JP2000349590A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ

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JP2000349590A JP11156104A JP15610499A JP2000349590A JP 2000349590 A JP2000349590 A JP 2000349590A JP 11156104 A JP11156104 A JP 11156104A JP 15610499 A JP15610499 A JP 15610499A JP 2000349590 A JP2000349590 A JP 2000349590A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 縦続接続した縦結合1次−3次二重モードS
AWフィルタにおいて通過域近傍の高周波側の減衰傾度
を改善する手段を得る。 【解決手段】 圧電基板上に3個のIDT電極とその両
側にグレーティング反射器と配置した縦結合二重モード
弾性表面波フィルタを表面波の伝搬方向と平行して2個
配設した弾性表面波フィルタであって、第一及び第二の
弾性表面波フィルタ間に少なくとも1個の弾性表面波共
振子を配置し、且つ直列接続して弾性表面波フィルタを
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
に関し、特に通過帯域近傍の阻止減衰量を改善した弾性
表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、弾性表面波デバイスは通信分野で
広く利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を
有することから特に携帯電話等に多く用いられている。
図5は、従来の縦続接続型1次−3次縦結合弾性表面波
フィルタ(以下、二重モードSAWフィルタと称す)の
構成を示す電極パターンの平面図であって、圧電基板21
の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極
22、23、24を近接配置すると共に、これらの両側にグレ
ーティング反射器25a、25b(以下、反射器と称す)を配
設して第1のフィルタとする。IDT電極22、23、24は
それぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対
のくし形電極により構成され、IDT電極22の外側のく
し形電極は該電極の外側近傍に設けた電極パッドP1と接
続して入力とし、他方のくし形電極は該電極の近傍で基
板21の中心部寄りに設けた接地用電極パッドE1に接続す
る。そして、IDT電極23、24の基板21端部寄りのバス
バーからそれぞれリード電極L1、L1を基板21端部に向け
て延在し、これらを互いに接続する。また、IDT電極
23、24の他方のバスバーはからそれぞれ縦続接続用のリ
ード電極L2、L3を次段の二重モードSAWフィルタに向
けて延在する。
【0003】圧電基板21上に表面波の伝搬方向であって
基板21の中央に関して第1の二重モードSAWフィルタ
と対称に第2の二重モードSAWフィルタ、即ちIDT
電極26、27、28とその両側に配置した反射器29a、29bと
からなる二重モードSAWフィルタを形成し、第1の二
重モードSAWフィルタとリード電極L2、L3を介して縦
続接続する。IDT電極26の基板21中心部寄りのバスバ
ーは該電極の近傍に設けた接地用電極パッドE2と接続
し、IDT電極26の基板21外側のパスバーは該バスバー
の外側近傍に設けた出力用電極パッドP2と接続する。
【0004】図5に示す二重モードSAWフィルタの動
作は、周知のように、IDT電極22、23、24によって励
起される表面波が反射器25a、25bの間に閉じ込められて
音響結合し、電極パターンにより1次と3次の2つの縦
共振モードが強勢に励振され、これらの2つのモードを
利用して二重モードSAWフィルタを構成する。なお、
該二重モードSAWフィルタの通過帯域幅は1次共振モ
ードと3次共振モードとの周波数差で決まることは周知
の通りである。
【0005】図6は、39°YカットX伝搬LiTaO
3基板上に、中心周波数881.5MHz、通過帯域幅25MHzの
二重モードSAWフィルタを形成すべく、アルミニウム
合金の膜厚を6.0%λ(λは励起される表面波の波長)、
IDT電極22を19.5対、IDT電極23、24をそれぞれ1
3.5対、反射器25a、25bの本数をそれぞれ200本とした場
合の二重モードSAWフィルタの通過域特性と減衰域特
性とを示す図である。横軸は周波数(MHz)を、縦軸は
左側に減衰域の、右側に通過域の挿入損失を示してい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
二重モードSAWフィルタにおいては、通過帯域近傍の
高周波側に図6のαで示す減衰量の劣化、所謂ダレ現象
が本質的に生じ、例えば、減衰域にハッチングで示す米
国のAMPS方式のRFフィルタに要求される、低域側の849M
Hzにて28dBは満たすものの、高域側の914MHzにて28dBの
規格は製造時の偏差、温度特性、経年変化等を考慮する
と満足しないという問題があった。このダレ現象を改善
する改善する手段として、ライン占有率(電極指の幅と
スペースの幅との和に対する電極指の幅)を小さく方法
がある。図7は、図6の設計パラメータを用い、ライン
占有率のみをを0.47から0.45と小さくした場合の通過域
特性(B0、B1)と減衰域特性(S0、S1)で、B0、S0はラ
イン占有率が0.47の場合、B1、S1はライン占有率が0.45
の場合のフィルタ特性である。図7から明らかなように
減衰域に若干の改善は見られるものの、製造偏差等を考
慮すると規格を満足しないという問題があった。
【0007】上記ダレ現象を改善する他の手段として電
極の膜厚を厚くする方法がある。図8は、図6の設計パ
ラメータを用い、電極膜厚のみをを6.0%λから6.5%λと
厚くした場合の通過域特性(B0、B2)と減衰域特性
(S0、S2)で、B0、S0は電極膜厚が6.0%λの場合、B2
S2は電極膜厚が6.5%λの場合のフィルタ特性である。図
8から明らかなように減衰域に若干の改善がみられるも
のの、製造偏差等を考慮すると規格を満足しないという
問題があった。また、上記いずれの改善手段もインピー
ダンスが大きくなり、パスバンド特性が劣化するという
問題が新たに生じる。また、減衰傾度を改善する手段と
してIDT電極のピッチLt(波長)と反射器のピッチLr
の比、Lt / Lrを大きくする方法がある。図9は、図6
の設計パラメータを用い、ピッチ比Lt / Lrのみをを0.9
81から0.986と大きくした場合の通過域特性(B0、B3
と減衰域特性(S0、S3)で、B0、S0はピッチ比Lt / Lr
が0.981の場合、B3、S3はピッチ比Lt / Lrが0.986の場
合のフィルタ特性である。図9から明らかなように減衰
域に若干の改善がみられるものの、製造偏差等を考慮す
ると規格を満足しないという問題があった。本発明は上
記問題を解決するためになされたものであって、高周波
側の減衰傾度を改善した二重モードSAWフィルタを提
供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る弾性表面波フィルタの請求項1記載の発
明は、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って複数個の
IDT電極とその両側にグレーティング反射器とを配置
した縦結合多重モード弾性表面波フィルタを複数個配設
し、2つの前記縦結合多重モード弾性表面波フィルタの
間に少なくとも1個の弾性表面波共振子を配置すると共
に、前記2つの縦結合多重モード弾性表面波フィルタを
前記弾性表面波共振子を介して縦続接続したことを特徴
とする弾性表面波フィルタである。請求項2記載の発明
は、前記縦結合多重モードフィルタが圧電基板上に表面
波の伝搬方向に沿って3個のIDT電極とその両側にグ
レーティング反射器と配置した縦結合1次−3次二重モ
ード弾性表面波フィルタであることを特徴とする請求項
1記載の弾性表面波フィルタである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る二
重モードSAWフィルタの構成を示す平面図であって、
圧電基板1の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つの
IDT電極2、3、4を近接配置すると共に、これらの両
側に反射器5a、5bを配設して第1のフィルタとする。I
DT電極2、3、4はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の
電極指を有する一対のくし形電極により構成され、ID
T電極2の外側のくし形電極は該電極の外側近傍に設け
た電極パッドP1と接続して入力とし、他方のくし形電極
は該電極の近傍で基板1の中心部寄りに設けた接地用電
極パッドE1に接続する。そして、IDT電極3、4の基板
1の端部寄りのバスバーからそれぞれリード電極L1、L1
を基板1端部に向けて延在し、これらを互いに接続す
る。また、IDT電極3、4の他方のバスバーからそれぞ
れ縦続接続用のリード電極L3、L3を次段に向けて延在す
る。
【0010】圧電基板1上に表面波の伝搬方向であって
基板中央に関して、第1の二重モードSAWフィルタと
ほぼ対称に第2の二重モードSAWフィルタ、即ちID
T電極6、7、8とその両側に配置した反射器9a、9bとか
らなる二重モードSAWフィルタを形成する。そして、
IDT電極6の基板1の内側のバスバーは該電極の近傍
で基板1中心部寄りに設けた接地用電極パッドE2と接続
し、IDT電極6の外側のパスバーは該電極の外側近傍
に設けた出力用電極パッドP2と接続する。さらに、ID
T電極7、8の基板1の端部寄りのバスバーをそれぞれリ
ード電極L2で接続するのは第1の二重モードSAWフィ
ルタの場合と同様である。本発明の特徴は、第1及び第2
の二重モードSAWフィルタの間に、弾性表面波の伝搬
方向に沿ってIDT電極10とその両側に反射器11a、11b
を配置して弾性表面波共振子(以下、SAW共振子Aと
称す)を形成し、該共振子Aを第1及び第2の二重モード
SAWフィルタに対して直列に接続してフィルタを構成
したことである。
【0011】共振子Aを構成するIDT電極10の波長λ
aは、IDT電極2〜4、6〜8の波長λよりも幾分小さく
設定し、その反共振周波数が縦続接続した第1及び第2の
二重モードSAWフィルタの、通過帯域近傍の高周波側
に生ずるダレ特性の周波数にほぼ一致させる。このよう
に、第1及び第2の二重モードSAWフィルタの間に直列
にSAW共振子Aを接続すると、その総合したフィルタ
特性は、SAW共振子Aの反共振周波数に減衰極が生じ
るため、高周波側のダレ特性を補償するように作用し
て、その反共振周波数近傍の減衰量を改善することがで
きる。SAW共振子Aを配設する位置は、縦続接続型二
重モードSAWフィルタの入力側、出力側のいずれに配
置してもダレ特性は改善できるが、二重モードSAWフ
ィルタと該フィルタを挿入する回路側とのインピーダン
ス整合性を考慮すると、縦続接続型二重モードSAWフ
ィルタの中間に配置した方が望ましく、フィルタの形状
も小型化に適している。
【0012】図2は、39°YカットX伝搬LiTaO
3基板上に、中心周波数881.5MHz、通過帯域幅25MHzの
二重モードSAWフィルタを形成すべく図1に示すよう
な電極パターンを形成して、アルミニウム合金の膜厚を
6.0%λ、IDT電極2を19.5対、IDT電極3、4をそれ
ぞれ13.5対、反射器5a、5bの本数をそれぞれ200本、S
AW共振子AのIDT電極対数を100対、反射器11a、11
bをそれぞれ30本とした場合の二重モードSAWフィル
タの通過域特性と減衰域特性を示す図である。IDT電
極2、3、4の波長λは4.5477μm、SAW共振子Aの波長
λaは4.4980μmと設定し、フィルタの中心周波数は881.
5MHz、帯域幅Bwは30MHz以上である。横軸は周波数(MH
z)を、縦軸は減衰域と通過域の挿入損失(dB)を示し
ている。図2から明らかなように、通過帯域近傍の高周
波側の減衰傾度が大幅に改善でき、上記の米国のAMPS方
式の要求規格を完全に満たしていることが分かる。
【0013】図3は本発明に係る他の実施例であり、図
1の構成から変更した部分のみを破線で囲んで別符号を
付し、他は同符号を用いている。第1の二重モードSA
Wフィルタの一方の出力端子、即ちIDT電極3の基板1
内側のバスバーより延在するリード電極にSAW共振子
12の一方の端子を直列接続すると共に、二重モードSA
Wフィルタの他方の出力端子であるIDT電極4の基板1
内側のバスバーより延在するリード電極にSAW共振子
13の一方の端子を直列接続する。そして、SAW共振子
12、13のそれぞれ他方の端子からリード電極を延在し、
第2の二重モードSAWフィルタのIDT電極7、8の基
板1の中心寄りのバスバーとそれぞれ接続するように構
成する。
【0014】図3のような構成とすることによりSAW
共振子12、13のそれぞれの反共振周波数f12、f13によ
り、二重モードSAWフィルタのフィルタ特性に減衰極
が形成される。SAW共振子12、13の反共振周波数
f12、f13は同一周波数に設定してもよいが、図4に示す
ように、周波数を少し離して設定すれば2つの減衰極が
生ずるため、特定の周波数領域の減衰量をさらに大きく
することができる。
【0015】以上では縦続接続型1次−3次縦結合二重
モードSAWフィルタを例として説明したが、本発明は
これのみに限ることなく、縦続接続型1次−2次縦結合
二重モードSAWフィルタ、縦続接続型1次−2次−3
次縦結合三重モードSAWフィルタ、縦続接続型縦結合
多重モードSAWフィルタ等に適用できることは言うま
でもない。また、圧電基板に39°YカットX伝搬Li
TaO3基板を用いて説明したが、他のカットでもよ
く、また、他の圧電材料、例えばニオブ酸リチウム、水
晶、ランガサイト、四方酸リチウム等に適用できること
は云うまでもない。また、段間に配置するSAW共振子
の波長λaをIDT電極の波長λより小さい場合を説明
したが、フィルタの通過域の低周波側を補償する場合
は、λaをλより大きくすればよい。
【0016】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、縦続接続型1次−3次縦結合二重モードSAWフ
ィルタの通過帯域近傍の高周波側の減衰傾度を大幅に改
善でき、例えば米国のAMPSのRFフィルタに要求される規
格を満足する特性が得られた。該フィルタを携帯電話の
RFフィルタとして用いれば、該部の特性を改善できると
いう優れた効果を奏す。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る縦続接続型1次−3次縦結合二重
モードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
【図2】本発明に係る縦続接続型1次−3次縦結合二重
モードSAWフィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図3】本発明に係る他の縦続接続型1次−3次縦結合
二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図である。
【図4】縦続接続型1次−3次縦結合二重モードSAW
フィルタに用いるSAW共振子の反共振周波数とフィル
タの減衰極と関係を示す図である。
【図5】従来の縦続接続型1次−3次縦結合二重モード
SAWフィルタの構成を示す平面図である。
【図6】従来の縦続接続型1次−3次縦結合二重モード
SAWフィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図7】従来の縦続接続型1次−3次縦結合二重モード
SAWフィルタの特性と、ライン占有率を小さくしたと
きのフィルタ特性とを比較した図である。
【図8】従来の縦続接続型1次−3次縦結合二重モード
SAWフィルタの特性と、電極膜厚を厚くしたときのフ
ィルタ特性とを比較した図である。
【図9】従来の縦続接続型1次−3次縦結合二重モード
SAWフィルタの特性と、ライン占有率を小さくしたと
きのフィルタ特性とを比較した図である。
【符号の説明】
1・・圧電基板 2、3、4、6、7、8、10・・IDT電極 5a、5b、9a、9b、11a、11b・・グレーテ
ィング反射器 P1、P2・・入出力電極パッド E1、E2・・接地用電極パッド L1、L2、L3、L4・・リード電極 12、13・・SAW共振子

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
    複数個のIDT電極とその両側にグレーティング反射器
    とを配置した縦結合多重モード弾性表面波フィルタを複
    数個配設し、2つの前記縦結合多重モード弾性表面波フ
    ィルタの間に少なくとも1個の弾性表面波共振子を配置
    すると共に、前記2つの縦結合多重モード弾性表面波フ
    ィルタを前記弾性表面波共振子を介して縦続接続したこ
    とを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  2. 【請求項2】 前記縦結合多重モードフィルタが圧電基
    板上に表面波の伝搬方向に沿って3個のIDT電極とそ
    の両側にグレーティング反射器と配置した縦結合1次−
    3次二重モード弾性表面波フィルタであることを特徴と
    する請求項1記載の弾性表面波フィルタ。
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