JP2020118849A - 光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】照射面の均斉度の最適化及び、マスク部材を均一に冷却できる光照射装置を提供する。【解決手段】複数の照射器４と、各照射器４とワークＷとの間に配置されるマスク部材６と、マスク部材６を保持する棒状のマスク保持部材２４と、マスク部材６に冷却風を吹き付けて冷却する冷却装置１２とを備え、冷却装置１２は、冷却風をマスク保持部材２４の長手方向からマスク部材６に吹き付ける。【選択図】図１

Description

本発明は、光照射装置に関する。

従来、液晶基板等のワークを貼り合わせる工程において、ワークに光を照射して接着剤を硬化する光照射装置が用いられている。この光照射装置には、ワークの所定の箇所をマスクする平板状のマスク部材を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、このような光照射装置には、通常、マスク部材を冷却するため、冷却装置が設けられている。

特開２０１５−１９４５８２号公報

しかしながら、近年、液晶パネルの大型化にともない照射器とマスク保持部材の配置によっては、照射面の均斉度の悪化、マスク部材の冷却不足の問題が発生する。
本発明は、照射面の均斉度の最適化及び、マスク部材を均一に冷却できる光照射装置を提供することを目的とする。

本発明の光照射装置は、照射器と、前記照射器とワークとの間に配置されるマスク部材と、前記マスク部材を保持する棒状のマスク保持部材と、前記マスク部材に冷却風を吹き付けて冷却する冷却装置とを備え、前記冷却装置は、前記冷却風を前記マスク保持部材の長手方向から前記マスク部材に吹き付けることを特徴とする。

本発明は、上記光照射装置において、前記冷却装置は、前記冷却風を前記マスク部材に吹き付けて、前記マスク部材の一方の端部から他方の端部に向かって流すことを特徴とする。

本発明は、上記光照射装置において、前記照射器は、前記ワークの上方に配置され、前記冷却装置は、前記マスク部材の近傍に配置されたノズルにダクトを介して冷却風を供給する送風装置を備え、当該送風装置を前記ワークの下側に配置したことを特徴とする。

本発明は、上記光照射装置において、前記照射器は、前記ワークの上方に配置され、前記冷却装置は、前記マスク部材の近傍に配置されたノズルに複数のダクトを介して冷却風を供給する送風装置を備え、前記ダクトのそれぞれが前記ノズルから上方に延びて前記送風装置に接続されており、前記ダクトのそれぞれの間に、前記照射器が引き出し可能に配置されていることを特徴とする。

本発明は、上記光照射装置において、前記照射器は、線状の光源を有し、前記マスク保持部材は、長手方向が前記光源の長手方向に直交して配置されていることを特徴とする。

本発明によれば、マスク部材を均一に冷却することができる。

本発明実施形態に係る光照射装置の内部構造をワークの長手方向から視た側面図である。 光照射装置の内部構造をワークの短手方向から視た側面図である。 （Ａ）は、照射器と、マスク保持部材との配置を、照射器の側面視で示した図であり、（Ｂ）は、マスク保持部材を光源と平行に配置した場合におけるマスク保持部材の短手方向に沿った断面における光線図である。（Ａ）は、マスク保持部材７４を備えた光照射装置におけるマスク部材６と、光源１４と、マスク保持部材７４との配置をマスク部材６の上面視で示した図である。 （Ａ）は、マスク保持部材を照射器に対して平行配置した光照射装置におけるマスク部材と、光源と、マスク保持部材との配置をマスク部材の上面視で示した図であり、（Ｂ）は、マスク保持部材を照射器に対して直交配置した光照射装置におけるマスク部材と、光源と、マスク保持部材との配置をマスク部材の上面視で示した図である。 本実施形態の光照射装置と、マスク保持部材を光源と平行に配置した光照射装置とのそれぞれの照度分布値を示した図である。 本発明の変形例に係る光照射装置の内部構造をワークの長手方向から視た側面図である。 本発明の変形例に係る光照射装置の内部構造をワークの短手方向から視た側面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る光照射装置１の内部構造をワークＷの長手方向Ｘから視た側面図であり、図２は、光照射装置１の内部構造をワークＷの短手方向Ｙから視た側面図である。
光照射装置１は、液晶パネル等のワークＷを貼り合わせる工程において、ワークＷの所定箇所に紫外線を照射して、当該ワークＷに用いられた接着剤である光硬化性樹脂（光硬化性材料）を硬化させる装置である。
光照射装置１は、図１、及び図２に示すように、筐体２の内部に、複数の照射器４と、マスク部材６と、マスクホルダ８と、ステージ１０と、冷却装置１２を有している。

ワークＷは、液晶パネル、又は有機ＥＬ用パネル等の表示パネルを構成するガラス製の２枚の光透過基板を備え、これら光透過基板間にシール材となる光硬化性樹脂が介挿されている。各照射器４からの光で光硬化性樹脂を硬化することによって、光照射装置１は、光透過基板同士を貼り合わせる。
ワークＷは長方形の板形状であり、図１、及び後述する各図において、ワークＷの長手方向Ｘを符号Ｘで示し、ワークＷの短手方向Ｙを符号Ｙで示している。ワークＷの長手方向ＸとワークＷの短手方向Ｙとは互いに直交する関係である。

複数の照射器４は、ワークＷに向けて光を照射するものであり、各照射器４は、ワークＷの上方に所定の間隔を空けて配置されている。本実施形態の光照射装置１には、１０台の照射器４が用いられており、ワークＷの長手方向Ｘに５台、短手方向Ｙに２台となるように、それぞれが所定の間隔を空けて並べられている。照射器４は、光源１４と、光源１４からの光を反射して配光制御する反射鏡１６と、光源１４、及び反射鏡１６を収容する金属製のケース１８と、波長選択フィルタ２０とを有している。

光源１４は、メタルハライドランプや、高圧水銀ランプ等の紫外線を含む光を照射する直管型の放電ランプであり、光源１４は、ワークＷの短手方向Ｙに延びる線状光源である。反射鏡１６は、光源１４におけるワークＷ側を除く領域を包囲し、かつ、光源１４の長軸方向に延びる楕円筒鏡である。この反射鏡１６は、光源１４の光をワークＷの被照射面Ｗ１（ワークＷの上面に相当）に向けて照射する。なお、光源１４には、ランプに限らず、ＬＥＤ等の発光素子を線状に並べたものであってもよい。

ケース１８は、光源１４の下方に矩形状の開口部１８Ａが形成された直方体形状であり、当該ケース１８の長手方向は、光源１４の長手方向と一致している。ケース１８の開口部１８Ａの内側には、所定の波長の光をカットする波長選択フィルタ２０が設けられている。この波長選択フィルタ２０により、各照射器４からワークＷの被照射面Ｗ１に所望の波長の光を照射可能となっている。なお、波長選択フィルタ２０は、ケース１８の外に配置されていても良い。また、所定波長の光のカットが不要な場合は、波長選択フィルタ２０を省略しても良い。

また、本実施形態に用いられる各照射器４は、長手方向にスライドさせることで、筐体２から引き出し可能となっており、各照射器４のメンテナンス作業を行う場合には、当該照射器４を引き出して光源１４の交換作業などを行うことが可能である。

また、各照射器４とマスクホルダ８との間には、複数の補助反射板２２が設けられている。これらの補助反射板２２は、各照射器４から出射した光を配光制御する部材で、矩形の板状となっている。各補助反射板２２は、それぞれの長手方向がワークＷの上面視で、当該ワークＷの各辺に沿うように配置されている。また、ワークＷの長手方向Ｘに沿って配置された一対の補助反射板２２は、互いに対面するように配置されている。同様に、ワークＷの短手方向Ｙに沿って配置された一対の補助反射板２２同士は、互いに対面するように配置されている。すなわち、これらの補助反射板２２は、ワークＷの上面視で当該ワークＷの四方を囲む四角筒状に組まれ、また、その内壁面が反射面として構成されている。
これらの補助反射板２２がワークＷの被照射面Ｗ１から外れて出射される光を被照射面Ｗ１内に反射させることで、ワークＷの被照射面Ｗ１の照度を向上させると共に、被照射面Ｗ１の照度の偏りが抑制される。

マスク部材６は、ワークＷの照射不要な箇所、例えば液晶が配置された箇所を被覆し、各照射器４からの光を遮光するものであり、当該ワークＷは、複数の照射器４の照射領域に延在する長方形の板状に形成されている。マスク部材６の長手方向Ｘは、ワークＷの長手方向Ｘと一致し、マスク部材６の短手方向ＹもワークＷの短手方向Ｙと一致する。以下、説明を判り易くするため、マスク部材６の長手方向Ｘ、及びマスク部材６の短手方向Ｙについても、符号Ｘ、Ｙを付して説明する。

マスクホルダ８は、マスク部材６を保持するものであり、当該マスクホルダ８は、複数のマスク保持部材２４（石英バーとも称する）と、複数のマスク保持部材２４を保持するフレーム２６とを有している。
複数のマスク保持部材２４は、光を透過する透光部材である石英等で形成され、角柱状（棒状）に成形された部材である。これらのマスク保持部材２４は、図２に示すように、マスク部材６側に開口する溝２４Ａを有し、溝２４Ａ内を真空にすることによってマスク部材６を吸着（真空吸着とも称する）し、保持する。

フレーム２６は、平面視で略矩形の枠状に形成されており、マスク部材６の上面視で、当該ワークＷの四方を囲むように配置されている。また、フレーム２６の下面において、マスク部材６の短手方向Ｙに沿う箇所のそれぞれには、取付金具２８が設けられている。一対の取付金具２８は、長板状の部材であり、長手方向がマスク部材６の短手方向Ｙに沿って延び、短手方向がフレーム枠内に延びている。
各マスク保持部材２４の一対の端部２４Ｂ１、２４Ｂ２は、いずれもこの一対の取付金具２８に支持される。すなわち、各マスク保持部材２４は、一対の取付金具２８を架橋し、マスク部材６の上面視で、各取付金具２８とそれぞれ交差する部位である一対の端部２４Ｂ１、２４Ｂ２が各取付金具２８に支持される。

ステージ１０は、ワークＷが載置される平板状の部材で、マスク部材６を挟んで照射器４とは反対側（本実施形態では、マスク部材６の下面側）に配置され、上昇及び下降する。これによって、ワークＷが照射位置と交換位置とに移動される。

図３（Ａ）は、照射器４と、マスク保持部材７４との配置を、照射器４の側面視で示した図である。また、図３（Ｂ）は、マスク保持部材７４の短手方向に沿った断面における光線図である。
図４（Ａ）は、マスク保持部材７４を照射器４に対して平行配置した光照射装置におけるマスク部材６と、光源１４と、マスク保持部材７４との配置をマスク部材６の上面視で示した図である。また、図４（Ｂ）は、マスク保持部材２４を照射器４に対して直交配置した光照射装置１におけるマスク部材６と、光源１４と、マスク保持部材２４との配置をマスク部材６の上面視で示した図である。
ここで、光照射装置１のマスク保持部材２４に代えて、マスク保持部材７４が用いられた光照射装置について説明する。この光照射装置は、マスク保持部材７４が用いられている点においてのみ光照射装置１と異なり、その他の構成については光照射装置１と同一である。この光照射装置のマスク保持部材７４は、図３（Ａ）、及び図４（Ａ）に示すように、長手方向が光源１４、及び照射器４の長手方向に平行となるように配置される。
なお、マスク保持部材７４は、マスク保持部材２４と同一の材料、及び形状を有しており、長手方向の長さがマスク部材６の短手方向Ｙと同程度の長さとなっている点で異なっている。

図３（Ｂ）に示すように、光源１４から放射された光の内、マスク保持部材７４の一方の側面７４Ｂ１から内部に入射した入射光をＬ１とすると、一部の入射光Ｌ１は、出射光Ｌ２として、他方の側面７４Ｂ２からマスク部材６側に出射する。すなわち、出射光Ｌ２は、ワークＷの被照射面Ｗ１に照射される。一方、所定の角度で入射した一部の入射光Ｌ１は、マスク保持部材７４の底面７４Ｂ３で全反射し、出射光Ｌ３として他方の側面７４Ｂ２から光源１４側に出射する。すなわち、出射光Ｌ３は、ワークＷの被照射面Ｗ１に到達しない。
このため、ワークＷの被照射面Ｗ１の照度分布において、マスク保持部材７４付近の照度が他の箇所よりも低下し、均斉度が悪化する。

さらに、マスク保持部材７４の長手方向と、光源１４の長手方向とを平行に配置すると、マスク保持部材７４の長手方向全体に亘って、底面７４Ｂ３と、光源１４とが所定角度で対面する箇所が生じる。このため、マスク保持部材７４の長手方向全体に亘って、入射光Ｌ１の全反射が生じ、マスク保持部材７４付近の照度が低下する。

そこで、本実施形態の光照射装置１では、図４（Ｂ）に示すように、複数のマスク保持部材２４は、長手方向が各光源１４、及び照射器４の長手方向に直交して配置されている。
このため、複数のマスク保持部材２４は、マスク部材６の短手方向Ｙに間隔を空けて配置され、長手方向がマスク部材６の長手方向Ｘに沿って延びている。本実施形態では、マスク保持部材２４は、５つが用いられ、等間隔に配置されている。
なお、マスク保持部材２４の配置数は、任意であり、また、各マスク保持部材２４同士の間隔は、等間隔でなくてもよい。

このように配置されることによって、各マスク保持部材２４の長手方向において、マスク保持部材２４の底面と、光源１４とが所定角度で対面する箇所が限定される。このため、入射光Ｌ１の全反射が生じる箇所が減少し、ワークＷの被照射面Ｗ１の照度分布において、マスク保持部材２４付近の照度の低下が抑制され、均斉度が改善される。

図５は、本実施形態の光照射装置１と、マスク保持部材７４を照射器４に対して平行配置した光照射装置におけるそれぞれの照度分布値を示した図である。
ここで、マスク保持部材２４を照射器４に対して直交配置した光照射装置１と、マスク保持部材７４を照射器４に対して平行配置した光照射装置とのそれぞれの受光面における照度分布を計測し、最大値、最小値、及び平均値と、均斉度を求めた結果を図５に示す。
なお、この計測において、マスク保持部材２４を照射器４に対して直交配置した光照射装置１と、マスク保持部材７４を照射器４に対して平行配置した光照射装置とでは、マスク保持部材２４、７４のみが異なり、その他の部材は、同一のものが同一の数で用いられた。また、受光面は、いずれもマスク保持部材の底面から２ｍｍ下方に設定した。さらに、均斉度は、次式（１）で求めた。
均斉度＝（最大値−最小値）／（最大値＋最小値）×１００ （１）

図５に示すように、光照射装置１は、マスク保持部材７４を照射器４に対して平行配置した光照射装置よりも照度の最大値が低下し、最小値が上昇した。また、照度の平均値は、同程度となり、マスク保持部材２４を照射器４に対して直交配置した光照射装置１は、マスク保持部材７４を照射器４に対して平行配置した光照射装置と比較して、光量の低下が生じなかった。さらに、光照射装置１の均斉度は、マスク保持部材７４を照射器４に対して平行配置した光照射装置の均斉度よりも低い値となり、改善が見られた。
これらの結果から、複数のマスク保持部材２４の長手方向を、前記光源１４の長手方向に直交するように配置することで、ワークＷの被照射面Ｗ１の照度分布において、マスク保持部材２４付近の照度の低下を抑制し、均斉度を改善することができる。

次いで、冷却装置１２について説明する。
本実施形態の冷却装置１２は、マスク部材６、及びマスク保持部材２４に冷却風を吹き付けて冷却し、照射器４からの照射光によるマスク部材６の変形や落下、及びマスク保持部材２４のたわみを抑制する。冷却装置１２は、図２に示すように、２台の送風装置３０と、これらの送風装置３０からそれぞれ延びる送風ダクト３２と、送風ノズル３４とを備えている。
各送風装置３０は、送風ダクト３２を介して送風ノズル３４に冷却風を送り出す装置であり、各送風装置３０は、光照射装置１の筐体２の内部において、ステージ１０の下方に配置されている。また、各送風装置３０は、図１に示すように、ワークＷの長手方向Ｘから視て、いずれもマスク保持部材２４の一方の端部２４Ｂ１側に配置されている。さらに、ワークＷの短手方向Ｙから視て、それぞれがワークＷの短手方向Ｙにおける両端に位置する箇所に、１台ずつ配置されている。

一対の送風ダクト３２は、図１、及び図２の矢印で示すように、各送風装置３０から送り出された冷却風を送風ノズル３４に送風する管状部材である。各送風ダクト３２は、各送風装置３０と、これらの送風装置３０の上方に位置する送風ノズル３４とを接続している。
このように、各送風装置３０と、各送風ダクト３２が照射器４の下方に設けられることによって、各照射器４の周辺に冷却装置１２を構成する部材が配置されることがなくなる。これによって、各照射器４を他の部材に遮られることなく引き出すことができ、光源１４の交換といった照射器４のメンテナンス作業が容易となる。

また、各送風装置３０から、送風ノズル３４までの間において、他の部材によって遮られることがなく、送風装置３０を筐体２の片側のみに配置することで、各送風ダクト３２の長さを短くすることができる。このため、冷却装置１２を筐体２の内部に収めることができ、光照射装置１の大きさを小さくすることができる。さらに、マスクホルダ８を容易に引き出し可能なメンテナンススペースを設けることができる。

送風ノズル３４は、冷却風を、マスク保持部材２４の一方の端部２４Ｂ１側からマスク部材６に吹き付ける部材であり、この送風ノズル３４は、マスク部材６の近傍に配置されている。
具体的には、送風ノズル３４は、マスク保持部材２４の一方の端部２４Ｂ１側において、フレーム２６のマスク部材６の短手方向Ｙに沿った箇所の上方に配置されている。また、送風ノズル３４は、マスク部材６の短手方向Ｙに沿って延びる角柱形状であり、当該送風ノズル３４は、フレーム２６の短手方向における長さと同程度の長さを有している。
また、送風ノズル３４の底面には、当該送風ノズル３４の長手方向の両端に位置する箇所にそれぞれ接続部３４Ａ１、３４Ａ２が設けられ、これらの接続部３４Ａ１、３４Ａ２に各送風ダクト３２が接続されている。

送風ノズル３４のマスク部材６に対向している側面には、当該側面に沿って、当該マスク部材６の短手方向Ｙにおける長さと同程度の幅を有するノズル先端部３４Ｂが設けられている。このノズル先端部３４Ｂは、フレーム２６の上方から、送風ノズル３４の下方に位置するマスク部材６の上面６Ａに延びており、当該ノズル先端部３４Ｂは、マスク部材６の上面６Ａに向けられて、接近した位置に配置されている。また、ノズル先端部３４Ｂは、全面が開口しており、冷却風を吹き出す開口部である送風開口３４Ｃが設けられている。

送風開口３４Ｃは、マスク部材６の上面６Ａに十分に接近して配置され、マスク部材６の長手方向Ｘにおいて、マスク保持部材２４の一方の端部２４Ｂ１側に位置するマスク部材６の端部６Ｂに接近している。
また、送風開口３４Ｃは、上述の通り、ノズル先端部３４Ｂの長手方向全体が開口することによって設けられている。すなわち、送風開口３４Ｃは、マスク部材６の上面６Ａに対して、マスク部材６の端部６Ｂ側に、短手方向Ｙの全体に亘って当該冷却風を吹き付けることが可能となっている。
また、上述の通り、送風開口３４Ｃは、マスク部材６の上面６Ａに十分に接近して配置され、かつマスク部材６の他方の端部６Ｃに向かうように冷却風を吹き付ける。このため、冷却風を吹き付けた場合に、当該冷却風が巻き上がることが抑制され、マスク部材６の上面６Ａに沿って円滑に冷却風を流すことが可能である。
なお、本実施形態の送風開口３４Ｃは、ノズル先端部３４Ｂの長手方向全体に亘って、光照射装置１の上下方向に一様な幅で開口している。

これによって、各送風装置３０から送り出された冷却風は、送風ダクト３２を介して送風ノズル３４に送風される。この冷却風は、マスク部材６の一方の端部６Ｂ側から、マスク部材６の上面６Ａに吹き付けられる。
また、各マスク保持部材２４は、長手方向がマスク部材６の長手方向Ｘに沿って配置されている。このため、冷却装置１２は、冷却風をマスク保持部材２４の長手方向からマスク部材６に吹き付ける。そして、マスク部材６の上面６Ａに吹き付けられた冷却風は、各マスク保持部材２４に沿って流れ、他方の端部６Ｃ側から排出される。このように、冷却装置１２は、マスクの一方の端部６Ｂからのみ冷却風を吹き付け、一方向に向けて流すことによって、冷却風同士が衝突し、巻き上がることを抑制する。また、吹き付けられた冷却風は、各マスク保持部材２４によって流れを堰き止められることなくマスク部材６の上面６Ａを流れる。このため、マスク部材６の上面６Ａに沿って円滑に冷却風を流すことができ、マスク部材６を均一に冷却すると共に、各マスク保持部材２４も同時に冷却することができる。

上述した実施形態によれば、次の効果を奏する。

本実施形態の光照射装置１は、複数の照射器４と、当該照射器４とワークＷとの間に配置されるマスク部材６と、当該マスク部材６を保持する棒状のマスク保持部材２４と、マスク部材６に冷却風を吹き付けて冷却する冷却装置１２を備えている。そして、冷却装置１２は、冷却風をマスク保持部材２４の長手方向Ｘからマスク部材６に吹き付ける構成とした。
これによって、各マスク保持部材２４は、マスク部材６の上面６Ａを流れる冷却風を遮ることがなく、このため、冷却装置１２は、当該冷却風を円滑に流すことができ、マスク部材６を均一に冷却すると共に、各マスク保持部材２４も同時に冷却することができる。

また、本実施形態によれば、冷却装置１２は、冷却風をマスク部材６に吹き付けて、マスク部材の一方の端部６Ｂから他方の端部６Ｃに向かって流す構成とした。これによって、吹き付けられた冷却風同士が衝突し、巻き上がることを抑制し、マスク部材６の上面６Ａに沿って円滑に冷却風を流すことができ、マスク部材６を均一に冷却すると共に、各マスク保持部材２４も同時に冷却することができる。

また、本実施形態によれば、冷却装置１２は、ワークＷの近傍に配置された送風ノズル３４に複数の送風ダクト３２を介して冷却風を供給する送風装置３０を備え、当該送風装置３０をワークＷの下側に配置した構成とした。これによって、各照射器４を他の部材に遮られることなく引き出すことができ、光源１４の交換といった照射器４のメンテナンス作業を容易に行うことができる。
さらに、冷却装置１２を筐体２の内部に収めることができ、光照射装置１の大きさを小さくすることができる。加えて、マスクホルダ８を容易に引き出し可能なメンテナンススペースを設けることができる。

また、本実施形態によれば、照射器４は、複数の線状の光源１４を備え、各マスク保持部材２４は、長手方向が各光源１４の長手方向に直交して配置されている構成とした。これによって、ワークＷの被照射面Ｗ１の照度分布において、マスク保持部材２４付近の照度の低下を抑制し、均斉度を改善することができる。

次に本発明の変形例について説明する。
図６は、本発明の変形例に係る光照射装置１００の内部構造をワークＷの長手方向Ｘから視た側面図である。また、図７は、光照射装置１００の内部構造をワークＷの短手方向Ｙから視た側面図である。
図６、及び図７において、図１、及び図２と同一部分には同一の符号を付して説明を省略する。なお、図６、及び図７において、照射器４の各部材を示す符号は、省略している。
本変形例の光照射装置１００は、上述した実施形態の光照射装置１と同様であり、各マスク保持部材１２４の長手方向と各光源１４の長手方向とが平行となるように配置されている点、及び冷却装置１１２が備える送風ダクト１３２が光照射装置１００の上方に配置される点で相違する。
また、本変形例の光照射装置１００には、１４台の照射器４が用いられており、ワークＷの長手方向Ｘに７台、短手方向Ｙに２台となるように、それぞれが並べられている。

本変形例の光照射装置１００においては、フレーム２６の枠内側に位置する側面の内、マスク部材６の長手方向Ｘに沿う箇所には、取付金具１２８が設けられている。一対の取付金具１２８は、長板状の部材であり、長手方向がマスク部材６の長手方向Ｘに沿って延び、短手方向がフレーム２６の枠内に向かって延びている。
各マスク保持部材１２４の一対の端部１２４Ｂ１、１２４Ｂ２は、いずれもこの一対の取付金具１２８に支持される。すなわち、各マスク保持部材１２４は、一対の取付金具１２８を架橋する。

このため、複数のマスク保持部材１２４は、マスク部材６の長手方向Ｘに間隔を空けて配置され、長手方向がマスク部材６の短手方向Ｙに沿って延びている。本変形例では、マスク保持部材１２４は、１５本が用いられ、等間隔に配置されている。
なお、マスク保持部材１２４の配置数は、任意であり、また、各マスク保持部材１２４同士の間隔は、等間隔でなくてもよい。

本変形例の冷却装置１１２は、送風装置３０と、送風ダクト１３２と、複数の送風側分岐ダクト１３６と、送風ノズル１３４と、排気ノズル１３８と、複数の排気側分岐ダクト１４０と、排気ダクト１４２を備えている。
本変形例の送風装置３０は、光照射装置１００の筐体１０２の外部に１台が配置されており、当該光照射装置１００の側面視で、ステージ１０よりも下方に配置されている。
送風ダクト１３２は、一方の端部が各送風装置１３０に接続され、他方の端部側が筐体１０２の上面に沿って延びている。

また、送風ダクト１３２の下面には、複数の送風側分岐ダクト１３６が接続されている。各送風側分岐ダクト１３６は、図６、図７の矢印で示すように、冷却風を送風ノズル１３４に送風する管状部材であり、いずれも一方の端部が送風ダクト１３２に接続され、他方の端部が筐体１０２の内部に配置された送風ノズル１３４に接続されている。
また、各送風側分岐ダクト１３６は、ワークＷの長手方向Ｘから視て、各照射器４に重ならない箇所に配置されている。すなわち、各送風側分岐ダクト１３６は、各照射器４の間に位置するように配置されている。これによって、各照射器４の短手方向における側面の空間が確保され、各照射器４を他の部材に遮られることなく引き出すことができ、光源１４の交換といった照射器４のメンテナンス作業が容易となる。

送風ノズル１３４は、冷却風を、マスク保持部材１２４の一方の端部１２４Ｂ１側からマスク部材６に吹き付ける部材であり、この送風ノズル１３４は、マスク部材６の近傍に配置されている。
送風ノズル１３４は、マスク保持部材１２４の一方の端部１２４Ｂ１側において、フレーム２６のマスク部材６の長手方向Ｘに沿った箇所の上方に配置されている。この送風ノズル１３４は、ワークＷの長手方向Ｘに沿って延びる角柱形状であり、マスクホルダ８の長手方向Ｘにおける長さと同程度の長さを有している。
送風ノズル１３４のマスク部材６側に位置する側面には、マスク部材６の長手方向Ｘにおける長さと同程度の長さを有する送風ノズル先端部１３４Ｂが設けられている。送風ノズル先端部１３４Ｂは、フレーム２６の上方から、送風ノズル１３４の下方に位置するマスク部材６の上面６Ａに延びており、当該送風ノズル先端部１３４Ｂの前面は、マスク部材６の上面６Ａに向けられて、接近した位置に配置されている。
また、送風ノズル先端部１３４Ｂの前面は、全面が開口しており、冷却風を吹き出す開口部である送風開口１３４Ｃが設けられている。

送風開口１３４Ｃは、マスク部材６の上面６Ａに十分に接近して配置され、マスク部材６の短手方向Ｙにおいて、マスク保持部材２４の一方の端部２４Ｂ１側に位置するマスク部材６の端部６Ｄに接近している。また、送風開口１３４Ｃは、上述の通り、送風ノズル先端部１３４Ｂの長手方向全体が開口することによって設けられている。このため、送風開口１３４Ｃは、マスク部材６の上面６Ａに対して、マスク部材６の端部６Ｄ側に、短手方向Ｙの全体に亘って当該冷却風を吹き付けることが可能となっている。

排気ノズル１３８は、マスク部材６の上面６Ａを流れてきた冷却後の風である熱排風を外部に排気するためのノズルであり、マスク保持部材１２４の他方の端部１２４Ｂ２側において、マスク保持部材１２４と同程度の高さとなるように配置されている。この排気ノズル１３８は、送風ノズル１３４と同様に、マスクホルダ８の枠外に配置されており、ワークＷの長手方向Ｘに沿って延び、マスクホルダ８の長手方向Ｘにおける長さと同程度の幅を有している。

排気ノズル１３８のマスク部材６側に位置する側面には、当該側面に沿って、マスク部材６の長手方向Ｘにおける長さと同程度の幅を有する排気ノズル先端部１３８Ｂが設けられている。排気ノズル先端部１３８Ｂは、マスクホルダ８の枠外から枠内に延びており、当該排気ノズル先端部１３８Ｂの前面は、マスク部材６の上面６Ａに向けられている。また、排気ノズル先端部１３８Ｂの前面は、全面が開口しており、熱排風を吸入する開口部である排気開口１３８Ｃが設けられている。排気開口１３８Ｃは、マスク部材６の上面６Ａの斜め上方に配置され、マスク部材６の短手方向Ｙにおいて、マスク保持部材２４の一方の端部２４Ｂ２側に位置するマスク部材６の端部６Ｅに接近している。

排気ノズル１３８の上面には、複数の排気側分岐ダクト１４０が接続されている。各排気側分岐ダクト１４０は、排気ノズル１３８が吸入した熱排風を筐体１０２の外部に送風する管状部材であり、筐体１０２の上面に向かって延びている。
各排気側分岐ダクト１４０は、各送風側分岐ダクト１３６と同様に、ワークＷの短手方向Ｙから視て、各照射器４に重ならない箇所に配置されている。すなわち、各照射器４の間に位置するように配置されている。これによって、各照射器４の短手方向における側面の空間が確保され、光源１４の交換といった照射器４のメンテナンス作業が容易となる。

筐体１０２の上面から外部に延出した各排気側分岐ダクト１４０は、いずれも筐体１０２の上面に配置された排気ダクト１４２に接続される。排気ダクト１４２は、各排気側分岐ダクト１４０から送風された熱排風をラジエータに送風し、排熱する。

送風装置３０から送り出された冷却風は、送風ダクト１３２、及び各送風側分岐ダクト１３６を介して送風ノズル３４に送風される。この冷却風は、マスク部材６の一方の端部６Ｄ側から、マスク部材６の上面６Ａに吹き付けられる。吹き付けられた冷却風は、マスク部材６の上面６Ａをマスク部材６の短手方向Ｙ、及び各マスク保持部材２４に沿って流れ、他方の端部６Ｅ側に配置されている排気ノズル１３８に吸入される。吸入された熱排風は、各排気側分岐ダクト１４０、及び排気ダクト１４２を介して、筐体１０２の外部に排出される。

以上説明したように、本変形例によれば、冷却装置１１２は、ワークＷの近傍に配置された送風ノズル１３４に複数の送風側分岐ダクト１３６を介して冷却風を供給する送風装置３０を備えている。そして、送風側分岐ダクト１３６のそれぞれが送風ノズル１３４から上方に延びて、送風ダクト１３２を介して送風装置３０に接続されており、ダクトのそれぞれの間に、各照射器４が引き出し可能に配置されている構成とした。
これによって、各照射器４を他の部材に遮られることなく引き出すことができ、光源１４の交換といった照射器４のメンテナンス作業を容易に行うことができる。

なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様の例示であって、本発明の要旨の範囲において任意に変形、及び応用が可能である。

上述した実施形態は、本発明の一態様を例示したものであって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形、及び応用が可能である。

例えば、上述した実施形態では、各マスク保持部材２４は、長手方向が各光源１４の長手方向に平行、及び直交して配置されている構成とした。しかしながらこれに限らず、マスク部材６の上面６Ａに吹き付けられた冷却風が各マスク保持部材２４に沿って流れるように、冷却装置１２が配置されているのであれば、各マスク保持部材２４は、長手方向が各光源１４の長手方向に任意に配置されていてもよい。

また例えば、上述した実施形態では、送風開口３４Ｃは、ノズル先端部３４Ｂの長手方向全体に亘って、光照射装置１の上下方向に一様な幅で開口しているとした。しかしながらこれに限らず、一部の箇所の開口幅を狭くする等、送風開口３４Ｃの開口幅を変化させて、ノズル先端部３４Ｂの長手方向における冷却風の吹き出し量を調節してもよい。

また例えば、上述した実施形態では、送風開口３４Ｃは、マスク部材６の上面６Ａの上方から接近して配置されるとした。しかしながらこれに限らず、送風開口３４Ｃをマスク部材６と同程度の高さに配置し、マスク部材６の横方向から冷却風を吹き付けてもよい。またこの場合、冷却風をマスク部材６に限らず、ワークＷにも吹き付けてもよい。

１、１００ 光照射装置
２、１０２ 筐体
４、５４ 照射器
６、５６ マスク部材
６Ａ 上面
６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅ、２４Ｂ１、２４Ｂ２、１２４Ｂ１、１２４Ｂ２ 端部
８ マスクホルダ
１０ ステージ
１２、１１２ 冷却装置
１４、６４ 光源（線状光源）
２４、７４、１２４ マスク保持部材
２８、１２８ 取付金具
３０、１３０ 送風装置
３２、１３２ 送風ダクト（ダクト）
３４、１３４ 送風ノズル（ノズル）
３４Ｂ ノズル先端部
３４Ｃ、１３４Ｃ 送風開口
１３４Ｂ 送風ノズル先端部
１３６ 送風側分岐ダクト（ダクト）
１３８ 排気ノズル
１４０ 排気側分岐ダクト
１４２ 排気ダクト
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３ 出射光
Ｗ ワーク
Ｗ１ 被照射面
Ｘ 長手方向
Ｙ 短手方向

Claims (5)

1. 照射器と、前記照射器とワークとの間に配置されるマスク部材と、前記マスク部材を保持する棒状のマスク保持部材と、前記マスク部材に冷却風を吹き付けて冷却する冷却装置とを備え、
   前記冷却装置は、前記冷却風を前記マスク保持部材の長手方向から前記マスク部材に吹き付ける
   ことを特徴とする光照射装置。
2. 前記冷却装置は、前記冷却風を前記マスク部材に吹き付けて、前記マスク部材の一方の端部から他方の端部に向かって流す
   ことを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
3. 前記照射器は、前記ワークの上方に配置され、
   前記冷却装置は、前記マスク部材の近傍に配置されたノズルにダクトを介して冷却風を供給する送風装置を備え、当該送風装置を前記ワークの下側に配置した
   ことを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の光照射装置。
4. 前記照射器は、前記ワークの上方に配置され、
   前記冷却装置は、前記マスク部材の近傍に配置されたノズルに複数のダクトを介して冷却風を供給する送風装置を備え、
   前記ダクトのそれぞれが前記ノズルから上方に延びて前記送風装置に接続されており、前記ダクトのそれぞれの間に、前記照射器が引き出し可能に配置されている
   ことを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の光照射装置。
5. 前記照射器は、線状の光源を有し、
   前記マスク保持部材は、長手方向が前記光源の長手方向に直交して配置されている
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の光照射装置。

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