JP2013047622A - X線を用いた配線板の不良解析用画像の取得装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】独立して検査を行うことができる複数の回路部分を有する配線版をプローブを用いて検査することにより前記複数の回路部分から不良箇所を含む回路部分を検出する不良回路検出手段と、前記配線板の回路情報に基づき前記不良箇所を含む回路部分にX線を照射するX線照射手段と該X線照射手段によるX線の照射を介して前記回路部分において前記不良箇所を特定し該不良箇所のX線画像を取得する画像取得手段とを備える。
【選択図】図3
Description
また、絶縁検査の場合、別回路上の検査点にプローブを接触させ、プローブ間に定電圧を印加し、プローブ間の漏れ電流を測定することにより、定電圧と測定漏れ電流からプローブ間の抵抗値が求められる。
このように3次元画像を用いた検査装置が望ましいが、2次元画像に比べ演算処理に時間がかかるという問題がある。
前記配線板の回路情報に基づき前記不良箇所を含む回路部分にX線を照射するX線照射手段と、
該X線照射手段によるX線の照射を介して前記回路部分において前記不良箇所を特定し該不良箇所のX線画像を取得する画像取得手段とを備えたことを特徴とするX線を用いた配線板不良解析用画像の取得装置が提供される。
前記配線板の回路情報に基づき前記不良箇所を含む回路部分にX線を照射する段階と、
前記不良箇所を含む回路部分へのX線の照射を介して前記不良箇所を特定する段階と、
該不良箇所のX線画像を取得する段階とを備えたことを特徴とする配線板不良解析用画像の取得方法が提供される。
以下に可動プローブ方式及び治具方式の検査の場合の例について説明する。
また、回路が短絡していないかを検査する絶縁検査の場合、別回路上の検査点にプローブを接触させ、プローブ間に100V程度の定電圧を印加し、プローブ間の漏れ電流を測定する。定電圧と測定漏れ電流からプローブ間の抵抗値を求めることができる。
ここで、対向する導体の面積を算出するために、基板外にリファレンスとなる金属性のプレートを使用したり、基板の内層プレーン(電源ネットやGNDネット)を利用する。これらの情報から各回路(検査点)の静電容量を求めることができる。静電容量方式の測定の場合、良品の基板の静電容量を知る必要があり、良品基板の静電容量と被検査基板の静電容量(測定値)とを比較することにより、静電容量の増減で断線や短絡を見つけることができる。例えば、図1(B)に示すように、回路部分に断線があった場合、対向する面積が減少するため、図1(A)の断線がない場合に比べて、測定値は減少する。
なお、画像を撮影することにより、取得された画像の評価ないし基準画像との比較に基づいて不良箇所の判断することもできるが、表示画像の目視により直接判断することもできる。
2……X線透視カメ
3……ステージ
4……プリント配線板
5……X線コーンビーム
6……第1の回路部分
7……第2の回路部分
8……第3の回路部分
Claims (6)
- 独立して検査を行うことができる複数の回路部分を有する配線版をプローブを用いて検査することにより前記複数の回路部分から不良箇所を含む回路部分を検出する不良回路検出手段と、
前記配線板の回路情報に基づき前記不良箇所を含む回路部分にX線を照射するX線照射手段と、
該X線照射手段によるX線の照射を介して前記回路部分において前記不良箇所を特定し該不良箇所のX線画像を取得する画像取得手段とを備えたことを特徴とするX線を用いた配線板不良解析用画像取得装置。 - 前記画像取得手段が、前記配線板の前記不良箇所を含む回路部分に沿ってX線を照射し、前記不良箇所を特定し、該不良箇所のX線画像データを得るようになっていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記画像取得手段が、前記配線板の前記不良箇所を特定した後、解析を行うために該不良箇所の3次元CT画像を取得するようになっている、ことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 独立して検査を行うことができる複数の回路部分を有する配線板をプローブを用いて検査することにより前記複数の回路部分から不良箇所を含む回路部分を検出する段階と、
前記配線板の回路情報に基づき前記不良箇所を含む回路部分にX線を照射する段階と、
前記不良箇所を含む回路部分へのX線の照射を介して前記不良箇所を特定する段階と、
該不良箇所のX線画像を取得する段階とを備えたことを特徴とする配線板不良解析用画像の取得方法。 - 前記配線板の不良箇所を含む回路部分に沿ってX線を照射してX線画像データを得ることを特徴とする請求項4に記載の配線板の不良解析用画像の取得方法。
- 前記配線板の前記不良箇所を特定した後、不良解析を行うためにX線の照射を介して前記不良箇所の3次元CT画像を取得することを特徴とする請求項5に記載の配線板の不良解析用画像の取得方法。
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