JP2021081438A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
測定装置及び測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021081438A JP2021081438A JP2021012541A JP2021012541A JP2021081438A JP 2021081438 A JP2021081438 A JP 2021081438A JP 2021012541 A JP2021012541 A JP 2021012541A JP 2021012541 A JP2021012541 A JP 2021012541A JP 2021081438 A JP2021081438 A JP 2021081438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface shape
- region
- sensor reference
- measurement
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】代表値を決定するプロセスにおいてテーブル基準表面形状の生成も使用もしないで代表値を決定する測定装置を提供する。【解決手段】センサ基準領域表面形状データ生成部において、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とし、センサ基準面ＤＴから測定対象物までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物の測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状データａｍｄを生成し、テーブル基準領域表面形状データ生成部において、センサ基準領域表面形状ａｍにおけるテーブル上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状データｔｍｄを生成し、第２の代表値決定部において、テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、テーブル上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。【選択図】図３
Description
本発明は、主に突起部を有する電子部品の該突起部の位置を測定するのに適した測定装置及び測定方法に関する。
従来、
少なくとも１方向に並ぶ複数の突起部を備える測定対象物（検査対象物）を載せる透明テーブルと、
前記透明テーブルの上面に載せられた前記測定対象物に対して、前記透明テーブルの下面から光の強度が周期的に変化する光パターンの照射光を照射する照射部と、
前記光パターンが照射された前記測定対象物を、前記透明テーブルの下面から撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記測定対象物の画像を処理して、前記測定対象物の下面（表面）の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各画素位置（各位置（ｘ、ｙ））における、前記透明テーブルの上面からの距離（高さ情報、テーブル上面からの浮き距離）を示す表面形状データ（以下「テーブル基準表面形状データ」という。）を生成するテーブル基準表面形状データ生成部（画像処理部）と、
前記テーブル基準表面形状データにより表されるＸＹ平面において、前記測定対象物における前記複数の突起部それぞれが含まれる領域を特定し、特定された各領域において、前記透明テーブルの上面からの距離を示す値の代表値を決定する代表値決定部と、
前記複数の突起部それぞれにおける前記代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部と、を備える、測定装置（検査装置）が知られている。（例えば、特許文献１）
少なくとも１方向に並ぶ複数の突起部を備える測定対象物（検査対象物）を載せる透明テーブルと、
前記透明テーブルの上面に載せられた前記測定対象物に対して、前記透明テーブルの下面から光の強度が周期的に変化する光パターンの照射光を照射する照射部と、
前記光パターンが照射された前記測定対象物を、前記透明テーブルの下面から撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記測定対象物の画像を処理して、前記測定対象物の下面（表面）の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各画素位置（各位置（ｘ、ｙ））における、前記透明テーブルの上面からの距離（高さ情報、テーブル上面からの浮き距離）を示す表面形状データ（以下「テーブル基準表面形状データ」という。）を生成するテーブル基準表面形状データ生成部（画像処理部）と、
前記テーブル基準表面形状データにより表されるＸＹ平面において、前記測定対象物における前記複数の突起部それぞれが含まれる領域を特定し、特定された各領域において、前記透明テーブルの上面からの距離を示す値の代表値を決定する代表値決定部と、
前記複数の突起部それぞれにおける前記代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部と、を備える、測定装置（検査装置）が知られている。（例えば、特許文献１）
各位置（ｘ、ｙ）は各画素の位置のことである。
上述した従来技術の代表値を決定する処理ステップは以下の様である（図１８照）。
・図１８の＜ｓｔｅｐ１＞
撮像部面（データム面）であるセンサ基準面ＤＴから透明テーブル上面１０１までの距離である、透明テーブル１００の上面の３次元形状を示すテーブル上面データＡを生成して記憶部に予め記憶しておき、
・図１８の＜ｓｔｅｐ２＞
センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの距離である、測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を示すセンサ基準表面形状データＢを生成し、
・図１８の＜ｓｔｅｐ３＞
センサ基準表面形状データＢの値からテーブル上面データＡの値を差引く演算を行って、透明テーブル上面１０１から測定対象物までの距離である、測定対象物の表面の３次元形状を示すテーブル基準表面形状データＣを生成し、
・図１８の＜ｓｔｅｐ４＞
テーブル基準表面形状データＣにより表されるＸＹ平面において、前記測定対象物における突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である突起部領域Ｄを特定して、突起部領域表面形状データＦを生成し、
・図１８の＜ｓｔｅｐ５＞
特定された各突起部領域表面形状データＦにおいて、透明テーブル上面１０１からの距離を示す値の代表値Ｅを決定する。
・図１８の＜ｓｔｅｐ１＞
撮像部面（データム面）であるセンサ基準面ＤＴから透明テーブル上面１０１までの距離である、透明テーブル１００の上面の３次元形状を示すテーブル上面データＡを生成して記憶部に予め記憶しておき、
・図１８の＜ｓｔｅｐ２＞
センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの距離である、測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を示すセンサ基準表面形状データＢを生成し、
・図１８の＜ｓｔｅｐ３＞
センサ基準表面形状データＢの値からテーブル上面データＡの値を差引く演算を行って、透明テーブル上面１０１から測定対象物までの距離である、測定対象物の表面の３次元形状を示すテーブル基準表面形状データＣを生成し、
・図１８の＜ｓｔｅｐ４＞
テーブル基準表面形状データＣにより表されるＸＹ平面において、前記測定対象物における突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である突起部領域Ｄを特定して、突起部領域表面形状データＦを生成し、
・図１８の＜ｓｔｅｐ５＞
特定された各突起部領域表面形状データＦにおいて、透明テーブル上面１０１からの距離を示す値の代表値Ｅを決定する。
従来技術は以下に述べるような問題を有するものであった。
各位置（ｘ、ｙ）における距離で示されるテーブル基準表面形状データＣの生成と使用が必須である。
このテーブル基準表面形状データＣの生成には、［ａ］センサ基準表面形状データＢの生成、［ｂ］テーブル上面データＡの生成、［ｃ］センサ基準表面形状データＢの各画素の距離値からテーブル上面データＡの各画素の距離値を差引く演算処理という膨大な演算処理が必要になるという問題を有するものであった。
各位置（ｘ、ｙ）における距離で示されるテーブル基準表面形状データＣの生成と使用が必須である。
このテーブル基準表面形状データＣの生成には、［ａ］センサ基準表面形状データＢの生成、［ｂ］テーブル上面データＡの生成、［ｃ］センサ基準表面形状データＢの各画素の距離値からテーブル上面データＡの各画素の距離値を差引く演算処理という膨大な演算処理が必要になるという問題を有するものであった。
また、撮像部による透明テーブルの上面の測定は、測定対象物をテーブル上面にない状態で測定しテーブル上面データを取得して予め記憶しておき使用するというものであるため、透明テーブルの測定と測定対象物の測定という二度手間の作業・操作が必要であるという欠点を有するものであった。
また、記憶されているテーブル上面データを使い続けることは、透明テーブル上面の変化を見逃した精度に問題を有する可能性が大きくなる、測定精度の信頼性に不安がおおきくなる等の問題を有するものであった。
また、記憶されているテーブル上面データを使い続けることは、透明テーブル上面の変化を見逃した精度に問題を有する可能性が大きくなる、測定精度の信頼性に不安がおおきくなる等の問題を有するものであった。
本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、代表値を決定するプロセスにおいて、特許文献１の発明のテーブル基準表面形状データＣの生成も使用もしないで代表値を決定する測定装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は以下のような構成としている。
［第１の発明］
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記突起部（ｗｔ）が含まれる領域を測定領域（ｋｔ）として特定する領域特定部（７）と、
前記撮像された前記測定対象物（Ｗ）の画像を処理して、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物（Ｗ）の表面形状を表すセンサ基準表面形状（ａｓ）のデータであるセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部（８）と、
前記センサ基準表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータにおける仮想的テーブル基準面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータにおいて代表とする値である、前記仮想的テーブル基準面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部と、
前記透明テーブル２の上面に設けられた反射部材（３６）と、を備えるとともに、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
［第１の発明］
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記突起部（ｗｔ）が含まれる領域を測定領域（ｋｔ）として特定する領域特定部（７）と、
前記撮像された前記測定対象物（Ｗ）の画像を処理して、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物（Ｗ）の表面形状を表すセンサ基準表面形状（ａｓ）のデータであるセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部（８）と、
前記センサ基準表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータにおける仮想的テーブル基準面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータにおいて代表とする値である、前記仮想的テーブル基準面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部と、
前記透明テーブル２の上面に設けられた反射部材（３６）と、を備えるとともに、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
［第４の発明］
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記突起部（ｗｔ）が含まれる領域を測定領域（ｋｔ）として特定する領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の画像の処理によって、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（１５）と、
前記センサ基準領域表面形状（ａｍ）において代表とする値である第１の代表値（Ｇ１）を決定する第１の代表値決定部（１６）と、
前記第１の代表値（Ｇ１）における仮想的テーブル基準面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１７）と、を備えるとともに、
前記透明テーブル（２）の上面に反射部材（３６）が設けられ、
前記撮像部（５）において、前記反射部材（３６）の表面を撮像し、
前記反射部材（３６）の表面の前記撮像した画像を処理して、該反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離を取得し、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記突起部（ｗｔ）が含まれる領域を測定領域（ｋｔ）として特定する領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の画像の処理によって、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（１５）と、
前記センサ基準領域表面形状（ａｍ）において代表とする値である第１の代表値（Ｇ１）を決定する第１の代表値決定部（１６）と、
前記第１の代表値（Ｇ１）における仮想的テーブル基準面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１７）と、を備えるとともに、
前記透明テーブル（２）の上面に反射部材（３６）が設けられ、
前記撮像部（５）において、前記反射部材（３６）の表面を撮像し、
前記反射部材（３６）の表面の前記撮像した画像を処理して、該反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離を取得し、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
［第５の発明］
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記突起部（ｗｔ）が含まれる領域を測定領域（ｋｔ）として特定する領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の画像の処理によって、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（１５）と、
前記センサ基準領域表面形状（ａｍ）における前記透明テーブル（２）の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部（１０）と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）において代表とする値である、前記透明テーブル（２）の上面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１１）と、を備えたことを特徴とする測定装置（２０）である。
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記突起部（ｗｔ）が含まれる領域を測定領域（ｋｔ）として特定する領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の画像の処理によって、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（１５）と、
前記センサ基準領域表面形状（ａｍ）における前記透明テーブル（２）の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部（１０）と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）において代表とする値である、前記透明テーブル（２）の上面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１１）と、を備えたことを特徴とする測定装置（２０）である。
［第２の発明］
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記測定対象物（Ｗ）の画像を処理して、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物（Ｗ）の表面形状を表すセンサ基準表面形状（ａｓ）のデータであるセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部（８）と、
前記測定対象物（Ｗ）の前記突起部（ｗｔ）それぞれが含まれる領域である測定領域（ｋｔ）を特定する領域特定部（７）と、
前記センサ基準表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータであるセンサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）において代表とする値である第１の代表値（Ｇ１）を決定する第１の代表値決定部（１６）と、
前記第１の代表値（Ｇ１）における仮想的テーブル基準面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１７）と、を備えるとともに、
前記透明テーブル（２）の上面に反射部材（３６）が設けられ、
前記撮像部（５）において、前記反射部材（３６）の表面を撮像し、
前記反射部材（３６）の表面の前記撮像した画像を処理して、該反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離を取得し、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記測定対象物（Ｗ）の画像を処理して、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物（Ｗ）の表面形状を表すセンサ基準表面形状（ａｓ）のデータであるセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部（８）と、
前記測定対象物（Ｗ）の前記突起部（ｗｔ）それぞれが含まれる領域である測定領域（ｋｔ）を特定する領域特定部（７）と、
前記センサ基準表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータであるセンサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）において代表とする値である第１の代表値（Ｇ１）を決定する第１の代表値決定部（１６）と、
前記第１の代表値（Ｇ１）における仮想的テーブル基準面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１７）と、を備えるとともに、
前記透明テーブル（２）の上面に反射部材（３６）が設けられ、
前記撮像部（５）において、前記反射部材（３６）の表面を撮像し、
前記反射部材（３６）の表面の前記撮像した画像を処理して、該反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離を取得し、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの前記距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
［第３の発明］
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記測定対象物（Ｗ）の前記突起部（ｗｔ）それぞれが含まれる領域である測定領域（ｋｔ）を特定する領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）における仮想的テーブル基準面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータにおいて代表とする値である、前記仮想的テーブル基準面の上面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部と、
前記透明テーブル（２）の上面に設けられた反射部材（３６）と、を備えるとともに、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記測定対象物（Ｗ）の前記突起部（ｗｔ）それぞれが含まれる領域である測定領域（ｋｔ）を特定する領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）における仮想的テーブル基準面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータにおいて代表とする値である、前記仮想的テーブル基準面の上面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部と、
前記透明テーブル（２）の上面に設けられた反射部材（３６）と、を備えるとともに、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置である。
［第６の発明］
撮像部（５）において、前記透明テーブル（２）の上面の測定は行わない、かつ、前記透明テーブル（２）の上面のデータは存在しない又は使用しない構成とし、
前記透明テーブル（２）の上面の前記測定対象物（Ｗ）の載置域外に塗布膜からなる反射部材（３６）を設け、
前記測定対象物（Ｗ）の撮像時に又は撮影と同時に、前記反射部材（３６）の表面も撮像し、
前記反射部材（３６）の画像を処理して該反射部材（３６）の表面の各位置（ｘ、ｙ）における距離で表される反射部材表面形状データを生成し、
前記反射部材表面形状データにおいて少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれ離れた位置に特定し、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の前記反射部材表面形状データの域を非測定域とし、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域のそれぞれ前記反射部材表面形状データにおいて、代表とする第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、
前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値を直線で結んだ三角形面を生成して、該三角形面を全面に広げた仮想的テーブル基準面を作成し、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）、前記テーブル基準領域表面形状データ（ｔｍｄ）、前記第２の代表値（Ｇ２）の距離値を、前記仮想的テーブル基準面からの距離値としたことを特徴とする前記第１の発明〜第４の発明又は第５の発明に記載の測定装置である。
撮像部（５）において、前記透明テーブル（２）の上面の測定は行わない、かつ、前記透明テーブル（２）の上面のデータは存在しない又は使用しない構成とし、
前記透明テーブル（２）の上面の前記測定対象物（Ｗ）の載置域外に塗布膜からなる反射部材（３６）を設け、
前記測定対象物（Ｗ）の撮像時に又は撮影と同時に、前記反射部材（３６）の表面も撮像し、
前記反射部材（３６）の画像を処理して該反射部材（３６）の表面の各位置（ｘ、ｙ）における距離で表される反射部材表面形状データを生成し、
前記反射部材表面形状データにおいて少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれ離れた位置に特定し、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の前記反射部材表面形状データの域を非測定域とし、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域のそれぞれ前記反射部材表面形状データにおいて、代表とする第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、
前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値を直線で結んだ三角形面を生成して、該三角形面を全面に広げた仮想的テーブル基準面を作成し、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）、前記テーブル基準領域表面形状データ（ｔｍｄ）、前記第２の代表値（Ｇ２）の距離値を、前記仮想的テーブル基準面からの距離値としたことを特徴とする前記第１の発明〜第４の発明又は第５の発明に記載の測定装置である。
本発明にあっては次のような効果を奏する。
第１の発明〜第６の発明は、代表値を決定するプロセスにおいて、特許文献１のテーブル基準表面形状データＣの生成をしない且つ使用しないので、代表値を決定するプロセスにおいてその情報処理量を大幅に軽減するとい作用効果を奏する。
第１の発明〜第６の発明は、代表値を決定するプロセスにおいて、特許文献１のテーブル基準表面形状データＣの生成をしない且つ使用しないので、代表値を決定するプロセスにおいてその情報処理量を大幅に軽減するとい作用効果を奏する。
［第６の発明の効果］
第６の発明は、第１の発明〜第５の発明において、測定対象物（Ｗ）の撮像部（５）による撮像時に又は撮影と略同時に、反射部材（３６）の表面も撮像し、仮想的テーブル基準面とセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）やセンサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するものであるので、測定対象物（Ｗ）の載置の無い状態で透明テーブル（２）の上面を測定する作用・操作を必要としないという作用効果を奏する。
また、測定対象物（Ｗ）の撮像時に又は撮影と同時に、反射部材（３６）の表面（下面）も撮像し、反射部材表面形状データと測定対象物（Ｗ）の表面のデータであるセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）やセンサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）を同時的に生成できるので、操作が煩雑でなく、測定時の反射部材表面形状データによるテーブル基準領域表面形状データ（ｔｍｄ）の生成や第２の代表値（Ｇ２）の決定を行うという作用効果を奏する。
第６の発明は、第１の発明〜第５の発明において、測定対象物（Ｗ）の撮像部（５）による撮像時に又は撮影と略同時に、反射部材（３６）の表面も撮像し、仮想的テーブル基準面とセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）やセンサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するものであるので、測定対象物（Ｗ）の載置の無い状態で透明テーブル（２）の上面を測定する作用・操作を必要としないという作用効果を奏する。
また、測定対象物（Ｗ）の撮像時に又は撮影と同時に、反射部材（３６）の表面（下面）も撮像し、反射部材表面形状データと測定対象物（Ｗ）の表面のデータであるセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）やセンサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）を同時的に生成できるので、操作が煩雑でなく、測定時の反射部材表面形状データによるテーブル基準領域表面形状データ（ｔｍｄ）の生成や第２の代表値（Ｇ２）の決定を行うという作用効果を奏する。
特許文献１の発明は、「前記撮像部で撮影された前記検査対象物の画像を処理して、前記検査対象物の表面の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、前記テーブルの上面からの距離を示す表面形状データを生成する画像処理部と、前記画像処理部で生成された前記表面形状データにより表されるＸＹ平面において、前記検査対象物における前記複数の突起部それぞれが含まれる領域を特定し、特定された各領域において、前記テーブルの上面からの距離を示す値の代表値を決定する代表値決定部と、」を中核的構成としているものである。
そうすると特許文献１の発明は、代表値を決定するプロセスにおいて、透明テーブルの上面からの測定対象物の表面（下面）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離（Ｚ軸方向の距離）で示されるデータであるテーブル基準表面形状データＣの生成と、該テーブル基準表面形状データＣを使用した領域特定と代表値の決定とを行うことを、発明の本質的部分としているものである。
そうすると特許文献１の発明は、代表値を決定するプロセスにおいて、透明テーブルの上面からの測定対象物の表面（下面）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離（Ｚ軸方向の距離）で示されるデータであるテーブル基準表面形状データＣの生成と、該テーブル基準表面形状データＣを使用した領域特定と代表値の決定とを行うことを、発明の本質的部分としているものである。
かかる特許文献１の構成に対して、本発明は、代表値を決定するプロセスにおいて、テーブル基準表面形状データＣの生成は行わず、かつ、該テーブル基準表面形状データＣを領域の特定と代表値の決定に使用することが無いものである。
膨大なデータ量からなるテーブル基準表面形状データＣの生成も使用もしない本発明は、データ処理量を大幅に軽減するという格別で顕著な作用効果を奏するものである。
また、本発明は特許文献１の発明のかかる中核的構成（テーブル基準表面形状データＣの生成と使用）を否定するものであるから、特許文献１の発明には本発明に想到することを阻害する阻害要因があるものである。
膨大なデータ量からなるテーブル基準表面形状データＣの生成も使用もしない本発明は、データ処理量を大幅に軽減するという格別で顕著な作用効果を奏するものである。
また、本発明は特許文献１の発明のかかる中核的構成（テーブル基準表面形状データＣの生成と使用）を否定するものであるから、特許文献１の発明には本発明に想到することを阻害する阻害要因があるものである。
以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
図１〜図４に示す本発明の実施例１において測定装置１は次に述べるような構成となっている。
テーブル上面に測定対象物Ｗを載置する石英ガラスからなる透明テーブル２と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗに照射光３を照射する照射部４と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗからの反射光３ｂを受光して測定対象物Ｗの表面（下面）を撮像するＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサなどの撮像素子（撮像センサ）からなる撮像部５と、
撮像部５側の基準位置（一般的には撮像素子の受光面）を示す基準位置データＤＴｄであるセンサ基準面ＤＴと、
透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの平面２値画像ｈｂ（Ｚ軸情報（高さ情報の無いＸＹ軸情報のみの画像））のデータ（平面２値画像データｈｂｄ）を取得する平面２値画像データ取得部６と、
平面２値画像ｈｂにおいて突起部ｗｔが含まれる領域を測定領域ｋｔとして特定する領域特定部７と、
撮像部５で撮像された測定対象物Ｗの画像である対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータ（センサ基準表面形状データａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部８と、
センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部９と、
センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部１０と、
テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面であるテーブル上面１３からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１１と、
第２の代表値Ｇ２が所定の範囲内であるかを判定する判定部１９と、を備えたことを特徴としている。
照射部４と撮像部５は照射撮像ユニット１２に設けられている。
テーブル上面に測定対象物Ｗを載置する石英ガラスからなる透明テーブル２と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗに照射光３を照射する照射部４と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗからの反射光３ｂを受光して測定対象物Ｗの表面（下面）を撮像するＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサなどの撮像素子（撮像センサ）からなる撮像部５と、
撮像部５側の基準位置（一般的には撮像素子の受光面）を示す基準位置データＤＴｄであるセンサ基準面ＤＴと、
透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの平面２値画像ｈｂ（Ｚ軸情報（高さ情報の無いＸＹ軸情報のみの画像））のデータ（平面２値画像データｈｂｄ）を取得する平面２値画像データ取得部６と、
平面２値画像ｈｂにおいて突起部ｗｔが含まれる領域を測定領域ｋｔとして特定する領域特定部７と、
撮像部５で撮像された測定対象物Ｗの画像である対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータ（センサ基準表面形状データａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部８と、
センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部９と、
センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部１０と、
テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面であるテーブル上面１３からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１１と、
第２の代表値Ｇ２が所定の範囲内であるかを判定する判定部１９と、を備えたことを特徴としている。
照射部４と撮像部５は照射撮像ユニット１２に設けられている。
模式図である図４（図１１、図１４、図１８も同様）において、両端矢印縦線（Ｚ軸方向）は第１の基準面ＤＴ又はテーブル上面１３から測定対象物Ｗの表面（下面）までのＺ軸方向の距離を示している。一本の両端矢印縦線は１つの各位置（ｘ、ｙ）のＺ軸方向の距離を模式的に示している。
処理ステップを説明する。
・図３のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、Ｚ軸方向のデータの無い（高さ距離情報の無い）ＸＹ軸のデータのみの白黒の平面２値画像ｈｂのデータである平面２値画像データｈｂｄと、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図３のｓｔｅｐ２
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄを取得する。
・図３、図４のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄをディスプレイに表示してオペレータが手動によりマウス等を走査して、突起部ｗｔを含まれる領域を囲い枠で囲い該囲い枠内を測定領域ｋｔとして特定する。囲い枠の形状は多角形、円形、線引きによる閉じ形状（線引きにより形状は多様）などである。
・図３、図４のｓｔｅｐ４
センサ基準表面形状データ生成部８において、対象物画像ｗＧｄを位相シフト法により処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータ（センサ基準表面形状データａｓｄ）を生成する。
・図３、図４のｓｔｅｐ５
センサ基準領域表面形状データ生成部９において、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成する。
・図３、図４のｓｔｅｐ６
テーブル基準領域表面形状データ生成部１０において、センサ基準領域表面形状ａｍにおけるテーブル上面１３（テーブル上面データＴｂｄ）からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成する。
・図３、図４のｓｔｅｐ７
第２の代表値決定部１１において、テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面であるテーブル上面１３（テーブル上面データＴｂｄ）からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図３のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、Ｚ軸方向のデータの無い（高さ距離情報の無い）ＸＹ軸のデータのみの白黒の平面２値画像ｈｂのデータである平面２値画像データｈｂｄと、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図３のｓｔｅｐ２
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄを取得する。
・図３、図４のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄをディスプレイに表示してオペレータが手動によりマウス等を走査して、突起部ｗｔを含まれる領域を囲い枠で囲い該囲い枠内を測定領域ｋｔとして特定する。囲い枠の形状は多角形、円形、線引きによる閉じ形状（線引きにより形状は多様）などである。
・図３、図４のｓｔｅｐ４
センサ基準表面形状データ生成部８において、対象物画像ｗＧｄを位相シフト法により処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータ（センサ基準表面形状データａｓｄ）を生成する。
・図３、図４のｓｔｅｐ５
センサ基準領域表面形状データ生成部９において、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成する。
・図３、図４のｓｔｅｐ６
テーブル基準領域表面形状データ生成部１０において、センサ基準領域表面形状ａｍにおけるテーブル上面１３（テーブル上面データＴｂｄ）からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成する。
・図３、図４のｓｔｅｐ７
第２の代表値決定部１１において、テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面であるテーブル上面１３（テーブル上面データＴｂｄ）からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。
照射部４は、光の強度が周期的に変化する光パターンからなる照射光３を照射し、撮像部５は照射光３が照射された測定対象物Ｗの表面（下面）を、透明テーブル２の下方から撮影（撮像）し、撮像された測定対象物Ｗの画像は位相シフト法によって画像処理され、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成される。
テーブル上面１３の測定データの取得は、テーブル上面１３そのものを測定できる、例えば、白色レーザ光線を使用したオートフォーカスセンサによる透明テーブル２の上方又は下方からの測定などにより測定するなどによる。
テーブル上面１３を測定して得たデータはテーブル上面データＴｂｄとしてテーブル上面データ記憶部１４に記憶される。
テーブル上面１３を測定して得たデータはテーブル上面データＴｂｄとしてテーブル上面データ記憶部１４に記憶される。
平面２値画像データ取得部６、領域特定部７、センサ基準表面形状データ生成部８、センサ基準領域表面形状データ生成部９、テーブル基準領域表面形状データ生成部１０、第２の代表値決定部１１、判定部１９、テーブル上面データ記憶部１４等は制御部２１を構成している。
本実施例は、特許文献１の発明の、代表値を決定するプロセスにおいて、測定対象物の表面の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、透明テーブルの上面からの距離を示すテーブル基準表面形状データＣを生成することも使用することもないものであり、よって、代表値を決定するプロセスを少ない情報の処理によって実行することを実現する。
図５〜図７に示す本発明の実施例２において前記実施例１と主に異なる点は、センサ基準表面形状データ生成部８を設けない構成とし、テーブル基準領域表面形状データ生成部１０を設けない構成とし、
センサ基準領域表面形状データ生成部を、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部１５とし、
センサ基準領域表面形状ａｍにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する第１の代表値決定部１６を設け、
第２の代表値決定部を、第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１７とした、測定装置１８を形成した点にある。（第２の代表値Ｇ２＝第１の代表値Ｇ１−テーブル上面１３値（テーブル上面データＴｂｄ））
センサ基準領域表面形状データ生成部を、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部１５とし、
センサ基準領域表面形状ａｍにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する第１の代表値決定部１６を設け、
第２の代表値決定部を、第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１７とした、測定装置１８を形成した点にある。（第２の代表値Ｇ２＝第１の代表値Ｇ１−テーブル上面１３値（テーブル上面データＴｂｄ））
処理ステップを説明する。
・図６のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、Ｚ軸方向のデータの無い（高さ距離情報の無い）ＸＹ軸のデータのみの白黒の平面２値画像ｈｂのデータである平面２値画像データｈｂｄと、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図６のｓｔｅｐ２
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄを取得する。
・図６、図７のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄをディスプレイに表示してオペレータが手動によりマウス等を走査して、突起部ｗｔを含まれる領域を囲い枠で囲い該囲い枠内を測定領域ｋｔとして特定する。囲い枠の形状は多角形、円形、線引きによる閉じ形状（線引きにより形状は多様）などである。
・図６、図７のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部１５において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成する。
・図６、図７のｓｔｅｐ５
第１の代表値決定部１６において、センサ基準領域表面形状ａｍにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する。
・図６、図７のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部１７において、第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。（第１の代表値Ｇ１−テーブル上面１３値（テーブル上面データＴｂｄ）＝第２の代表値Ｇ２）
・図６のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、Ｚ軸方向のデータの無い（高さ距離情報の無い）ＸＹ軸のデータのみの白黒の平面２値画像ｈｂのデータである平面２値画像データｈｂｄと、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図６のｓｔｅｐ２
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄを取得する。
・図６、図７のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄをディスプレイに表示してオペレータが手動によりマウス等を走査して、突起部ｗｔを含まれる領域を囲い枠で囲い該囲い枠内を測定領域ｋｔとして特定する。囲い枠の形状は多角形、円形、線引きによる閉じ形状（線引きにより形状は多様）などである。
・図６、図７のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部１５において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成する。
・図６、図７のｓｔｅｐ５
第１の代表値決定部１６において、センサ基準領域表面形状ａｍにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する。
・図６、図７のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部１７において、第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。（第１の代表値Ｇ１−テーブル上面１３値（テーブル上面データＴｂｄ）＝第２の代表値Ｇ２）
第１の代表値Ｇ１、第２の代表値Ｇ２は、測定領域ｋｔの各画素の距離値の平均、各画素の距離値の内の最大高さ距離値、各画素の距離値の内の最小高さ距離値などである。
本実施例は、特許文献１の発明の、代表値を決定するプロセスにおいて、測定対象物の表面の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、透明テーブルの上面からの距離を示すテーブル基準表面形状データＣを生成することも使用することもないものであり、よって、その膨大な情報処理量を大幅に軽減することを実現するものである。
図８〜図１０に示す本発明の実施例３において前記実施例１と主に異なる点は、センサ基準表面形状データ生成部８を設けない構成とし、
センサ基準領域表面形状データ生成部を、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部１５とした、測定装置２０を形成した点にある。
センサ基準領域表面形状データ生成部を、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部１５とした、測定装置２０を形成した点にある。
処理ステップを説明する。
・図９のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、Ｚ軸方向のデータの無い（高さ距離情報の無い）ＸＹ軸のデータのみの白黒の平面２値画像ｈｂのデータである平面２値画像データｈｂｄと、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図９のｓｔｅｐ２
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄを取得する。
・図９、図１０のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄをディスプレイに表示してオペレータが手動によりマウス等を走査して、突起部ｗｔを含まれる領域を囲い枠で囲い該囲い枠内を測定領域ｋｔとして特定する。囲い枠の形状は多角形、円形、線引きによる閉じ形状（線引きにより形状は多様）などである。
・図９、図１０のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部１５において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成する。
・図９、図１０のｓｔｅｐ５
テーブル基準領域表面形状データ生成部１０において、センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成する。
・図９、図１０のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部１１において、テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図９のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、Ｚ軸方向のデータの無い（高さ距離情報の無い）ＸＹ軸のデータのみの白黒の平面２値画像ｈｂのデータである平面２値画像データｈｂｄと、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図９のｓｔｅｐ２
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄを取得する。
・図９、図１０のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、平面２値画像データｈｂｄをディスプレイに表示してオペレータが手動によりマウス等を走査して、突起部ｗｔを含まれる領域を囲い枠で囲い該囲い枠内を測定領域ｋｔとして特定する。囲い枠の形状は多角形、円形、線引きによる閉じ形状（線引きにより形状は多様）などである。
・図９、図１０のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部１５において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとした測定対象物Ｗの画像の処理によって、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成する。
・図９、図１０のｓｔｅｐ５
テーブル基準領域表面形状データ生成部１０において、センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成する。
・図９、図１０のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部１１において、テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。
本実施例は、特許文献１の発明の、代表値を決定するプロセスにおいて、測定対象物の表面の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、透明テーブルの上面からの距離を示すテーブル基準表面形状データＣを生成することも使用することもないものであり、よって、よって、代表値を決定するプロセスを少ない情報の処理によって実行することを実現する。
図１１〜図１３に示す本発明の実施例４において測定装置２５は次に述べるような構成となっている。
テーブル上面に測定対象物Ｗを載置する石英ガラスからなる透明テーブル２と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗに照射光３を照射する照射部４と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗからの反射光３ｂを受光して測定対象物Ｗの表面（下面）を撮像するＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサなどの撮像素子（撮像センサ）からなる撮像部５と、
照射部４と撮像部５を有する照射撮像ユニット１２と、
撮像部５側の基準位置（一般的には撮像素子の受光面）であるセンサ基準面ＤＴと、
透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの測定対象物Ｗの画像を処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータ（センサ基準表面形状データａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部８と、
測定対象物Ｗの突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である測定領域ｋｔ（そのデータは測定領域データｋｔｄ）を特定する領域特定部７と、
センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部９と、
測定領域ｋｔにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する第１の代表値決定部１６と、
第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１７と、を備えたことを特徴とするものである。
テーブル上面に測定対象物Ｗを載置する石英ガラスからなる透明テーブル２と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗに照射光３を照射する照射部４と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗからの反射光３ｂを受光して測定対象物Ｗの表面（下面）を撮像するＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサなどの撮像素子（撮像センサ）からなる撮像部５と、
照射部４と撮像部５を有する照射撮像ユニット１２と、
撮像部５側の基準位置（一般的には撮像素子の受光面）であるセンサ基準面ＤＴと、
透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの測定対象物Ｗの画像を処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータ（センサ基準表面形状データａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部８と、
測定対象物Ｗの突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である測定領域ｋｔ（そのデータは測定領域データｋｔｄ）を特定する領域特定部７と、
センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータ（センサ基準領域表面形状データａｍｄ）を生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部９と、
測定領域ｋｔにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する第１の代表値決定部１６と、
第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１７と、を備えたことを特徴とするものである。
測定領域ｋｔの特定は、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面をディスプレイ３３に表示して、オペレータが手動によりマウス等を走査して、突起部ｗｔを含まれる領域を囲い枠で囲い該囲い枠内を第１の測定領域ｋｔとして特定する。囲い枠の形状は多角形、円形、線引きによる閉じ形状（線引きにより形状は多様）などである。
また、ＣＡＤデータなどによって予め作成れた測定領域データを使用するのもよい。
また、測定対象物Ｗの平面２値画像を取得して、該平面２値画像において測定領域を特定し使用するのもよい。
また、ＣＡＤデータなどによって予め作成れた測定領域データを使用するのもよい。
また、測定対象物Ｗの平面２値画像を取得して、該平面２値画像において測定領域を特定し使用するのもよい。
処理ステップを説明する。
・図１２のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ２
ンサ基準表面形状データ生成部８において、透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの画像を処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータであるセンサ基準表面形状データａｓｄを生成する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、測定対象物Ｗの突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である測定領域ｋｔを特定する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部９において、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータであるセンサ基準領域表面形状データａｍｄを生成する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ５
第１の代表値決定部１６において、センサ基準領域表面形状データａｍｄにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部１７において、第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。（第１の代表値Ｇ１−テーブル上面データＴｂｄ＝第２の代表値Ｇ２）
・図１２のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ２
ンサ基準表面形状データ生成部８において、透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの画像を処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータであるセンサ基準表面形状データａｓｄを生成する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、測定対象物Ｗの突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である測定領域ｋｔを特定する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部９において、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータであるセンサ基準領域表面形状データａｍｄを生成する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ５
第１の代表値決定部１６において、センサ基準領域表面形状データａｍｄにおいて代表とする値である第１の代表値Ｇ１を決定する。
・図１２、図１３のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部１７において、第１の代表値Ｇ１における透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。（第１の代表値Ｇ１−テーブル上面データＴｂｄ＝第２の代表値Ｇ２）
本実施例は、特許文献１の発明の、代表値を決定するプロセスにおいて、測定対象物の表面の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、透明テーブルの上面からの距離を示すテーブル基準表面形状データＣを生成することも使用することもないものであり、よって、よって、代表値を決定するプロセスを少ない情報の処理によって実行することを実現する。
図１４〜図１６に示す本発明の実施例５において前記実施例４と主に異なる点は、第１の代表値決定部１６を設けない構成とし、
センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータであるテーブル基準領域表面形状データｔｍｄを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部１０を設け、
テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部３０とした、測定装置３２を形成した点にある。
センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータであるテーブル基準領域表面形状データｔｍｄを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部１０を設け、
テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部３０とした、測定装置３２を形成した点にある。
処理ステップを説明する。
・図１５のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ２
ンサ基準表面形状データ生成部８において、透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの画像を処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータであるセンサ基準表面形状データａｓｄを生成する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、測定対象物Ｗの突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である測定領域ｋｔを特定する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部９において、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータであるセンサ基準領域表面形状データａｍｄを生成する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ５
テーブル基準領域表面形状データ生成部１０において、センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部３０において、テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１５のｓｔｅｐ１
測定対象物の表面（下面）を撮像し、測定対象物Ｗの表面（下面）のＺ軸方向の距離情報を有する（高さ距離情報を有する）又はＺ軸方向の距離情報を算出する情報を有する対象物画像ｗＧのデータである対象物画像ｗＧｄを得る。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ２
ンサ基準表面形状データ生成部８において、透明テーブル２の上面に載置されている突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗの画像を処理して、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物Ｗの表面形状を表すセンサ基準表面形状ａｓのデータであるセンサ基準表面形状データａｓｄを生成する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ３
領域特定部７において、測定対象物Ｗの突起部ｗｔそれぞれが含まれる領域である測定領域ｋｔを特定する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ４
センサ基準領域表面形状データ生成部９において、センサ基準表面形状データａｓｄのＸＹ平面において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域ｎｏｋとし、センサ基準面ＤＴから測定対象物Ｗまでの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔそれぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状ａｍのデータであるセンサ基準領域表面形状データａｍｄを生成する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ５
テーブル基準領域表面形状データ生成部１０において、センサ基準領域表面形状ａｍにおける透明テーブル２の上面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状ｔｍのデータ（テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ）を生成する。
・図１５、図１６のｓｔｅｐ６
第２の代表値決定部３０において、テーブル基準領域表面形状ｔｍにおいて代表とする値である、透明テーブル２の上面からの距離である第２の代表値Ｇ２を決定する。
本実施例は、特許文献１の発明の、代表値を決定するプロセスにおいて、測定対象物の表面の３次元形状を表すデータであって、ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、透明テーブルの上面からの距離を示すテーブル基準表面形状データＣを生成することも使用することもないものであり、よって、よって、代表値を決定するプロセスを少ない情報の処理によって実行することを実現する。
図１７に示す本発明の実施例７において、前記実施例１〜５と主に異なる点は、
撮像部５によるテーブル上面１３の測定は行わない、テーブル上面１３の測定は行えない、テーブル上面１３のデータは存在しないないし使用しない構成とし、
テーブル上面１３の測定対象物Ｗの載置域外に塗布膜からなる反射部材３６を、測定対象物Ｗを加工形態で一本の帯形態のもの、複数本の帯形態ものないし複数の片形態のもの設け、
測定対象物Ｗの撮像時に又は撮影と同時に、反射部材３６の表面（下面）も撮像し、
反射部材３６の画像を処理して反射部材３６の表面の各位置（ｘ、ｙ）における距離で表される反射部材表面形状データを生成し、
反射部材表面形状データにおいて少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれ離れた位置に特定し、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の反射部材表面形状データの域を非測定域とし、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域のそれぞれ反射部材表面形状データにおいて、代表とする第１の反射部材代表値（平均値、最高さ値、最低さ値など）、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、
前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値を直線で結んだ三角形面を生成して、該三角形面を全面に広げた仮想的テーブル基準面を作成し、
前記実施例１〜５のおける、テーブル基準領域表面形状ｔｍ、テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ、第２の代表値Ｇ２等をテーブル上面１３（テーブル上面データＴｂｄ）からの距離とはしない構成とし（そもそも、テーブル上面１３のデータは存在しない構成である）、
テーブル基準領域表面形状ｔｍ、テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ、第２の代表値Ｇ２等の距離値を仮想的テーブル基準面からの距離値とした測定装置３５を形成した点にある。
撮像部５によるテーブル上面１３の測定は行わない、テーブル上面１３の測定は行えない、テーブル上面１３のデータは存在しないないし使用しない構成とし、
テーブル上面１３の測定対象物Ｗの載置域外に塗布膜からなる反射部材３６を、測定対象物Ｗを加工形態で一本の帯形態のもの、複数本の帯形態ものないし複数の片形態のもの設け、
測定対象物Ｗの撮像時に又は撮影と同時に、反射部材３６の表面（下面）も撮像し、
反射部材３６の画像を処理して反射部材３６の表面の各位置（ｘ、ｙ）における距離で表される反射部材表面形状データを生成し、
反射部材表面形状データにおいて少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれ離れた位置に特定し、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の反射部材表面形状データの域を非測定域とし、
前記第１の領域、第２の領域、第３の領域のそれぞれ反射部材表面形状データにおいて、代表とする第１の反射部材代表値（平均値、最高さ値、最低さ値など）、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、
前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値を直線で結んだ三角形面を生成して、該三角形面を全面に広げた仮想的テーブル基準面を作成し、
前記実施例１〜５のおける、テーブル基準領域表面形状ｔｍ、テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ、第２の代表値Ｇ２等をテーブル上面１３（テーブル上面データＴｂｄ）からの距離とはしない構成とし（そもそも、テーブル上面１３のデータは存在しない構成である）、
テーブル基準領域表面形状ｔｍ、テーブル基準領域表面形状データｔｍｄ、第２の代表値Ｇ２等の距離値を仮想的テーブル基準面からの距離値とした測定装置３５を形成した点にある。
仮想的テーブル基準面はテーブル上面１３の測定データではないのでその位置（センサ基準面ＤＴからの距離）、テーブル上面１３の位置（センサ基準面ＤＴからの距離）と同じかどうかは分からない。そこで、オペレータの操作により又は自動的に仮想的テーブル基準面を任意の位置に設定（移動させるイメージ）できるようにしている。
測定対象物Ｗの撮像時に又は撮影と同時に、反射部材３６の表面も撮像し、仮想的テーブル基準面とセンサ基準表面形状データａｓｄやセンサ基準領域表面形状データａｍｄを生成するものであるので、測定対象物Ｗの載置の無い状態で透明テーブル２の上面を測定する作業・操作を必要としないという作用効果を奏する。
また、撮像部５によるテーブル上面１３の測定は行わない、テーブル上面１３の測定は行えない、テーブル上面１３のデータは存在しないないし使用しない構成であり、測定対象物Ｗの撮像時に又は撮影と同時に、反射部材３６の表面（下面）も撮像し、反射部材表面形状データと測定対象物Ｗの表面のデータであるセンサ基準表面形状データａｓｄやセンサ基準領域表面形状データａｍｄを同時的に生成できるので、操作が煩雑でなく、測定時の反射部材表面形状データによるテーブル基準領域表面形状データｔｍｄの生成や第２の代表値Ｇ２の決定が行える。
また、撮像部５によるテーブル上面１３の測定は行わない、テーブル上面１３の測定は行えない、テーブル上面１３のデータは存在しないないし使用しない構成であり、測定対象物Ｗの撮像時に又は撮影と同時に、反射部材３６の表面（下面）も撮像し、反射部材表面形状データと測定対象物Ｗの表面のデータであるセンサ基準表面形状データａｓｄやセンサ基準領域表面形状データａｍｄを同時的に生成できるので、操作が煩雑でなく、測定時の反射部材表面形状データによるテーブル基準領域表面形状データｔｍｄの生成や第２の代表値Ｇ２の決定が行える。
本発明は、主に端子などの突起部を有する電子部品の平坦度等を測定する産業で利用される。
Ｗ：測定対象物、
ｗｔ：突起部、
ＤＴ：センサ基準面、
ＤＴｄ：基準位置データ、
ｈｂ：平面２値画像、
ｈｂｄ：平面２値画像データ、
ｓｔ：指定領域、
ｋｔ：測定領域、
ａｓ：センサ基準表面形状、
ａｓｄ：センサ基準表面形状データ、
ａｍ：センサ基準領域表面形状、
ａｍｄ：センサ基準領域表面形状データ、
ｔｍ：テーブル基準領域表面形状、
ｔｍｄ：テーブル基準領域表面形状データ、
Ｇ２：第２の代表値、
Ｇ１：第１の代表値、
ｗＧ：対象物画像、
ｗＧｄ：対象物画像データ、
Ｔｂｄ：テーブル上面データ、
１：測定装置、
２：透明テーブル、
３：照射光、
３ｂ：反射光、
４：照射部、
５：撮像部、
６：平面２値画像データ生成部、
７：領域特定部、
８：センサ基準表面形状データ生成部、
９：センサ基準領域表面形状データ生成部、
１０：テーブル基準領域表面形状データ生成部、
１１：第２の代表値決定部、
１２：照射撮像ユニット、
１３：テーブル上面、
１４：テーブル上面データ記憶部、
１５：センサ基準領域表面形状データ生成部、
１６：第１の代表値決定部、
１７：第２の代表値決定部、
１８：測定装置、
１９：判定部、
２０：測定装置、
２１：制御部、
２５：測定装置、
３０：第２の代表値決定部、
３２：測定装置、
３３：ディスプレイ、
３５：測定装置、
３６：反射部材。
ｗｔ：突起部、
ＤＴ：センサ基準面、
ＤＴｄ：基準位置データ、
ｈｂ：平面２値画像、
ｈｂｄ：平面２値画像データ、
ｓｔ：指定領域、
ｋｔ：測定領域、
ａｓ：センサ基準表面形状、
ａｓｄ：センサ基準表面形状データ、
ａｍ：センサ基準領域表面形状、
ａｍｄ：センサ基準領域表面形状データ、
ｔｍ：テーブル基準領域表面形状、
ｔｍｄ：テーブル基準領域表面形状データ、
Ｇ２：第２の代表値、
Ｇ１：第１の代表値、
ｗＧ：対象物画像、
ｗＧｄ：対象物画像データ、
Ｔｂｄ：テーブル上面データ、
１：測定装置、
２：透明テーブル、
３：照射光、
３ｂ：反射光、
４：照射部、
５：撮像部、
６：平面２値画像データ生成部、
７：領域特定部、
８：センサ基準表面形状データ生成部、
９：センサ基準領域表面形状データ生成部、
１０：テーブル基準領域表面形状データ生成部、
１１：第２の代表値決定部、
１２：照射撮像ユニット、
１３：テーブル上面、
１４：テーブル上面データ記憶部、
１５：センサ基準領域表面形状データ生成部、
１６：第１の代表値決定部、
１７：第２の代表値決定部、
１８：測定装置、
１９：判定部、
２０：測定装置、
２１：制御部、
２５：測定装置、
３０：第２の代表値決定部、
３２：測定装置、
３３：ディスプレイ、
３５：測定装置、
３６：反射部材。
Claims (2)
- 突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記突起部（ｗｔ）が含まれる領域を測定領域（ｋｔ）として特定する領域特定部（７）と、
前記撮像された前記測定対象物（Ｗ）の画像を処理して、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で該測定対象物（Ｗ）の表面形状を表すセンサ基準表面形状（ａｓ）のデータであるセンサ基準表面形状データ（ａｓｄ）を生成するセンサ基準表面形状データ生成部（８）と、
前記センサ基準表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータにおける仮想的テーブル基準面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータにおいて代表とする値である、前記仮想的テーブル基準面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部と、
前記透明テーブル２の上面に設けられた反射部材（３６）と、を備えるとともに、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置。 - 突起部（ｗｔ）を有する測定対象物（Ｗ）を載置する透明テーブル（２）と、
この透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（３）を照射する照射部（４）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（５）と、
前記撮像部（５）側の基準位置であるセンサ基準面（ＤＴ）と、
前記測定対象物（Ｗ）の前記突起部（ｗｔ）それぞれが含まれる領域である測定領域（ｋｔ）を特定する領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とし、前記センサ基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）までの各位置（ｘ、ｙ）における距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれの表面形状を表すセンサ基準領域表面形状（ａｍ）のデータを生成するセンサ基準領域表面形状データ生成部（９）と、
前記センサ基準領域表面形状データ（ａｍｄ）における仮想的テーブル基準面からの距離を示すテーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータを生成するテーブル基準領域表面形状データ生成部と、
前記テーブル基準領域表面形状（ｔｍ）のデータにおいて代表とする値である、前記仮想的テーブル基準面の上面からの距離である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部と、
前記透明テーブル（２）の上面に設けられた反射部材（３６）と、を備えるとともに、
前記仮想的テーブル基準面は、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定したものである、または、前記反射部材（３６）の表面の前記センサ基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意の位置に移動させ設定したものである、
以上のように構成されたことを特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021012541A JP6903243B2 (ja) | 2020-09-07 | 2021-01-29 | 測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020149685A JP6868935B1 (ja) | 2020-09-07 | 2020-09-07 | 測定装置及び測定方法 |
| JP2021012541A JP6903243B2 (ja) | 2020-09-07 | 2021-01-29 | 測定装置及び測定方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020149685A Division JP6868935B1 (ja) | 2020-09-07 | 2020-09-07 | 測定装置及び測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021081438A true JP2021081438A (ja) | 2021-05-27 |
| JP6903243B2 JP6903243B2 (ja) | 2021-07-14 |
Family
ID=75964882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021012541A Active JP6903243B2 (ja) | 2020-09-07 | 2021-01-29 | 測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6903243B2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216200A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Cores:Kk | 端子平坦度測定装置及び端子平坦度測定方法 |
| JP2011007710A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Nikke Kikai Seisakusho:Kk | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
| JP2012078248A (ja) * | 2010-10-04 | 2012-04-19 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の検査方法 |
| JP2013040851A (ja) * | 2011-08-16 | 2013-02-28 | Ckd Corp | 基板検査装置 |
| JP2018028440A (ja) * | 2016-08-15 | 2018-02-22 | 株式会社 コアーズ | 平坦度測定装置 |
-
2021
- 2021-01-29 JP JP2021012541A patent/JP6903243B2/ja active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216200A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Cores:Kk | 端子平坦度測定装置及び端子平坦度測定方法 |
| JP2011007710A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Nikke Kikai Seisakusho:Kk | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
| JP2012078248A (ja) * | 2010-10-04 | 2012-04-19 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の検査方法 |
| JP2013040851A (ja) * | 2011-08-16 | 2013-02-28 | Ckd Corp | 基板検査装置 |
| JP2018028440A (ja) * | 2016-08-15 | 2018-02-22 | 株式会社 コアーズ | 平坦度測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6903243B2 (ja) | 2021-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8923603B2 (en) | Non-contact measurement apparatus and method | |
| KR20160028954A (ko) | 검사 방법 | |
| JP5385703B2 (ja) | 検査装置、検査方法および検査プログラム | |
| JP2002515124A (ja) | 三次元検査システム | |
| US9157874B2 (en) | System and method for automated x-ray inspection | |
| JP2016156746A (ja) | 線幅誤差取得方法、線幅誤差取得装置および検査システム | |
| JP6781963B1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
| JP6781969B1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
| JP6868935B1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
| JP6903243B2 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
| KR100926019B1 (ko) | 결함 입자 측정 장치 및 결함 입자 측정 방법 | |
| JP5772062B2 (ja) | 三次元形状計測装置、および三次元形状計測方法 | |
| JP6732680B2 (ja) | マップ作成方法、マスク検査方法およびマスク検査装置 | |
| US20180149846A1 (en) | Method and microscope for measuring and calculating heights on curved surface of microscope slide | |
| US20010022829A1 (en) | Method of setting a position of an object of measurement in layer thickness measurement by x-ray fluorescence | |
| JP6796348B1 (ja) | 形状検査装置及び形状検査方法 | |
| JP2006329807A (ja) | 画像処理方法およびこれを用いた装置 | |
| JP2022013913A (ja) | 基板用の配線計測システム及びその方法 | |
| JPH0615236A (ja) | メロンの外観品質評価装置 | |
| JP4760072B2 (ja) | Ｘ線検査装置及びｘ線検査方法 | |
| KR102082583B1 (ko) | 데이터 보정 장치, 묘화 장치, 배선 패턴 형성 시스템, 검사 장치, 데이터 보정 방법 및 배선 기판의 제조 방법 | |
| JP2022036078A (ja) | 測定装置 | |
| JP2002188912A (ja) | 平坦度測定装置 | |
| JP2000171241A (ja) | 平坦度測定方法 | |
| JP2021050948A (ja) | 測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210129 |
|
| A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20210428 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210511 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210512 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6903243 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |