JP2008155287A - ワーク研削加工装置及びワーク研削加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】超音波振動を用いたワーク研削加工装置の耐久性を飛躍的に向上させる。
【解決手段】ワーク80を載置する加工ステージ20と、研削工具64,74を回転させて加工ステージ20上のワーク80を研削加工する加工手段60,70と、を備えたワーク研削加工装置10において、加工ステージ20を超音波振動させる超音波振動手段30を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】ワーク80を載置する加工ステージ20と、研削工具64,74を回転させて加工ステージ20上のワーク80を研削加工する加工手段60,70と、を備えたワーク研削加工装置10において、加工ステージ20を超音波振動させる超音波振動手段30を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、シリコンやガラスなどの脆性材料からなるワークを研削加工するワーク研削加工装置に関し、特に、超音波振動を用いた研削加工装置及びその方法に関する。
ハードディスク装置に用いられるガラス基板やシリコン等の半導体基板では、割れ・欠けを防止するため周縁部を所定形状に面取り研削加工されている。このような脆性材料からなるワークの研削加工では、ダイヤモンド等の砥粒を付着した電着砥石が使用されているが、電着砥石は砥粒が強固に付着されているため研削能力が低下した砥粒が表面に残存し自生発刃作用が生じにくく、また、切粉が砥粒間に滞留して目詰まりを起こしやすいため、研削加工抵抗の増大や研削加工時のワーク温度の上昇により、ワークにクラックや歪みが生じ易い問題がある。また、この問題を解消するため、砥石の砥粒の径を徐々に小さくし、複数段階に分けて研削加工を行う場合があるが、かかる場合、研削加工工程が長くなる問題がある。
また、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂粉末とダイヤモンド等の砥粒との混合物をプレス成形及び焼成してなるレジンボンド砥石は、砥粒が摩耗して切れ味が低下する前に砥粒を保持している樹脂が破砕して砥粒が脱落し、切粉も脱落した砥粒と共に除去されるため、上記した問題は生じない。しかしながら、レジンボンド砥石は、摩耗が激しく砥石の外形形状が変化し易いことから、所定形状に研削加工し続けることが困難であり、そのため、砥石寿命が短いという問題がある。
ところで、砥石を超音波振動させながらワークを研削加工するワーク研削加工装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
このワーク研削加工装置100は、図3に示すように、載置されたワーク102を回転させるワークテーブル104と、研削工具としての砥石106を回転させるとともに超音波振動させる超音波スピンドル108とを備え、回転しながら超音波振動する砥石106をワークテーブル104上のワーク102の周縁と接触させることで、ワーク102の周縁を研削するものである。
砥石106を回転させるとともに超音波振動させる超音波スピンドル108は、回転軸110を回転駆動するモータ112と、この回転軸110に同軸状に順次接続されスピンドル軸111を構成するスリップリング114、超音波振動子116、ブースタ118及びホーン120とを備えており、スピンドル軸111が軸受122により筐体124に対して回転自在に支持され、ホーン120の先端部に砥石106が接続されている。
超音波スピンドル108は、モータ112を動作させるとともに、超音波発信器126からブラシ128を介して回転するスリップリング114に超音波電源を印加する。スリップリング114に入力された電圧は超音波振動子116に印加されることで、超音波振動子116は超音波振動する。この振動は、ブースタ118とホーン120より構成される共振器を伝播することで増幅され、ホーン120先端部に接続された砥石106に伝播することで、砥石106を回転させるとともに超音波振動させるようになっている。
このような構成のワーク研削加工装置100では、ワーク102と砥石106との摩擦抵抗が小さくなるとともに切粉による目詰まりを起こしにくいため、研削加工を複数段階に分けることなくクラックや歪みを抑えてワークを研削することができる。
しかしながら、スリップリング114に超音波電源を入力するブラシ128は、付勢手段により押されてスリップリング114に接触しているため、ガラス基板やシリコン基板などのように砥石を30,000〜60,000rpm程度に高速回転させて研削加工を行う場合、ブラシ128が摩耗劣化し易く装置耐久性に問題がある。
また、例えば、中心孔が設けられた円板状のワークの外周縁及び内周縁を研削するため、砥石が取り付けられたスピンドル軸を複数備えるワーク研削加工装置があるが、このような加工装置では、高価な超音波スピンドルが複数必要となり製造コストアップになる。
また、超音波振動する砥石を固定するため、緩みを防止した機構が必要となり砥石の保持構成が複雑になるという問題がある。
さらにまた、砥石を超音波振動されるため、ホーンに接続された砥石の固有振動数に合わせて超音波発信器からの超音波電源を調整する必要があり、異なる種類の砥石に交換するのが困難である問題がある。
特開平9−168947号公報
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、超音波振動を用いた研削加工装置の耐久性を飛躍的に向上させることを目的とする。
本発明にかかるワーク研削加工装置は、ワークを載置する加工ステージと、砥石を回転させて前記加工ステージ上の前記ワークを研削加工する加工手段と、を備えたワーク研削加工装置において、前記加工ステージを超音波振動させる超音波振動手段を備えたことを特徴とする。
本発明のワーク研削加工装置では、加工ステージを超音波振動させる超音波振動手段が設けられ、加工ステージに載置されたワークが加工ステージを介して超音波振動するため、
高速回転する加工手段に超音波振動手段を配設する必要がなく、超音波振動手段の劣化を抑えワーク研削加工装置の耐久性を著しく向上させることができる。
高速回転する加工手段に超音波振動手段を配設する必要がなく、超音波振動手段の劣化を抑えワーク研削加工装置の耐久性を著しく向上させることができる。
また、加工ステージに載置されたワークが加工ステージを介して超音波振動し、砥石が超音波振動することがないため、砥石の取付機構を簡略化することができるとともに、砥石交換後に超音波電源を調整する必要がなく交換作業が簡単化することができる。
上記本発明のワーク研削加工装置は、加工手段を複数備えてもよく、加工ステージに載置されたワークが超音波振動するため、複数の加工手段それぞれに超音波振動手段を設ける必要がなく、コスト安価に製造することができる。
また、上記本発明のワーク研削加工装置において、砥石は電着砥石であることが好ましく、摩耗しにくく砥石寿命が長く経済性に優れる。
また、本発明のワーク切削加工方法は、加工ステージに載置されたワークを回転する前記研削工具に接触させて該ワークに研削加工を行うワーク研削加工方法において、前記加工ステージを超音波振動させることで前記加工ステージ上の前記ワークに超音波振動を与えながら前記研削加工を行うことを特徴とする。
上記した本発明のワーク切削加工方法では、複数の前記研削工具に接触させて前記ワークの研削加工を行ってもよく、また、前記切削工具が電着砥石であってもよい。
本発明のディスク基板の保持装置によれば、超音波振動を用いた研削加工装置の耐久性を飛躍的に向上させることができる。
以下、本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は本実施形態にかかるワーク研削加工装置10を概略的に示す図面であり、図2はワーク80と砥石64,74の位置を示すワーク研削加工装置10の部分断面図である。
本実施形態にかかるワーク研削加工装置10は、ハードディスク用ガラス基板などの中心孔82を有する円板状のワーク80の外周縁84及び内周縁86の面取り加工を施すものであって、ワーク80が載置される加工ステージ20と、加工ステージ20を回転させるとともに超音波振動させる超音波スピンドル30と、加工ステージ20上に載置されたワーク80の周縁部を研削加工する第1加工手段60及び第2加工手段70とを備えている。
加工ステージ20は不図示の搬送手段により搬送される未加工のワーク80が載置される載置面22を備え、この載置面22に設けられた吸引口24がワーク80を真空吸着することで、載置面22上のワーク80を所定位置に固定するようになっている。また、載置面22の中央部には、載置面22に載置されたワーク80の貫通孔82に対応して凹部26が設けられている。
超音波振動スピンドル30は駆動軸32が加工ステージ20と接続されることで加工ステージ20を回転させるとともに超音波振動させるようになっている。
詳細には、超音波振動スピンドル30は、回転軸34を回転するモータ36と、この回転軸34に同軸状に順次接続され駆動軸32を構成するスリップリング38、超音波振動子40、ブースタ42、及びホーン44とを備えており、駆動軸32が軸受46により筐体48に対して回転自在に支持され、ホーン44の先端部に加工ステージ20が接続されている。
このような構成の超音波振動スピンドル30は、モータ36を回転させるとともに、超音波発信器50からブラシ52を介して回転軸34に連動して回転するスリップリング38に超音波電源を印加する。
スリップリング38に入力された電圧は超音波振動子40に印加されることで、超音波振動子40は超音波振動する。この振動は、ブースタ42とホーン44より構成される共振器を伝播することで増幅され、ホーン44の先端部に接続された加工ステージ20に伝播することで、加工ステージ20を回転させるとともに、超音波振動させるようになっている。
また、超音波振動スピンドル30はスライドテーブル54に取り付けられ水平面上を移動可能に配設されている。
第1加工手段60は、外径スピンドル62に回転自在に支持された砥石64を備え、外径スピンドル62が不図示のリニアガイドに取り付けられ上下動可能に配設されている。砥石64は基台にダイヤモンド等の砥粒が付着した電着砥石であって、その外周部には、ワーク80の外周縁84と接触し研削する凹部66が形成されている。
第2加工手段70は、内径スピンドル72に回転自在に支持された砥石74を備え、内径スピンドル72が不図示のリニアガイドに取り付けられ上下動可能に配設されている。砥石74は基台にダイヤモンド等の砥粒が付着した電着砥石であって、その外周部がワーク80の内周縁86と接触し研削する研削面76をなしている。
次に、このようなワーク研削加工装置10を用いてワーク80を研削加工する方法について図面を参照して説明する。
まず、図2(a)に示すように、加工ステージ20の載置面22に載置されたワーク80は、載置面22の中央部に設けられた凹部26とワーク80の中心孔82が連通した状態で吸引口24より真空吸着されることで固定される。
次いで、外径スピンドル62を下方に移動させて、図2(b)に示すように、加工ステージ20上に載置されたワーク80の外方において、砥石64の外周縁に形成された凹部66がワーク80の外周縁84と所定間隔を隔てて対向するように砥石64を移動させるとともに、内径スピンドル72を下方に移動させることで、砥石74の研削面76がワーク80の内周縁86と所定間隔を隔てて対向するように載置面22上のワーク80の中心孔82に砥石74を挿入する。
次いで、外径スピンドル62及び内径スピンドル72を駆動して砥石64,74を回転させるとともに、超音波振動スピンドル30を始動させ加工ステージ20を回転させながら超音波振動させる。本実施形態において、各スピンドル62,72,30の駆動条件の一例を挙げると、外径スピンドル62及び内径スピンドル72は、砥石64,74をそれぞれ60,000rpm、30,000rpmで回転させ、超音波振動スピンドル30は、加工ステージ20を100〜200rpmで回転させながら周波数20〜60KHz、振幅0.1〜20μmで超音波振動させる。
次いで、図2(c)に示すように、スライドテーブル54を移動させることで、加工ステージ20上のワーク80の外周縁84を砥石64の凹部66に接触させるとともに、内周縁86を砥石74の研削面76に接触させることで、ワーク80の外周縁84及び内周縁86を研削して面取り加工を行う。
以上のように、本実施形態に係るワーク研削加工装置10では、加工ステージ20上の超音波振動スピンドル30より発生した超音波振動が加工ステージ20を介してワーク80に与えられた状態で、外周縁84及び内周縁86を面取り研削することができる。そのため、砥石が切粉に砥粒の間に滞留しにくく砥石の目詰まりを抑えることができ、ワーク60と砥石64,74との研削抵抗を小さくして加工面の熱歪みを抑えて面粗さや真円度などの加工精度が向上するとともに、砥石64,74の寿命が長くなる。
また、超音波振動スピンドル30は、砥石64,74を回転させるスピンドル62,72に比べ回転数が小さいため、超音波発信器50からの超音波電源を入力するブラシ52がスリップリング38との摩擦により摩耗劣化しにくくなり、ワーク研削加工装置10の耐久性を著しく向上させることができる。
また、各加工手段60,70に高価な超音波振動スピンドルも用いる必要が無くなり、ワーク80の外周縁84及び内周縁86の面取り加工を行うワーク研削加工装置をコスト安価に製造することができる。
また、本実施形態におけるワーク研削加工装置10では、砥石64,74が超音波振動することがないため、砥石取付機構を簡略化することができるとともに、砥石交換後に超音波電源を調整する必要がなく交換作業が簡単化することができる。
更にまた、異なる種類のワーク80を研削する場合であっても、ワーク80の重量の変化量が加工ステージ20の重量に比べ非常に小さいものであれば、固有振動数に合わせて超音波発信器50からの超音波電源の調整が不要となり作業性に優れている。
なお、本実施形態のワーク研削加工装置10は、ワーク80の周縁部の面取り加工を行うものであるが、本発明はこれに限定されず、例えば、ワークに孔あけ加工を行う場合にも適用することができる。また、本実施形態のワーク研削加工装置10では、研削工具として電着砥石64,74を用いたが、本発明はこれに限定されず、例えば、メタル砥石、レジンボンド砥石等各種の研削工具を用いることができる。
(実施例)
ワーク研削加工装置10に取り付ける砥石として#325番の電着砥石を用い、加工ステージ20を介してハードディスク用ガラス基板に超音波振動を与えながら外周縁84及び内周縁86の面取り加工を行った。また、比較例として#325番の電着砥石を用いてハードディスク用ガラス基板に超音波振動を与えず外周縁84及び内周縁86の面取り加工を行った。その結果、ガラス基板に超音波振動を与えて加工した場合の面粗さRmaxが1.87μm、真円度が0.85μm以下であるのに対し、超音波振動を与えない場合の面粗さRmaxが4.35μm、真円度が3.25μmであり、面粗さや真円度などの加工精度が向上することがわかる。
ワーク研削加工装置10に取り付ける砥石として#325番の電着砥石を用い、加工ステージ20を介してハードディスク用ガラス基板に超音波振動を与えながら外周縁84及び内周縁86の面取り加工を行った。また、比較例として#325番の電着砥石を用いてハードディスク用ガラス基板に超音波振動を与えず外周縁84及び内周縁86の面取り加工を行った。その結果、ガラス基板に超音波振動を与えて加工した場合の面粗さRmaxが1.87μm、真円度が0.85μm以下であるのに対し、超音波振動を与えない場合の面粗さRmaxが4.35μm、真円度が3.25μmであり、面粗さや真円度などの加工精度が向上することがわかる。
10…ワーク研削加工装置
20…加工ステージ
30…超音波振動スピンドル
60…第1加工手段
64…砥石
70…第2加工手段
74…砥石
80…ワーク
20…加工ステージ
30…超音波振動スピンドル
60…第1加工手段
64…砥石
70…第2加工手段
74…砥石
80…ワーク
Claims (6)
- ワークを載置する加工ステージと、研削工具を回転させて前記加工ステージ上の前記ワークを研削加工する加工手段と、を備えたワーク研削加工装置において、
前記加工ステージを超音波振動させる超音波振動手段を備えたことを特徴とするワーク研削加工装置。 - 前記加工手段を複数備えることを特徴とする請求項1に記載のワーク研削加工装置。
- 前記研削工具が、電着砥石であることを特徴とする請求項1又は2に記載のワーク研削加工装置。
- 加工ステージに載置されたワークを回転する前記研削工具に接触させて該ワークに研削加工を行うワーク研削加工方法において、
前記加工ステージを超音波振動させることで前記加工ステージ上の前記ワークに超音波振動を与えながら前記研削加工を行うことを特徴とするワーク研削加工方法。 - 複数の前記研削工具に接触させて前記ワークの研削加工を行うことを特徴とする請求項4に記載のワーク切削加工方法。
- 前記切削工具が電着砥石であることを特徴とする請求項4又は5に記載のワーク研削加工方法。
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---|---|---|---|
JP2006343411A JP2008155287A (ja) | 2006-12-20 | 2006-12-20 | ワーク研削加工装置及びワーク研削加工方法 |
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2006
- 2006-12-20 JP JP2006343411A patent/JP2008155287A/ja active Pending
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