JP2013099880A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013099880A5 JP2013099880A5 JP2011244690A JP2011244690A JP2013099880A5 JP 2013099880 A5 JP2013099880 A5 JP 2013099880A5 JP 2011244690 A JP2011244690 A JP 2011244690A JP 2011244690 A JP2011244690 A JP 2011244690A JP 2013099880 A5 JP2013099880 A5 JP 2013099880A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge head
- droplet discharge
- manufacturing
- protective film
- head according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 7
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims 2
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 claims 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011244690A JP5666417B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
| US13/665,460 US9090064B2 (en) | 2011-11-08 | 2012-10-31 | Method of manufacturing liquid droplet ejection head |
| CN201210439841.3A CN103085481B (zh) | 2011-11-08 | 2012-11-06 | 液滴喷出头的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011244690A JP5666417B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013099880A JP2013099880A (ja) | 2013-05-23 |
| JP2013099880A5 true JP2013099880A5 (enExample) | 2013-10-24 |
| JP5666417B2 JP5666417B2 (ja) | 2015-02-12 |
Family
ID=48198828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011244690A Expired - Fee Related JP5666417B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9090064B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5666417B2 (enExample) |
| CN (1) | CN103085481B (enExample) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5350424B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2013-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 表面処理方法 |
| JP5939777B2 (ja) * | 2011-12-05 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| CN104228337B (zh) * | 2013-06-20 | 2017-02-08 | 珠海赛纳打印科技股份有限公司 | 液体喷射头和液体喷射装置 |
| US9919526B2 (en) * | 2013-11-29 | 2018-03-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing liquid discharge head |
| CN104439919B (zh) * | 2014-10-23 | 2017-07-07 | 山东大学 | 利用低熔点合金辅助加工薄壁挠性元件的方法 |
| JPWO2018110034A1 (ja) * | 2016-12-16 | 2019-10-24 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置 |
| JP6878157B2 (ja) * | 2017-06-09 | 2021-05-26 | 富士フイルム株式会社 | 液滴吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置の製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
| JP6953999B2 (ja) * | 2017-10-26 | 2021-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
| KR102631793B1 (ko) * | 2018-11-08 | 2024-02-01 | 삼성전자주식회사 | 약액 공급 구조물 및 이를 구비하는 현상장치 |
| CN109701471A (zh) * | 2019-02-23 | 2019-05-03 | 刘桢炀 | 一种新型化学法制备纳米材料的方法及系统 |
| CN111152559B (zh) * | 2019-02-28 | 2021-10-12 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 喷墨打印喷嘴、喷墨打印头、喷墨打印装置及显示面板的制备方法 |
| EP4129692B1 (en) | 2020-03-30 | 2025-03-12 | FUJIFILM Corporation | Liquid discharge structure, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus |
| EP4212343B1 (en) * | 2020-09-09 | 2025-03-19 | Konica Minolta, Inc. | Inkjet head, production method for inkjet head, and inkjet-recording device |
| JP2023144937A (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-11 | 東芝テック株式会社 | 液体吐出ヘッド |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0654405B2 (ja) * | 1986-07-01 | 1994-07-20 | 光 竹内 | 定着用ローラーの製造方法 |
| JP2980451B2 (ja) * | 1992-04-22 | 1999-11-22 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド、その製造方法、及びインクジェット記録ヘッドを備えた記録装置 |
| JPH11138824A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-25 | Canon Inc | インクジェットヘッドの成形方法 |
| JP4374811B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2009-12-02 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェットプリンタ用ノズルプレートの製造方法 |
| JP4424954B2 (ja) * | 2003-09-24 | 2010-03-03 | 富士フイルム株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| JP2006027163A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | インクジェット記録媒体の製造方法 |
| JP2007261070A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Seiko Epson Corp | ノズル形成基板の製造方法及びノズル形成基板 |
| JP2008207399A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Fujifilm Corp | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置並びに液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP4957896B2 (ja) | 2007-03-13 | 2012-06-20 | セイコーエプソン株式会社 | ノズル形成部材の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法並びに液体噴射ヘッドユニットの製造方法 |
| WO2010051272A1 (en) * | 2008-10-30 | 2010-05-06 | Fujifilm Corporation | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| US8262200B2 (en) | 2009-09-15 | 2012-09-11 | Fujifilm Corporation | Non-wetting coating on a fluid ejector |
-
2011
- 2011-11-08 JP JP2011244690A patent/JP5666417B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-10-31 US US13/665,460 patent/US9090064B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-11-06 CN CN201210439841.3A patent/CN103085481B/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013099880A5 (enExample) | ||
| CN103531442B (zh) | 柔性基板制备方法 | |
| CN103085481B (zh) | 液滴喷出头的制造方法 | |
| JP2010240852A5 (ja) | ノズルプレートの製造方法、ノズルプレート、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、プリンター及び液滴吐出装置 | |
| WO2009037797A1 (ja) | 表示装置の製造方法及び積層構造体 | |
| IN2014DN10521A (enExample) | ||
| JP2009279830A5 (enExample) | ||
| JP2008114589A5 (enExample) | ||
| JP2015116696A5 (enExample) | ||
| JP2012044223A5 (ja) | ノズル部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
| JP2012091353A5 (enExample) | ||
| CN103332685B (zh) | 一种石墨烯的转移装置及转移方法 | |
| JP2012126124A5 (enExample) | ||
| JP2010047025A5 (enExample) | ||
| JP2007290359A5 (enExample) | ||
| JP2011102001A5 (enExample) | ||
| JP2008155591A5 (enExample) | ||
| DE502006007888D1 (de) | Einrichtung und verfahren zum aufbringen einer gleichmässigen, dünnen flüssigkeitsschicht auf substrate | |
| WO2010011250A3 (en) | Printhead having isolated heater | |
| JP2015148747A5 (enExample) | ||
| JP2010062526A (ja) | 薄膜素子の製造方法 | |
| JP2007144989A5 (enExample) | ||
| JP2009525898A5 (enExample) | ||
| JP2015070012A (ja) | 基板加工装置及び基板加工方法 | |
| DE602007004825D1 (de) | Trennschicht |