KR101604989B1 - 초음파 에어베어링 스핀들 - Google Patents

Abstract

스핀들(1)의 외부에 설치되고, 내측에 설치된 진동자(13)에 연결된 초음파장치(2)와, 상기 스핀들(1)의 모터(11)에 연결되는 인버터(3)로 구성되며,
상기 스핀들(1)은 하우징의 일측에 설치된 공구고정용 너트(4)와, 하우징의 내측 공간부에는 샤프트를 두 개의 프론트샤프트(18)와, 레어샤프트(19)로 분리된 형태로 내장되어 있고, 상기 레어샤프트(19)의 전면에 삽입되며 일정간격 이격되어 설치된 두개의 진동자(13)와, 상기 두 개의 진동자(13)를 감싸도록 외부에 설치된 두 개의 전극링(21)과, 상기 전극링(21)의 외부에 설치된 배기홀(30)과, 상기 배기홀(30)에 연결되어 레어에어베어링(16)의 하부에 설치된 배기관(31)과, 배기관(31)의 끝에 설치된 배출구(33)와,
상기 프론트샤프트(18)를 감싸는 프론트에어베어링(12)과, 상기 진동자(13)의 후면에 설치된 레어샤프트(19)를 감싸는 레어에어베어링(16)과, 상기 프론트에어베어링(12) 및 레어에어베어링(16)에 연결된 다수개의 에어분사노즐(미도시)과,
상기 레어샤프트(19)의 후면에 설치된 모터(11)와,
상기 두 개의 전극링(21)의 상부에 설치된 두 개의 합금브러시(15)와, 상기 각각의 합금브러시(15)의 후면에 설치된 스프링(14)으로 구성된 음파 에어베어링 스핀들에 관한 것이다.

Description

초음파 에어베어링 스핀들{Ultra sonic air bearing spindle}

본 발명은 정밀가공용 설비에 장착하여 사용하는 스핀들에 관한 것으로서 초음파 진동장치를 에어베어링 스핀들에 적용시킨 융합기술이다.

외부와 접촉하지 않는 에어베어링의 회전축 내부에 진동자를 삽입시키고, 마찰계수 및 전기전도율이 우수한 은-카본 합금의 브러시를 연결하여 회전축에 초음파진동을 인가하는 기술로서 에어베어링 스핀들이 갖는 저소음, 저진동, 고정도의 고속회전에 매우 높은 주파수의 초음파진동을 인가함으로서 기존에 가공하기 어려웠던 실리콘웨이퍼나 강화된 사파이어글라스 같은 소재 특히 인플란트와같은 인공치아의 가공정밀도를 높이고, 가공시간을 단축시킬 수 있는 초음파 에어베어링 스핀들에 관한 것이다.

일반적으로, 고정밀도와 고속회전을 요구하는 기기 즉, 하드디스크 드라이브, 광디스크 드라이브 및 각종 디지털 광학기기 등에는 회전체 계(rotor system)의 성능을 향상시키기 위하여 높은 회전속도와 낮은 Non repeatable Run-out(NRRO) 및 낮은 소음 그리고 충격 흡수 등이 요구되어지는 바, 이를 수용하기 위하여 다양한 형태의 베어링 및 이를 적용한 스핀들모터가 개발되고 있다.

현재 개발되고 있는 초정밀 고속화 스핀들은 베어링의 회전 마찰력을 줄이기 위해서 에어 베어링이나 자기 베어링을 장착하고 있다. 상기 에어 베어링을 사용하는 에어 스핀들 시스템은 외부로부터의 공기압에 의하여 축이 부상하는 방식으로 볼베어링이 갖는 진원도 오차에 의한 진동 문제를 해결할 수 있으며, 마찰열을 충분히 감소시킬 수 있기 때문에 초고속, 초정밀이 요구되는 초정밀 가공기용 스핀들로 이용되고 있으며,

에어 스핀들 시스템은 회전축의 질량과 레디알 베어링의 강성에 의하여 결정되는 고유진동수 및 회전축의 고유진동수에 의하여 운전가능 영역이 결정되며, 에어스핀들에 사용되는 정압 공기베어링을 이용한 안내요소를 생산할 때 사용되는 오리피스형식과, 재질 내에 공기가 스며들어 베어링면으로 가압해줄 수 있는 다공질재료나 다공성 재질을 이용한 다공질방식의 에어베어링이 지속적으로 개발되어 왔다.

에어베어링스핀들 기술은 이미 많은 부분에서 활용하고, 응용되어지고 있는 추세이고, 초음파기술 역시 그동안 여러 가지 산업분야에서 활용되어지고 있다. 특히 볼베어링타입의 스핀들에 초음파장치를 연결하여 미세 초음파진동을 부가하여 정밀가공분야에 이용하여 그 효과를 확인 할 수 있었으나, 더욱 정밀한 가공이 가능한 에어베어링 스핀들에 초음파장치를 연결하여 정밀가공용으로 사용하는 것에 대해서는 국내는 물론이고, 세계적으로도 적용사례를 찾아보기 어려울 정도로 어려운 기술로 인식되고 있다.

에어베어링에 의해 부상되어 있는 회전축에 초음파진동을 위한 진동자를 설치하고 그 진동자에 초음파 발생장치로부터 공급되는 전원을 공급받음으로서 회전축에 설치된 진동자가 작동하게 되는 원리이다.

종래의 기술은 볼베어링타입의 스핀들에 초음파장치를 연결하여 사용함으로서 정밀가공에 이용하고 있으나, 볼베어링스핀들의 특성상 자체 진동이 심하고, 고속으로 회전시킬 수 없다는 단점이 있었다.

에어베어링 스핀들을 이용한 초음파가공장치에 관한 선행기술이 있기는 하지만, 이 기술은 스핀들에 초음파장치가 있는 것이 아니고, 가공설비의 테이블에 초음파장치가 설치된 경우이기 때문에 가공에 직접적인 작용을 하는 스핀들의 공구에서 초음파 진동이 발생하는 것과는 차이가 있다.

기존의 초음파장치가 연결된 스핀들의 내부는 브러시의 마모에 의해서 발생한 분진이 회전축의 주변에 적층되어 스핀들의 작동 불량 및 고장발생의 원인이 되고 있다.

국내공개특허공보 공개번호 제1020120117156(2012.10.24)호에는 선단측에 공구(5)를 갖는 주축(2)이 초음파 진동하면서 회전하는 초음파 스핀들 장치(A)로서, 주축(2)의 선단측과 구동측을 베어링(3a, 3b)을 통해 지지하는 장치 본체와, 주축(2)을 회전시키는 구동부(6)와, 주축(2)을 초음파 진동시키는 가진부(X)를 구비하고, 가진부(X)를, 선단측의 베어링(3a)과 구동측의 베어링(3b)의 중간 위치에서, 진동 마디 부근의 진동 효율이 최대인 부분에 배치하였다. 또한, 가진부(X)를, 구동측의 베어링(3b)과 구동부(6)의 중간 위치에서, 진동 효율이 최대인 부분에 배치된 초음파 스핀들 장치가 공개되어 있고,

국내공개특허공보 공개번호 제1020130018128(2013.02.20)호에는 가공 공구(3)가 부착되는 가공 공구 홀더(4)와, 가공 공구 홀더(4)를 유지하는 홀더 받이 구멍이 복수 설치된 툴 스토커(5)와, 축선 주위에 회전구동되는 스핀들과, 스핀들에 형성된 중공의 본체 슬리브 속에 배치되는 초음파 진동자와, 초음파 진동자에 동축 상에 연접되고, 또한 본체 슬리브의 내주벽에 구속 고정되고, 초음파 진동자에 의해 여기된 초음파 진동을 가공 공구 홀더를 통하여 가공 공구에 전달하는 지지혼을 포함하는 초음파 스핀들 유닛(2)을 갖고, 가공 공구 홀더(4)는, 측동부에 툴 스토커(5)의 홀더 받이 구멍 내에서 회전을 구속받는 회전 구속부를 갖고, 툴 스토커(5)의 홀더 받이 구멍 내에 유지된 상태에서 스핀들의 회전에 의해 지지혼에 대하여 나사에 의해 착탈되는 초음파가공기의 자동공구 교환장치가 공개되어 있음을 알 수 있다.

1. 국내공개특허공보 공개번호 제1020120117156(2012.10.24)호 2. 국내공개특허공보 공개번호 제1020130018128(2013.02.20)호

종래의 기술은 강화처리가 완료된 유리의 면취가공 등 난삭재의 정밀가공용 스핀들에 관한 것으로서 일반적인 고속용 스핀들로서 가공할 경우, 가공 시 발생하는 불량률이 높으며, 미세한 크랙이 발생하여 완성품인 스마트 폰 등의 터치패널에 사용되는 글라스의 파손에 직접적인 영향을 주는 요인이 된다. 이에 최근에는 에어베어링타입의 스핀들을 이용하여 더욱 정밀한 가공이 가능하게 되었지만 이것도 강화처리가 되기 전의 유리에 적용 했을 때 그 효과가 있으며, 강화처리가 끝난 후의 유리에 대해서는 가공에 어려움을 겪고 있다.

고속, 고정밀의 에어베어링 스핀들에 초음파장치를 연결하여 강화처리가 완료된 유리의 정밀가공에 활용함으로서 가공품질의 향상과 가공시간단축, 그리고 공구수명의 연장까지 기대할 수 있는 초음파가 적용된 에어베어링스핀들을 개발하여 문제를 해결하고자 한다.

또한 기존의 일반적인 초음파스핀들의 문제점 중에 브러시의 마모된 분진이 내부에 쌓여 적층됨으로서 볼베어링의 고장을 발생시키는 원인이 되었는데, 이를 방지할 수 있는 기능이 포함된 스핀들을 개발하여 문제를 해결하고자 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 에어베어링 스핀들에 초음파장치를 합금브러시로 연결하여 강화처리가 완료된 유리의 정밀가공에 활용함으로서 가공품질의 향상과 가공시간단축, 그리고 공구수명의 연장까지 기대할 수 있으며,

상기 합금브러시가 연결된 주변에 에어베어링의 배기홀을 배치하여 에어베어링에 사용되고 배출되는 공기와 함께 브러시의 마모로 인행 발생한 분진이 함께 외부로 배출될 수 있도록 개선한 초음파 에어베어링 스핀들을 제공하는 것이 본 발명이 해결하고자 하는 과제해결 수단인 것이다.

본 발명은 에어베어링 스핀들에 초음파장치를 연결함으로서 40,000Hz의 초음파진동을 부가하여 정밀가공의 효과를 극대화시켰으며,

스핀들의 내부에 브러시의 마모로 인해 발생한 분진을 외부로 배출시킬 수 있는 구조로 개선되어 스핀들 내부를 비교적 청결하게 유지 할 수 있게 되어 스핀들의 고장발생을 줄이고 가공품질의 향상과 가공시간의 단축, 공구의 수명을 연장 할 수 있는 효과가 있는 것이다.

도1 본 발명의 초음파 에어베어링 스핀들 전체도
도2 본 발명의 초음파 에어베어링 스핀들 측단면 상세도
도3 본 발명의 초음파 에어베어링 스핀들 중앙 확대도

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 스핀들(1)의 외부에 설치되고, 내측에 설치된 진동자(13)에 연결된 초음파장치(2)와, 상기 스핀들(1)의 모터(11)에 연결되는 인버터(3)로 구성되며,

상기 스핀들(1)은 하우징의 일측에 설치된 공구고정용 너트(4)와, 하우징의 내측 공간부에는 샤프트를 두 개의 프론트샤프트(18)와, 레어샤프트(19)로 분리된 형태로 내장되어 있고, 상기 레어샤프트(19)의 전면에 삽입되며 일정간격 이격되어 설치된 두개의 진동자(13)와, 상기 두 개의 진동자(13)를 감싸도록 외부에 설치된 두 개의 전극링(21)과, 상기 전극링(21)의 외부에 설치된 배기홀(30)과, 상기 배기홀(30)에 연결되어 레어에어베어링(16)의 하부에 설치된 배기관(31)과, 배기관(31)의 끝에 설치된 배출구(33)와,

상기 프론트샤프트(18)를 감싸는 프론트에어베어링(12)과, 상기 진동자(13)의 후면에 설치된 레어샤프트(19)를 감싸는 레어에어베어링(16)과, 상기 프론트에어베어링(12) 및 레어에어베어링(16)에 연결된 다수개의 에어분사노즐(미도시)과,

상기 레어샤프트(19)의 후면에 설치된 모터(11)와,

상기 두 개의 전극링(21)의 상부에 설치된 두 개의 합금브러시(15)와, 상기 각각의 합금브러시(15)의 후면에 설치된 스프링(14)으로 구성된 음파 에어베어링 스핀들에 관한 것이다.

본 발명의 에어베어링 스핀들은 최고 6만rpm급의 고속용 스핀들이고, 초음파진동은 40,000Hz의 매우 높은 진동주파수를 갖는다.

본 발명의 각각의 에어베어링에 공급된 에어는 에어분사노즐로 분산 공급되어 회전축을 부상시켜주는 역할을 하게 된다.

회전축은 레어샤프트(Rear Shaft)와 프론트샤프트(Front Shaft)의 두 개의 부품으로 분리하여 Rear Shaft 내부에 초음파진동자를 설치하고, 나사 방식으로 Front Shaft와 조립할 수 있게 하였으며,

나사조립으로 인한 진직도의 불량을 없애기 위하여 정밀 연삭된 끼워맞춤 공차를 적용하고, 단면이 접촉하여 직각도를 유지할 수 있도록 하였다.

“나사조립으로 인한 진직도”란 회전축을 두 개로 분리하여 진동자를 삽입한 후에 하나의 회전축으로 조립하는 과정에서,프론트샤프트와 레어샤프트를 나사방식으로 조립하게 되는데, 일반적으로 나사조립방식으로 조립하게되면, 프론트와 레어의 부품간의 정밀도가 일직선(진직도)이 맞지 않아 회전하게 되면 뒤뚱거리듯이 회전하게 되어, 고속 회전시 진동발생의 원인이 됩니다.

그래서 이러한 오차를 최소화 하기 위해서 정밀 연삭가공의 끼워 맞춤을 적용했다는 의미입니다.

회전축의 주변에 전원선을 공급하기 위한 내부공간을 마련하였고, 스핀들 외부로부터 인가받은 전원을 받기위한 회전축의 중간부분에 두 개의 ‘링’형태의 전극을 배치하여 회전하면서 전원을 공급받을 수 있도록 하였다. 이 때 설치되는 ‘링’형태의 전극 재질은 통전이 잘 되고, 마찰계수가 좋은 연청동계열의 재질을 사용하였다.

스핀들 외부로부터 회전축에 전원을 공급하기 위한 방법은 마찰계수가 좋고 전기전도율이 우수한 ‘은-카본’합금브러시를 적용하였으며, 이 합금브러시는 스프링을 이용하여 항상 일정한 힘으로 회전축과 접촉할 수 있도록 하였다. 스프링의 소재는 통전이 잘 되도록 인청동 재질 스프링을 사용하였다.

본 발명의 초음파장치는 40,000Hz의 매우 높은 초음파진동을 발생시킬 수 있는 것을 적용함으로서 정밀가공 시 최고의 효과를 낼 수 있도록 하였다.

기존의 초음파장치가 연결된 스핀들의 내부는 합금브러시의 마모에 의해서 발생한 분진이 회전축의 주변에 적층되어 스핀들의 작동 불량 및 고장발생의 원인이 되고 있는데,

본 발명의 스핀들은 합금브러시가 연결된 주변에 에어베어링의 배기홀을 배치하여 에어베어링에 사용되고 배출되는 공기와 함께 합금브러시의 마모로 인행 발생한 분진이 함께 외부로 배출될 수 있도록 개선하였다. 에어베어링의 에어 소모량은 30ℓ/min 정도로 내부의 분진을 충분히 외부로 배출해줄 수 있는 정도이다.

도1 본 발명의 초음파 에어베어링 스핀들 전체도를 나타낸 것으로서, 압축공기에 의해서 회전축이 부상하는 방식의 에어베어링과 고주파모터의 고속 회전력을 이용하여 초고속 초정밀 스핀들이 되며, 이 스핀들의 회전축에 내장된 초음파진동자에 의해 회전축의 공구는 고속 회전하는 동시에 초음파진동이 발생하게 되는 원리이다. 에어베어링 스핀들을 구동시키기 위한 전용 인버터가 설치되어 고주파모터를 구동시켜주며, 스핀들의 회전축에 삽입된 진동자에 초음파진동을 발생시켜주는 초음파 발진기가 연결되어 있는 구성을 보여주고 있다.

도2는 본 발명의 초음파 에어베어링 스핀들 측단면 상세도를 도시한 것으로서 초음파진동자를 삽입시키기 위해서 두 개로 분리되며, 조립할 수 있는 회전축과 에어베어링이 자리를 잡고 있으며, 초음파진동자가 설치된 위치의 외측에 초음파진동자와 연결되는 링 형태의 전극링이 있고 전극링을 부도체인 테프론소재의 브라켓링이 지지해주고 있는 구조이다. 하우징의 외부로부터 연결되는 전원선을 인청동(PBC)소재의 스프링과 ‘은-카본’합금브러시를 이용해서 회전축의 전극으로 연결시켜주고 있다.

도3은 본 발명의 초음파 에어베어링 스핀들 중앙 확대도를 나타낸 것으로서, 초음파 에어베어링 스핀들 중에서 진동자와 전극링(링형태의 전극), 통전용 브러시와 스프링 등 전원을 공급해줄 수 있는 라인에 대한 표시가 되어 있고, 에어베어링의 배기홀을 통해 스핀들의 내부에서 발생되는 분진이 외부로 배출될 수 있는 구조를 보여준다.

본 발명은 공구가 장착 된 회전축 사이에 진동자가 삽입되고, 스핀들의 하우징에 전원을 인가할 수 있는 ‘은-카본’합금브러시가 장착된 초음파장치가 연결된 초고속, 초정밀 에어베어링스핀들과

에어베어링 스핀들(1)의 회전축이 프론트샤프트(18)와 레어샤프트(19)로 두개로 구성되며, 상기 레어샤프트(19)의 전면에 진동자(13)가 삽입되어 있다. 레어샤프트(Rear Shaft)에 진동자를 정밀한공차로 끼워맞춤 한 후 나사를 이용하여 고정하고, 프론트샤프트(Front shaft)와 레어샤프트(Rear Shaft)를 연결함에 있어서 나사채결방식과 가이드부의 치수관리를 0.003~0.005mm정도로 정밀하게 하여 두 개의 분리된 샤프트의 정렬상태를 최대한 정밀하게 하고, 초음파장치(초음파발진기)로부터 공급되는 신호를 회전축의 진동자로 공급해주기 위한 ‘은-카본’합금브러시를 통해 연결되고, 두 개로 분리된 회전축 사이에 전극링을 설치하되 전극링은 부도체인 테프론소재의 브라켓링과, 브라켓 링의 외측면에 동재질의 링을 조립된 형태이다.

즉, 상기 진동자(13)의 외부에 전극링(21)이 설치되고 상기 전극링(21)의 외부에 합금브러시(15)가 연결되며 상기 합금브러시(15)의 후면에 스프링(14)이 설치되어 있다.

지속적인 회전과 마찰에 의해 마모가 이루어지는 브러시와 전극과의 접촉 유지를 위해 스프링을 이용하여 일정한 힘을 유지하게 하고, 스프링을 통해 전기신호를 인가하기 위해 전기전도율이 우수한 인청동 소재의 스프링을 사용하였다. 초음파진동을 인가하기 위해서 연결된 브러시와 전극의 마찰에 의해 생성된 분진을 자연스럽게 외부로 배출해 줄 수 있는 배기홀이 형성되어 있고, 에어베어링에 사용되고 버려지는 압축공기를 이용하여 자연스럽게 분진을 외부로 배출시킬 수 있는 구조의 초음파 에어베어링 스핀들인 것이다.

본 발명의 초음파 에어베어링 스핀들 구조는 도1 내지 도3에 도시된 바와 같이,

스핀들(1)의 외부에 설치되고, 내측에 설치된 진동자(13)에 연결된 초음파장치(2)와, 상기 스핀들(1)의 모터(11)에 연결되는 인버터(3)로 구성되며,

상기 스핀들(1)은 하우징의 일측에 설치된 공구고정용 너트(4)와, 하우징의 내측 공간부에는 샤프트를 두 개의 프론트샤프트(18)와, 레어샤프트(19)로 분리된 형태로 내장되어 있고, 상기 레어샤프트(19)의 전면에 삽입되며 일정간격 이격되어 설치된 두개의 진동자(13)와, 상기 두 개의 진동자(13)를 감싸도록 외부에 설치된 두 개의 전극링(21)과, 상기 전극링(21)의 외부에 설치된 배기홀(30)과, 상기 배기홀(30)에 연결되어 레어에어베어링(16)의 하부에 설치된 배기관(31)과, 배기관(31)의 끝에 설치된 배출구(33)와,

상기 프론트샤프트(18)를 감싸는 프론트에어베어링(12)과, 상기 진동자(13)의 후면에 설치된 레어샤프트(19)를 감싸는 레어에어베어링(16)과, 상기 프론트에어베어링(12) 및 레어에어베어링(16)에 연결된 다수개의 에어분사노즐(미도시)과,

상기 레어샤프트(19)의 후면에 설치된 모터(11)와,

상기 두 개의 전극링(21)의 상부에 설치된 두 개의 합금브러시(15)와, 상기 각각의 합금브러시(15)의 후면에 설치된 스프링(14)으로 구성된 구조임을 알 수 있다.

작동상태를 설명하면,

전원을 온시키면, 모터(11)가 작동되어 프론트샤프트(18)와, 레어샤프트(19)가 구동되고,

초음파장치(2)의 작동신호는 합금브러시(15)와 전극링(21)을 통해회전되는 레어샤프트(19)의 전면에 내장된 진동자(13)에 전달되어 진동을 하며,

급기관(미도시)에 의해 외부로부터 압축공기가 프론트에어베어링(12)과 레어에어베어링(16)에 공급되는 에어는 다수개의 에어분사노즐(미도시)로 공급되어 회전축을 부상시키고,

상기 합금브러시(15)는 통전이 잘 되는 인청동 재질의 스프링(14)을 이용하여 항상 일정한 힘으로 회전축과 접촉할 수 있도록 하였으며,

초음파장치는 40,000Hz의 매우 높은 초음파진동을 발생시킬 수 있는 것을 적용함으로서 정밀가공 시 최고의 효과를 낼 수 있도록 하였으며,

상기 합금브러시(15)가 연결된 주변에 레어에어베어링(16)의 배기홀(30)을 배치하여 각각의 에어베어링에 사용되고 배출되는 공기와 함께 합금브러시의 마모로 인행 발생한 분진이 함께 배출관을 통해 외부로 배출될 수 있도록 하여 작동하는 원리인 것이다.

본 발명의 기술은 강화처리가 완료된 스마트폰 등의 터치패널에 사용되는 유리의 정밀가공에 사용하며, 이외에도 여러 가지 난삭재료의 가공에 활용할 수 있으며, 특히 임플란트와 같은 인공치아가공에 탁월한 효과가 있고, 그라인딩방식의 초정밀가공에 활용하면 가공품질의 향상과 가공시간의 단축, 공구의 수명연장 효과를 동시에 얻을 수 있는 초음파 에어베어링 스핀들에 관한 것이다.

스핀들(1), 초음파장치(2), 인버터(3), 공구고정용 너트(4), 모터(11),프론트에어베어링(12), 진동자(13), 스프링(14), 합금브러시(15), 레어에어베어링(16), 프론트샤프트(18), 레어샤프트(19), 전극링(21), 배기홀(30), 배기관(31), 배출구(33),

Claims (3)

1. 삭제
2. 삭제
3. 초음파 에어베어링 스핀들에 있어서,
   스핀들(1)의 외부에 설치되고, 내측에 설치된 진동자(13)에 연결된 초음파장치(2)와, 상기 스핀들(1)의 모터(11)에 연결되는 인버터(3)로 구성되며,
   상기 스핀들(1)은 하우징의 일측에 설치된 공구고정용 너트(4)와, 하우징의 내측 공간부에는 샤프트를 두 개의 프론트샤프트(18)와, 레어샤프트(19)로 분리된 형태로 내장되어 있고, 상기 레어샤프트(19)의 전면에 삽입되며 일정간격 이격되어 설치된 두개의 진동자(13)와, 상기 두 개의 진동자(13)를 감싸도록 외부에 설치된 두 개의 전극링(21)과, 상기 전극링(21)의 외부에 설치된 배기홀(30)과, 상기 배기홀(30)에 연결되어 레어에어베어링(16)의 하부에 설치된 배기관(31)과, 배기관(31)의 끝에 설치된 배출구(33)와,
   상기 프론트샤프트(18)를 감싸는 프론트에어베어링(12)과, 상기 진동자(13)의 후면에 설치된 레어샤프트(19)를 감싸는 레어에어베어링(16)과, 상기 프론트에어베어링(12) 및 레어에어베어링(16)에 연결된 다수개의 에어분사노즐과,
   상기 레어샤프트(19)의 후면에 설치된 모터(11)와,
   상기 두 개의 전극링(21)의 상부에 설치된 두 개의 합금브러시(15)와, 상기 각각의 합금브러시(15)의 후면에 설치된 스프링(14)을 포함하여 구성되어 있음을 특징으로 하는 초음파 에어베어링 스핀들.
   

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