JP2013040851A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ4及びレジスト膜5の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ4の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第1仮想基準面K1として設定し、さらに当該第1仮想基準面K1をベース基板2の表面2aに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第2仮想基準面K2として設定する。そして、当該第2仮想基準面K2からの各クリームハンダ4の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ4の印刷状態の良否を判定する。
【選択図】 図7
Description
前記プリント基板の表面に対し三次元計測用の光を照射可能な照射手段と、
前記光の照射された前記プリント基板からの反射光を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像データに基づき、少なくとも前記プリント基板の検査を行う画像処理手段とを備え、
前記画像処理手段は、
前記画像データに基づき、所定の三次元計測法により前記ハンダ及び前記レジスト膜の表面の三次元計測を行う三次元計測手段と、
前記プリント基板の所定エリアに実装される所定の部品の接合面に相当する仮想基準面を設定する仮想基準面設定手段と、
前記所定エリアに印刷形成された各ハンダの前記仮想基準面からの突出量(高さや体積等)を算出する突出量算出手段と、
前記各ハンダの突出量を基に、当該ハンダの印刷状態の良否を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
前記プリント基板の表面に対し三次元計測用の光を照射可能な照射手段と、
前記光の照射された前記プリント基板からの反射光を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像データに基づき、少なくとも前記プリント基板の検査を行う画像処理手段とを備え、
前記画像処理手段は、
前記画像データに基づき、所定の三次元計測法により前記ハンダ及び前記レジスト膜の表面の三次元計測を行う三次元計測手段と、
所定の部品に対応した前記プリント基板の所定エリアに印刷形成された各ハンダの最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第1仮想基準面として設定する第1仮想基準面設定手段と、
前記第1仮想基準面を前記ベース基板の表面に直交する方向に沿って所定位置まで降下させた平面を第2仮想基準面として設定する第2仮想基準面設定手段と、
前記第2仮想基準面からの各ハンダの突出量(高さや体積等)を算出する突出量算出手段と、
前記各ハンダの突出量を基に、当該ハンダの印刷状態の良否を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
第1仮想基準面、K2…第2仮想基準面。
Claims (4)
- 各種電極の形成されたベース基板の表面がレジスト膜により保護されると共に、前記電極に対し各種部品を接合するためのハンダが印刷形成されてなるプリント基板を検査するための基板検査装置であって、
前記プリント基板の表面に対し三次元計測用の光を照射可能な照射手段と、
前記光の照射された前記プリント基板からの反射光を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像データに基づき、少なくとも前記プリント基板の検査を行う画像処理手段とを備え、
前記画像処理手段は、
前記画像データに基づき、所定の三次元計測法により前記ハンダ及び前記レジスト膜の表面の三次元計測を行う三次元計測手段と、
前記プリント基板の所定エリアに実装される所定の部品の接合面に相当する仮想基準面を設定する仮想基準面設定手段と、
前記所定エリアに印刷形成された各ハンダの前記仮想基準面からの突出量を算出する突出量算出手段と、
前記各ハンダの突出量を基に、当該ハンダの印刷状態の良否を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。 - 各種電極の形成されたベース基板の表面がレジスト膜により保護されると共に、前記電極に対し各種部品を接合するためのハンダが印刷形成されてなるプリント基板を検査するための基板検査装置であって、
前記プリント基板の表面に対し三次元計測用の光を照射可能な照射手段と、
前記光の照射された前記プリント基板からの反射光を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像データに基づき、少なくとも前記プリント基板の検査を行う画像処理手段とを備え、
前記画像処理手段は、
前記画像データに基づき、所定の三次元計測法により前記ハンダ及び前記レジスト膜の表面の三次元計測を行う三次元計測手段と、
所定の部品に対応した前記プリント基板の所定エリアに印刷形成された各ハンダの最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第1仮想基準面として設定する第1仮想基準面設定手段と、
前記第1仮想基準面を前記ベース基板の表面に直交する方向に沿って所定位置まで降下させた平面を第2仮想基準面として設定する第2仮想基準面設定手段と、
前記第2仮想基準面からの各ハンダの突出量を算出する突出量算出手段と、
前記各ハンダの突出量を基に、当該ハンダの印刷状態の良否を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記第1仮想基準面設定手段により設定される前記第1仮想基準面には、前記ベース基板の表面に対し傾斜した平面が含まれることを特徴とする請求項2に記載の基板検査装置。
- 前記判定手段は、予め定められた上限値及び下限値に基づき、前記各ハンダの突出量が許容範囲内にあるか否か判定することにより、当該ハンダの印刷状態の良否を判定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の基板検査装置。
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