JP2022036078A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1の測定装置は、少なくとも1方向に並ぶ複数の突起部を備える検査対象物を検査する検査装置であって、透明なテーブルの下方に光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、前記光パターンが照射された検査対象物(以下「測定対象物」という。)を前記テーブルの下面から撮影する撮像部が設けられ、テーブル上面に載置した測定対象物に向けて前記光パターンを照射し、その反射光を前記撮像部で撮影して測定対象物の表面を測定するともに、突起部を含む測定領域を特定し、特定した測定領域の代表値を決定する検査装置であって、
測定対象物が載置されていないテーブルの上面に同じ余弦波の縞模様を投影して画像を撮影(受光)し、試料面12a(検査対象物を設置するテーブル面(段落[0023]))の各座標位置(x、y)における位相θを示すデータを算出して、該位相θを示すデータを基準位相データとして予めコンピューターに記録させておき(段落[0044]参照)、
テーブルの上面に載置した複数の突起部を有する測定対象物の表面を撮像部で撮影し、該撮影された測定対象物の表面の画像を処理して、測定対象物の表面の各座標位置(x、y)における位相θをあらわす測定対象物位相データを生成し、
前記基準位相データと前記測定対象物位相データとの各座標位置(x、y)における位相差を計算し、その各座標位置(x、y)における位相差を示すデータに変換して、透明テーブルの上面から測定対象物の表面までの距離(高さ・浮き量)を示す表面形状データ(3次元形状をあらわすデータ)を生成し(段落[0043]、[0044]参照)、
前記表面形状データにおいて前記突起部のそれぞれを含む領域を特定し、特定された領域において透明テーブルの上面からの各座標位置(x、y)における距離の値の代表値を決定する測定装置である。
上述した特許文献1の発明は、複数の突起部を備える測定対象物(検査対象物)を迅速に測定(検査)することができる検査装置を提供することを発明の目的としているものである。
測定対象物の迅速な測定(検査)という目的を達成するために、
測定対象物が載置されていないテーブルの上面に同じ余弦波の縞模様を投影した場合の画像を予め撮影し、試料面12a(テーブル上面)の各座標位置(x、y)における位相θを示すデータを算出して、該位相θを示すデータを基準位相データ(テーブル基準面HT)として予めコンピューターに記録させておき(本願の図14のstep1参照)、
テーブルの上面に載置した複数の突起部を有する測定対象物の表面(正面である測定部側から見た該測定対象物の正面)を撮像部で撮影し、該撮影された測定対象物の表面の画像を処理して、測定対象物の表面の各座標位置(x、y)における位相θをあらわす測定対象物の位相データ(第1の基準面DTからの測定対象物の表面の高さ距離を示す表明形状データであるので、以下「第1の基準表面形状データ」という。)を生成し(図14のstep2参照、特許文献1の[0044]参照)、
前記基準位相データ(テーブル基準面HTを示すデータ)と前記測定対象物位相データとの各座標位置(x、y)における位相差を計算し、その各座標位置(x、y)における位相差を高さを示すデータに変換して、透明テーブルの上面(テーブル基準面HT)からの測定対象物の表面の距離(高さ・浮き量)を示す表面形状データ(以下「テーブル基準表面形状データ」という。)を生成し(図14のstep3参照)、
前記テーブル基準表面形状データにおけるXY平面において前記突起部のそれぞれを含む領域を特定し(このデータを、以下「テーブル基準各領域表面形状データ」という。)(図14のstep4参照)、
特定された領域においてテーブルの上面(テーブル基準面HT)からの各座標位置(x、y)における距離の値の代表値を決定する(図14のstep5参照)、
という構成としているものである。
図14のstep3に示すテーブル基準表面形状データ(特許文献1では「表面形状データ」)は、テーブルの上面から測定対象物の表面の各座標位置(x、y)における高さ距離によって、測定対象物の表面の3次元形状をあらわすデータでもある。
よって、特許文献1の発明は、
(1)図14の<step1>図参照
測定対象物の無い状態でテーブル上面を測定して、各座標位置(x、y)における、第1の基準面DTからのテーブル上面の高さ距離を示す表面形状データで表されるテーブル基準面HT(基準位相データ(段落[0044]))を生成し予め記録しておく、
(2)図14の<step2>図参照
各座標位置(x、y)おける、第1の基準面DTからの測定対象物の表面の高さ距離を示す表面形状データである第1の基準表面形状データを生成し、
(3)図14の<step3>図参照
第1の基準表面形状データの値からテーブル基準面HTの値を引き演算して、テーブルの上面から測定対象物の表面の各座標位置(x、y)における高さ距離によって表されるテーブル基準表面形状データを生成し、
(4)図14の<step4>図参照
テーブル基準表面形状データにおいて突起部のそれぞれを含む領域を特定し、テーブルの上面から測定対象物の表面の前記領域それぞれの各座標位置(x、y)における高さ距離によって表されるテーブル基準各領域表面形状データを生成し、
(5)図14の<step5>図参照
テーブル基準各領域表面形状データにおいて各領域の代表値を決定する、
という前記(1)~(5)の構成を、発明の目的を達成する中核的構成としているものであり、特にテーブル基準表面形状データの生成は、迅速な測定(検査)という発明の目的を達成するための核心的構成としているものである。
そして、テーブル基準表面形状データは、テーブルの上面の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離のデータ(各座標位置(x、y)における位相θを示すデータ)である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離のデータ(各座標位置(x、y)における位相θを示すデータ)である測定対象物位相データの値を減算して生成されるものである。
よって、テーブル基準表面形状データ(図14のstep3参照)は、テーブルの上面の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離値を減算することによって生成されるものである。
(1)テーブル基準表面形状データ(図14のstep3参照)は、テーブルの上面(テーブル基準面HT)の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離値を減算することによって生成するものであるため、その情報処理量が大きいという問題を有するものであった。
<<第1の発明>>
測定対象物(W)を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部(7)と、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成する第1の各領域表面形状データ生成部(15)と、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、前記第1の各領域表面形状データ(amd)の値から第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記第2の基準面(DB)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成する第2の各領域表面形状データ生成部(10)と、
前記第2の各領域表面形状データ(tmd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定する第2の代表値決定部(17)と、を備え、
前記第1の基準面(DT)は前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面であり、
前記第2の基準面(DB)は、前記反射部材の表面の前記第1の基準面(DT)からの距離にもとづいて前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。
測定対象物(W)を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部(7)と、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成する第1の各領域表面形状データ生成部(15)と、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第1の基準面(DT)からの距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定する第1の代表値決定部(30)と、
前記第1の代表値(G1)のデータの値から第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定する第2の代表値決定部(11)と、を備え、
前記第1の基準面(DT)は前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面であり、
前記第2の基準面(DB)は、前記反射部材の表面の前記第1の基準面(DT)からの距離にもとづいて前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。
測定対象物(W)を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部(7)と、
前記受光手段(5)で受光された前記測定対象物(W)の受光情報にもとづいて、第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成する第1の表面形状データ生成部(8)と、
前記第1の表面形状データ(asd)において、前記測定領域(kt)それぞれの、第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成する第1の各領域表面形状データ生成部(9)と、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、前記第1の各領域表面形状データ(amd)の値から第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記第2の基準面(DB)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成する第2の各領域表面形状データ生成部(10)と、
前記第2の各領域表面形状データ(tmd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定する第2の代表値決定部(11)と、を備え、
前記第1の基準面(DT)は前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面であり、
前記第2の基準面(DB)は、前記反射部材の表面の前記第1の基準面(DT)からの距離にもとづいて前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。
測定対象物(W)を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部(7)と、
前記受光手段(5)で受光された前記測定対象物(W)の受光情報にもとづいて、第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成する第1の表面形状データ生成部(8)と、
前記第1の表面形状データ(asd)において、前記測定領域(kt)それぞれの、第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成する第1の各領域表面形状データ生成部(9)と、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第1の基準面(DT)からの距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定する第1の代表値決定部(30)と、
前記第1の代表値(G1)のデータの値から第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定する第2の代表値決定部(31)と、を備え、
前記第1の基準面(DT)は前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面であり、
前記第2の基準面(DB)は、前記反射部材の表面の前記第1の基準面(DT)からの距離にもとづいて前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。
測定対象物(W)を載せる透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面を第1の基準面(DT)とし、
前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面を第2の基準面(DB)とし、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、前記第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成するステップと、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、前記第1の各領域表面形状データ(amd)の値から前記第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記第2の基準面(DB)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成するステップと、
前記第2の各領域表面形状データ(tmd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定するステップと、
を含む測定方法である。
測定対象物(W)を載せる透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面を第1の基準面(DT)とし、
前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面を第2の基準面(DB)とし、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、前記第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成するステップと、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第1の基準面(DT)からの距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定するステップと、
前記第1の代表値(G1)のデータの値から前記第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定するステップと、
を含む測定方法である。
測定対象物(W)を載せる透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、を備えた測定装置の測定方法であり、
前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面を第1の基準面(DT)とし、
前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面を第2の基準面(DB)とし、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記受光手段(5)で受光された前記測定対象物(W)の受光情報にもとづいて、前記第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成するステップと、
前記第1の表面形状データ(asd)において、前記測定領域(kt)それぞれの、前記第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成するステップと、
前記測定領域(kt)それぞれにおいて、前記第1の各領域表面形状データ(amd)の値から第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記第2の基準面(DB)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成するステップと、
前記第2の各領域表面形状データ(tmd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定するステップと、
を含む測定方法である。
測定対象物(W)を載せる透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記光照射手段(4)と前記受光手段(5)とを有する測定部(12)と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定部(12)側の基準位置ないし基準面を第1の基準面(DT)とし、
前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面を第2の基準面(DB)とし、
前記測定対象物(W)の測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記受光手段(5)で受光された前記測定対象物(W)の受光情報にもとづいて、前記第1の基準面(DT)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成するステップと、
前記第1の表面形状データ(asd)において、前記測定領域(kt)それぞれの、各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成するステップと、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第1の基準面(DT)からの距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定するステップと、
前記第1の代表値(G1)のデータの値から第2の基準面(DB)のデータの値を減算して、前記測定領域(kt)それぞれにおける、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定するステップと、
を含む測定方法である。
<<本願発明の共通する特徴>>
本発明の各発明に共通する事項は、それぞれの領域おける代表値を決定する処理構成は、特許文献1の発明における表面形状データ(「テーブル基準表面形状データ」(本願の図14のstep3参照))の生成及び使用を行わない(本願の図15の対比図参照)ことを特徴とするものである。
前記「<特許文献1の中核的構成>」で述べたように、特許文献1の発明は、テーブル上面の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離のデータ(各座標位置(x、y)における位相θを示すデータを含む)である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離を示すデータである測定対象物位相データの値を差し引く減算によるテーブル基準表面形状データ(特許文献1においては「表面形状データ」)の生成及び使用を、発明の目的を達成する中核的構成としているものである。
しかるに、本願の発明は、代表値を決定する処理構成において、特許文献1の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データ(特許文献1においては「表面形状データ」)という処理構成の無いものである。
そうすると、本願発明は、特許文献1の発明の中核的構成を否定していると言えるものであり、であるなら、特許文献1には本願の各発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。
第1の各領域表面形状データ生成部(15)で、測定対象物(W)の表面の測定を測定領域(kt)のみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域(kt)それぞれのみの測定データである第1の各領域表面形状データ(amd)を生成し、
第2の各領域表面形状データ生成部(10)で、第1の各領域表面形状データ(amd)の値から第2の基準面(DB)(反射部材の表面の位置データにもとづいて、テーブル(2)の上面位置近傍に設定され基準面)のデータの値を差し引く減算によって、測定領域(kt)それぞれのみのデータである第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成する。
よって、本願の第1の発明は、測定領域(kt)それぞれのみの測定データである第1の各領域表面形状データ(amd)から測定領域(kt)それぞれのみのデータである第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成するものである。
第1の各領域表面形状データ(amd)は、測定領域(kt)それぞれの、第1の基準面(DT)からの測定対象物の表面の各座標位置(x、y)における距離を示すデータである。
第2の各領域表面形状データ(tmd)は、測定領域(kt)それぞれの、第2の基準面(DB)からの測定対象物の表面の各座標位置(x、y)における距離を示すデータである。
よって、第1の発明における第2の各領域表面形状データ(tmd)は、特許文献1の発明の第2の基準各領域表面形状データに相当するものである。(但し、第2の基準面(DB)は特許文献1の「表面形状データ」ではない。)
であるから、本願の第1の発明は、特許文献1の発明における、テーブルの上面の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離値を減算することによって生成するテーブル基準表面形状データ(特許文献1においては「表面形状データ」)を生成も使用もすることなく、特許文献1の第2の基準各領域表面形状データに相当する第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成するものであるから、測定領域(kt)それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その情報量及び情報処理量が少なくなるという作用効果を奏するものである。
第1の各領域表面形状データ生成部(15)で、測定対象物(W)の表面の測定を測定領域(kt)のみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域(kt)それぞれの測定データである第1の各領域表面形状データ(amd)を生成し、
第1の代表値決定部(30)で、第1の各領域表面形状データ(amd)において、測定領域(kt)それぞれにおける第1の基準面(DT)からの距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定し、
測定領域(kt)それぞれにおける第1の代表値(G1)の値から第2の基準面(DB)の値を減算することで、測定領域(kt)それぞれにおける第2の代表値(G2)を決定するものである。
よって、本願の第2の発明は、特許文献1の発明のテーブル基準各領域表面形状データに相当するデータの生成は無く、テーブル基準各領域表面形状データにおける領域特定処理によるテーブル基準各領域表面形状データの生成は無く、テーブル基準各領域表面形状データにおける第2の代表値の決定という構成もないものである。
よって、テーブルの上面の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離値を減算することによって生成する全域データであるテーブル基準表面形状データを生成する特許文献1の発明と対比して、第1の各領域表面形状データ(amd)において、測定領域(kt)それぞれにおける、第1の基準面(DT)からの距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定し、第1の代表値(G1)の値からから第2の基準面(DB)の値を減算することで第2の代表値(G2)を決定する本願の第2の発明は、測定領域(kt)それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その情報量及び情報処理量が少ないという作用効果を奏し、よって迅速な処理を実現するものである。
しかるに、本願の第2の発明は、特許文献1の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データの生成という処理構成が無い、すなわち、かかる中核的構成を否定する構成であるものである。
そうであるなら、特許文献1には本願の第2の発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。
本願の第3の発明は、
第1の表面形状データ生成部(8)で、測定対象物(W)の表面の第1の基準面(DT)からの各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成し、
第1の各領域表面形状データ生成部(9)で、第1の表面形状データ(asd)において、測定対象物(W)の測定する領域である測定領域(kt)を特定して、測定領域(kt)それぞれの、各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成し、
第2の各領域表面形状データ生成部(10)で、第1の各領域表面形状データ(amd)において、前記測定領域(kt)それぞれにおける、第2の基準面(DB)からの測定対象物(W)の表面の距離を示す第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成し、
第2の代表値決定部(11)で、第2の各領域表面形状データ(tmd)の測定領域(kt)それぞれにおける、第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定する、という構成である。
特許文献1におけるテーブル基準表面形状データは、テーブルの上面の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離のデータ(各座標位置(x、y)における位相θを示すデータ)である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離のデータ(各座標位置(x、y)における位相θを示すデータ)である測定対象物位相データの値を減算して生成されるものである。
すなわち、本願の第3の発明は、特許文献1の発明における大きな情報量であるテーブル基準表面形状データの生成も使用もないものであるので、測定領域(kt)それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その処理情報量は小さく、よって、迅速な処理を可能としている。
しかるに、本願の第3の発明は、特許文献1の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データの生成という処理構成が無い、すなわち、かかる中核的構成を否定する構成であるものである。
そうであるなら、特許文献1には本願の第2の発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。
本願の第4の発明は、
第1の表面形状データ生成部(8)で、第1の基準面(DT)からの測定対象物(W)の表面の距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成し、
第1の各領域表面形状データ生成部(9)で、第1の表面形状データ(asd)において、測定対象物(W)の測定する領域である測定領域(kt)を特定して、測定領域(kt)それぞれの、各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データ(amd)を生成し、
第1の代表値決定部(30)で、第1の各領域表面形状データ(amd)において、第1の基準面(DT)からの測定領域(kt)それぞれの距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定し、
第2の代表値決定部(31)で、第1の代表値(G1)において、測定領域(kt)それぞれにおける、第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値(G2)を決定する、という構成である。
特許文献1におけるテーブル基準表面形状データは、テーブルの上面の測定域の全域(試料面12a)の各座標位置(x、y)における距離のデータ(各座標位置(x、y)における位相θを示すデータ)である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置(x、y)における距離のデータ(各座標位置(x、y)における位相θを示すデータ)である測定対象物位相データの値を減算して生成されるものである。
すなわち、本願の第3の発明は、特許文献1の発明における大きな情報量であるテーブル基準表面形状データの生成も使用もないものであるので、測定領域(kt)それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その処理情報量は小さく、よって、迅速な処理を可能としている。
しかるに、本願の第4の発明は、特許文献1の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データ(特許文献1においては「表面形状データ」)の生成という処理構成が無い、すなわち、かかる中核的構成を否定する構成であるものである。
そうであるなら、特許文献1には本願の第4の発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。
前記第1の発明と同様の作用効果を奏する。
前記第2の発明と同様の作用効果を奏する。
前記第3の発明と同様の作用効果を奏する。
前記第4の発明と同様の作用効果を奏する。
前記第4の発明と同様の作用効果を奏する。
<定義>
Z軸とは、下方に位置する測定部から上方に位置する透明テーブルに向かう直線軸のことである。
X軸とは、Z軸に直角な平面上の横向き軸のことである。
Y軸とは、Z軸に直角な平面上の縦向きの軸のことであり、かつ、X軸と前記平面上で直交する軸である。
XY平面とは、Z軸に直角に直交するX軸、Y軸を含む平面のことである。
高さ距離とは、Z軸方向の距離のことである。
各座標位置(x、y)は、XY平面における各測定位置のことである。
下部側又は側部側に複数の突起部wtを有する測定対象物Wを載せる透明なテーブル2と、
テーブル2の下方に設けられた、テーブル2の上面に載せられた測定対象物Wに向けて、テーブル2の下方から照射光3を照射する光照射手段4と、
テーブル2の下方に設けられた、測定対象物Wからの照射光3の反射光をテーブル2の下方で受光する受光手段5と、
光照射手段4と受光手段5とを有する測定部12と、
テーブル2の上面の測定対象物Wの設置域の外側に設けられた反射部材36と(ここでは、セラミックス系塗料を塗布し接着されたものであるが、反射体を載せ置いたもの等でもよい。)、
制御部21と、を備え、
制御部21は、
測定部12側の基準位置ないし基準面を第1の基準面DTとし、
前記テーブル2の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面を第2の基準面(DB)とし、
測定対象物Wの表面の測定する領域を測定領域ktとし、
受光手段5で受光された測定対象物Wの測定対象物受光情報wGにもとづいて、測定対象物Wの表面の第1の基準面DTからの各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データasdを生成する第1の表面形状データ生成部8と、
第1の表面形状データasdにおいて、測定領域ktそれぞれの各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データamdを生成する第1の各領域表面形状データ生成部9と、
第1の各領域表面形状データamdにおいて、第2の基準面DBからの測定対象物Wの表面の距離を示す第2の各領域表面形状データtmdを生成する第2の各領域表面形状データ生成部10と、
第2の各領域表面形状データtmdにおいて、測定領域ktそれぞれにおける、第2の基準面DBからの距離を示す値の代表値である第2の代表値G2を決定する第2の代表値決定部11と、
第2の代表値G2の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部19と、を備えた構成である。
受光手段5は、CMOSイメージセンサ又はCCDイメージセンサとするのがよい。
測定手法は、光切断法又は位相シフト法がよい。
但し、光照射手段、受光手段、測定手法は、上記のものに限定されるものではない。
第2の基準面DBは、本実施例1においては、テーブル2の上面に設けた反射部材36の表面を受光手段5で撮影(受光)し、任意の3か所の領域を特定し、その3か所の領域の代表値点(最も短い距離位置点、最も長い距離位置点又は各座標位置(x、y)における距離の平均値点を領域の中央点とする等)を決定し、該3か所の代表値点を結ぶ平面を第2の基準面DBとして、必要に応じて、所定の距離だけ上下移動させて、又は、オペレータの位置決め操作ないし自動位置決め操作によって上下移動させて、テーブル2の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に第2の基準面DBの設定を行う。
(1)例えば、テーブル2の上面位置そのものを測定し第2の基準面DBとして設定したもの、
(2)例えば、テーブル2の上面に突起部wtを下向きにして載置されている測定対象物Wの、該突起部wtの内で第1の基準面DTからの距離が最も短い位置の、例えば3点を特定し該3点を結ぶ平面を第2の基準面DBとして設定したもの、例えば2点を特定して該2点を結ぶ平面を第2の基準面DBとして設定したもの、例えば1点を特定し該1点位置をテーブル2の上面又は第1の基準面DTと平行な面に広げた平面を第2の基準面DBとして設定したもの、
(3)例えば、テーブル2の上面又は下面(ここでは上面)に設けた反射部材36の表面を受光手段5で撮影(受光)し、例えば任意の3か所の領域を特定し、その3か所の領域の代表値点(最も短い距離位置点、最も長い距離位置点又は各座標位置(x、y)における距離の平均値点を領域の中央点とする等)を決定し、該3か所の代表値点を結ぶ平面を第2の基準面DBとして設定したもの、
例えば、4点以上を特定して、それらの点から最小二乗法か擬似逆行列を使って平面を求めるもの、
例えば、2点を特定して、該2点を結ぶ平面を第2の基準面DBとして設定したもの、
例えば、1点を特定して、該1点位置をテーブル2の上面又は第1の基準面DTと平行な面に広げた平面を第2の基準面DBとして設定したもの、
(4)例えば、第1の基準面DTと平行な基準面をテーブルの上面の近傍に設定して第2の基準面DBとする、などなどがある。
(1) 測定領域ktの特定は、測定対象物輝度情報wmdで表される濃淡画像nGのXY平面画像を、ディスプレイ33に表示し、マウス等の操作により測定域を枠等で囲い指定し、該枠を測定領域ktとして特定するのがよい。
測定対象物輝度情報wmdの取得や生成、濃淡画像nGの生成、測定領域ktの特定は、それぞれが、測定対象物Wの測定走査前でも測定走査後でもよいし、第1の表面形状データasdの生成の前でも生成の後でもよい。第1の表面形状データasdにおいて、測定領域ktそれぞれの、各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データamが生成されるものは、前記事項の生成時期や取得時期の如何を問わず全て本発明の技術的範囲である。
(2) また、測定対象物Wの表面のCADデータに基づいて、測定領域ktの特定をするのもよい。この場合も、前記(1)と同様に、測定領域ktの特定の時期はいつでもよく、第1の表面形状データasdにおいて、測定領域ktそれぞれの、各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データamが生成されるものは、前記事項の生成時期や取得時期の如何を問わず全て本発明の技術的範囲である。
処理ステップを主に図1、図3を参照して説明する。
step1<測定開始>
step2<距離情報と輝度情報の取得>
測定部12による測定域走査で取得した反射部材受光情報fGと測定対象物受光情報wGには、測定対象物Wと反射部材36の高さ距離情報、各座標位置(x、y)情報及び輝度情報が含まれ、それぞれ記憶される。
(a1)反射部材表面形状データ生成部22において、反射部材受光情報fGにもとづいて、第1の基準面DTからの各反射部材36の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す反射部材表面形状データfsdが生成され、反射部材表面形状データ記憶部50に記憶される。
(a2)反射部材輝度情報生成部23において、反射部材受光情報fGにもとづいて、各反射部材36の輝度情報である反射部材輝度情報umd(各反射部材36の表面の各座標位置(x、y)における輝度情報)が生成され、反射部材輝度情報記憶部51に記憶される。
(b1)第1の表面形状データ生成部8において測定対象物受光情報wGにもとづいて、測定対象物Wの距離情報(第1の基準面DTからの測定対象物Wの表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データasd)が生成され、第1の表面形状データ記憶部52に記憶される。
(b2)測定対象物受光情報wGにもとづいて、測定対象物Wの輝度情報である測定対象物輝度情報wmd(測定対象物Wの表面の各座標位置(x、y)における輝度情報)は、測定対象物輝度情報記憶部53に記憶される。
反射部材36が複数ある場合について述べているが、反射部材36は、一つの囲い枠形で測定域の外周を囲う形態とするのもよい。
反射部材表面形状データfsd、反射部材輝度情報umd、第1の表面形状データasd、測定対象物輝度情報wmdが取得されると、自動的にディスプレイ33(モニター)に、(1)反射部材輝度情報umdによる反射部材濃淡画像のXY平面画像と反射部材表面形状データfsdのXY平面画像との重なった形態が、測定部12側から見た形態(Z軸方向から見た平面であるXY平面で表された反射部材輝度情報umdと反射部材表面形状データfsd、図面でいうところの底面図)で表示され、(2)測定対象物輝度情報wmdによる測定対象物濃淡画像と第1の表面形状データasdとの重なった形態が、測定部12側(正面)から見た形態(Z軸方向から見たXY平面で表された測定対象物輝度情報wmdと第1の表面形状データasd、ディスプレイへの表示は図面でいうところの測定部12側(正面)から見た測定対象物側の正面図)で表示される。
ディスプレイ33に表示されている反射部材輝度情報umdによる反射部材濃淡画像のXY平面画像、及び、測定対象物輝度情報wmdによる測定対象物濃淡画像のXY平面画像において、例えば、マウスポインターの操作によって、(1)反射部材濃淡画像の適宜な位置の3か所をそれぞれ囲い枠(例えば、サイズが変更自在でコピー・ペーストが可能な四角形の囲い枠)で囲う形態で反射部材領域ftを指定し、(2)測定対象物濃淡画面の突起部wtのそれぞれを囲い枠(例えば、サイズが変更自在でコピー・ペーストが可能な四角形の囲い枠)で囲う形態で測定領域ktを指定する。
表示されている実行ボタン(図示せず省略)をクリックする。
反射部材領域特定部37は、指定された反射部材領域ftのデータである反射部材領域データftdを特定し記憶する。このとき、反射部材表面形状データfsdにおいて反射部材領域ftが位置した状態とされる。
測定領域特定部7は、指定された測定領域ktを特定しそのデータである測定領域データktdを記憶する。このとき、第1の表面形状データasdにおいて測定領域ktが位置した状態とされる。
例えば、測定対象物輝度情報wmdと第1の表面形状データasdを得るための測定は、それぞれ別測定走査(一緒ではない測定走査)で行われるのもよい。例えば、1回目の測定走査で、測定対象物Wの表面の輝度測定を行い、その輝度情報で表される濃淡画像のXY平面をディスプレイに表示して測定領域ktを枠で指定し(特定し)記憶する。2回目の測定走査で、測定対象物Wの高さ距離測定を行い(輝度測定は行わない)、第1の表面形状データasdの生成を行う。
例えば、測定対象物WのCADデータから測定領域ktを取得したデータを、例えば、予め記憶しておくものもよい。
1回目の測定走査が終了すると自動的に2回目の測定走査が行われる。
また、受光手段5とは異なるカメラ等で撮影した濃淡画像を使用するのもよいし、該濃淡画像において取得した測定領域ktを、例えば、予め記憶しておくのもよい。
ディスプレイ33に表示されている例えば「第2の基準面設定ボタン」をクリックして第2の基準面DBの設定を指示する。
第2の基準面の設定が指示されると、第2の基準面設定部40において3か所のそれぞれの反射部材領域ftの代表値点が決定され、3の代表値点を結ぶ平面からなる第2の基準面DBが生成される。必要に応じて、ディスプレイ33の画面上で第2の基準面DBの上下移動操作を行って位置を決定し設定を完了する。設定された第2の基準面DBのデータである第2の基準面データDBdは第2の基準面データ記憶部14に記憶される。
ディスプレイ33に表示されている例えば「各領域データ生成ボタン」をクリックして第1の各領域表面形状データamdの生成を指示する。
このとき既に、第1の表面形状データasdにおいて、第1の表面形状データasdに既に位置されている測定領域ktによって測定領域ktが特定されている。
生成が指示されると、第1の各領域表面形状データ生成部9において、測定領域ktそれぞれの各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データamdが生成され、第1の各領域表面形状データ記憶部55に記憶される。
第1の各領域表面形状データamdが生成されると、自動的に、第2の各領域表面形状データ生成部10において、第1の各領域表面形状データamdにおいて、第2の基準面DBからの測定対象物Wの表面の距離を示す第2の各領域表面形状データtmdが生成され、第2の各領域表面形状データ記憶部56に記憶される。
第2の各領域表面形状データtmdが生成されると、自動的に、第2の代表値決定部11において、第2の各領域表面形状データtmdにおいて、測定領域ktそれぞれにおける、第2の基準面DBからの距離を示す値の代表値である第2の代表値G2を決定し、そのデータである第2の代表値データG2dを第2の代表値記憶部57に記憶する。
第2の代表値データG2dが生成されると、自動的ないないし手動操作によって、判定部19において、第2の代表値G2の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定して、そのデータである判定データjudを判定データ記憶部58に記憶する。
また、測定領域ktが測定対象物Wの測定以前に予め記憶されている場合は、反射部材領域ftの指定操作以外は、自動的に処理されるようにしてもよい。
また、第2の基準面DBが測定前に予め記憶されており、かつ、測定領域ktが測定以前に予め記憶されている場合は、測定開始をすると全てのstepが自動的に実行処理されるようにしてもよい。
<位相シフト法の測定部例>
例えば、位相シフト法を測定手法とした、左右2つのプロジェクタからなる照射部とその中央に設けたカメラ(受光部・光検出部)を備えた測定部とコントローラからなる測定システム(株式会社キーエンス製「XG-8000シリーズXR-HT40MD」)が提供されている。これは、試料に対して、左右2つのプロジェクタから高速で投影される複数のストライプパターン(縞模様)を、中央のカメラ(光検出部・受光部)で撮影(受光)して、測定部側の基準位置から試料の表面までの各座標位置(x、y)の高さ距離を測定取得し、該各座標位置(x、y)の高さで表される3次元形状データを得ることができる。
<光切断法の測定部例>
例えば、光切断法を測定手法とした、株式会社キーエンス製の「LJ-V7000シリーズ」の測定部とコントローラからなる測定システムがある。光切断法は、ライン状の切断面の形状(プロファイル)を取得する方法であるため、試料に対して、光切断を行う切断位置を一方向に連続的に変化させて連続的にプロファイル(ライン状の切断面の形状)を取得し、得られたプロファイルを合成することで距離画像を取得する。照射光は405nmの青紫色レーザ光線である。
<共焦点方式の測定部例>
例えば、共焦点方式を測定手法とした、株式会社キーエンス製の「CL-3000シリーズLT-9000 シリーズ」」の測定部とコントローラからなる測定システムがある。これは、投光(照射)と受光が同軸になるように配置し、試料にピントが合った光のみがピンホール上で一点に集光されるように設計され、波長ごとに集光位置が異なる光を対象物に照射し、受光スペクトルから波長焦点位置を検出することで、対象物の高さ距離を測定する。
以上述べた測定システム例は一例であって、複数の企業から多様な測定部およびコントローラからなる測定システムが提供されている。
前記実施例1とは、step1~step7、step10は同じであり(よって説明を省略する)、主に異なる点は、step8、9を以下のようにした点にある。
第1の各領域表面形状データamdが生成されると、自動的に、第1の代表値決定部30において、第1の各領域表面形状データamdにおいて第1の基準面DTからの測定領域ktそれぞれの距離を示す値の代表値である第1の代表値G1を決定し、そのデータである第1の代表値データG1dを第1の代表値データ記憶部58に記憶する。
第1の代表値G1が決定されると、自動的に、第2の代表値決定部31において、第1の代表値G1において、第2の基準面DBからの距離を示す値の代表値である第2の代表値G2を決定し、そのデータである第2の代表値データG2dを第2の代表値記憶部57に記憶する。
下部側又は側面側に複数の突起部wtを有する測定対象物Wを載せる透明なテーブル2と、
テーブル2の下方に設けられた、テーブル2の上面に載せられた測定対象物Wに向けて、テーブル2の下方から照射光3を照射する光照射手段4と、
テーブル2の下方に設けられた、測定対象物Wからの照射光3の反射光をテーブル2の下方で受光する受光手段5と、
光照射手段4と受光手段5とを有する測定部12と、
テーブル2の上面の測定対象物Wの設置域の外側に設けられた反射部材36と(ここでは、セラミックス系塗料を塗布し接着されたものでるが、反射体を載せ置いたもの等でもよい。)、
制御部21と、を備え、
制御部21は、
測定部12側の基準位置ないし基準面を第1の基準面DTとし、
前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に設定した基準位置ないし基準面を第2の基準面(DB)とし、
(上記構成は実施例1と同様であり、また、第2の基準面DBは、実施例1と同様であるので説明を省略する。)
測定対象物Wの表面の濃淡画像又は該測定対象物WのCADデータに基づいて、測定対象物Wの表面の測定する測定領域ktを特定する又は予め特定しておく測定領域特定部7と、
測定対象物Wの表面の測定を測定領域ktのみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域ktそれぞれの、XY平面における各座標位置(x、y)における(XY平面の各座標位置(x、y)における)、第1の基準面DTからの測定対象物Wの表面の距離を示す第1の各領域表面形状データamdを生成する第1の各領域表面形状データ生成部15と、
第1の各領域表面形状データamdの値から第2の基準面DBのデータの値を減算して、測定領域ktそれぞれの第2の基準面DBからの測定対象物Wの表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第2の各領域表面形状データtmdを生成する第2の各領域表面形状データ生成部10と、
第2の各領域表面形状データtmdにおいて、測定領域ktそれぞれにおける、第2の基準面DBからの距離を示す値の代表値である第2の代表値G2を決定する第2の代表値決定部17と、
第2の代表値G2の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部19と、を備えた構成である。
測定領域特定部7は、測定対象物Wの表面の濃淡画像又は該測定対象物WのCADデータに基づいて、測定する測定領域ktを予め特定し、そのデータである測定領域データktdを記憶する。
第2の基準面DBを予め設定し、そのデータである第2の基準面データDBdを第2の基準面データ記憶部14に記憶しておく。
step4<測定領域ktの領域のみ距離情報の取得>
第1の各領域表面形状データ生成部15において、測定対象物Wの表面の測定を測定領域ktのみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域ktそれぞれの第1の基準面DTからの測定対象物Wの表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の各領域表面形状データamdを生成し、第1の各領域表面形状データ記憶部55に記憶される。
第1の各領域表面形状データamdが生成されると、第2の各領域表面形状データ生成部10において、第1の各領域表面形状データamdの値から第2の基準面DBのデータの値を減算して、測定領域ktそれぞれの第2の基準面DBからの測定対象物Wの表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第2の各領域表面形状データtmdが生成され、第2の各領域表面形状データ記憶部56に記憶される。
第2の各領域表面形状データtmdが生成されると、自動的に、第2の代表値決定部11において、第2の各領域表面形状データtmdにおいて、測定領域ktそれぞれにおける、第2の基準面DBからの距離を示す値の代表値である第2の代表値G2を決定し、そのデータである第2の代表値データG2dを第2の代表値記憶部57に記憶する。
第2の代表値データG2dが生成されると、自動的ないないし手動操作によって、判定部19において、第2の代表値G2の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定して、そのデータである判定データjudを判定データ記憶部58に記憶する。
前記実施例3とは、step1~step4、step7は同じであり(よって説明を省略する)、主に異なる点は、step5、6を以下のようにした点にある。
step4において第1の各領域表面形状データamdが生成されると、第1の代表値決定部30において、第1の各領域表面形状データamdにおいて、第1の基準面DTからの測定領域ktそれぞれにおける距離を示す値の代表値である第1の代表値G1を決定し、そのデータである第1の代表値データG1dを第1の代表値データ記憶部58に記憶する。
第1の代表値G1が決定されると、第2の代表値決定部11において、第1の代表値(G1)において、第2の基準面DBからの距離を示す値の代表値である第2の代表値G2を決定し、そのデータである第2の代表値データG2dを第2の代表値記憶部57に記憶する。
W:測定対象物、
wG:測定対象物受光情報、
asd:第1の表面形状データ、
wmd:測定対象物輝度情報、
kt:測定領域、
ktd:測定領域データ、
amd:第1の各領域表面形状データ、
tmd:第2の各領域表面形状データ、
G2:第2の代表値、
G2d:第2の代表値データ,
G1:第1の代表値、
G1d:第1の代表値データ、
DB:第2の基準面、
DBd:第2の基準面データ、
nG:濃淡画像、
DT:第1の基準面、
fG:反射部材受光情報、
fsd:反射部材表面形状データ、
umd:反射部材輝度情報、
ft:反射部材領域、
ftd:反射部材領域データ、
jud:判定データ、
1:測定装置、
2:テーブル、
3:照射光、
4:光照射手段、
5:受光手段、
7:測定領域特定部、
8:第1の表面形状データ生成部、
9:第1の各領域表面形状データ生成部、
10:第2の各領域表面形状データ生成部、
11:第2の代表値決定部、
12:測定部、
14:第2の基準面データ記憶部、
15:第1の各領域表面形状データ生成部、
17:第2の代表値決定部、
18:測定装置、
19:判定部、
21:制御部、
22:反射部材表面形状データ生成部、
23:反射部材輝度情報生成部、
26:測定装置、
27:測定装置、
30:第1の代表値決定部、
31:第2の代表値決定部、
33:ディスプレイ、
36:反射部材、
37:反射部材領域特定部、
40:第2の基準面設定部、
50:反射部材表面形状データ記憶部、
51:反射部材輝度情報記憶部、
52:第1の表面形状データ記憶部、
53:測定対象物輝度情報記憶部、
55:第1の各領域表面形状データ記憶部、
56:第2の各領域表面形状データ記憶部、
57:第2の代表値記憶部、
58:第1の代表値データ記憶部。
Claims (6)
- 測定対象物(W)を載せる透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記測定対象物(W)の測定する領域である測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておく測定対象物領域特定部(7)と、
前記測定領域(kt)の各座標位置(x、y)における距離を示すデータである第1の各領域表面形状データ(amd)を生成する第1の各領域表面形状データ生成部と、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)の値から第2の基準面(DB)のデータの値を差し引く減算によって、前記測定領域(kt)の前記第2の基準面(DB)からの前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示すデータである第2の各領域表面形状データ(tmd)を生成する第2の各領域表面形状データ生成部(10)と、
前記第2の各領域表面形状データ(tmd)において、前記測定領域(kt)における、前記第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値を決定する第2の代表値決定部と、を備え、
前記第2の基準面(DB)は、前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含む上面位置近傍に設定された基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置。 - 前記受光手段(5)で受光された前記測定対象物(W)の測定対象物受光情報(wG)にもとづいて、前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成する第1の表面形状データ生成部が設けられ、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)は、前記第1の表面形状データ(asd)において前記測定領域(kt)を特定して生成されるものであることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 測定対象物(W)を載せる透明なテーブル(2)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記テーブル(2)の上面に載せられた前記測定対象物(W)に向けて、前記テーブル(2)の下方から照射光(3)を照射する光照射手段(4)と、
前記テーブル(2)の下方に設けられた、前記測定対象物(W)からの前記照射光(3)の反射光を前記テーブル(2)の下方で受光する受光手段(5)と、
前記測定対象物(W)の測定する領域である測定領域(kt)を特定する又は予め特定しておく測定対象物領域特定部と、
前記測定領域(kt)の各座標位置(x、y)における距離を示すデータである第1の各領域表面形状データ(amd)を生成する第1の各領域表面形状データ生成部(15)と、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)において前記測定領域(kt)の距離を示す値の代表値である第1の代表値(G1)を決定する第1の代表値決定部と、
前記第1の代表値(G1)において、第2の基準面(DB)からの距離を示す値の代表値である第2の代表値を決定する第2の代表値決定部と、を備え、
前記第2の基準面(DB)は、前記テーブル(2)の上面位置ないし該上面位置を含む上面位置近傍に設定された基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置。 - 前記受光手段(5)で受光された前記測定対象物(W)の測定対象物受光情報(wG)にもとづいて、前記測定対象物(W)の表面の各座標位置(x、y)における距離を示す第1の表面形状データ(asd)を生成する第1の表面形状データ生成部が設けられ、
前記第1の各領域表面形状データ(amd)は、前記第1の表面形状データ(asd)において前記測定領域(kt)を特定して生成されるものであることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記テーブル(2)の上面又は下面に反射部材が設けられ、
前記第2の基準面(DB)の前記基準位置ないし前記基準面は、前記反射部材の表面の位置データにもとづいて設定された基準位置ないし基準面であることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記測定対象物(W)は電子部品であり、前記測定装置は電子部品を測定する測定装置であることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の測定装置。
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