KR20240030195A - 기판용 광 건조 장치 - Google Patents

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KR20240030195A
KR20240030195A KR1020220108921A KR20220108921A KR20240030195A KR 20240030195 A KR20240030195 A KR 20240030195A KR 1020220108921 A KR1020220108921 A KR 1020220108921A KR 20220108921 A KR20220108921 A KR 20220108921A KR 20240030195 A KR20240030195 A KR 20240030195A
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유니램 주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예는 일체형 배기 구조에 의해 효율적인 배기가 가능함과 아울러 장치의 소형화가 가능하고 연속 파장을 이용하여 건조 시간을 단축할 수 있는 기판용 광 건조 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명의 실시예는 기판에 도포된 도포액을 건조하기 위한 기판용 광 건조 장치로서, 내부에 설치 공간을 가지며, 외관을 형성하는 램프 하우징; 상기 램프 하우징의 내부에 구비되어, 상기 램프 하우징의 하부로 광을 방출하여 상기 기판에 도포된 도포액을 건조하는 광원; 상기 램프 하우징의 일측에 연결되어, 상기 광원 측으로 방열을 위한 외부 공기를 공급하는 급기 유로; 상기 램프 하우징의 상부에 연결되어, 상기 광원을 지난 외부 공기가 상기 램프 하우징의 외부로 배출되는 유로를 형성하는 제1 배기 유로; 상기 램프 하우징의 외측 하부에서 상부로 연결되어, 상기 광원으로부터 방출된 광을 통해 상기 기판에 도포된 도포액을 건조하는 과정에서 발생되는 흄(fume)이 배출되는 유로를 형성하는 제2 배기 유로; 및 상기 램프 하우징의 외측 상부에 상기 제1 배기 유로 및 상기 제2 배기 유로와 연결되어, 상기 외부 공기 및 상기 흄이 통합 배출되는 유로를 형성하는 제3 배기 유로;를 포함하는, 기판용 광 건조 장치가 제공된다.

Description

기판용 광 건조 장치 {APPARATUS FOR DRYING SUBSTRATE USING LIGHT}
본 발명의 실시예는 일체형 배기 구조에 의해 효율적인 배기가 가능함과 아울러 장치의 소형화가 가능하고 연속 파장을 이용하여 건조 시간을 단축할 수 있는 기판용 광 건조 장치에 관한 것이다.
최근 반도체, OLED 디스플레이 등의 산업 분야에서 기판과 같은 다양한 유형의 박막 시트를 위한 제조 공정이 적용되고 있다. 상기 박막 시트로서 기판 상에 유기 물질 또는 포토레지스트 등의 얇은 도포액을 코팅 후에는 상기 도포액에 함유된 솔벤트 등의 유기 용매를 제거하는 건조 공정이 필요하다.
종래에는 도포액을 건조하기 위하여 히터와 팬을 이용한 열풍 건조 방식과 적외선 램프를 이용한 광 건조 방식 등을 이용하고 있다.
그러나, 종래의 열풍 건조는 도포액의 표면에서 내부까지 열이 전달되어 건조되는 방식으로 장시간의 건조 시간이 필요하여 건조 공정이 오래 걸리고 이에 건조를 위한 공정 라인이 길어지는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 적외선 램프를 이용한 광 건조 방식은 도포액의 표면에서 내부까지 유기 용매가 건조되기 위한 충분한 에너지가 공급되기까지 부가적인 시간이 필요한 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허공보 제10-2022-0013672호 (2022.02.04.)
본 발명의 실시예는 일체형 배기 구조에 의해 효율적인 배기가 가능함과 아울러 장치의 소형화가 가능한 기판용 광 건조 장치를 제공하기 위한 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예는 자외선에서 적외선까지 이르는 연속 파장을 이용하여 건조 시간을 단축할 수 있는 기판용 광 건조 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판에 도포된 도포액을 건조하기 위한 기판용 광 건조 장치로서, 내부에 설치 공간을 가지며, 외관을 형성하는 램프 하우징; 상기 램프 하우징의 내부에 구비되어, 상기 램프 하우징의 하부로 광을 방출하여 상기 기판에 도포된 도포액을 건조하는 광원; 상기 램프 하우징의 일측에 연결되어, 상기 광원 측으로 방열을 위한 외부 공기를 공급하는 급기 유로; 상기 램프 하우징의 상부에 연결되어, 상기 광원을 지난 외부 공기가 상기 램프 하우징의 외부로 배출되는 유로를 형성하는 제1 배기 유로; 상기 램프 하우징의 외측 하부에서 상부로 연결되어, 상기 광원으로부터 방출된 광을 통해 상기 기판에 도포된 도포액을 건조하는 과정에서 발생되는 흄(fume)이 배출되는 유로를 형성하는 제2 배기 유로; 및 상기 램프 하우징의 외측 상부에 상기 제1 배기 유로 및 상기 제2 배기 유로와 연결되어, 상기 외부 공기 및 상기 흄이 통합 배출되는 유로를 형성하는 제3 배기 유로;를 포함하는, 기판용 광 건조 장치가 제공된다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치는, 상기 램프 하우징의 내부 중 상기 광원의 상측에 구비되어, 상기 광원으로부터 방출되는 광을 상기 램프 하우징의 하부로 반사시키는 반사 부재를 포함할 수 있다.
이때, 상기 반사 부재에는 상기 광원을 지난 외부 공기를 상기 제1 배기 유로로 안내하는 적어도 하나의 유동홀이 형성될 수 있고, 상기 유동홀의 형태는 원형 또는 다각형 등 형상에 한정되지 않으며, 원활한 안내를 위해 복수로 형성되는 것이 바람직하다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치는, 상기 급기 유로의 상류에 구비되어, 상기 급기 유로의 내부로 외부 공기를 강제 공급하는 급기 수단을 포함할 수 있다.
이때, 상기 급기 수단은 N2 가스를 포함하는 불활성 가스를 강제 공급할 수 있다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치는, 상기 제3 배기 유로의 하류에 구비되어, 상기 제3 배기 유로의 외부 공기 및 흄을 강제 배기하는 배기 수단을 포함할 수 있다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치는, 상기 램프 하우징의 하부와 상기 기판 사이의 공간으로 외부 가스를 강제 공급하여 상기 흄을 상기 제2 배기 유로로 안내하는 가스 공급 수단을 포함할 수 있다.
이때, 상기 가스 공급 수단은 상기 기판이 이송되는 방향과 대향되는 방향으로 외부 가스를 강제 공급하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 외부 가스는, 고온 가스 또는 CDA(Clean Dry Air)를 포함할 수 있다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치는, 상기 램프 하우징의 하면에 구비되어, 상기 광원으로부터 방출되는 광을 투과시켜 상기 기판으로 조사되도록 하는 윈도우를 포함할 수 있다.
이때, 상기 램프 하우징의 하면은 상기 윈도우에 의해 외부와 밀폐되는 구조를 가질 수 있다.
한편, 상기 광원은 펄스 광원으로 250nm 이상 및 1100nm 이하의 파장 영역의 광을 방출할 수 있다.
이때, 상기 광원은 Xe, Kr, Ar 중 적어도 어느 하나의 방전 가스가 내부에 봉입되는 발광관을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 광원의 냉각 후 방열 공기를 배출하기 위한 배기 유로와 기판의 건조 공정에서 발생되는 흄을 배출하기 위한 배기 유로를 통합하여 하나의 배기 라인을 통해 방열 공기와 흄을 외부로 배출하는 일체형 배기 구조를 제공함에 따라 효율적인 배기가 가능함과 아울러 장치의 축소 등 소형화가 가능한 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따르면, 펄스 광원에서 발생하는 순간적인 에너지 방출에 의해 피조사체의 급속 가열이 가능하고 250nm 이상 1100nm 이하 자외선에서 적외선까지 이르는 넓은 영역의 연속 파장을 이용하여 피조사체의 표면 및 내부까지 광 침투가 가능하도록 함으로써 박막의 기판에 도포된 도포액 내에 포함된 흄과 같은 유기 용매를 단시간 내에 제거하여 건조 시간을 단축할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판용 광 건조 장치 및 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도
도 2는 도 1의 램프 하우징 내의 자연 급기 방식의 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도
도 3은 도 1의 램프 하우징 내의 강제 급기 방식의 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도
도 4는 도 1의 광원의 스펙트럼을 나타낸 그래프
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판용 광 건조 장치 및 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 이하의 상세한 설명은 본 명세서에서 기술된 방법, 장치 및/또는 시스템에 대한 포괄적인 이해를 돕기 위해 제공된다. 그러나 이는 예시에 불과하며 개시되는 실시예들은 이에 제한되지 않는다.
실시예들을 설명함에 있어서, 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 개시되는 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 개시되는 실시예들에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 실시예들을 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적이어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하도록 해석되어서는 안 된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판용 광 건조 장치 및 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도이며, 도 2는 도 1의 램프 하우징 내의 자연 급기 방식의 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도이고, 도 3은 도 1의 램프 하우징 내의 강제 급기 방식의 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도이다. 그리고, 도 4는 도 1의 광원의 스펙트럼을 나타낸 그래프이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 광 건조 장치(100)는, 박막의 기판(10)에 도포된 도포액(11)을 건조하기 위한 기판용 광 건조 장치로서, 크게 내부에 설치 공간(S)을 가지고 외관을 형성하는 램프 하우징(110)과, 상기 램프 하우징(110)의 내부에 구비되어 상기 램프 하우징(110)이 하부로 광을 방출하는 광원(120)과, 상기 램프 하우징(110)의 일측에 연결되어 상기 램프 하우징(110) 내부로 외부 공기를 공급하는 급기 유로(130)와, 상기 램프 하우징(110)의 상부에 연결되어 상기 광원(120)을 거친 외부 공기가 배출되는 유로를 형성하는 제1 배기 유로(140)와, 상기 램프 하우징(110)의 외측 하부에서 상부로 연결되어 상기 기판(10)에 도포된 도포액(11)의 건조시 발생되는 흄(fume)이 배출되는 유로를 형성하는 제2 배기 유로(150), 및 상기 램프 하우징(110)의 외측 상부에 상기 제1 배기 유로(140) 및 상기 제2 배기 유로(150)와 연결되는 제3 배기 유로(160)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 광원(120)은 도 4에서와 같이, 펄스 광원으로 250nm 이상 및 1100nm 이하의 파장 영역의 광을 상기 램프 하우징(110)의 하부로 방출할 수 있으며, 이에 상기 기판(10)에 도포된 도포액(11)에 방출된 광을 조사하여 건조할 수 있다.
이때, 상기 광원(120)은 Xe, Kr, Ar 중 적어도 어느 하나의 방전 가스가 내부에 봉입되는 발광관을 포함할 수 있으며, 이에 상기 광원(120)은 서로 다른 영역의 전극에 서로 다른 영역의 전압이 인가되면 상기 전극들 사이에서 발생하는 전계에 의해 상기 발광관이 상기 방전가스를 통하여 방전을 일으키며 자외선 영역에서 적외선 영역까지의 넓은 파장을 갖는 광을 순간적으로 방출할 수 있다.
또한, 본 실시예에서 상기 광원(120)의 형상은 원형 단면을 갖는 직선형의 관 형상을 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 U형, O형 등의 형상으로 형성될 수도 있다.
결국, 본 실시예의 기판용 광 건조 장치(100)는, 상기 광원(120) 즉, 펄스 광원에서 발생하는 순간적인 에너지 방출에 의해 기판(10)에 도포된 도포액(11)의 급속 가열이 가능하고 250nm 이상 1100nm 이하 자외선에서 적외선까지 이르는 넓은 영역의 연속 파장을 이용하여 상기 도포액(11)의 표면 및 내부까지 광 침투가 가능하도록 함으로써 상기 도포액(11) 및 상기 도포액(11) 내에 포함된 유기 용매를 단시간 내에 건조 및 제거하여 건조 시간을 단축할 수 있다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치(100)는, 상기 램프 하우징(110)의 내부 중 상기 광원(120)의 상측에 구비되는 반사 부재(170)를 포함할 수 있다.
이때, 본 실시예에서 상기 반사 부재(170)는 양측부가 하향 경사진 갓 형상을 개시하였으나 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 반사 부재(170)의 소재 역시 광을 반사할 수 기능을 가지면 한정되는 것은 아니다.
이에 따라, 상기 광원(120)으로부터 방출되는 광 중 상부측으로 방출되는 광을 상기 반사 부재(170)를 통하여 상기 램프 하우징(110)의 하부로 반사시킴으로써 광 손실을 줄이고 광 조사 효율을 높여 건조 효율을 향상할 수 있다.
이때, 상기 반사 부재(170)에는 상기 광원(120)을 지나 방열을 마친 외부 공기 및 상기 광원(120)에 의해 발생되는 열을 상기 제1 배기 유로(140)로 안내하는 적어도 하나의 유동홀(171)이 형성될 수 있다.
그리고, 상기 유동홀(171)의 형태는 원형 또는 다각형 등 다양한 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 광원(120) 측으로부터 상기 제1 배기 유로(140)로의 공기의 유동이 이루어질 수 있으면 그 형상에 한정되지 않는다.
다만, 상기 유동홀(170)은 방열을 마친 외부 공기의 원활한 안내를 위하여 상기 반사 부재(170)의 전반에 걸쳐서 소정 간격 이격되어 복수로 형성되는 것이 바람직하다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치(100)는, 상기 램프 하우징(110)의 하면에 구비되어, 상기 광원(120)으로부터 방출되는 광을 투과시켜 상기 기판(10)에 도포된 도포액(11)으로 광이 조사되도록 하는 윈도우(180)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 램프 하우징(110)의 하면은 상기 윈도우(180)에 의해 외부와 밀폐되는 구조를 가질 수 있으며, 이로 인해 상기 도포액(11)의 건조 과정에서 발생되어 상기 제2 배기 유로(150)로 안내되는 흄을 포함하는 유기 용매 등이 상기 램프 하우징(110)의 내부로 유입되는 것을 차단할 수 있다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 급기 유로(130)는, 상기 램프 하우징(110) 내부로 자연 급기 방식으로 외부 공기를 공급하여 상기 광원(120)의 방열을 수행할 수 있다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 급기 유로(130)는, 상기 램프 하우징(110) 내부로 강제 급기 방식으로 외부 공기를 강제 공급하여 상기 광원(120)의 방열을 수행할 수도 있다.
이를 위해, 상기 급기 유로(130)의 상류에는 송풍기와 같은 급기 수단(135)이 구비될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
이때, 상기 급기 유로(130)의 상류에는 상기 급기 수단(135)이 구비됨에 따라, 외부 공기 대신 상기 광원(120)의 방열성을 높이기 위하여 N2 가스를 포함하는 불활성 가스를 강제 공급할 수도 있다.
한편, 본 실시예의 기판용 광 건조 장치(100)는, 상기 제3 배기 유로(160)의 하류에 배기 수단(165)을 구비하여, 상기 제1 배기 유로(140)로부터 유입된 외부 공기와 상기 제2 배기 유로(150)로부터 유입된 흄 등을 외부로 강제 배기할 수 있다.
이때, 상기 배기 수단(165)은, 상기 급기 수단과 유사하게 환풍기와 같은 장치로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
결국, 상기 배기 수단(165)에 의해 상기 제3 배기 유로(160) 내에 배기를 위한 배출 기류가 생기게 되며, 상기 배출 기류에 의해 상기 제3 배기 유로(160)와 연통된 상기 제1 배기 유로(140) 및 상기 제2 배기 유로(150) 내에도 배기를 위한 강제적인 배출 기류가 생기기 때문에 상기 광원(120)의 방열을 마친 외부 공기와 상기 도포액(11)의 건조 과정에서 발생되는 흄 등이 보다 효과적으로 배출될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판용 광 건조 장치(100)의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 배기 수단(165)의 작동에 의해 상기 급기 유로(130)를 통해 외부 공기가 상기 램프 하우징(110) 내부로 유입되어 급기가 이루어진다.
그러면, 상기 램프 하우징(110) 내부로 유입된 외부 공기는 상기 광원(120)을 거치면서 냉각하게 되고, 상기 광원(120)을 냉각하고 가열된 외부 공기는 상기 반사 부재(170)에 형성된 유동홀(171)을 통해 상기 제1 배기 유로(140)로 안내 배출된다.
아울러, 상기 광원(120)의 작동에 의해 상기 기판(10)으로 조사된 광을 통해 도포액(11)이 건조되며, 이때 상기 도포액(11)에 포함된 유기 용매가 휘발되면서 발생되는 흄은 상기 배기 수단(165)의 작동에 의해 상기 제2 배기 유로(150)로 안내 배출된다.
그리고, 상기 제1 배기 유로(140)로 배출된 가열된 외부 공기와 상기 제2 배기 유로(150)로 배출된 흄은 상기 제3 배기 유로(160)에서 통합되어 하나의 배기 수단(165)을 통해 외부로 배출될 수 있다.
이에 따라, 본 실시예의 기판용 광 건조 장치(100)는 상기 램프 하우징(110)의 내부에서 광원(120)의 냉각 후 가열된 외부 공기와 상기 도포액(11)의 건조시 발생되는 흄을 하나의 제3 배기 유로(160)로 통합하여 외부로 배출하는 구조를 적용함으로써 장치의 배기 라인과 규모 등을 축소 가능하기 때문에 장치의 소형화를 구현할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판용 광 건조 장치 및 동작을 개략적으로 나타낸 구성 단면도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판용 광 건조 장치(200)는, 전술한 제1 실시예에 부가하여 램프 하우징(210)의 하부와 기판(10) 사이의 공간으로 외부 가스를 강제 공급하는 가스 공급 수단(290)을 포함할 수 있다.
즉, 본 실시예의 기판용 광 건조 장치(200)는 상기 가스 공급 수단(290)을 통해 상기 기판(10)의 도포액(11)을 건조하는 과정에서 유기 용매의 휘발시 발생되는 흄을 제2 배기 유로(250)로 보다 원활하게 안내하여 흄의 배출 효율을 더욱 높일 수 있다.
여기서, 상기 가스 공급 수단(290)은 상기 제2 배기 유로(250)의 반대편 즉, 상기 기판(10)이 이송되는 방향과 대향되는 방향으로 외부 가스를 강제 공급하도록 구비될 수 있다.
이때, 상기 외부 가스는, 고온 가스 또는 CDA(Clean Dry Air)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 기판(10) 및 도포액(11)이 표면에 영향을 주지 않으면서 상기 흄을 원활하게 상기 제2 배기 유로(250)로 안내할 수 있는 다양한 가스를 적용할 수 있다.
본 실시예의 기판용 광 건조 장치(200)는 상기 가스 공급 수단(290)을 제외하고 나머지 구성은 전술한 제1 실시예의 광 건조 장치가 동일하게 적용이 가능하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판용 광 건조 장치(200)의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 배기 수단(265)의 작동에 의해 급기 유로(230)를 통해 외부 공기가 램프 하우징(210) 내부로 유입되어 급기가 이루어진다.
그러면, 상기 램프 하우징(210) 내부로 유입된 외부 공기는 광원(220)을 거치면서 냉각을 수행하고, 상기 광원(220)을 냉각하고 가열된 외부 공기는 반사 부재(270)에 형성된 유동홀(271)을 통해 제1 배기 유로(240)로 안내 배출된다.
아울러, 상기 광원(220)의 작동에 의해 상기 기판(10)으로 조사된 광을 통해 도포액(11)이 건조되며, 이때 상기 도포액(11)에 포함된 유기 용매가 휘발되면서 발생되는 흄은 상기 배기 수단(265)의 작동에 의해 제2 배기 유로(250)로 안내 배출된다.
동시에, 본 실시예의 광 건조 장치(200)는 상기 가스 공급 수단(290)의 작동에 의해 상기 흄을 상기 제2 배기 유로(250)로 보다 효과적으로 안내 배출할 수 있으며, 특히 상기 가스 공급 수단(290)에 의해 고온의 가스를 공급할 경우 고온에 의해 상기 도포액(11)의 건조를 더욱 단축할 수 있어 건조 효율을 한층 향상할 수 있다.
그리고, 상기 제1 배기 유로(240)로 배출된 가열된 외부 공기와 상기 제2 배기 유로(250)로 배출된 흄은 제3 배기 유로(260)에서 통합되어 하나의 배기 수단(265)을 통해 외부로 배출될 수 있다.
이에 따라, 본 실시예의 기판용 광 건조 장치(200) 역시, 상기 램프 하우징(210)의 내부에서 광원(220)의 냉각 후 가열된 외부 공기와 상기 도포액(11)의 건조시 발생되는 흄을 하나의 제3 배기 유로(260)로 통합하여 외부로 배출하는 구조를 적용함으로써 장치의 배기 라인과 규모 등을 축소 가능하기 때문에 장치의 소형화를 구현할 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100 : 기판용 광 건조 장치
110 : 램프 하우징
120 : 광원
130 : 급기 유로
135 : 급기 수단
140 : 제1 배기 유로
150 : 제2 배기 유로
160 : 제3 배기 유로
165 : 배기 수단
170 : 반사 부재
171 : 유동홀
180 : 윈도우

Claims (13)

  1. 기판에 도포된 도포액을 건조하기 위한 기판용 광 건조 장치로서,
    내부에 설치 공간을 가지며, 외관을 형성하는 램프 하우징;
    상기 램프 하우징의 내부에 구비되어, 상기 램프 하우징의 하부로 광을 방출하여 상기 기판에 도포된 도포액을 건조하는 광원;
    상기 램프 하우징의 일측에 연결되어, 상기 광원 측으로 방열을 위한 외부 공기를 공급하는 급기 유로;
    상기 램프 하우징의 상부에 연결되어, 상기 광원을 지난 외부 공기가 상기 램프 하우징의 외부로 배출되는 유로를 형성하는 제1 배기 유로;
    상기 램프 하우징의 외측 하부에서 상부로 연결되어, 상기 광원으로부터 방출된 광을 통해 상기 기판에 도포된 도포액을 건조하는 과정에서 발생되는 흄(fume)이 배출되는 유로를 형성하는 제2 배기 유로; 및
    상기 램프 하우징의 외측 상부에 상기 제1 배기 유로 및 상기 제2 배기 유로와 연결되어, 상기 외부 공기 및 상기 흄이 통합 배출되는 유로를 형성하는 제3 배기 유로;를 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 램프 하우징의 내부 중 상기 광원의 상측에 구비되어, 상기 광원으로부터 방출되는 광을 상기 램프 하우징의 하부로 반사시키는 반사 부재를 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 반사 부재에는 상기 광원을 지난 외부 공기를 상기 제1 배기 유로로 안내하는 적어도 하나의 유동홀이 형성되는, 기판용 광 건조 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 급기 유로의 상류에 구비되어, 상기 급기 유로의 내부로 외부 공기를 강제 공급하는 급기 수단을 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 급기 수단은 N2 가스를 포함하는 불활성 가스를 강제 공급하는, 기판용 광 건조 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제3 배기 유로의 하류에 구비되어, 상기 제3 배기 유로의 외부 공기 및 흄을 강제 배기하는 배기 수단을 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 램프 하우징의 하부와 상기 기판 사이의 공간으로 외부 가스를 강제 공급하여 상기 흄을 상기 제2 배기 유로로 안내하는 가스 공급 수단을 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 가스 공급 수단은 상기 기판이 이송되는 방향과 대향되는 방향으로 외부 가스를 강제 공급하는, 기판용 광 건조 장치.
  9. 청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,
    상기 외부 가스는, 고온 가스 또는 CDA(Clean Dry Air)를 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 램프 하우징의 하면에 구비되어, 상기 광원으로부터 방출되는 광을 투과시켜 상기 기판으로 조사되도록 하는 윈도우를 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 램프 하우징의 하면은 상기 윈도우에 의해 외부와 밀폐되는, 기판용 광 건조 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원은 펄스 광원으로 250nm 이상 및 1100nm 이하의 파장 영역의 광을 방출하는, 기판용 광 건조 장치.
  13. 청구항 1 또는 청구항 12에 있어서,
    상기 광원은 Xe, Kr, Ar 중 적어도 어느 하나의 방전 가스가 봉입되는 발광관을 포함하는, 기판용 광 건조 장치.
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