JP2013093852A - 高結合、低損失のsawフィルタ及び関連する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SAWデバイス10は、ニオブ酸リチウムを含むとともに弾性波の伝搬を行なうように構成される基板12と、基板12の表面22上の第1及び第2の電極パターン18、20により第1及び第2の共振器14、16が形成され、その上にプラスのTCFを有する誘電保護膜24が形成される。そして、第1及び第2の電極パターン18、20が個々の電極幅a1、a2を有するとともに異なる電極周期p1、p2をもって配置され、異なる電極周期p1、p2のそれぞれが電極周期p1、p2に対する電極幅a1、a2のそれぞれの比率と関連付けられる。
【選択図】図1
Description
本発明の他の特徴及び利点は、以下の詳細な説明及び特許請求の範囲から明らかである。
この詳細な説明は、電極のデューティファクタを変えることによりスプリアスモードの抑制を達成するために何の条件が必要とされるのかに基づいて論じる。
Claims (21)
- ニオブ酸リチウム(LiNbO3)を含むとともに弾性波の伝搬を行なうように構成される基板と、
前記基板の表面上の複数の電極によって形成される1つ以上の共振器であって、前記複数の電極が個々の幅を有するとともに複数の異なる電極周期をもって配置され、前記複数の異なる電極周期のそれぞれが電極周期に対する電極幅のそれぞれの比率と関連付けられる1つ以上の共振器と、
前記複数の電極間及び前記複数の電極上にわたって配置される誘電保護膜と、
を備える表面弾性波(SAW)デバイス。 - 電極周期に対する電極幅の比率がa/p=a_ref/p_ref+m*(p/p_ref-1)によって与えられ、ここで、aが電極幅であり、pが電極周期であり、mが約0.4〜1.0の勾配値であり、p_refがSAWデバイスの最小電極周期(p_min)とSAWデバイスの最大電極周期(p_max)との間の値であり、a_ref/p_refがa_max/p_max とa_min/p_minとの間の値であり、a_maxがSAWデバイスの最大電極幅であり、a_minがSAWデバイスの最小電極幅である、請求項1に記載のSAWデバイス。
- mが約0.5である請求項1に記載のSAWデバイス。
- 前記基板が約5パーセントよりも大きい電気機械結合係数を有する請求項1に記載のSAWデバイス。
- 前記誘電保護膜は、酸化ケイ素(SiOx)を備えるとともに、プラスの周波数温度係数(TCF)と、前記複数の電極の上端面から前記誘電保護膜の上端面まで測定される前記複数の電極の厚さよりも大きい厚さとを有する、請求項1に記載のSAWデバイス。
- 電極周期に対する電極幅の前記比率は、前記複数の電極の厚さに対する前記誘電保護膜の厚さの比率に更に基づいている請求項5に記載のSAWデバイス。
- 前記誘電保護膜の厚さが前記複数の電極の厚さの約3倍よりも小さい請求項5に記載のSAWデバイス。
- 前記誘電保護膜の厚さは、電極周期の約20パーセントから電極周期の約80パーセントまでの範囲内にある請求項5に記載のSAWデバイス。
- 前記複数の異なる電極周期は、それぞれが周期に対する電極幅のそれぞれの比率に関連付けられる少なくとも3つの異なる電極周期を含む請求項1に記載のSAWデバイス。
- 個々の電極の質量が主に個々の電極に含まれる銅によって与えられる請求項1に記載のSAWデバイス。
- 個々の電極は、個々の電極と関連付けられる周期の約10〜40パーセントの範囲内の厚さを有する請求項1に記載のSAWデバイス。
- 前記基板は、漏洩しない弾性波の伝搬を行なうように構成されるとともに、オイラー角(λ±3°、μ、θ±3°)により規定される方向性を有し、角度μ=μ’−90°であり、μ’は、基板のY回転であって、約130°〜約170°の範囲である請求項1に記載のSAWデバイス。
- 電極周期に対する電極幅の前記比率が約40パーセント〜60パーセントである請求項1に記載のSAWデバイス。
- ニオブ酸リチウム(LiNbO3)を含むとともに弾性波の伝搬を行なうように構成される基板と、幅(a1)を有するとともに第1の電極周期(p1)を含む第1のパターンを成して配置される第1の複数の電極を含む第1の共振器と、幅(a2)を有するとともに第2の電極周期(p2)を含む第2のパターンを成して配置される第2の複数の電極を含む第2の共振器とを備え、p1 < p2であり、(p1-a1)/p1>(p2-a2)/p2である表面弾性波(SAW)デバイス。
- 前記第1及び第2の複数の電極間及び前記電極上にわたって配置される誘電保護膜であって、酸化ケイ素(SiOx)を含むとともに、プラスの周波数温度係数(TCF)と、前記第1及び第2の複数の電極の上端面から前記誘電保護膜の上端面まで測定される前記第1及び第2の複数の電極の厚さよりも大きい厚さとを有する、誘電保護膜を更に備える請求項14に記載のSAWデバイス。
- 前記誘電保護膜の厚さが前記第1及び第2の複数の電極の厚さの約3倍よりも小さい請求項15に記載のSAWデバイス。
- 前記誘電保護膜の厚さは、基準電極周期の約20パーセントから基準電極周期の約80パーセントまでの範囲内であり、前記基準電極周期が前記第1の周期又は第2の周期に基づく請求項15に記載のSAWデバイス。
- ニオブ酸リチウム(LiNbO3)を含むとともに弾性波の伝搬を行なうように構成される基板と、幅(a1)を有するとともに第1の電極周期(p1)を含む第1のパターンを成して配置される第1の複数の電極を含む第1の共振器と、幅(a2)を有するとともに第2の電極周期(p2)を含む第2のパターンを成して配置される第2の複数の電極を含む第2の共振器とを備え、(a1-a2)/(p1-p2)>1である表面弾性波(SAW)デバイス。
- 前記第1及び第2の複数の電極間及び前記電極上にわたって配置される誘電保護膜であって、酸化ケイ素(SiOx)を含むとともに、プラスの周波数温度係数(TCF)と、前記第1及び第2の複数の電極の上端面から前記誘電保護膜の上端面まで測定される前記第1及び第2の複数の電極の厚さよりも大きい厚さとを有する、誘電保護膜を更に備える請求項18に記載のSAWデバイス。
- 前記誘電保護膜の厚さが前記第1及び第2の複数の電極の厚さの約3倍よりも小さい請求項18に記載のSAWデバイス。
- 前記誘電保護膜の厚さは、基準電極周期の約20パーセントから基準電極周期の約80パーセントまでの範囲内であり、前記基準電極周期が前記第1の周期又は第2の周期に基づく請求項18に記載のSAWデバイス。
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