JP2013066958A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削装置(1)は、研削ホイール(41)がネジによりホイールマウント(31)に締結され、可動電極部(71)がシール部材(418)の外側から外力により押圧されると、可動電極(713)がホイールマウント(31)に取り付けられた絶縁部材(61)の被係合凹部(61a)内に係合され、固定電極(62)に接触した状態で固定部材(63)によって固定され、環状電極(415)に通電されると共に可動電極部(71)がホイールベース(413)に非接触とされる。
【選択図】図7
Description
図1は、本実施の形態に係る研削装置1の一例を示す外観斜視図である。なお、以下においては、説明の便宜上、図1に示す左下方側を研削装置1の前方側と呼び、同図に示す右上方側を研削装置1の後方側と呼ぶものとする。また、以下においては、説明の便宜上、図1に示す上下方向を研削装置1の上下方向と呼ぶものとする。
11 研削送り機構
100 基台
101 主部
102 壁部
103 操作パネル
104 チャックテーブル
105 テーブル支持台
106 ガイドレール
111 ボールネジ
112 モータ
113 移動基台
114 支持部
21 研削ユニット(研削手段)
22 スピンドルユニット
221 スピンドルハウジング
222 回転スピンドル
222a 貫通孔
223 小径先端部
23 電動モータ(駆動源)
231 ロータ
232 ステータコイル
24 ロータリートランス
241 受電手段
242 給電手段
241a ロータコア
241b 受電コイル
242a ステータコア
242b 給電コイル
25 導電線
31 ホイールマウント
31a 凹部(円形凹部)
31b ネジ穴
31c ネジ
41 研削ホイール
411 装着リング
411a ネジ穴
412 環状連結部
412a スリット
413 ホイールベース
413a 収容部
414 研削砥石
415 環状超音波振動子
416 環状電極
417 フレキシブル導線
418 シール部材
51 電力供給手段
511 交流電源
512 電圧調整手段
513 周波数調整手段
514 制御手段
515 入力手段
516 制御回路
517 配線
518 配線
61 絶縁部材
61a 凹部(被係合凹部)
61b 環状溝
61c 底面部
62 固定電極
621 軸部
622 平面部
623 コイルばね(付勢部材)
63 固定部材
631 筒状体
632 コイルばね
633 球状体
71 可動電極部
711 被収容部
712 規制部
713 可動電極
713a 凹部
714 係合部
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、前記研削手段に使用される研削ホイールと、を備えた研削装置であって、
前記研削手段は、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング中に回転可能に収容されたスピンドルと、前記スピンドルの先端に固定されたホイールマウントと、前記スピンドルを回転駆動する駆動源とを含み、
前記研削ホイールは、前記ホイールマウントとネジによって締結され、導電性部材で形成されたホイールベースと、前記ホイールベースの自由端部に環状に配設された複数の研削砥石と、前記ホイールベースに配設された環状超音波振動子と、前記環状超音波振動子に積層されて配設された環状電極と、前記ホイールベースの中央に固定端部側および自由端部側に開口した収容部と、前記収容部に収容された可動電極部と、前記ホイールベースの前記自由端部側の開口を外側から塞ぐ伸縮性のシール部材とを含み、
前記可動電極部は、前記環状超音波振動子に電力を供給するための可動電極と、前記可動電極を保持し前記開口に挿通する被収容部と、前記可動電極が前記固定端部側の前記開口から突設するように前記被収容部を規制する規制部と、前記可動電極部から前記環状電極に連結する導電性のフレキシブル導線とを含み、前記被収容部は前記ホイールベースの前記収容部に進退可能に収容されており、
前記ホイールマウントは、中央の自由端面近傍で且つ前記研削ホイールをネジにより締結した状態において前記可動電極に向き合う位置に配設された固定電極と、前記固定電極が底に配設され前記可動電極が係合される絶縁体から成る被係合凹部と、前記被係合凹部に前記可動電極が係合した状態で前記可動電極の側面に押し当てて前記可動電極を固定する固定部材とを有し、前記研削ホイールがネジにより前記ホイールマウントに締結され、前記可動電極部が前記ホイールマウントの前記開口の前記シール部材側から外力により押圧されると、前記可動電極が前記ホイールマウントの前記被係合凹部に係合されるとともに前記固定部材により前記可動電極が前記固定電極に接触した状態で固定され前記環状電極に通電されるとともに、前記可動電極部が前記ホイールベースに非接触になることを特徴とする研削装置。 - 前記ホイールマウントには、当該ホイールマウントの前記固定電極を前記ホイールマウントの自由端面側に付勢する付勢部材を有し、前記被係合凹部に前記可動電極が係合し前記固定部材により前記可動電極が固定されると前記固定電極の端面と前記可動電極の端面が密接することを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、前記研削手段に使用される研削ホイールと、を備えた研削装置であって、
前記研削手段は、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング中に回転可能に収容されたスピンドルと、前記スピンドルの先端に固定されたホイールマウントと、前記スピンドルを回転駆動する駆動源とを含み、
前記研削ホイールは、前記ホイールマウントとネジによって締結され、導電性部材で形成されたホイールベースと、前記ホイールベースの自由端部に環状に配設された複数の研削砥石と、前記ホイールベースに配設された環状超音波振動子と、前記環状超音波振動子に積層されて配設された環状電極と、前記ホイールベースの中央に固定端部側および自由端部側に開口した収容部と、前記収容部に収容された可動電極部と、前記ホイールベースの前記自由端部側の開口を外側から塞ぐ伸縮性のシール部材とを含み、
前記可動電極部は、前記環状超音波振動子に電力を供給するための可動電極と、前記可動電極を保持し前記開口に挿通する被収容部と、前記可動電極が前記固定端部側の前記開口から突設するように前記被収容部を規制する規制部と、前記可動電極部から前記環状電極に連結する導電性のフレキシブル導線とを含み、前記被収容部は前記ホイールベースの前記収容部に進退可能に収容されており、
前記ホイールマウントは、前記研削ホイールがネジにより前記ホイールマウントに締結した状態において前記可動電極に対応した位置に配設され前記可動電極が係合される被係合凹部と、前記被係合凹部に前記可動電極が係合した状態で前記可動電極の側面に押し当てて前記可動電極を固定する固定部材とを含み、前記固定部材は導電性であり高周波電力源に連結されており、
前記研削ホイールがネジにより前記ホイールマウントに締結され、前記可動電極部が前記ホイールマウントの前記開口の前記シール部材側から外力により押圧されると、前記可動電極が前記ホイールマウントの前記被係合凹部に係合されるとともに前記固定部材により押圧固定され、前記固定部材から前記環状電極に通電されるとともに、前記可動電極部が前記ホイールベースに非接触になることを特徴とする研削装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の研削装置に使用される研削ホイールであって、
前記規制部は、導電性を有し、前記ホイールベースの固定端部側の前記開口より大径で且つ前記可動電極が前記開口から突設するように前記被収容部を懸架し、前記フレキシブル導線は、導電性を有する前記規制部から前記環状超音波振動子に積層された前記環状電極に連結し、
前記ホイールマウントと離反時には、前記環状電極と連結している導電性を有する前記規制部が前記ホイールベースに接触し、前記環状超音波振動子に帯電した電荷が放電されることを特徴とする研削ホイール。
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JPH0229126U (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-26 | ||
JP2002352650A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Toko Electric Corp | 開閉接点および開閉器 |
WO2009072263A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Mitsubishi Electric Corporation | 接触子装置 |
JP2010194650A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2011148028A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0229126U (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-26 | ||
JP2002352650A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Toko Electric Corp | 開閉接点および開閉器 |
WO2009072263A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Mitsubishi Electric Corporation | 接触子装置 |
JP2010194650A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2011148028A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
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