JP2018028440A - 平坦度測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】上部面を平坦基準面としている透明板上部面に、該平坦基準面の位置を検出するための基準反射部材を設け、この基準反射部材にワーク等が当たらないようにした平坦度測定装置を提供する。
【解決手段】石英ガラス製板の透明体４からなる治具本体には、上下貫通四角開口形態のワークセット部２４が設けられている。治具本体には、該治具本体の下部を開口として非貫通の凹形態で設けられた、反射基準部材Ａ３、Ａ１２を治具本体の部位による覆い保護形態としている、反射基準部材Ａ３、Ａ１２にワークＷ等が接触しないように保護するための基準部材保護部Ｈ３、Ｈ９が設けられている。
【選択図】図２

Description

本発明は、上部面を平坦基準面とする透明板の下方から、該透明板上部面や上方に置かれたワークに光線を照射し、その反射光線の受光データによって前記ワークの前記基準面からの距離（浮き距離）を測定可能とした平坦度測定装置に関する。

従来技術として特許文献１の技術が知られている（符号は特許文献１のもの）。
この特許文献１の技術は、上部面を平坦基準面とする透明板の該平坦基準面である該上部面（被測定物搭載面）の一部分に、金属膜１０２をコーティングし固定して、該金属膜１０２の下部面を平坦基準点とし、該基準点を測定して基準面位置を特定し、特定した基準面位置からの透明板上のワーク（被測定物）の測定個所の浮き距離を測定する平坦度測定装置（レーザ式高さ測定装置）がしられている。（例えば特許文献１）

また、従来技術として特許文献２の技術が知られている。
特許文献２の技術は、天井プレートを透過性プレートとした加熱室内の底面ベース面ないしその上方に設けた載置面に、例えば、半田ボール面を上向きにしてＢＧＡ（Ball Grid Array）を載置し、前記透過性プレートの外側上方から３次元形状を取得するための例えば縞模様のレーザ光線を照射して、ＢＧＡの３次元形状を測定する平坦度測定装置が知られている。
特許文献２の発明では、縞模様測定光を照射して３次元形状を測定する、株式会社キーエンス製の画像処理システムＸＧ−８０００シリーズ（測定ヘッドはＸＲ−Ｓｅｒｉｅｓ、ＸＲ−ＨＴ４０ＭあるいはＸＲ−ＨＴ１５Ｍ）を使用している。

この特許文献２の技術は、加熱前に常温測定して、半田ボール有の常温時ボール有３次元形状データと、該常温時ボール有３次元形状データの半田ボール部分データを除いた常温時ボール無し３次元形状データを作成し、
次に、加熱温度を上昇させながら加熱時ボール有３次元形状データを作成し、
常温時ボール無し３次元形状データを平坦基準面データとして、該平坦基準面データからの加熱時ボール有３次元形状データの変化距離データ（挙動データ）を算出して、加熱温度によるＢＧＡの変形データを取得するというものでる。

特開平5-215524号公報 特開2015-148481号公報

上述した特許文献１の技術は、金属膜１０２を剥き出し露出形態で平坦基準面である該上部面（被測定物搭載面）の一か所にコーティングし固定形態としてなるものである。
剥き出し露出形態である金属膜１０２は、ワークが当たる等して該金属膜１０２の一部が剥がれてしまい、基準面にごみとなって残ることがあり、基準面を清掃しなければならないという欠点を有するものであった。
また、金属膜１０２が一か所での平坦基準点の測定であるため、平坦基準の線測定、平坦基準の面測定が行えないために、正確性、精密性、信頼性に欠けるという欠点を有するものである。

また、特許文献２の技術は、縞模様測定光を照射して３次元形状を測定であるので、透過性プレート面にストライプパターン（縞模様）は形成されず、よって、当該縞模様測定光によっては当該透過性プレート面の位置を測定することはできないものである。
そのため、常温時ボール無し３次元形状データを作成しそれを平坦基準面データとして、該平坦基準面データからのボール部分データの挙動データを得るというものである。

特許文献２の技術は、ワーク（ここでは「ＢＧＡ」）が上向きであること、常温時ボール無し３次元形状データ（ＢＧＡのパッケージ部位データ）を平坦基準面としているので、実際の実装時（実装基板の上に実装パーツが載置された状態）の挙動とは異なるデータとなるものであるという欠点を有するものであった。
すなわち、ＢＧＡの実際の実装形態は、実装基板の上にＢＧＡがその半田ボールを下にして、該実装基板上面に該半田ボールを当接した形態で載置されて加熱実装される。
よって、正確な実装時の挙動を測定するためには、実装基板の上部面からの半田ボールの挙動を測定する必要があり、よって、ＢＧＡがその半田ボールを下にして載置している測定装置のベース面からの挙動を測定する必要がある。
しかし、測定装置のベース面からの測定は該ベースを透過性としなければならないのであるが、３次元形状測定においては透過性のベース面に下方から縞模様測定光を照射した場合、ワークからのワーク反射光線は検出し測定することはできるが、透過性ベース面（透過性基準面）からのベース面反射光線は微弱であるため光線検出部で検出できないものである。

本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、上部面を平坦基準面としている透明板上部面に、該平坦基準面の位置を検出するための基準反射部材を設け、この基準反射部材にワーク等が当たらないようにした平坦度測定装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明は次に述べるような構成としている。
＜請求項１記載の発明＞
上部面を平坦基準面としている透明基準板と、
この透明基準板の上部面である透明基準板上部面に設けた、前記平坦基準面の位置を検出するための反射基準部材と、
前記透明基準板上部面に設けた、前記反射基準部材にワーク等が接触しないように保護するための基準部材保護部と、
前記透明基準板の下方に設けられた、該透明基準板の下方から前記透明基準板上部面にセットされたないし該前記透明基準板上部面の上方にセットされたワークおよび前記反射基準部材に向けて光線を照射する光線照射部、前記光線の前記反射基準部材からの基準反射光線および前記ワークからのワーク反射光線を受光する光線受光部とからなる光線検出部と、
前記基準反射光線から前記平坦基準面の位置データである基準データを演算する基準データ演算部と、
前記ワーク反射光線から前記ワークの位置データであるワークデータを演算するワーク位置演算部と、
前記基準データと前記ワークデータとから、前記平坦基準面からの前記ワークの距離である浮き距離を演算する浮き距離演算部と、とを備えてなることを特徴とする平坦度測定装置である。

＜請求項２記載の発明＞
透明体からなる治具本体と、この治具本体に上下貫通開口形態で設けられたワークセット部とからなる位置決め治具が前記透明基準板上部面に設けられ、
前記基準部材保護部が、前記治具本体の下部を開口として非貫通の凹形態ないし貫通孔形態で設けられた、前記反射基準部材を前記治具本体の部位による覆い保護形態ないし前記治具本体の部位による囲い保護形態としたものであることを特徴とする請求項１記載の平坦度測定装置である。

＜請求項３記載の発明＞
前記ワークセット部が四角開口形態であり、該ワークセット部の開口壁を該開口壁にワークを当てての位置決めセット可能とした位置決め壁とし、前記ワークセット部を少なくとも第１の測定エリア、第２の測定エリアに分け、前記反射基準部材が前記測定エリア毎に３か所以上設けられて、その三か所以上の反射基準部材の前記基準反射光線から位置データである前記基準データを面データとして特定することができ、
前記第１の測定エリアに第１のワークをセットし、前記第２の測定エリアに第２のワークをセットして、２以上のワークを測定できるようにしたことを特徴とする請求項２記載の平坦度測定装置である。

＜請求項４記載の発明＞
前記光線検出部が３次元形状を検出する３次元形状検出部であることを特徴とする請求項１，２又は３記載の平坦度測定装置である。

３次元形状を測定するための方法には、ライン状のレーザ光源を検査ワークに照射して、その反射光を高さデータ(プロファイル)として取得する「光切断法」、ワークとの距離は三角測量に基づいて測定（測定）し、検査時にはワークあるいは光源を移動させることで、検査ワーク全体の測定を行って３次元形状を取得する方法、または、ストライプパターン（縞模様）を投影しワークを面で測定を行い、３次元形状を取得するパターンプロジェクション法などがある。

以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
＜請求項１記載の発明の効果＞
反射基準部材が基準部材保護部によって、ワーク等が接触しないように保護されているため、ワーク等は基準部材保護部に当り保護されている反射基準部材に当たることがない、すなわち反射基準部材が削られたり損傷したりすることが生じない平坦度測定装置を実現するという効果を奏する。
「ワーク等が接触しないよう」の「ワーク等」とは、手や、ビンセットなどのワークつまみ手段などの他の部材も含まれということである。

＜請求項２記載の発明の効果＞
基準部材保護部が、透明基準板上部面に設けられた位置決め治具の治具本体に、下部を開口として非貫通の凹形態ないし貫通孔形態で設けられた、反射基準部材を囲い保護形態ないし覆い保護形態としたものであるので、このような構成としても請求項１記載の発明と同様な効果を奏する。
また、ワークセット部にワークを位置決めセットできるので、ワークのセットを素早く行え、セットが行いやすいという効果を奏する。

＜請求項３記載の発明の効果＞
請求項２記載の発明と同様な効果を奏するとともに、複数の測定エリアにワークを一緒にセットして、複数のワークを一緒に測定しそれぞれの測定データを得ることができるという効果を奏する。
当然に、異なる種類のワークを一緒にセットし一緒に測定することもできるという効果を奏する
また、各測定エリアに対応した反射基準部材が３か所以上ずつ設けられているので、各測定エリアの３か所の基準データを結んだ領域である面データ（以下「面基準データ」という）として演算・特定することができるとともに、測定エリア毎の面基準データを演算・特定して、各測定エリアの面基準データと各測定エリアのワークデータとから各ワークの浮き距離を演算することができるという効果を奏する。

＜請求項４記載の発明の効果＞
請求項１，２又は３記載の発明と同様な効果を奏するとともに、透明基準板の上部面である平坦基準面を反射基準部材によって、３次元形状測定でも検出できるとう効果を奏する。
これによって、実装基板上部面にワークが載置されての実装と同じ形態で、すなわち平坦基準面（実装基板上部面に該当）にワークが載置されての測定を実現しているので、実装時のワークの挙動と同様の挙動を実現し、その挙動変位を正確に測定できるという効果を奏する。

本発明の実施例１のカバーを開いた状態の側面図。 本発明の実施例１のカバーを閉じた状態の断面図。 本発明の実施例１の部分拡大断面部。 本発明の実施例１の部分平面図。 本発明の実施例１のワークを４つセットした状態の部分平面図。 本発明の実施例１のワークを２つセットした状態の部分平面図。 本発明の実施例１のワークを１つセットした状態の部分平面図。 本発明の実施例１の光線検出部の構成図。 本発明の実施例２の部分平面図。 本発明の実施例３の部分断面図。 本発明の実施例４の部分平面図および部分拡大図。

以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。

図１〜図８に示す本発明の実施例１において、平坦度測定装置１は次に述べるような構成となっている。
上下貫通形態の四角形の開口部２を有する断熱性のないし断熱性を持たされたベース３が設けられている。
このベース３の上部に開口部２を覆う形態で石英ガラスからなる両面に透過膜を施した透明体４が載置されている。
透明体４の上方に４か所の離間部材５によって隙間６を開けて、上部面を平坦基準面７としている石英ガラス製部材からなるとともに両面に透過膜が施されてなる透明基準板８が設けられている。
透明基準板８の上部面である透明基準板８上部面に平坦基準面７の位置を検出するための耐熱性の塗布材からなる反射基準部材Ａ１〜Ａ１６が刷毛塗り、吹付け、液置き又は液落とし等により塗布形態で設けられている、
透明基準板８の上部面には密着隙間無し形態（小ワークの微細脚が入る隙間が無い密着形態）で、石英ガラス製の透明体からなる位置決め治具９が設けられている。
透明体４の下方（透明基準板８の下方でもある）には、該透明体４の下方から透明基準板８上部面にセットされたないし該透明基準板８上部面の上方にセットされたワークＷおよび反射基準部材Ａ１〜Ａ１６に向けて光線Ｒａ、Ｒｂを照射する光線照射部１２ａ、１２ｂと、光線Ｒａ、Ｒｂの反射基準部材Ａ１〜Ａ１６からの基準反射光線ＫＲおよびワークＷからのワーク反射光線ＷＲを受光する光線受光部１３と、を備えてなるＸＹ方向に水平移動制御される光線検出部１４が設けられている。
ベース３、透明体４、透明基準板８、位置決め治具９および離間部材５は、測定範囲外に設けられた４つの締め付け部材１５によって一体化されている。
基準反射光線ＫＲから平坦基準面７の位置データである基準データを演算する基準データ演算部２８と、ワーク反射光線ＷＲからワークＷの位置データであるワークデータを演算するワーク位置演算部２９と、前記基準データと前記ワークデータとから、平坦基準面７からのワークＷの距離である浮き距離を演算する浮き距離演算部３０とが設けられている。

ベース３には一端をヒンジ部２１とした、起こし開閉形態としている断熱性のカバー１６が設けられ、このカバー１６とベース３とによって閉じられた加熱室１７を形成している。
カバー１６には加熱手段１８を有する加熱空気吹き入れ部１９が一方側に設けられ、その対抗側に排気口２０が設けられている。

加熱手段に変えて冷却手段を設け、冷気による低温変化を測定できるようにするのもよい。この場合、室は冷却室となる。
また、加熱手段と冷却手段の両方を設け、加熱と冷却の両方が測定できるようにするのもよい。

隙間６があることで、加熱時において透明体４の温度は透明基準板８温度よりも低くい温度となるので、光線検出部１４への温度の影響を小さくできる。
また、隙間６に熱風が流れることで透明基準板８は下部と上部の両側から加熱されることになり、ワークＷの下部の加熱温度をワークＷの上部の加熱温度と同じないし近似した加熱温度にできる。

位置決め治具９は次に述べるような構成となっている。
石英ガラス製板の透明体からなる治具本体２３には、上下貫通四角開口形態のワークセット部２４が設けられている。
治具本体２３には、該治具本体２３の下部を開口として非貫通の凹形態で設けられた、反射基準部材Ａ１〜Ａ１６を治具本体２３の部位による覆い保護形態としている、反射基準部材Ａ１〜Ａ１６にワークＷ等が接触しないように保護するための基準部材保護部Ｈ１〜Ｈ１２が設けられている。
治具本体２３は透明体であるので、照射される光線Ｒａ、Ｒｂは治具本体２３を透過して該治具本体２３からの反射は極めて小さく、よって光線受光部１３は治具本体２３を検出することはできない。

基準部材保護部は、貫通孔形態とした天井の無い治具本体２３の部位による囲い保護形態とするのもよい。

四角開口形態のワークセット部２４は、その開口壁を該開口壁にワークＷを当てての位置決めセット可能とした位置決め壁２５とされ、ワークセット部２４を第１の測定エリア２６ａ、第２の測定エリア２６ｂ、第３の測定エリア２６ｃ、第４の測定エリア２６ｄに分けた４つの測定エリアでの測定を可能とし、測定エリア毎に対応する反射基準部材が３か所以上設けられていて、その三か所以上の反射基準部材の基準反射光線から位置データである基準データを面データとして特定することができようになっている。
光線検出部１４は、それぞれの測定個所の測定できる位置に移動して測定を行う。

例えば図５に示すように、ワークの大きさが各測定エリアよりも小さい形態である場合は、第１の測定エリア２６ａ〜第４ワークエリア２６ｄにワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３、ワークＷ４を位置決め壁２５に当て置き形態でセットして測定する４個のワーク一緒測定が行える。
ワークは同じものでも、異なる種類のものでも一緒に測定できる。

具体的測定例（１）
光検出部１４は各測定個所に移動して測定ないし移動しながら測定。
（ａ）反射基準部材Ａ１、Ａ２を測定して第１−１基準位置を特定（第１−１基準位置データ作成）し、
（ｂ）反射基準部材Ａ３，４をＡ３として測定して第１−２基準位置を特定（第１−２基準位置データ作成）し、
（ｃ）Ａ１６，１５をＡ１６として測定して第１−３基準位置を特定（第１−３基準位置データ作成）し、
（ｄ）第１−１基準位置データ、第１−２基準位置データ、第１−３基準位置データから、第１−１基準位置、第１−２基準位置、第１−３基準位置を結ぶ３角形データを作成して該３角形データから、第１の測定エリア基準面位置である第１の測定エリア基準面データを作成し（基準面データは平均化された真っ平面データである平坦データである。）、
（ｅ）ワークＷ１を測定して該ワークＷ１の３次元形状データを作成し、
（ｆ）第１の測定エリア基準面データとワークＷ１の３次元形状データから、ワークＷ１の測定個所のそれぞれの第１の測定エリア基準面位置からの浮き距離を演算してワークＷ１の浮き距離データを作成する。
他の測定エリアおよびワークの測定および浮き距離データの作成も同様に行う。

具体的測定例（２）
光検出部１４は各測定個所に移動して測定ないし移動しながら測定する。
（ａ）先ず全ての反射基準部材Ａ１〜Ａ１６を測定して、該反射基準部材Ａ１〜Ａ１６の基準位置データを作成し、
（ｂ）反射基準部材Ａ１、Ａ２，Ａ３，Ａ１６の基準位置データから、第１の測定エリア基準面位置の第１の測定エリア基準面データを作成し、
（ｃ）反射基準部材Ａ４、Ａ５，Ａ６，Ａ７の基準位置データから、第２の測定エリア基準面位置の第２の測定エリア基準面データを作成し、
（ｄ）反射基準部材Ａ６、Ａ９，Ａ１０，Ａ１１の基準位置データから、第３の測定エリア基準面位置の第３の測定エリア基準面データを作成し、
（ｅ）反射基準部材Ａ１２、Ａ１３，Ａ１４，Ａ１５の基準位置データから、第４の測定エリア基準面位置の第４の測定エリア基準面データを作成し、
（ｆ）ワークＷ１を測定して該ワークＷ１の３次元形状データを作成し、第１の測定エリア基準面データとワークＷ１の３次元形状データから、ワークＷ１の測定個所のそれぞれの第１の測定エリア基準面位置からの浮き距離を演算してワークＷ１の浮き距離データを作成し、
（ｇ）ワークＷ２を測定して該ワークＷ２の３次元形状データを作成し、第２の測定エリア基準面データとワークＷ２の３次元形状データから、ワークＷ２の測定個所のそれぞれの第２の測定エリア基準面位置からの浮き距離を演算してワークＷ２の浮き距離データを作成し、
（ｈ）ワークＷ３を測定して該ワークＷ３の３次元形状データを作成し、第３の測定エリア基準面データとワークＷ３の３次元形状データから、ワークＷ３の測定個所のそれぞれの第３の測定エリア基準面位置からの浮き距離を演算してワークＷ３の浮き距離データを作成し、
（ｉ）ワークＷ４を測定して該ワークＷ４の３次元形状データを作成し、第４の測定エリア基準面データとワークＷ４の３次元形状データから、ワークＷ４の測定個所のそれぞれの第４の測定エリア基準面位置からの浮き距離を演算してワークＷ４の浮き距離データを作成する。

具体的測定例（３）
光検出部１４は移動せず停止箇所ないし固定個所から全測定か所を一回又は複数回の照射で測定する。
それぞれの反射基準部材の位置データから第１〜第４の測定エリア基準面データを作成し、ワークＷ１〜Ｗ４データを作成し、第１〜第４の測定エリア基準面データとワークＷ１〜Ｗ４データから各測定エリア基準面位置からの浮き距離を演算してワークＷ１〜Ｗ４の浮き距離データを作成する。

例えば、二つのワークの大きさが各測定エリアよりも小さい形態であり、一つのワークの大きさが二つの測定エリアに跨る大きさの形態である場合は、第１、第２の測定エリアにそれぞれ小さいワークをセットし、第３、第４の測定エリアに跨って大きいワークをセットしての、３個のワーク一緒測定が行える。

例えば図６に示すように、ワークの大きさが二つの測定エリアに跨る大きさの形態である場合は、第１の測定エリア２６ａおよび第２の測定エリア２６ｂにワークＷ５をセットし、第３の測定エリア２６ｃ、第４の測定エリア２６にワークＷ６セットして測定する２個のワーク一緒測定が行える。

例えば図７に示すように、全測定エリアに跨る大きさのワークＷ７の場合は、１ワーク測定となる。

光線検出部１４として、株式会社キーエンス製の「超高速・高容量マルチカメラ対応画像処理システムXG-8000シリーズXR-HT40MD」を使用している。
対象物（反射基準部材、ワーク等）に対して、左右２つのプロジェクター（：光線Ｒａ、Ｒｂ）から高速で投影される複数のストライプパターン（縞模様）を、ガラス（透明体４および透明基準板８）越しに中央のカメラ（光線受光部１３）で撮影して３次元形状データを得るものである。

本実施例では光線検出部として３次元形状測定装置（例えば３次元カメラ）を使用しているが光線検出部の形態はこれに限定されない。
２次元形状測定装置（例えば２次元レーザ変位計）、１次元測定装置（例えば１次元レーザ変位計）等でもよい。

図９に示す本発明の実施例２において前記実施例１と主に異なる点は、反射基準部材を中抜け四角形の帯状体からなる反射基準部材３５とし、反射基準部材３５を覆う基準部材保護部を四角形の帯凹体からなる基準部材保護部３６とした点にある。

図１０に示す本発明の実施例３において前記実施例１と主に異なる点は、反射基準部材を平坦基準面７上に置く形態の基準ブロックからなる反射基準部材３８とし、該反射基準部材３８の上部にスポンジ部材やゴム製部材などの反射基準部材３８よりも小さい幅の押付部材３９が設けられ、基準部材保護部Ｈ１〜Ｈ１２の天井に押付部材３９が押し付けられ、よって、反射基準部材３８の底面（基準面）が平坦基準面７上面に押し付けられる形態とした点にある。
反射基準部材３８は押付部材３９に接着され、押付部材３９は、基準部材保護部Ｈ１〜Ｈ１２の透明な天井に接着されている。よって、位置決め治具９を透明基準板８上に載置するだけで反射基準部材のセットおよび配置は完了する。

図１１に示す本発明の実施例４において前記実施例１と主に異なる点は、位置決め治具を四角形枠形態としてなる位置決め治具４０とし、反射基準部材Ａ１〜Ａ１６は露出した形態とし、位置決め治具４０の壁がワーク等が反射基準部材Ａ１〜Ａ１２に接触するのを防止する基準部材保護部とした点にある。
また、反射基準部材Ａ３，Ａ４、反射基準部材Ａ７、Ａ８、反射基準部材Ａ１１，Ａ１２、反射基準部材Ａ１５，Ａ１６を測定範囲分けせずに一つの測定範囲（測定エリア共通基準部材）にして、反射基準部材を反射基準部材Ａ１〜Ａ１２としている。

位置決め治具４０は耐熱性で透明（透過性）の接着剤で透明基準板８に接着固定されている。
石英ガラス等からなる透明耐熱性の、底部に透明凹部を有する駒部材からなる個別の基準部材保護部を、反射基準部材Ａ１〜Ａ１２の個々をそれぞれ覆うように設け、個別の基準部材保護部を耐熱性で透明の接着剤で透明基準板８に接着固定する形態もよい。

本発明は、主に電子部品、電子部品用コネクターを製造又は使用する産業で利用される。

Ａ１〜Ａ１６：反射基準部材、
Ｗ、Ｗ１〜Ｗ７：ワーク、
Ｒａ、Ｒｂ：光線、
ＫＲ：基準反射光線、
ＷＲ：ワーク反射光線、
Ｈ１〜Ｈ１２：基準部材保護部、
１：平坦度測定装置、
２：開口部、
３：ベース、
４：透明体、
５：離間部材、
６：隙間、
７：平坦基準面、
８：透明基準板、
９：位置決め治具、
１２ａ、１２ｂ：光線照射部、
１３：光線受光部、
１４：光線検出部、
１５：締め付け部材、
１６：カバー、
１７：加熱室、
１８：加熱手段、
１９：加熱空気吹き入れ部、
２０：排気口、
２１：ヒンジ部、
２３：治具本体、
２４：ワークセット部、
２５：位置決め壁、
２６ａ：第１の測定エリア、
２６ｂ：第２の測定エリア、
２６ｃ：第３の測定エリア、
２６ｄ：第４の測定エリア、
２８：基準データ演算部、
２９：ワーク位置演算部、
３０：浮き距離演算部、
３５：反射基準部材、
３６：基準部材保護部、
３８：反射基準部材、
３９：押付部材。

Claims (4)

1. 上部面を平坦基準面としている透明基準板と、
   この透明基準板の上部面である透明基準板上部面に設けた、前記平坦基準面の位置を検出するための反射基準部材と、
   前記透明基準板上部面に設けた、前記反射基準部材にワーク等が接触しないように保護するための基準部材保護部と、
   前記透明基準板の下方に設けられた、該透明基準板の下方から前記透明基準板上部面にセットされたないし該前記透明基準板上部面の上方にセットされたワークおよび前記反射基準部材に向けて光線を照射する光線照射部、前記光線の前記反射基準部材からの基準反射光線および前記ワークからのワーク反射光線を受光する光線受光部とからなる光線検出部と、
   前記基準反射光線から前記平坦基準面の位置データである基準データを演算する基準データ演算部と、
   前記ワーク反射光線から前記ワークの位置データであるワークデータを演算するワーク位置演算部と、
   前記基準データと前記ワークデータとから、前記平坦基準面からの前記ワークの距離である浮き距離を演算する浮き距離演算部と、とを備えてなることを特徴とする平坦度測定装置。
2. 透明体からなる治具本体と、この治具本体に上下貫通開口形態で設けられたワークセット部とからなる位置決め治具が前記透明基準板上部面に設けられ、
   前記基準部材保護部が、前記治具本体の下部を開口として非貫通の凹形態ないし貫通孔形態で設けられた、前記反射基準部材を前記治具本体の部位による覆い保護形態ないし前記治具本体の部位による囲い保護形態としたものであることを特徴とする請求項１記載の平坦度測定装置。
3. 前記ワークセット部が四角開口形態であり、該ワークセット部の開口壁を該開口壁にワークを当てての位置決めセット可能とした位置決め壁とし、前記ワークセット部を少なくとも第１の測定エリア、第２の測定エリアに分け、前記反射基準部材が前記測定エリア毎に３か所以上設けられて、その三か所以上の反射基準部材の前記基準反射光線から位置データである前記基準データを面データとして特定することができ、
   前記第１の測定エリアに第１のワークをセットし、前記第２の測定エリアに第２のワークをセットして、２以上のワークを測定できるようにしたことを特徴とする請求項２記載の平坦度測定装置。
4. 前記光線検出部が３次元形状を検出する３次元形状検出部であることを特徴とする請求項１，２又は３記載の平坦度測定装置。