JP2001144574A - 入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタ - Google Patents
入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタInfo
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- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
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- H03H9/0042—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only the balanced terminals being on opposite sides of the track
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 縦結合二重モードSAWフィルタの入出力イ
ンピーダンスを互いに異ならせると共に、入力側を不平
衡型、出力側を平衡型回路とする手段を得る。 【解決手段】 圧電基板に3つのIDT電極とその両側
にグレーティング反射器を配置した1次−3次縦結合二
重モードSAWフィルタであって、前記中央のIDT電
極のライン占有率とその両側のIDT電極のライン占有
率とを異ならせると共に、前記IDT電極の電極周期を
微調整して入出力インピーダンスの異なる弾性表面波フ
ィルタを形成する。
ンピーダンスを互いに異ならせると共に、入力側を不平
衡型、出力側を平衡型回路とする手段を得る。 【解決手段】 圧電基板に3つのIDT電極とその両側
にグレーティング反射器を配置した1次−3次縦結合二
重モードSAWフィルタであって、前記中央のIDT電
極のライン占有率とその両側のIDT電極のライン占有
率とを異ならせると共に、前記IDT電極の電極周期を
微調整して入出力インピーダンスの異なる弾性表面波フ
ィルタを形成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
に関し、特にフィルタ特性を損なうことなく、入出力の
インピーダンスを互いに異ならせた弾性表面波フィルタ
に関する。
に関し、特にフィルタ特性を損なうことなく、入出力の
インピーダンスを互いに異ならせた弾性表面波フィルタ
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、弾性表面波フィルタ(以下、SA
Wフィルタと称す)は通信分野で広く利用され、高性
能、小型、量産性等の優れた特徴を有することから特に
携帯電話等に多く用いられている。図7は従来の1次、
3次縦モードを利用した1次−3次縦結合二重モードS
AWフィルタ(以下、1次−3次二重モードSAWフィ
ルタと称す)の構成を示す平面図であって、圧電基板5
1の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電
極52、53、54を互いに近接配置すると共に、それ
らの両側にグレーティング反射器55a、55b(以
下、反射器と称す)を配設して構成したものである。I
DT電極52、53、54はそれぞれ互いに間挿し合う
複数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成さ
れ、図中中央のIDT電極52の一方のくし形電極は入
力端子INに接続され、他方のくし形電極は接地される。
さらに、両側のIDT電極53、54のそれぞれ一方の
くし形電極は互いに連結されて、出力端子OUTに接続さ
れると共に、他方のくし形電極はそれぞれ接地される構
成となっている。ここで、IDT電極52、53、54
の電極指幅をT1、スペース幅をT2、反射器55a、
55bの電極指幅をR1、スペース幅をR2と設定する
と、IDT電極52、53、54及び反射器55a、5
5bの電極周期LT、LRと、ライン占有率η1、η2はそれ
ぞれLT=2(T1+T2)、LR=2(R1+R2)と、
η 1=T1/(T1+T2)、η2=R1/(R1+R
2)と表される。
Wフィルタと称す)は通信分野で広く利用され、高性
能、小型、量産性等の優れた特徴を有することから特に
携帯電話等に多く用いられている。図7は従来の1次、
3次縦モードを利用した1次−3次縦結合二重モードS
AWフィルタ(以下、1次−3次二重モードSAWフィ
ルタと称す)の構成を示す平面図であって、圧電基板5
1の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電
極52、53、54を互いに近接配置すると共に、それ
らの両側にグレーティング反射器55a、55b(以
下、反射器と称す)を配設して構成したものである。I
DT電極52、53、54はそれぞれ互いに間挿し合う
複数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成さ
れ、図中中央のIDT電極52の一方のくし形電極は入
力端子INに接続され、他方のくし形電極は接地される。
さらに、両側のIDT電極53、54のそれぞれ一方の
くし形電極は互いに連結されて、出力端子OUTに接続さ
れると共に、他方のくし形電極はそれぞれ接地される構
成となっている。ここで、IDT電極52、53、54
の電極指幅をT1、スペース幅をT2、反射器55a、
55bの電極指幅をR1、スペース幅をR2と設定する
と、IDT電極52、53、54及び反射器55a、5
5bの電極周期LT、LRと、ライン占有率η1、η2はそれ
ぞれLT=2(T1+T2)、LR=2(R1+R2)と、
η 1=T1/(T1+T2)、η2=R1/(R1+R
2)と表される。
【0003】図7に示す1次−3次二重モードSAWフ
ィルタの動作は、周知のように、IDT電極52、5
3、54によって励起される複数の表面波が反射器55
a、55bの間に閉じ込められて音響結合し、IDT電
極パターンにより1次と3次の2つの縦共振モードが強
勢に励振されるため、適当な終端を施すことによりこれ
らの2つのモードを利用した1次−3次二重モードSA
Wフィルタとして動作する。なお、該二重モードSAW
フィルタの通過帯域幅は1次共振モードと3次共振モー
ドとの周波数差で決まることは周知の通りである。
ィルタの動作は、周知のように、IDT電極52、5
3、54によって励起される複数の表面波が反射器55
a、55bの間に閉じ込められて音響結合し、IDT電
極パターンにより1次と3次の2つの縦共振モードが強
勢に励振されるため、適当な終端を施すことによりこれ
らの2つのモードを利用した1次−3次二重モードSA
Wフィルタとして動作する。なお、該二重モードSAW
フィルタの通過帯域幅は1次共振モードと3次共振モー
ドとの周波数差で決まることは周知の通りである。
【0004】図8は、欧州デジタル携帯電話システムG
SMの受信RFフィルタ用として設計した中心周波数84
7.5MHz、通過帯域幅25MHzの1次−3次二重モー
ドSAWフィルタのフィルタ特性を示す図で、36°Y
カットX伝搬LiTaO3基板51上に、中央のIDT
電極52を23.5対、両側のIDT電極53、54をそれ
ぞれ13.5対、反射器55a、55bの本数をそれぞれ15
0本、交差長45λ、電極膜厚Hを6.5%λ、IDT電極及
び反射器のライン占有率η1、η2をそれぞれ0.5、0.
5、IDT電極と反射器との電極周期比(以下、電極周
期比と称す)LT/L Rを0.981とした場合の特性である。
横軸は周波数(MHz)を、縦軸は挿入損失(Loss)を表
示している。
SMの受信RFフィルタ用として設計した中心周波数84
7.5MHz、通過帯域幅25MHzの1次−3次二重モー
ドSAWフィルタのフィルタ特性を示す図で、36°Y
カットX伝搬LiTaO3基板51上に、中央のIDT
電極52を23.5対、両側のIDT電極53、54をそれ
ぞれ13.5対、反射器55a、55bの本数をそれぞれ15
0本、交差長45λ、電極膜厚Hを6.5%λ、IDT電極及
び反射器のライン占有率η1、η2をそれぞれ0.5、0.
5、IDT電極と反射器との電極周期比(以下、電極周
期比と称す)LT/L Rを0.981とした場合の特性である。
横軸は周波数(MHz)を、縦軸は挿入損失(Loss)を表
示している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図9はGSM携帯電話
器に用いられているRFフィルタ71の近傍を示すブロ
ック回路図である。800MHz帯という高周波におい
ては、デバイスを含めた系のインピーダンスを50Ω系
に設計するのが一般的であり、前段の低雑音増幅器70
のインピーダンスも50Ωに設定されおり、RF−SA
Wフィルタ71の終端インピーダンスも50Ωに設計さ
れている。携帯電話の小型化と低コスト化を図るため、
図9の破線で示す部分は近年ではIC化されたものが主
流となっており、後段のミキサ72の入力インピーダン
スZは、必ずしも50Ωではなく半導体メーカーにより
50Ωから300Ωのものが供給されており、そのまま
ではRF−SAWフィルタとのインピーダンス整合が実
現できない。上述のような場合には、両者のインピーダ
ンスを整合させるため、インピーダンス整合回路74を
両者の間に挿入することになる。また、ミキサ72以降
の回路はセット内部のデジタル回路部等で生じるノイズ
を軽減するために、平衡回路で設計されているので、不
平衡型RF−SAWフィルタ71を平衡型回路に変換す
る不平衡型−平衡型変換回路73を、RF−SAWフィ
ルタ71とインピーダンス整合回路74との間に挿入す
る。尚、不平衡型−平衡型変換回路73としてトランス
を用いるのが一般的である。以上のように、従来の50
Ω終端の不平衡型RF−SAWフィルタをGSM用のR
F回路に採用すると、上述のように不平衡型−平衡型変
換回路73とインピーダンス整合回路74とが必要にな
り、携帯電話器の形状が大きくなると共に、コストが増
大するという問題があった。
器に用いられているRFフィルタ71の近傍を示すブロ
ック回路図である。800MHz帯という高周波におい
ては、デバイスを含めた系のインピーダンスを50Ω系
に設計するのが一般的であり、前段の低雑音増幅器70
のインピーダンスも50Ωに設定されおり、RF−SA
Wフィルタ71の終端インピーダンスも50Ωに設計さ
れている。携帯電話の小型化と低コスト化を図るため、
図9の破線で示す部分は近年ではIC化されたものが主
流となっており、後段のミキサ72の入力インピーダン
スZは、必ずしも50Ωではなく半導体メーカーにより
50Ωから300Ωのものが供給されており、そのまま
ではRF−SAWフィルタとのインピーダンス整合が実
現できない。上述のような場合には、両者のインピーダ
ンスを整合させるため、インピーダンス整合回路74を
両者の間に挿入することになる。また、ミキサ72以降
の回路はセット内部のデジタル回路部等で生じるノイズ
を軽減するために、平衡回路で設計されているので、不
平衡型RF−SAWフィルタ71を平衡型回路に変換す
る不平衡型−平衡型変換回路73を、RF−SAWフィ
ルタ71とインピーダンス整合回路74との間に挿入す
る。尚、不平衡型−平衡型変換回路73としてトランス
を用いるのが一般的である。以上のように、従来の50
Ω終端の不平衡型RF−SAWフィルタをGSM用のR
F回路に採用すると、上述のように不平衡型−平衡型変
換回路73とインピーダンス整合回路74とが必要にな
り、携帯電話器の形状が大きくなると共に、コストが増
大するという問題があった。
【0006】この問題を解決すべく、図10に示すよう
な入出力インピーダンスの異なる平衡型1次−3次二重
モードSAWフィルタが提案されている。該フィルタと
従来の1次−3次二重モードSAWフィルタの違いは、
中央のIDT電極62の構成にある。即ち、図10に示
すように、両側のIDT電極63、64の一方のくし形
電極を連結して入力端子INに接続し、他方のくし形電極
はそれぞれ接地する。そして、IDT電極62の一方の
くし形電極を接地すると共に、他方のバスバーをその中
央部で分割し、分割された両方のバスバーからそれぞれ
出力を取り出し、第1の出力OUT1と第2の出力OUT2とし
ている。このような構成にすることにより、入力不平衡
型−出力平衡型のフィルタを構成することが可能となる
と共に、出力インピーダンスを入力インピーダンスの4
倍とすることができる。これはバスバーを中央で分割す
ることにより、それぞれのインピーダンスが2倍とな
り、これを直列に接続した回路構成となるからである。
な入出力インピーダンスの異なる平衡型1次−3次二重
モードSAWフィルタが提案されている。該フィルタと
従来の1次−3次二重モードSAWフィルタの違いは、
中央のIDT電極62の構成にある。即ち、図10に示
すように、両側のIDT電極63、64の一方のくし形
電極を連結して入力端子INに接続し、他方のくし形電極
はそれぞれ接地する。そして、IDT電極62の一方の
くし形電極を接地すると共に、他方のバスバーをその中
央部で分割し、分割された両方のバスバーからそれぞれ
出力を取り出し、第1の出力OUT1と第2の出力OUT2とし
ている。このような構成にすることにより、入力不平衡
型−出力平衡型のフィルタを構成することが可能となる
と共に、出力インピーダンスを入力インピーダンスの4
倍とすることができる。これはバスバーを中央で分割す
ることにより、それぞれのインピーダンスが2倍とな
り、これを直列に接続した回路構成となるからである。
【0007】しかしながら、上記の図10に示す平衡型
1次−3次二重モードSAWフィルタにおいても、入力
側のインピーダンスZinは任意のインピーダンスに設定
できるものの、出力側インピーダンスZoutはZinに依存
し、Zinの4倍以外の値に設定することはできない。即
ち、要求される50Ωから300Ωの任意のインピーダ
ンスに設定することはできないという問題があった。本
発明は上記問題を解決するためになされたものであっ
て、入力側インピーダンスを50Ωとし、出力側インピ
ーダンスを要求される任意のインピーダンスに設定でき
る1次−3次二重モードSAWフィルタと、1次−2次
二重モードSAWフィルタとを提供することを目的とす
る。
1次−3次二重モードSAWフィルタにおいても、入力
側のインピーダンスZinは任意のインピーダンスに設定
できるものの、出力側インピーダンスZoutはZinに依存
し、Zinの4倍以外の値に設定することはできない。即
ち、要求される50Ωから300Ωの任意のインピーダ
ンスに設定することはできないという問題があった。本
発明は上記問題を解決するためになされたものであっ
て、入力側インピーダンスを50Ωとし、出力側インピ
ーダンスを要求される任意のインピーダンスに設定でき
る1次−3次二重モードSAWフィルタと、1次−2次
二重モードSAWフィルタとを提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る入出力インピーダンスを異にした弾性表
面波フィルタの請求項1記載の発明は、圧電基板の主面
上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極を近接
して配置すると共に、それらの両側にグレーティング反
射器を配設した1次−3次縦結合二重モードSAWフィ
ルタにおいて、前記1次−3次縦結合二重モードSAW
フィルタにおける中央のIDT電極ライン占有率とその
両側のIDT電極ライン占有率とを異ならせたことを特
徴とする入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フ
ィルタである。請求項2記載の発明は、圧電基板の主面
上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極を近接
して配置すると共に、それらの両側にグレーティング反
射器を配設した1次−3次縦結合二重モードSAWフィ
ルタを2段縦続接続したフィルタにおいて、一方の1次
−3次縦結合二重モードSAWフィルタにおける中央の
IDT電極のライン占有率と両側のIDT電極のライン
占有率とを互いに異ならせ、他方の1次−3次縦結合二
重モードSAWフィルタにおける中央のIDT電極のラ
イン占有率と両側のIDT電極のライン占有率とを互い
に異ならせると共に、縦続接続する相互のIDT電極の
ライン占有率をほぼ等しくしたことを特徴とする入出力
インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタである。
請求項3記載の発明は、圧電基板の主面上に表面波の伝
搬方向に沿って2つのIDT電極を近接して配置すると
共に、それらの両側にグレーティング反射器を配設した
1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタにおいて、
前記2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせ
たことを特徴とする入出力インピーダンスを異にした弾
性表面波フィルタである。請求項4記載の発明は、圧電
基板の主面上に表面波の伝搬方向に沿って2つのIDT
電極を近接して配置すると共に、それらの両側にグレー
ティング反射器を配設した1次−2次縦結合二重モード
SAWフィルタを2段縦続接続したフィルタにおいて、
前記第1の1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタ
の2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせ、
前記第2の1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタ
の2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせる
と共に、縦続接続する相互のIDT電極のライン占有率
をほぼ等しくしたことを特徴とする入出力インピーダン
スを異にした弾性表面波フィルタである。請求項5記載
の発明は、前記ライン占有率の値を入力側から出力側に
かけて単調に増加させるか、あるいは減少せしめたこと
を特徴とする請求項2及び4記載の入出力インピーダン
スを異にした弾性表面波フィルタである。請求項6記載
の発明は、前記IDT電極のライン占有率の大きいもの
はライン占有率を小さくしたものより、電極周期を小さ
くしたことを特徴とする請求項1乃至5の入出力インピ
ーダンスを異にした弾性表面波フィルタである。
に本発明に係る入出力インピーダンスを異にした弾性表
面波フィルタの請求項1記載の発明は、圧電基板の主面
上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極を近接
して配置すると共に、それらの両側にグレーティング反
射器を配設した1次−3次縦結合二重モードSAWフィ
ルタにおいて、前記1次−3次縦結合二重モードSAW
フィルタにおける中央のIDT電極ライン占有率とその
両側のIDT電極ライン占有率とを異ならせたことを特
徴とする入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フ
ィルタである。請求項2記載の発明は、圧電基板の主面
上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極を近接
して配置すると共に、それらの両側にグレーティング反
射器を配設した1次−3次縦結合二重モードSAWフィ
ルタを2段縦続接続したフィルタにおいて、一方の1次
−3次縦結合二重モードSAWフィルタにおける中央の
IDT電極のライン占有率と両側のIDT電極のライン
占有率とを互いに異ならせ、他方の1次−3次縦結合二
重モードSAWフィルタにおける中央のIDT電極のラ
イン占有率と両側のIDT電極のライン占有率とを互い
に異ならせると共に、縦続接続する相互のIDT電極の
ライン占有率をほぼ等しくしたことを特徴とする入出力
インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタである。
請求項3記載の発明は、圧電基板の主面上に表面波の伝
搬方向に沿って2つのIDT電極を近接して配置すると
共に、それらの両側にグレーティング反射器を配設した
1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタにおいて、
前記2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせ
たことを特徴とする入出力インピーダンスを異にした弾
性表面波フィルタである。請求項4記載の発明は、圧電
基板の主面上に表面波の伝搬方向に沿って2つのIDT
電極を近接して配置すると共に、それらの両側にグレー
ティング反射器を配設した1次−2次縦結合二重モード
SAWフィルタを2段縦続接続したフィルタにおいて、
前記第1の1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタ
の2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせ、
前記第2の1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタ
の2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせる
と共に、縦続接続する相互のIDT電極のライン占有率
をほぼ等しくしたことを特徴とする入出力インピーダン
スを異にした弾性表面波フィルタである。請求項5記載
の発明は、前記ライン占有率の値を入力側から出力側に
かけて単調に増加させるか、あるいは減少せしめたこと
を特徴とする請求項2及び4記載の入出力インピーダン
スを異にした弾性表面波フィルタである。請求項6記載
の発明は、前記IDT電極のライン占有率の大きいもの
はライン占有率を小さくしたものより、電極周期を小さ
くしたことを特徴とする請求項1乃至5の入出力インピ
ーダンスを異にした弾性表面波フィルタである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る入
出力インピーダンスを異にした1次−3次二重モードS
AWフィルタの構成を示す図であって、圧電基板1の主
面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極2、
3、4を互いに近接配置すると共に、それらの両側に反
射器5a、5bを配設して構成したものである。IDT
電極2、3、4はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電
極指を有する一対のくし形電極により構成され、図中中
央のIDT電極2の一方のくし形電極は入力端子INに接
続され、他方のくし形電極は接地される。さらに、両側
のIDT電極3、4のそれぞれ一方のくし形電極は互い
に連結されて、第1の出力端子OUT1に接続されると共
に、他方のくし形電極はそれぞれ連結されて第2の出力
端子OUT2に接続され、入力不平衡型−出力平衡型のフィ
ルタを構成している。
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る入
出力インピーダンスを異にした1次−3次二重モードS
AWフィルタの構成を示す図であって、圧電基板1の主
面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極2、
3、4を互いに近接配置すると共に、それらの両側に反
射器5a、5bを配設して構成したものである。IDT
電極2、3、4はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電
極指を有する一対のくし形電極により構成され、図中中
央のIDT電極2の一方のくし形電極は入力端子INに接
続され、他方のくし形電極は接地される。さらに、両側
のIDT電極3、4のそれぞれ一方のくし形電極は互い
に連結されて、第1の出力端子OUT1に接続されると共
に、他方のくし形電極はそれぞれ連結されて第2の出力
端子OUT2に接続され、入力不平衡型−出力平衡型のフィ
ルタを構成している。
【0010】本発明の特徴はIDT電極2の電極周期及
びライン占有率と、IDT電極3、4の電極周期及びラ
イン占有率とを互いに異ならしめたことにある。即ち、
IDT電極2の電極指幅をL1、スペース幅をS1、I
DT電極3、4の電極指幅をL2、スペース幅をS2、
反射器5a、5bの電極指幅をR1、スペース幅をR2
とすると、IDT電極2、IDT電極3、4及び反射器
5a、5bの電極周期L1T、L2T及びLRは、それぞれL1T
=2(L1+S1)、L2T=2(L2+S2)及びLR=
2(R1+R2)と表され、ライン占有率η1、η2及び
ηRはη1=L1/(L1+S1)、η2=L2/(L2
+S2)及びηR=R1/(R1+R2)となり、電極
周期L1T、L2T及びライン占有率η1、η2とを互いに異な
らしめたことである。尚、IDT電極2と、IDT電極
3あるいは4との最内側電極指の中心間間隔をLTT、I
DT電極3、4と反射器5a、5bとの最内側電極指の
間隔をDとする。
びライン占有率と、IDT電極3、4の電極周期及びラ
イン占有率とを互いに異ならしめたことにある。即ち、
IDT電極2の電極指幅をL1、スペース幅をS1、I
DT電極3、4の電極指幅をL2、スペース幅をS2、
反射器5a、5bの電極指幅をR1、スペース幅をR2
とすると、IDT電極2、IDT電極3、4及び反射器
5a、5bの電極周期L1T、L2T及びLRは、それぞれL1T
=2(L1+S1)、L2T=2(L2+S2)及びLR=
2(R1+R2)と表され、ライン占有率η1、η2及び
ηRはη1=L1/(L1+S1)、η2=L2/(L2
+S2)及びηR=R1/(R1+R2)となり、電極
周期L1T、L2T及びライン占有率η1、η2とを互いに異な
らしめたことである。尚、IDT電極2と、IDT電極
3あるいは4との最内側電極指の中心間間隔をLTT、I
DT電極3、4と反射器5a、5bとの最内側電極指の
間隔をDとする。
【0011】図1に示す1次−3次二重モードSAWフ
ィルタにおいては、中央のIDT電極指2のライン占有
率η1に比べて、IDT電極3、4のライン占有率η2を
小さく設定することにより、出力インピーダンスZout
を入力インピーダンスZinに比べて大きくできるという
特徴がある。このように、1次−3次二重モードSAW
フィルタを入力不平衡型−出力平衡型とし、入力インピ
ーダンスを50Ω、出力インピーダンスを図9に示した
ミキサ72のインピーダンスZと同一とすることによ
り、従来、必要としていた不平衡型−平衡型変換回路7
3とインピーダンス整合回路74とを除去することがで
き、高周波段を小型化できるとと共に、低コスト化する
ことが可能となる。ここで、ライン占有率ηとSAW共
振子のインピーダンスZとの関係を簡単に説明する。3
6°タンタル酸リチウム圧電基板上にIDT電極とその
両側に反射器を配置して構成したSAW共振子のインピ
ーダンスZと、IDT電極のライン占有率ηとの関係
は、周知のように、図11の曲線のように表される。こ
の図の縦軸は、ライン占有率が50%のときのインピー
ダンスZ0で規準化して表示している。図11から明らか
なように、ライン占有率ηを50%より大きくすればS
AW共振子のインピーダンスは規準値Z0より減少し、5
0%より小さくすればインピーダンスは増大することが
分かる。
ィルタにおいては、中央のIDT電極指2のライン占有
率η1に比べて、IDT電極3、4のライン占有率η2を
小さく設定することにより、出力インピーダンスZout
を入力インピーダンスZinに比べて大きくできるという
特徴がある。このように、1次−3次二重モードSAW
フィルタを入力不平衡型−出力平衡型とし、入力インピ
ーダンスを50Ω、出力インピーダンスを図9に示した
ミキサ72のインピーダンスZと同一とすることによ
り、従来、必要としていた不平衡型−平衡型変換回路7
3とインピーダンス整合回路74とを除去することがで
き、高周波段を小型化できるとと共に、低コスト化する
ことが可能となる。ここで、ライン占有率ηとSAW共
振子のインピーダンスZとの関係を簡単に説明する。3
6°タンタル酸リチウム圧電基板上にIDT電極とその
両側に反射器を配置して構成したSAW共振子のインピ
ーダンスZと、IDT電極のライン占有率ηとの関係
は、周知のように、図11の曲線のように表される。こ
の図の縦軸は、ライン占有率が50%のときのインピー
ダンスZ0で規準化して表示している。図11から明らか
なように、ライン占有率ηを50%より大きくすればS
AW共振子のインピーダンスは規準値Z0より減少し、5
0%より小さくすればインピーダンスは増大することが
分かる。
【0012】しかし、周知のように、ライン占有率ηを
変化させるとSAW共振子の共振周波数まで変動し、通
過帯域が劣化、例えば通過帯域が傾斜し、帯域幅の減少
する等が生ずる。これを防止する必要が生じた場合には
ライン占有率に応じて、電極周期を補正すればよい。ラ
イン占有率ηと共振周波数との関係を簡単に説明する。
図12に示す曲線は、基板に36°タンタル酸リチウム
を用いたSAW共振子のライン占有率ηと規準化周波数
との関係を示す曲線で、ライン占有率ηを0.3から0.7ま
で変化さた場合の規準化周波数(ライン占有率η=0.5
のときの周波数で規準化)の変動の様子を示す曲線で、
例えばライン占有率η=0.5よりηを小さくすると共振
周波数は増加し、大きくすると低下することが分かる。
これはライン占有率ηを0.5より小さくすることによ
り、図13に示すようにその領域の伝搬速度が速くなる
からであり、共振周波数fはf=V/λ(V:表面波の
速度、λ:励起される表面波の波長≒電極周期L)の関
係式より上昇することになる。
変化させるとSAW共振子の共振周波数まで変動し、通
過帯域が劣化、例えば通過帯域が傾斜し、帯域幅の減少
する等が生ずる。これを防止する必要が生じた場合には
ライン占有率に応じて、電極周期を補正すればよい。ラ
イン占有率ηと共振周波数との関係を簡単に説明する。
図12に示す曲線は、基板に36°タンタル酸リチウム
を用いたSAW共振子のライン占有率ηと規準化周波数
との関係を示す曲線で、ライン占有率ηを0.3から0.7ま
で変化さた場合の規準化周波数(ライン占有率η=0.5
のときの周波数で規準化)の変動の様子を示す曲線で、
例えばライン占有率η=0.5よりηを小さくすると共振
周波数は増加し、大きくすると低下することが分かる。
これはライン占有率ηを0.5より小さくすることによ
り、図13に示すようにその領域の伝搬速度が速くなる
からであり、共振周波数fはf=V/λ(V:表面波の
速度、λ:励起される表面波の波長≒電極周期L)の関
係式より上昇することになる。
【0013】ここで、図1と図13とを用いてさらに詳
しく説明する。図1において例えば、IDT電極2のラ
イン占有率η1を0.7、IDT電極3、4のライン占有率
η2を0.4と設定したとすると、標準のライン占有率0.5
のときの表面波の伝搬速度(位相速度)Vsに比べてI
DT電極2の領域では伝搬速度がΔV1だけ減少し、ID
T電極3、4の領域では伝搬速度がΔV2だけ上昇する。
そこで、それぞれのIDT電極領域の伝搬速度に合わせ
て、それぞれのIDT電極の電極周期を合わせる、即ち
IDT電極2の領域ではその電極周期を正規の配置より
わずかに小さく、IDT電極3、4の領域では電極周期
をわずかに大きくすることによって、中央のIDT電極
2と両側のIDT電極3、4の周波数が一致するよう
に、電極周期を微調整することが可能となる。
しく説明する。図1において例えば、IDT電極2のラ
イン占有率η1を0.7、IDT電極3、4のライン占有率
η2を0.4と設定したとすると、標準のライン占有率0.5
のときの表面波の伝搬速度(位相速度)Vsに比べてI
DT電極2の領域では伝搬速度がΔV1だけ減少し、ID
T電極3、4の領域では伝搬速度がΔV2だけ上昇する。
そこで、それぞれのIDT電極領域の伝搬速度に合わせ
て、それぞれのIDT電極の電極周期を合わせる、即ち
IDT電極2の領域ではその電極周期を正規の配置より
わずかに小さく、IDT電極3、4の領域では電極周期
をわずかに大きくすることによって、中央のIDT電極
2と両側のIDT電極3、4の周波数が一致するよう
に、電極周期を微調整することが可能となる。
【0014】図2は本発明に係る1次−3次二重モード
SAWフィルタの第2の実施例であって、図1のものと
は逆に両側のIDT電極13、14のライン占有率η'2
を0.7とし、中央のIDT電極12のライン占有率η'1
を0.4と小さくして、出力インピーダンスを増大させ
る。この手段によっても携帯端末のRFフィルタ近傍か
ら不平衡型−平衡型変換回路73とインピーダンス整合
回路74とを除去することが可能である。
SAWフィルタの第2の実施例であって、図1のものと
は逆に両側のIDT電極13、14のライン占有率η'2
を0.7とし、中央のIDT電極12のライン占有率η'1
を0.4と小さくして、出力インピーダンスを増大させ
る。この手段によっても携帯端末のRFフィルタ近傍か
ら不平衡型−平衡型変換回路73とインピーダンス整合
回路74とを除去することが可能である。
【0015】図3は、欧州デジタル携帯電話システムG
SMの受信RFフィルタ用に、図2の電極構成を用いて
設計した中心周波数847.5MHz、通過帯域幅25MH
z、入出力インピーダンス50Ω−100Ωの1次−3
次二重モードSAWフィルタのフィルタ特性を示す図
で、36°YカットX伝搬LiTaO3基板51上に、
中央のIDT電極12を23.5対、両側のIDT電極1
3、14をそれぞれ13.5対、反射器15a、15bの本
数をそれぞれ150本、交差長30λ、電極膜厚Hを6.5%
λ、IDT電極12とIDT電極13、14及び反射器
15a、15bのライン占有率η'1、η'2及びη'Rをそ
れぞれ0.4、0.7及び0.5、IDT電極と反射器との電極
周期比LT/LRを0.981(電極周期LTとしてはライン占有
率η=0.5の場合を用いている)とした場合の特性であ
る。横軸は周波数(MHz)を、縦軸は挿入損失(Loss)
を表示している。なお、ライン占有率ηをη=0.5に設
定した場合から変化させているので、η=0.5のときの
電極周期で規準化してIDT電極12の電極周期は1.00
75、IDT電極13、14の電極周期は0.9925としてい
る。また、電極指間間隔LTTは0.3λ、IDT電極と反射
器の間隔Dは0.25λとしている。このように構成したこ
とにより入力インピーダンス50Ω、出力インピーダン
ス100ΩのRFフィルタを実現することができた。
SMの受信RFフィルタ用に、図2の電極構成を用いて
設計した中心周波数847.5MHz、通過帯域幅25MH
z、入出力インピーダンス50Ω−100Ωの1次−3
次二重モードSAWフィルタのフィルタ特性を示す図
で、36°YカットX伝搬LiTaO3基板51上に、
中央のIDT電極12を23.5対、両側のIDT電極1
3、14をそれぞれ13.5対、反射器15a、15bの本
数をそれぞれ150本、交差長30λ、電極膜厚Hを6.5%
λ、IDT電極12とIDT電極13、14及び反射器
15a、15bのライン占有率η'1、η'2及びη'Rをそ
れぞれ0.4、0.7及び0.5、IDT電極と反射器との電極
周期比LT/LRを0.981(電極周期LTとしてはライン占有
率η=0.5の場合を用いている)とした場合の特性であ
る。横軸は周波数(MHz)を、縦軸は挿入損失(Loss)
を表示している。なお、ライン占有率ηをη=0.5に設
定した場合から変化させているので、η=0.5のときの
電極周期で規準化してIDT電極12の電極周期は1.00
75、IDT電極13、14の電極周期は0.9925としてい
る。また、電極指間間隔LTTは0.3λ、IDT電極と反射
器の間隔Dは0.25λとしている。このように構成したこ
とにより入力インピーダンス50Ω、出力インピーダン
ス100ΩのRFフィルタを実現することができた。
【0016】図4は本発明に係る第3の実施例を示すも
のである。図4に示すように、1次−3次二重モードフ
ィルタAの中央のIDT電極22の一方のくし形電極を
入力端子INに接続し、他方のくし形電極を接地する。さ
らに、両側のIDT電極23、24の一方のくし形電極
を連結して接地すると共に、他方のくし形電極は連結し
て中間出力とし、後述する次段の1次−3次二重モード
フィルタA’の入力に接続する。該フィルタA’の両側
のIDT電極23’、24’の一方のくし形電極を連結
して、前記中間出力に接続すると共に、他方のくし形電
極をそれぞれ接地する。さらに、フィルタA’の中央の
IDT電極22’の一方のくし形電極を第1の出力OUT1
と接続し、他方のくし形電極を第2の出力OUT1に接続す
ることによって、2段縦続接続型の1次−3次二重モー
ドフィルタにおいても、入力不平衡型−出力平衡型を実
現したものである。
のである。図4に示すように、1次−3次二重モードフ
ィルタAの中央のIDT電極22の一方のくし形電極を
入力端子INに接続し、他方のくし形電極を接地する。さ
らに、両側のIDT電極23、24の一方のくし形電極
を連結して接地すると共に、他方のくし形電極は連結し
て中間出力とし、後述する次段の1次−3次二重モード
フィルタA’の入力に接続する。該フィルタA’の両側
のIDT電極23’、24’の一方のくし形電極を連結
して、前記中間出力に接続すると共に、他方のくし形電
極をそれぞれ接地する。さらに、フィルタA’の中央の
IDT電極22’の一方のくし形電極を第1の出力OUT1
と接続し、他方のくし形電極を第2の出力OUT1に接続す
ることによって、2段縦続接続型の1次−3次二重モー
ドフィルタにおいても、入力不平衡型−出力平衡型を実
現したものである。
【0017】更に、入力側の1次−3次二重モードSA
WフィルタAの入力インピーダンスを50ΩとすべくI
DT電極22のライン占有率η1を大きくすると共に、
縦続接続部よりみた中間出力インピーダンスを入力イン
ピーダンスより高めるために、両側IDT電極23、2
4のライン占有率η2をη1より少し小さく設定する。そ
して、次段の1次−3次二重モードSAWフィルタA’
の両側IDT電極23’、24’のライン占有率η3を
縦続接続部のインピーダンスを整合させるために、ID
T電極23、24の占有率η2とほぼ同一とした上で、
出力となる中央のIDT電極22’のライン占有率η4
をη3より小さく設定し、出力インピーダンスZoutを増
大させる。このように入力INから出力OUT1、2にかけて
順次インピーダンスを増加させる手段をとると、各段の
1次−3次二重モードフィルタの設計が容易となると共
に、フィルタ特性の劣化、例えば通過域のリップルの増
加等を防止することができる。この場合も、ライン占有
率の大きいIDT電極についてはライン占有率の小さい
ものより電極周期を小さく設定して各IDT電極の周波
数が一致するように構成することが望ましい。
WフィルタAの入力インピーダンスを50ΩとすべくI
DT電極22のライン占有率η1を大きくすると共に、
縦続接続部よりみた中間出力インピーダンスを入力イン
ピーダンスより高めるために、両側IDT電極23、2
4のライン占有率η2をη1より少し小さく設定する。そ
して、次段の1次−3次二重モードSAWフィルタA’
の両側IDT電極23’、24’のライン占有率η3を
縦続接続部のインピーダンスを整合させるために、ID
T電極23、24の占有率η2とほぼ同一とした上で、
出力となる中央のIDT電極22’のライン占有率η4
をη3より小さく設定し、出力インピーダンスZoutを増
大させる。このように入力INから出力OUT1、2にかけて
順次インピーダンスを増加させる手段をとると、各段の
1次−3次二重モードフィルタの設計が容易となると共
に、フィルタ特性の劣化、例えば通過域のリップルの増
加等を防止することができる。この場合も、ライン占有
率の大きいIDT電極についてはライン占有率の小さい
ものより電極周期を小さく設定して各IDT電極の周波
数が一致するように構成することが望ましい。
【0018】図5は本発明に係る第4の実施例である1
次−2次二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図
であって、圧電基板31の主面上に表面波の伝搬方向に
沿って2つのIDT電極32、33を近接配置すると共
に、それらの両側に反射器34a、34bを配設して構
成したものである。IDT電極32の一方のくし形電極
を入力端子INに接続すると共に、他方のくし形電極を接
地する。さらに、IDT電極33の一方のくし形電極を
第1の出力端子OUT1に接続すると共に、他方のくし形電
極を第2の出力端子OUT2に接続して、入力不平衡型−出
力平衡型の1次−2次二重モードSAWフィルタを構成
する。図5に示す1次−2次二重モードSAWフィルタ
の動作は、周知のように、IDT電極32、33によっ
て励起される複数の表面波が反射器34a、34bの間
に閉じ込められて音響結合し、IDT電極パターンによ
り1次と2次の2つの縦共振モードが強勢に励振される
ため、適当な終端を施すことによりこれらの2つのモー
ドを利用した1次−2次二重モードSAWフィルタとし
て動作する。
次−2次二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図
であって、圧電基板31の主面上に表面波の伝搬方向に
沿って2つのIDT電極32、33を近接配置すると共
に、それらの両側に反射器34a、34bを配設して構
成したものである。IDT電極32の一方のくし形電極
を入力端子INに接続すると共に、他方のくし形電極を接
地する。さらに、IDT電極33の一方のくし形電極を
第1の出力端子OUT1に接続すると共に、他方のくし形電
極を第2の出力端子OUT2に接続して、入力不平衡型−出
力平衡型の1次−2次二重モードSAWフィルタを構成
する。図5に示す1次−2次二重モードSAWフィルタ
の動作は、周知のように、IDT電極32、33によっ
て励起される複数の表面波が反射器34a、34bの間
に閉じ込められて音響結合し、IDT電極パターンによ
り1次と2次の2つの縦共振モードが強勢に励振される
ため、適当な終端を施すことによりこれらの2つのモー
ドを利用した1次−2次二重モードSAWフィルタとし
て動作する。
【0019】第4に示した実施例の特徴は、出力側を平
衡型回路構成とすると共に、入力インピーダンスと出力
インピーダンスとを互いに異ならせたことである。即
ち、図5に示すように、IDT電極32のライン占有率
η1よりもIDT電極33のライン占有率η2を小さく設
定することにより、出力側のインピーダンスを増大させ
ることができる。
衡型回路構成とすると共に、入力インピーダンスと出力
インピーダンスとを互いに異ならせたことである。即
ち、図5に示すように、IDT電極32のライン占有率
η1よりもIDT電極33のライン占有率η2を小さく設
定することにより、出力側のインピーダンスを増大させ
ることができる。
【0020】図6は本発明に係る第5の実施例を示す平
面図であって、2段縦続接続1次−2次二重モードSA
Wフィルタにおいて、入力不平衡型−出力平衡型フィル
タを構成したものである。上述したように、ライン占有
率ηを入力側から順次小さくすることにより、入力イン
ピーダンスよりも出力インピーダンスを増大することが
できる。
面図であって、2段縦続接続1次−2次二重モードSA
Wフィルタにおいて、入力不平衡型−出力平衡型フィル
タを構成したものである。上述したように、ライン占有
率ηを入力側から順次小さくすることにより、入力イン
ピーダンスよりも出力インピーダンスを増大することが
できる。
【0021】また、図10に示した電極構成の1次−3
次二重モードSAWフィルタに本発明を適用してもよい
ことは云うまでもない。以上の実施例では圧電基板にタ
ンタル酸リチウムを用いて説明したが、本発明はこれに
限定する必要はなく、他の圧電材料、例えば、ニオブ酸
リチウム、ランガサイト、四方酸リチウム等に適用でき
ることは云うまでもない。
次二重モードSAWフィルタに本発明を適用してもよい
ことは云うまでもない。以上の実施例では圧電基板にタ
ンタル酸リチウムを用いて説明したが、本発明はこれに
限定する必要はなく、他の圧電材料、例えば、ニオブ酸
リチウム、ランガサイト、四方酸リチウム等に適用でき
ることは云うまでもない。
【0022】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、従来の1次−3次二重モードSAWフィルタをG
SM携帯電話のRFフィルタとして用いる場合に必要と
していた不平衡型−平衡型変換回路とインピーダンス整
合回路とを除去することが可能となり、高周波段を小型
化できると共に、低コスト化することができるという優
れた効果を表す。
ので、従来の1次−3次二重モードSAWフィルタをG
SM携帯電話のRFフィルタとして用いる場合に必要と
していた不平衡型−平衡型変換回路とインピーダンス整
合回路とを除去することが可能となり、高周波段を小型
化できると共に、低コスト化することができるという優
れた効果を表す。
【図1】本発明に係る1次−3次二重モードSAWフィ
ルタの構成を示す平面図である。
ルタの構成を示す平面図である。
【図2】本発明に係る第2の実施例の1次−3次二重モ
ードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
ードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
【図3】本発明の第2の実施例の1次−3次二重モード
SAWフィルタのフィルタ特性を示すシミュレーション
図である。
SAWフィルタのフィルタ特性を示すシミュレーション
図である。
【図4】本発明に係る第3の実施例の縦続接続型1次−
3次二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図であ
る。
3次二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図であ
る。
【図5】本発明に係る第4の実施例の1次−2次二重モ
ードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
ードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
【図6】本発明に係る第5の実施例の縦続接続型1次−
2次二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図であ
る。
2次二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図であ
る。
【図7】従来の1次−3次二重モードSAWフィルタの
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
【図8】従来の1次−3次二重モードSAWフィルタの
フィルタ特性を示すシミュレーション図である
フィルタ特性を示すシミュレーション図である
【図9】GSM携帯電話システムに用いられているRF
フィルタ近傍のブロック図である。
フィルタ近傍のブロック図である。
【図10】入力不平衡型−出力平衡型1次−3次二重モ
ードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
ードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
【図11】ライン占有率と規準化インピーダンスとの関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図12】ライン占有率と規準化周波数との関係を示す
図である。
図である。
【図13】ライン占有率と表面波の伝搬速度との関係そ
示す図である。
示す図である。
1、11、21、31、41・・圧電基板 2、3、4、12、13、14、22、23、24、2
2’、23’、24’、32、33、42、43、4
2’、43’・・IDT電極 5a、5b、15a、15b、25a、25b、25’
a、25’b、34a、34b、44a、44b、4
4’a、44’b・・グレーティング反射器 L1、L2、L’1、L’2、L3・・電極指幅 S1、S2、S’1、S’2・・スペース幅 LTT・・近接するIDT電極の最内側の電極指の中心間
間隔 D・・近接するIDT電極と反射器との間隔 A、A’・・1次−3次二重モードSAWフィルタ IN・・入力 OUT1、OUT2・・出力
2’、23’、24’、32、33、42、43、4
2’、43’・・IDT電極 5a、5b、15a、15b、25a、25b、25’
a、25’b、34a、34b、44a、44b、4
4’a、44’b・・グレーティング反射器 L1、L2、L’1、L’2、L3・・電極指幅 S1、S2、S’1、S’2・・スペース幅 LTT・・近接するIDT電極の最内側の電極指の中心間
間隔 D・・近接するIDT電極と反射器との間隔 A、A’・・1次−3次二重モードSAWフィルタ IN・・入力 OUT1、OUT2・・出力
Claims (6)
- 【請求項1】 圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向に
沿って3つのIDT電極を近接して配置すると共に、そ
れらの両側にグレーティング反射器を配設した1次−3
次縦結合二重モードSAWフィルタにおいて、 前記1次−3次縦結合二重モードSAWフィルタにおけ
る中央のIDT電極ライン占有率とその両側のIDT電
極ライン占有率とを異ならせたことを特徴とする入出力
インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向に
沿って3つのIDT電極を近接して配置すると共に、そ
れらの両側にグレーティング反射器を配設した1次−3
次縦結合二重モードSAWフィルタを2段縦続接続した
フィルタにおいて、 一方の1次−3次縦結合二重モードSAWフィルタにお
ける中央のIDT電極のライン占有率と両側のIDT電
極のライン占有率とを互いに異ならせ、他方の1次−3
次縦結合二重モードSAWフィルタにおける中央のID
T電極のライン占有率と両側のIDT電極のライン占有
率とを互いに異ならせると共に、縦続接続する相互のI
DT電極のライン占有率をほぼ等しくしたことを特徴と
する入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項3】 圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向に
沿って2つのIDT電極を近接して配置すると共に、そ
れらの両側にグレーティング反射器を配設した1次−2
次縦結合二重モードSAWフィルタにおいて、 前記2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせ
たことを特徴とする入出力インピーダンスを異にした弾
性表面波フィルタ。 - 【請求項4】 圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向に
沿って2つのIDT電極を近接して配置すると共に、そ
れらの両側にグレーティング反射器を配設した1次−2
次縦結合二重モードSAWフィルタを2段縦続接続した
フィルタにおいて、 前記第1の1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタ
の2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせ、
前記第2の1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタ
の2つのIDT電極のライン占有率を互いに異ならせる
と共に、縦続接続する相互のIDT電極のライン占有率
をほぼ等しくしたことを特徴とする入出力インピーダン
スを異にした弾性表面波フィルタ。 - 【請求項5】 前記ライン占有率の値を入力側から出力
側にかけて単調に増加させるか、あるいは減少せしめた
ことを特徴とする請求項2及び4記載の入出力インピー
ダンスを異にした弾性表面波フィルタ。 - 【請求項6】 前記IDT電極のライン占有率の大きい
ものはライン占有率を小さくしたものより、電極周期を
小さくしたことを特徴とする請求項1乃至5の入出力イ
ンピーダンスを異にした弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP32040599A JP2001144574A (ja) | 1999-11-11 | 1999-11-11 | 入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32040599A JP2001144574A (ja) | 1999-11-11 | 1999-11-11 | 入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001144574A true JP2001144574A (ja) | 2001-05-25 |
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ID=18121105
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP32040599A Pending JP2001144574A (ja) | 1999-11-11 | 1999-11-11 | 入出力インピーダンスを異にした弾性表面波フィルタ |
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Country | Link |
---|---|
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- 1999-11-11 JP JP32040599A patent/JP2001144574A/ja active Pending
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