KR0139408B1 - 화상형성용 노광장치 - Google Patents

화상형성용 노광장치

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KR0139408B1
KR0139408B1 KR1019920014813A KR920014813A KR0139408B1 KR 0139408 B1 KR0139408 B1 KR 0139408B1 KR 1019920014813 A KR1019920014813 A KR 1019920014813A KR 920014813 A KR920014813 A KR 920014813A KR 0139408 B1 KR0139408 B1 KR 0139408B1
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야자끼 요시오
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Abstract

기판 표면 및 관통공 내벽면에 행한 포토레지스트에 적정 광화학 반응을 일으켜 화상 형성 작업 능률 향상을 꾀한다. 방전등(32)과 반사경(33)을 가지는 상하 자외선 조사장치와, 다수의 렌즈(35)를 상호 근접시켜 수평방향으로 병렬시킨 상하 집광장치(34a),(34b)를 구비하며, 상기 상하 자외선 조사장치는 기판(31)의 상방 및 하방으로 상하대칭으로 이격 배치되어 있으며, 상기 상하 집광장치(34a),(34b)는 각 방전등(32),(33)과 기판(31) 사이에 기재되어 수평방향으로 이동 가능하게 이격 배치되어 있으며, 각 렌즈(35)를 통과한 자외선이 렌즈의 광축을 에워싸는 원추상의 광을 출사하도록 광학적으로 구성되어 있음을 특징으로 한다.

Description

화상형성용 노광장치
제1도는 본 발명의 제1실시예인 노광 장치를 가로로 길게 도시한 절단측면도.
제2도는 제1도에 있어서의 II-II 방향에서 본 확대도.
제3도는 제1도에 있어서의 III-III 방향에서 본 확대도.
제4도는 제1도에 있어서의 IV-IV 방향에서 본 확대도.
제5도는 제1도에 있어서의 V-V 방향에서 본 확대도.
제6도는 제1도에 도시한 장치의 작용을 설명하는 절단 측면도.
제7도는 제6도에 도시한 렌즈의 일부절단확대도.
제8도는 제7도에 있어서의 VIII-VIII 방향에서 본 도면.
제9도는 제6도에 도시한 기판 부분의 확대도.
제10도는 본 발명의 제2실시예에 있어서의 집광장치의 부분을 나타내는 절단도(제7도에 상당하는 도면).
제11도는 제7도에 도시한 렌즈의 다른 변형을 나타내는 일부 절단 입면도.
제12도는 종래의 관통공 내벽면의 동도금층의 보호방법(텐팅법)의 설명도.
제13도는 종래의 관통공 내벽면의 동도금층의 보호방법(땝납 관통공법)의 설명도.
제14도는 종래의 관통공 내벽면의 동도금층의 보호방법(전착식 포토레지스트에 의한 피막형성)의 설명도.
제15도는 종래 노광장치의 작동을 설명하는 절단측면도.
제16도는 종래 다른 노광장치의 작동을 설명하는 절단측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
31 : 기판32 : 방전등
33 : 반사경34a,34b : 집광장치
35 : 렌즈36 : 충전물
39 : 불투명부재40 : 원환상부
42 : 제1초점43 : 발산광
44 : 관통공46,56 : 안내부재
47 : 내측틀재48a,48b : 구동기구
50 : 외측틀재51 : 안내홈
52 : 수납부재53 : 나사봉
54 : 모터57 : 안내기둥
60 : 주행바퀴62 : 주행레일
63 : 노광부64 : 조작부
65 : 제방고무
본 발명은 포토리소그래피(사진식각법)를 이용하여 관통공(through hole)을 가지는 기판 표면에 화상을 형성함에 있어 유용한 노광장치에 관한 것으로, 특히 기판 표면 및 관통공 내벽에 행한 전착성(電着性) 포토레지스트에 적정 광화학반응을 일으켜 노광작업의 능률 향상을 꾀할 수 있는 화상 형성용 노광장치에 관한 것이다.
포토리소그래피를 이용하여 관통공을 가지는 프린트 배선용 기판의 양면에 패턴을 형성하고, 형성된 패턴을 관통공 내벽면에 행한 동(銅) 도금층을 개재시켜 전기적으로 접속하는 종래의 화상형성공정에서는 에칭에 의한 상기 동도금층의 손상을 방지하기 위해, ①기판 표면을 드라이 필름으로 피복하고 제12도에 도시한 바와 같이 노광에 의해 경화된 레지스트의 박층(薄層 ; 1)을 이용하여 관통공(2)의 개구를 폐쇄하거나(텐팅법;tenting method), ②노광 및 현상후 제13도에 도시한 바와 같이 노광된 동도금층(3)의 표면에 땝납 도금(4)을 행하고 있어(땝납 관통공법;solder/throughhole method), 에칭을 위한 전처리작업이 번잡하였다. 또한, 도면중(5)는 기판(동장적층판), (6)은 절연기재,(7)은 동박(銅箔)(9)(점선으로 구획된 부분)는 에칭에 의해 제거되는 부분을 나타낸다.
상기 문제점을 해결하기 위해, 제14도에 도시한 바와 같이 기판(5)의 표면 및 관통공(2)의 내벽면에 전착성의 포토레지스트(10)(전기 도금이 가능한 감광성수지)를 행하고, 화상형성용의 자외선을 이용하여 관통공(2)내의 포토레지스트(10)를 경화시켜, 동도금층(3)을 보호하도록 한 노광장치가 본 출원과 동일 출원인에 의해 제안되어 있다.(상세한 것은 일본 특개평 2-254455호 참조).
이 장치는 제15도에 도시한 바와 같이, 복수개의 자외선 램프(13)로 이루어진 광원장치(14),(14)와 접을 수 있는 평면 반사경(15),(15)을 기판(5)에 평행한 축선(16),(17)의 주위에 회동가능하게 부착하고, 상기 광원장치(14),(14)가 실선으로 나타낸 바와 같이 기판(5)에 근접시켜 수평으로 위치했을 때 자외선을 조사하여 관통공내의 포토레지스트를 경화시키고, 다음에 광원장치(14),(14)가 가상선으로 나타낸 바와 같이 기판(5)에 직교하는 기립 위치에 왔을때, 평면 반사경(15),(15)(가상선 참조)을 개재시켜 자외선을 조사하여 기판 표면의 포토레지스트를 경화시키도록 하고 있다.
그리고, 이 장치에 의하면, 경화된 포토레지스트를 이용하여 관통공내의 동도금층(3)을 보호하기 때문에 상기와 같은 수고스러운 전처리를 필요로 하지 않고, 또한 각 광원장치(14),(14)를 패턴 형성 및 관통공 보호 두가지 목적에 겸용할 수 있으므로 1대의 장치를 이용하여 노광을 행할 수 있다는 이점이 있다.
그러나, 상기 노광장치에는 다음에 설명하는 바와 같이 더욱 개량해야 할 여지가 남는다.
관통공내의 노광을 행할 때, 자외선(18)은 기판(5)에 대해서 연직(鉛直) 또는 연직에 가까운 경사각도로 관통공내에 입사되므로, 후술한 바와 같이 관통공내의 노광을 행할 때의 자외선 강도가 기판 표면의 노광을 행할 때에 비해 훨씬 크다.
따라서, 관통공내의 노광을 행할 때에는 기판 표면의 포토레지스트(10)에 마스크(도시하지 않음)를 걸어 두고, 다음에 기판 표면의 노광을 행할 때에는 상기 마스크를 제거한 후 화상형성용 필름을 개재시켜 노광을 행하여야 하므로 노광작업의 원활한 진행을 방해한다.
여기서, 자외선의 입사각도와 포토레지스트를 경화시키는 자외선 강도와의 관계에 대해 설명하면, 제14도에 도시한 바와 같이 자외선(18)이 두께 d의 포토레지스트(10)를 가지는 기판(5)에 경사각도 α로 입사되었을 때, 관통공내에서는 제1식으로 규정되는 두께 d1의 포토레지스트(10)를 경화시킬 정도만의 노광량을 필요로 하며, 또한 기판 표면에서는 제2식으로 규정되는 두께 d2의 포토레지스트(10)를 경화시키는 노광량을 필요로 하기 때문에 노광량의 비 d1/d2는 tanα 가 된다.
d1= d /cosα ........ 제1식
d2= d /sinα ........ 제2식
상기 노광량의 비 tanα 의값은 α =85도일 때 d1/d2≒ 11 이 되어, 관통공내의 노광에 강한 자외선을 필요로 함을 알 수 있다. 한편, α =70도일 때, d1/d2≒ 2.74 가 되어, 경사각도가 달라짐에 따라 d1/d2의 값이 현저히 변하는 것도 이해할 수 있다.
또한, 제15도에 도시한 장치에 따르면, 기판 주변의 관통공에 자외선(18)을 입사시킬 때에는 복수의 자외선 램프를 필요로 하며, 그 때문에 광원 장치의 전력소비량이 증대한다는 문제점도 있다.
상기 문제점을 해결하기 위해, 제16도에 도시된 바와 같이 단일 방전등(13)과 반사경(20)을 이용하여 상하 자외선 조사 장치를 구성하고, 이 장치와 기판(5)의 중간에 불투명유리(ground glass)등의 투광체(透光體 ; 22, 22)를 상하 대칭으로 배치하고, 그 투광체(22), (22)를 투과하여 산란된 지향성이 없는 거의 균일한 광(23)을 기판(5)의 전면에 조사(照射)하여 기판 표면 및 관통공내의 전착성 포토레지스트를 동시에 경화시키는 노광장치가 적극적으로 연구되고 있다.
그러나, 각종 연구를 거듭한 결과, 이러한 종류의 장치는 다음과 같은 이유로 단념해야 될 상태가 되었다.
(1) 투광체(22), (22)를 투과한 광(23)의 강도가 예상외로 약하여, 관통공내의 레지스트를 경화시키는데 시간이 걸리기 때문에 조사광중에 포함된 적외선의 열작용에 의해 포토레지스트가 박리되거나, 혹은 포토레지스트의 경화 부족에 의해 현상시 포토레지스트가 유실된다.
(2) 관통공내의 포토레지스트에 대한 노광을 적절히 행하기 위해 방전등(13)의 출력을 증대시키면, 기판 표면의 포토레지스트가 과도하게 경화되고, 현상시 및 에칭 종료후의 레지스트 제거가 곤란해진다.
본 발명은 전술한 문제점을 감안하여, 기판 표면 및 관통공 내벽면의 전착성 포토레지스트에 적정 광화학반응을 일으켜서 노광 과부족에 의한 제품 품질의 저하를 방지함과 동시에 작업을 원활하게 진행시켜 화상 형성 작업의 능률 향상을 꾀할 수 있는 화상 형성용 노광장치를 제공하는 것을 과제로 삼는다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 수단은 화상형성용 필름을 개재시켜 기판에 자외선을 조사하고, 상기 기판의 표면 및 관통공 내벽면에 행한 전착성 포토레지스트에 광화학 반응을 일으켜서 기판 표면에 화상을 형성시키는 노광장치에 있어서, 방전등과 반사경을 가지는 상하 자외선 조사장치와, 다수의 렌즈를 상호 근접시켜 수평방향으로 병렬된 상하 집광장치를 구비하며, 상기 상하의 자외선 조사장치는 기판의 상방 및 하방에 상하 대칭으로 이격 배치되어 있으며, 상기 상하 접광장치는 각 방전등과 기판의 사이에 개재되어 수평방향으로 이동 가능하게 이격 배치되어 있고, 각 렌즈는 입사된 자외선이 렌즈의 광축을 에워싸는 원추상의 광을 출사하도록 광학적으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 화상형성용 노광장치이다.
(1) 렌즈를 통과한 원추상의 빛이 소정 경사각도 또는 그에 가까운 여러 경사각도로 비스듬한 상방 및 하방으로부터 기판에 입사되므로 기판 표면 및 관통공내의 전착성 포토레지스트를 과부족없이 적당한 정도로 경화시킬 수 있다.
(2) 집광장치를 수평방향으로 이동하면, 기판 전면 및 모든 관통공내의 전착성 포토레지스트를 모조리 경화시킬 수 있다.
(3) 상기 (1), (2)의 결과, 기판 표면 및 관통공내의 전착성 포토레지스트의 노광을 연속적으로 실시힐 수 있게 되며, 또한 종래와 같이 에칭을 위한 전처리를 행하거나 혹은 마스크를 착탈할 필요가 없으므로 노광작업의 능률 향상을 꾀할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
제1도 내지 제9도는 본 발명의 제1실시예를 나타낸 것으로, 이 실시예의 주요부는 기판(31)에 대해서 상하 대칭으로 이격 배치한 통 아크형의 방전등(32).(32)과, 각 방전등(32),(32)의 배면측을 피복하도록 상하 대칭으로 이격 배치된 일정 단면의 반사경(33),(33)과, 각 방전등(32),(32) 및 기판(31)의 사이에 개재시켜 이격 배치되는 상하 집광장치(34a),(34b)등에 의해 구성되어 있으며, 각 집광장치(34a),(34b)는 후술하는 전후방향(제1도 화살표 a), 상하방향(제1도 화살표 b) 및 좌우방향(제2도 화살표 c)으로 이동 가능하게 구성되어 있다.
각 집광장치(34a),(34b)는 제3도에 도시한 바와 같이, 상호 인접된 상태에서 바둑판 모양으로 배열된 다수의 렌즈(35), (35), (35)...와, 충전물(36)을 개재시켜 다수의 렌즈(35)를 그 내측에 일괄 지지하는 연부재(緣部材 ; 37)등으로 이루어진다.
각 렌즈(35)의 직경이 10 - 20밀리미터의 원주상의 볼록렌즈로, 제7도에 도시한 바와 같이 그 하면(출사면)의 중심부에는 불투명 물질로 된 주판알 모양의 불투명부재(39)가 매립되어 있으며, 각 렌즈(35)를 통과한 빛이 상기 부재(39)를 에워싸는 원환상부(圓環狀部 ; 40)에서 출사되어 제1초점(42)으로 집광되고, 집광후 원환상의 발산광(43)을 형성하여 원추상으로 발산하도록 되어 있다.
각 렌즈(35)의 초점거리(f)는 제7도 및 제9도에 도시한 바와 같이, 원환상의 발산광(43)이 깊이(T), 내경(D)을 가지는 관통공(44) 내벽면의 일측을 전면적으로 조사할 수 있는 최소 경사각도 α0, 즉 arctanT/D(이하, 소정 경사각도라 한다) 및 그에 가까운 여러 경사각도로 기판(31)에 입사되도록 설정되어 있다.
또한, 제1도 내지 제3도 및 제6도에 도시한 렌즈(35)의 크기는 보기 쉽게 확대한 크기로 그려져 있다.
각 렌즈(35),(35),(35)...는 성형이 용이한 투명재료, 예를들어 광경화수지 혹은 아크릴재로 만들어져 있다. 그러나, 아크릴재는 단파장(300나노미터 이하)의 자외선에 의해 열화되기 쉽기 때문에, 원호상 단면을 가지는 파이렉스 유리제의 광학필터(도시하지 않음)를 각 방전등의 근방에, 혹은 평판상의 광학필터(도시하지 않음)를 각 방전등과 각 집광장치 사이에 배치함으로써 렌즈(35) 이외에, 화상 형성용 피름 및 후술하는 투명판(45a),(45b)(이것도 아크릴재로 만들어진 경우가 많다)의 수명을 연장시킬 수 있어 적합하다.
각 집광장치(34a)(34b)의 전후방향의 이동을 가능케 하기 위해, 상기 연부재(37)는 제2도에 도시한 바와 같이, 그 좌우측 부분에 돌출설치된 안내부재(46),(46)를 개재시켜 내측틀재(47)의 내측에 설치된 안내홈을 따라 슬라이딩하도록 지지되어 있으며, 연부재(37)와 내측틀재(47) 사이에 걸쳐 설치된 구동기구(48a)(제3도 참조)에 의해 구동되도록 되어 있다.
또한, 내측틀재(47)는 제1도 및 제3도에 도시한 바와 같이, 그 전후측에 돌출 설치된 4개의 안내부재(49),(49),(49),(49)를 개재시켜 외측틀재(50)의 내측에 설치된 안내홈(51),(51)을 따라 슬라이딩 하도록 지지되어 있으며, 내외측의 틀재(47),(50) 사이에 걸쳐 설치된 구동기구(48b)(제3도 참조)에 의해 좌우방향(화살표 c)으로 이동되도록 되어 있다.
각 구동기구(48a),(48b)는 그 어느것이나 나사기구를 이용한 거의 같은 형태의 공지의 것으로, 제2도에 도시한 바와 같이 구동측의 수납부재(52)와, 이 수납부재(52)에 회전 가능하게, 그러나, 전후진 되지 않도록 지지된 나사봉(53)과, 이 나사봉(53)을 회전 구동하는 모터(54)와, 상기 나사봉(53)에 계합한 상태로 피동측으로 고정한 나사 부재(55)등에 의해 구성되어 있으며, 나사봉(53)을 회전하면 나사부재(55)가 나사봉(55)을 따라 전후진 동작을 하며, 피동측을 나사봉(53)의 방향으로 구동하도록 되어 있다.
또한, 외측틀재(50)는 제2도 및 제3도에 도시한 바와 같이, 그 좌우측 부분에 돌설된 4개의 안내 부재(56),(56),(56),(56)을 개재시켜 4개의 안내기둥(57),(57)(57),(57)을 따라 승강되도록 지지되어 있으며, 나사기구를 이용한 공지의 구동기구(도시하지 않음)에 의해 상하방향(화살표 b)으로 구동되도록 되어 있다.
기판(31)은 정방형 또는 장방형으로 되어 있으며, 제4도에 도시한 바와 같이 그 전면에 걸쳐 다수(수천 내지는 일만개)의 관통공(44)이 기판(31)을 연직방향으로 관통하고 있다. 또한, 기판(31)은 제2도에 도시한 바와 같이 상하의 인화틀(58),(59)에 부착된 투명판(45a),(45b)사이에 화상형성용필름(도시하지 않음)을 개재시켜 협착되어 있으며, 하부 인화틀(59)에 부착된 4개의 주행바퀴(60),(60),(60),(60) 및 2개의 주행레일(62),(62)을 개재시켜 노광부(63)와 조작부(64) 사이를 왕복하도록 되어 있다(제1도 화살표e).
또한, 제4도의 부호(65)는 기판(31)을 에워싸도록 하부 투명판(45b)에 설치한 시일용의 제방고무(sealing bank member of rubber)이며, 노광중 공지한 바와 같이 제방고무(65)와 상하 투명판(45a),(45b)에 의해 쌓인 편평한 공간을 감압상태로 하여, 화상형성용필름(도시하지 않음)을 기판(31)의 표면에 밀착시키도록 되어 있다.
각 반사경(33),(33)의 단면은 포물선상으로 형성되어 있으며, 포물면의 초점위치에 방전등(32)이 배치되어 있다. 또한, 제1도에 도시한 부호(66,66)은 각 방전등(32),(32)에서 조사된 자외선이 직접 기판(31)에 입사되는 것을 방지하기 위한 차단판, (67)은 각 방전등(32),(32)의 축선에 대해서 직교하는 방향으로 유도하는 레버이다.
다음에, 본 실시예 장치의 취급요령 및 작동에 대해 설명한다. 우선, 기판(31)을 조작부(64)에 두고, 기판(31)대신에 적당수의 조도계(照度計 ; 도시하지 않음)를 상방 및 하방을 향해 노광위치에 두어, 상하의 방전등(32),(32)에서 자외선을 조사한다. 다음에 상방의 집광장치(34a)를 4개의 안내기둥(57),(57),(57),(57)을 따라 승강 작동시켜, 상향 배치한 상기 조도계가 지시하는 값을 측정하면서 상방 각 렌즈(35)의 제1초점(42),(42),(42)...이 분포하는 레벨(68) 및 제2초점(69),(69),(69)...(상호 인접하는 4개의 렌즈가 형성하는 초점을 말한다)이 분포하는 레벨(70)을 검출하고, 기판(31)의 상면(41a)이 상기 레벨(68),(70)을 거의 당분으로 분할하는 중간 레벨로 하도록 상방의 집광장치(34a)와 기판(31)간의 거리(g)를 설정한다. 또한, 하방의 집광 장치(34b)에 대해서도 동일한 조작을 행하여 기판(31)으로부터의 거리를 설정한다.
이상으로 준비가 완료되므로 다음에 노광을 행한다.
노광중 상하 방전등(32),(32)에서 조사된 자외선의 대부분은 제6도에 도시한 바와 같이, 상하 반사경(33),(33)에 반사된 후 평행광(화살표 71)이 되어 상하 집광장치(34a),(34b)에 입사되고, 각 입사광은 각 렌즈(35)를 통해서 제1초점(42)에서 집광된 후 원환상의 단면을 가지는 빛이 되어 원추상으로 발산된다. 그리고, 이 발산광(43)은 소정 경사각도 α0및 그에 가까운 여러 경사각도로 기판(31)에 입사하고, 입사장소(72)(제8도의 헤칭 부분 참조)에 있는 관통공의 내부 및 기판 표면의 전착성 포토레지스트를 경화시킨다.
여기서, 구동기구(48a),(48b)를 작동시켜 상하 집광장치(34a),(34b)를 전후방향(화살표 a) 및 좌우방향(화살표 c)으로 이동시킨다. 이 조작에 의해 발산광(43)의 입사장소(72)가 기판(31)의 표면을 따라 이동하고, 그때까지 조사되지 않았던 관통공내 및 기판 표면의 전착성 포토레지스트를 경화 시킨다.
이렇게 하여, 집광 장치(34a),(34b)를 조금씩 이동시키면 기판(31) 전체에 걸쳐 자외선이 구석구석까지 조사됨으로써 노광이 완료된다.
또한, 상기 설명에서는 기판(31)과 상하 집광장치(34a),(34b)간의 거리(g)를 레벨(68) 및 (70)의 중간 위치에 설정하였으나, 그 대신에 g의 값을 약간 크게 설정해도 좋으며, 그와 같이 하면 발산광(43)의 입사장소(72)의 확산을 더 크게 할 수 있고, 집광장치(34a),(34b)의 이동거리 및 이동회수를 적게할 수 있다.
상하 제1초점(42),(42)에서 원환상으로 발산된 발산광(43),(43)이 관통공(44)의 내부 및 기판(31)의 표면을 조사한 상태를 제9도에 확대하여 나타낸다. 상하 발산광(43),(43)(단면에 헤칭을 행하여 나타냄)이 소정 경사각도 α0및 그에 가까운 여러 경사각도로 관통공내로 입사되므로, 관통공 내벽면의 일측이 거의 균등하게 경화된다.
한편, 기판 상하면(41a),(41b)의 전착성 포토레지스트 부분은 상하 방향으로부터의 발산광(43),(43)중 어느 한쪽의 조사를 받아 경화된다.
이하, 관통공 내부 및 기판 표면의 전착성 포토레지스트에 대한 노광의 과부족에 대해 검토한다.
이미 제14도를 참조하여 설명한 바와 같이, 자외선이 동일 경사각도 α 로 입사된 경우, 기판 표면의 포토레지스트는 관통공내의 그것에 비해 tanα 배의 광량을 수광하는데, 본 발명에서는 상하 방향으로부터의 발산광(43),(43)에 의해 관통공내의 노광을 행하는 기판표면에서는 상하 어느 한쪽의 발산광(43)에 의해 노광을 행하기 때문에 관통공내의 전착성 포토레지스트에 대해 표준적인 노광을 행한 경우, 기판 표면에서는 1/2·tanα 배의 광량을 수광하게 된다.
그러나, 현상등의 후공정에 지장을 일으키지 않는 과잉 노광한도는 표준광량의 3-4배이므로(현재 전착성 포토레지스트의 표준 노광량은 150 - 200밀리 주울이며, 과잉 노광한도는 600 - 700 밀리 주울이다), 예를들어 관통공내의 노광량을 150 밀리 주울로 하고 기판 표면의 노광량을 600 밀리 주울로 설정하면, 1/2·tanα =4, 즉 기판의 두께가 1.6밀리미터인 경우, 관통공 내경이 0.2밀리미터 이상의 기판에 대해 실용상 지장을 일으키지 않는 범위에서 적정 노광을 행할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예를 제10도에 도시한다. 이 실시예는 제2실시예에 있어서의 기둥모양의 렌즈 대신에 편평한 구면렌즈(35a),(35a),(35a),(35a)...를 이용하는 것으로, 각 구면렌즈(35a)는 방형모양의 판상의 필터(74)의 하면, 즉 기판(31)에 가까운 측에 상호 근접한 상태로 부착되어 있으며, 각 구면렌즈(35a)사이의 틈에는 광을 차단하는 불투명 물질(도시하지 않음)이 충전되어 있다.
각 구면렌즈(35a)의 중심부에는 오목부(75)가 설치되어 있다. 이 오목부(75)는 각 구면렌즈(35a)의 중심부에 입사된 광을 산란시키고, 혹은 렌즈 중심부로부터 출사하는 광을 발산시킴으로써 렌즈의 광축(76)에 기까운 측의 출사광의 강도를 저하시키기 위한 것으로, 제1실시예에 있어서의 불투명 물질(39)과 거의 동일한 역할을 하는 것이다.
또한, 오목부(75)를 각 구면렌즈(35a)의 입사측에 설치하는 대신에 출사측에 설치해도 된다. 광학 필터(74)는 조사광중의 유해광(적외선 또는 300나노미터 이하의 단파장 자외선등)을 제거하기 위한 것으로, 필요에 따라 각종 재료의 것을 복수층으로 구성해도 무방하다.
제1실시예에 있어서의 렌즈의 변형을 제11도에 도시한다. 이 변형은 색수차를 흡수하는 렌즈(35b)의 중심부에 원판상의 불투명부(39b)를 설치한 것으로, 이외에는 변하는 곳은 없다.
또한, 본 발명은 전술한 실시예에만 한정되는 것이 아니라, 예를들어 적외선 조사장치에는 점광원(쇼트 아크식 방전등)과, 평면 형상을 점대칭으로 형성한 포물선상의 반사경을 조합하여 사용해도 좋은 점, 또한 기판을 제1초점보다 집광장치에 가까운 측에 위치시켜 발산광 대신에 집속하는 광을 기판에 조사하여도 좋은 점, 기타 발명의 요지를 일탈하지 않은 범위내에서 각종의 변경이 가능함은 물론이다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은 다음의 뛰어난 효과를 발휘한다.
(1) 렌즈를 통과한 원추상의 광이 소정 경사각도 또는 그에 가까운 여러 각도로 비스듬한 상방 또는 하방에서 기판으로 입사되므로, 기판 표면 및 관통공내의 전착성 포토레지스트를 과부족없이 적당한 정도로 경화 시킬 수 있다.
(2) 집광장치를 수평방향으로 이동하면, 기판 전면 및 모든 관통공내의 전착성 포토레지스트를 남김없이 경화시킬 수 있어, 제조품질의 저하를 방지할 수 있다.
(3) 상기 (1),(2)의 결과, 기판 표면 및 관통공내의 전착성 포토레지스트의 노광을 연속적으로 실시할 수 있으며, 또한 종래와 같이 에칭을 위한 전처리를 행하거나, 혹은 마스크를 착탈할 필요가 없으므로 노광작업의 능률 향상을 꾀할 수 있다.

Claims (1)

  1. 화상형성용 피름을 개재시켜 기판에 자외선을 조사하고, 상기 기판 표면 및 관통공의 내벽면에 행한 전착성 포토레지스트에 광화학 반응을 일으켜서 기판 표면에 화상을 형성시키는 노광장치에 있어서, 방전등과 반사경을 갖는 상하의 자외선 조사장치와, 다수의 렌즈를 상호 근접시켜 수평방향으로 병렬시킨 상하의 집광장치를 구비하고, 상기 상하 자외선 조사장치는 기판의 상방 및 하방에 상하 대칭으로 이격 배치되어 있으며, 상기 상하 집광장치는 각 방전등과 기판의 사이에 개재되어 수평방향으로 이동 가능하게 이격 배치되어 있고, 각 렌즈는 입사된 자외선이 렌즈의 광축을 에워싸는 원추상의 광을 출사하도록 광학적으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 화상 형성용 노광장치.
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