１図，第２図において、シャッタ４を閉じている時、
ランプからの迷光に基づく漏れ光がシャッタ４の周辺に
到来しても、シャッタ遮光板９によって遮られて、導光
ファイバ７の入射端面に進入することはできない。何故
なら、シャッタ遮光板９に設けられた光通過用の穴9a1
をたとえ直射光及び漏れ光が通過しても、その直射光及
び漏れ光は閉状態のシャッタ４及びシャッタ遮光板９に
遮られてファイバ７の入射端面に到達することができな
い。そして、このシャッタ遮光板９に穿設された光の通
過用の穴9a1,9a2は、第２図ｂから明らかなようにシャ
ッタ４が開状態の時、効率よく光が通過できるように内
径の寸法の異なる円形の穴を形成している。即ち、第２
図（ｂ）から明らかなように、シャッタ遮光板９の光源
に近い方の面に設けられた穴の内径r1の方を、光源から
遠い方の面の穴の内径r2よりも大きくしている。つま
り、ランプ１から有効光線の集光角度は、楕円集光鏡２
の設計により規定されるから、該設計に合わせて、光通
過用の穴9a1,9a2の夫々の直径及び穴相互の間隔を規定
することにより、有効光線を何ら遮光することなく、か
つ最大の漏れ光の遮光効果を得ることができる。
ランプからの迷光に基づく漏れ光がシャッタ４の周辺に
到来しても、シャッタ遮光板９によって遮られて、導光
ファイバ７の入射端面に進入することはできない。何故
なら、シャッタ遮光板９に設けられた光通過用の穴9a1
をたとえ直射光及び漏れ光が通過しても、その直射光及
び漏れ光は閉状態のシャッタ４及びシャッタ遮光板９に
遮られてファイバ７の入射端面に到達することができな
い。そして、このシャッタ遮光板９に穿設された光の通
過用の穴9a1,9a2は、第２図ｂから明らかなようにシャ
ッタ４が開状態の時、効率よく光が通過できるように内
径の寸法の異なる円形の穴を形成している。即ち、第２
図（ｂ）から明らかなように、シャッタ遮光板９の光源
に近い方の面に設けられた穴の内径r1の方を、光源から
遠い方の面の穴の内径r2よりも大きくしている。つま
り、ランプ１から有効光線の集光角度は、楕円集光鏡２
の設計により規定されるから、該設計に合わせて、光通
過用の穴9a1,9a2の夫々の直径及び穴相互の間隔を規定
することにより、有効光線を何ら遮光することなく、か
つ最大の漏れ光の遮光効果を得ることができる。
尚、この実施例においては、シャッタ４を通過後の光が
導光ファイバに導かれる場合の装置について説明した
が、この発明のシャッタ遮光板は、導光ファイバを介し
て出射する装置のみならず、レンズや反射ミラーなどの
光学系からなる光学ユニットを筐体６の出射口6aに設け
られた光学ユニット取付ホルダ11に取り付けた。光照射
処理装置に対して、利用することもできるのは勿論であ
る。
導光ファイバに導かれる場合の装置について説明した
が、この発明のシャッタ遮光板は、導光ファイバを介し
て出射する装置のみならず、レンズや反射ミラーなどの
光学系からなる光学ユニットを筐体６の出射口6aに設け
られた光学ユニット取付ホルダ11に取り付けた。光照射
処理装置に対して、利用することもできるのは勿論であ
る。
［発明の効果］ この発明は、シャッタ遮光板を設けることによって、シ
ャッタの寸法の大きい大規模な装置を必要とせず、シャ
ッタを閉じた時の漏れ光をなくすことにより、光照射処
理の精度を高め、かつ紫外線漏れによる人体に有害な作
用を及ぼすこともなく、小型で安価な装置を提供するこ
とができる。
ャッタの寸法の大きい大規模な装置を必要とせず、シャ
ッタを閉じた時の漏れ光をなくすことにより、光照射処
理の精度を高め、かつ紫外線漏れによる人体に有害な作
用を及ぼすこともなく、小型で安価な装置を提供するこ
とができる。
第１図はこの発明の光照射処理装置の一実施例を示す断
面図、第２図（ａ）は第１図のシャッタ遮光板の詳細を
示す斜視図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面図、第３
図は従来の微小域光照射処理装置の側断面図である。 図中． 1:ランプ 2:楕円集光鏡 3:反射ミラー 4:シャッタ 5:フィルタ 6:灯体 7:導光ファイバ 8:ロータリソレノイド 9:シャッタ遮光板 9a1,9a2:穴 11:光学ユニット取付ホルダ
面図、第２図（ａ）は第１図のシャッタ遮光板の詳細を
示す斜視図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側断面図、第３
図は従来の微小域光照射処理装置の側断面図である。 図中． 1:ランプ 2:楕円集光鏡 3:反射ミラー 4:シャッタ 5:フィルタ 6:灯体 7:導光ファイバ 8:ロータリソレノイド 9:シャッタ遮光板 9a1,9a2:穴 11:光学ユニット取付ホルダ
Claims (2)
- 【請求項１】ショートアーク型の放電灯と、この放電灯
からの光を集光する楕円集光鏡とを収納する筐体と、こ
の筐体の光出射口近傍に設けられた開閉自在なシャッタ
とを備えた光照射処理装置において、前記シャッタを閉
じた時、このシャッタを蔽い、かつその光路部分に２つ
の光通過用の穴を穿設した、袋状または樋状のシャッタ
遮光板を設けたことを特徴とする光照射処理装置。 - 【請求項２】シャッタ遮光板に穿設した光通過用の穴は
円形であって、その内径は光源に近い方の面に設けられ
た穴の内径の方が、光源から遠い方の面の穴の内径より
大きいことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載
の光照射処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62228435A JPH0741190B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | 光照射処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62228435A JPH0741190B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | 光照射処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6475071A JPS6475071A (en) | 1989-03-20 |
| JPH0741190B2 true JPH0741190B2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=16876443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62228435A Expired - Fee Related JPH0741190B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | 光照射処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0741190B2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP62228435A patent/JPH0741190B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6475071A (en) | 1989-03-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |