JP2023011914A

JP2023011914A - 測定装置

Info

Publication number: JP2023011914A
Application number: JP2022179926A
Authority: JP
Inventors: 進中谷; Susumu Nakaya
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2020-08-21
Filing date: 2022-11-09
Publication date: 2023-01-24
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Abstract

【課題】代表値を決定するプロセスにおいて、特許文献１の発明における表面形状データ（テーブル基準表面形状データ）の生成及び使用を行わないで、代表値を決定する測定装置及び測定方法を提供する。【解決手段】第１の基準面ＤＴからの測定対象物Ｗの表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データａｓｄにおいて、測定領域ｋｔそれぞれにおける、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データａｍｄを生成し、第１の各領域表面形状データａｍｄにおいて、第２の基準面ＤＢからの測定対象物Ｗの表面の距離を示す第２の各領域表面形状データｔｍｄを生成し、第２の各領域表面形状データｔｍｄにおいて測定領域ｋｔそれぞれにおいて代表値を決定する。【選択図】図４

Description

本発明は、透明なテーブルの下方に照射手段と受光手段が設けられ、テーブル上面に載置した測定対象物に向けて前記照射手段から照射光を照射し、その反射光を前記受光手段で受光して測定対象物の測定領域を特定し、該測定領域それぞれにおける代表値を決定する測定装置に関する。

従来、特許文献１に示される次のような測定装置が知られている。
特許文献１の測定装置は、少なくとも１方向に並ぶ複数の突起部を備える検査対象物を検査する検査装置であって、透明なテーブルの下方に光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、前記光パターンが照射された検査対象物（以下「測定対象物」という。）を前記テーブルの下面から撮影する撮像部が設けられ、テーブル上面に載置した測定対象物に向けて前記光パターンを照射し、その反射光を前記撮像部で撮影して測定対象物の表面を測定するともに、突起部を含む測定領域を特定し、特定した測定領域の代表値を決定する検査装置であって、
測定対象物が載置されていないテーブルの上面に同じ余弦波の縞模様を投影して画像を撮影（受光）し、試料面１２ａ（検査対象物を設置するテーブル面（段落［００２３］））の各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータを算出して、該位相θを示すデータを基準位相データとして予めコンピューターに記録させておき（段落［００４４］参照）、
テーブルの上面に載置した複数の突起部を有する測定対象物の表面を撮像部で撮影し、該撮影された測定対象物の表面の画像を処理して、測定対象物の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θをあらわす測定対象物位相データを生成し、
前記基準位相データと前記測定対象物位相データとの各座標位置（ｘ、ｙ）における位相差を計算し、その各座標位置（ｘ、ｙ）における位相差を示すデータに変換して、透明テーブルの上面から測定対象物の表面までの距離（高さ・浮き量）を示す表面形状データ（３次元形状をあらわすデータ）を生成し（段落［００４３］、［００４４］参照）、又は、三角測量の原理を用いて透明テーブルの上面から測定対象物の表面までの距離（高さ・浮き量）を示す表面形状データ（３次元形状をあらわすデータ）を生成し（段落［００２３］、［００４６］参照）、
前記表面形状データにおいて前記突起部のそれぞれを含む領域を特定し、特定された領域において透明テーブルの上面からの各座標位置（ｘ、ｙ）における距離の値の代表値を決定する測定装置である。

＜特許文献１におけるテーブルの上面の定義＞
特許文献１の発明はその請求項において「・・・前記検査対象物を載せる透明なテーブルと、前記テーブルの上面に載せられた前記検査対象物に対して・・・前記テーブルの上面からの距離を示す表面形状データを生成する画像処理部と、・・・前記テーブルの上面からの距離を示す値の代表値を決定する代表値決定部と・・・検査装置。」（請求項１等）と記載されていことから、テーブルの上面（以下「テーブル上面」ともいう。）は検査対象物を載せる面であると定義しているものである。
そうすると、テーブル上面に塗布された反射部材の表面、テーブル上面に載せ置かれた反射部材の表面、テーブル上面に載せられた検査対象物の表面はないしテーブル上面に当接している部分は、テーブル上面でないこと及びテーブル上面とは成り得ない箇所であることは明確であり、かつ、それらの表面は検査対象物を載せることは不可能なのであるから、特許文献１の発明が定義する「テーブル上面は検査対象物を載せる面」とはできあいものであり、むしろ意識的に技術的範囲から除外しているとするのが相当である。
そのことは、特許文献１の段落［００６３］において、「測定部５による高さ方向測定の分解能をΔｋとすると、試料面１２ａからの距離ｈがΔｋより小さい領域Ｒ１、Ｒ２では、表面形状データ上では、距離ｈはすべて同じ値（ここではｈ＝０）になる。」と、検査対象物の端子３２ｅの試料面１２ａ（テーブルの上面）に接している箇所（テーブルの上面からの距離ｈ＝０）について述べているが、端子３２ｅのテーブルの上面に接している箇所がテーブルの上面に含ませることを示唆し教示するような記載は一切ないものである。
また、テーブルの上面に反射部材を設け該反射部材の表面位置をテーブル上面に含まれるというようなことを定義する記述、それを示唆し教示するような記載は一切ないものである。
そのことについてさらに述べるなら、テーブルの上面に設けた反射部材（反射膜）に表面位置をテーブル上面と定義した技術（例えば特開平5-223533号公報（［００２５］、［図４］））、検査対象物のテーブル上面との当接部分位置をテーブル上面と定義した技術（例えば特開平8-247735号公報（［００１１］、［図６］））は、引用文献１の発明の出願前に周知の技術であるにもかかわらず、引用文献１の発明においては、周知技術である反射部材等の表面位置をテーブルの上面と定義するような示唆も教示も一切無いものである。
以上のことらから、特許文献１の発明においては、テーブル上面に設けられた反射部材等の表面位置はテーブル上面に含まないないし意識的に場外しているとするのが相当であり、それは、発明の技術的範囲から意識的に除外していることを示すものである、とするのが相当である。

（削除）
特許文献１の発明においては、「ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、前記テーブルの上面からの距離を示す表面形状データを生成する」（請求項１）構成を必須としていることから、テーブルの上面（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）の位置を測定することを必須要件としている。
前述したように、テーブルの上面は検査対象物が載置されるテーブルの上面以外にはありえないものであり、テーブルの上面の各座標位置（ｘ、ｙ）の取得は、テーブルの物理的上面を直接測定すること以外では取得できないものである。
そして、テーブルの上面の測定方法については、段落［００４４］の「検査対象物Ａが置かれていない試料面１２ａに同じ余弦波の縞模様を投影した場合の画像を予め撮影し、試料面１２ａにおける各位置の位相θを示すデータを算出して、基準位相データとして記録する」との記載のみである。
そして、測定部についての記載は、テーブルの下方に設けられた投影プロジェクタ２１（光照射部の一例）と撮像部２２とからなる測定部５のみであり、測定部５以外の他の測定部について示唆し教示するような記載は一切ないものである。
そうすると、特許文献１における段落［００４４］で言うところの、試料面１２ａ（テーブル上面）の位置を測定するための「同じ余弦波の縞模様を投影」とは、テーブル下方の投影プロジェクタ２１から照射される余弦波の縞模様と同じ余弦波の縞模様の投影であるとするのが相当である。また、テーブル上面に投影される「同じ余弦波の縞模様を投影」とは、技術面、コスト面、精度面及び操作面等から、投影プロジェクタ２１から試料に投影したと同じ余弦波の縞模様（光の強度が周期的に変化する光パターン（請求項１））であるとするのが、最も合理的である。
＜特許文献１の発明の矛盾＞
そうであるとすると、投影プロジェクタ２１のテーブル上面への投影には次のような矛盾がある。
試料を試料面１２ａ（テーブル上面）に載置した状態で投影プロジェクタ２１からの余弦波の縞模様（以下「照射光」ともいう。）を投影して試料の表面を測定するためには、テーブルの面に縞模様が投影（反射）されることがあってはならないはずである。すなわち、投影プロジェクタ２１からの余弦波（照射光）は、透明なテーブルを透過してしまわなければならないものであり、テーブルが余弦波（照射光）を透過するので該余弦波（照射光）は試料の表面で反射され縞模様が投影され、その縞模様（反射光）がテーブルを透過して撮像部で撮像されるものである。
よって、テーブルは投影プロジェクタ２１からの照射光（余弦波の縞模様）が透過してしまうので、テーブルの面（下面、上面ともに）には投影プロジェクタ２１からの余弦波の縞模様は投影されないのは明らかであり、そのことは、テーブルの面（下面、上面ともに）は撮像部によって撮像できにない、すなわち、投影プロジェクタ２１からの余弦波の縞模様の照射によっては、テーブルの面（下面、上面ともに）輝度情報も、距離情報も、位置情報も取得できないものであることを意味する。
そうすると、投影プロジェクタ２１からの余弦波の縞模様はテーブル面（上面も下面も）には投影されないのであるから、テーブルを透過して該テーブル面には投影されない投影プロジェクタ２１からの余弦波の縞模様又は同じ余弦波の縞模様によっては、テーブルの上面の位置を測定することは不可能であるとするのが相当である。テーブルの上面の各座標位置（ｘ、ｙ）の位置は該上面を直接測定すること以外では取得できないものである。
そして、特許文献１には、段落［００４４］以外に、テーブルの上面位置を測定する方法について示唆、教示するような記載は一切無いものである。
そうすると、特許文献１の発明は、その必須の構成要件であるテーブル上面の位置を測定するための方法が、当業者が実施できる程度には記載されていないとするのが相当である。
そうであるなら、特許文献１の発明はこの点で実施可能要件を満たしていなとするのが相当である。

また、出願時の技術常識にてらしても、請求項に係る発明の「ＸＹ平面における各位置（ｘ、ｙ）における、前記テーブルの上面からの距離を示す表面形状データを生成する」、「テーブルの上面からの距離を示す値の代表値を決定する」という請求項の発明の範囲まで、「検査対象物Ａが置かれていない試料面１２ａに同じ余弦波の縞模様を投影した場合の画像を予め撮影し、試料面１２ａにおける各位置の位相θを示すデータを算出して、基準位相データとして記録する」（段落［００４４］）との、発明の詳細な説明に開示された内容を一般化できるとは言えないとするのが相当である。

特許文献１においては、「判定部１０１は、３次元形状データの示す、本体３１の試料面１２ａに対向する表面の各点における試料面１２ａからの距離が所定の範囲内にあるか否かを判定する。具体的には、判定部１０１は、予め決められた基準面の各点における試料面１２ａとの距離と、本体３１の各点における試料面１２ａからの距離との差を計算し、当該差が閾値を越える点の数、差の値などが所定の範囲内か否かを判断することができる。」と述べている。かかる「予め決められた基準面」とは、撮像部側（測定部側）の基準面（以下「第１の基準面ＤＴ」という。）とするのが相当である。
また、三角測量の原理を用いて透明テーブルの上面から測定対象物の表面までの距離（高さ・浮き量）を示す表面形状データ（３次元形状をあらわすデータ）を生成し（段落［００２３］、［００４６］参照）、と述べている。
また、「試料面１２ａの各位置の位相θをあらわす基準位相データと、検査対象物Ａを置いた場合の各位置の位相θをあらわすデータとの差を計算することにより、位相差を計算することができる。」（段落「００４４」）と述べ、位相θは、１周期の位相０点からの傾きを示すものであり、該位相０点は第１の基準面ＤＴに相当し、位相０点からの位相θの傾きと第１の基準面ＤＴからテーブル上面までの距離は比例し、「位相差を高さ単位に変換する（Ｓ５）ことにより、各位置における検査対象物Ａの高さを示す値が得られる」（段落［００４３］）、また、「・・・表面形状データがあらわす検査対象物の表面の３次元形状は、テーブルの上面を基準として捕らえることができる。・・・テーブル上面を基準とした代表点決定および判定により、簡単な処理で、迅速な判定が可能になる。」（段落［０００７］）。
よって、特許文献１の以下における説明において、基準としたテーブル上面の位置（以下「テーブル基準面ＨＴ」という。）及び試料の表面の位置は、第１の基準面ＤＴからの高さ距離として説明する。

特許文献１の段落［００３６］の「測定部５で撮影された画像のデータは、コンピューター１の画像処理部（後述）へ送られる。コンピューター１の画像処理部は、前記画像のデータを処理することで、位相解析を行う（Ｓ３）。位相解析では、画像中の各画素の位置（座標（ｘ、ｙ））において投影された光パターンの位相θを計算する。位置（ｘ、ｙ）における明るさは、下記式（１）で表される。」との記載から、「各座標位置（ｘ、ｙ）」は、「画像中の各画素の位置（座標（ｘ、ｙ））」である。

特許第5385703号公報（請求項１、［００４３］、［００４４］）

＜特許文献１の発明の目的及び構成＞（本願の図１４、図１５参照）
上述した特許文献１の発明は、複数の突起部を備える測定対象物（検査対象物）を迅速に測定（検査）することができる検査装置を提供することを発明の目的としているものである。
測定対象物の迅速な測定（検査）という目的を達成するために、
測定対象物が載置されていないテーブルの上面に同じ余弦波の縞模様を投影した場合の画像を予め撮影し、試料面１２ａ（テーブル上面）の各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータを算出して、該位相θを示すデータを基準位相データ（テーブル基準面ＨＴ）として予めコンピューターに記録させておき（本願の図１４のｓｔｅｐ１参照）、
テーブルの上面に載置した複数の突起部を有する測定対象物の表面（正面である測定部側から見た該測定対象物の正面）を撮像部で撮影し、該撮影された測定対象物の表面の画像を処理して、測定対象物の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θをあらわす測定対象物の位相データ（第１の基準面ＤＴからの測定対象物の表面の高さ距離を示す表明形状データであるので、以下「第１の基準表面形状データ」という。）を生成し（図１４のｓｔｅｐ２参照、特許文献１の［００４４］参照）、
前記基準位相データ（テーブル基準面ＨＴを示すデータ）と前記測定対象物位相データとの各座標位置（ｘ、ｙ）における位相差を計算し、その各座標位置（ｘ、ｙ）における位相差を高さを示すデータに変換して、透明テーブルの上面（テーブル基準面ＨＴ）からの測定対象物の表面の距離（高さ・浮き量）を示す表面形状データ（以下「テーブル基準表面形状データ」という。）を生成し（図１４のｓｔｅｐ３参照）、
前記テーブル基準表面形状データにおけるＸＹ平面において前記突起部のそれぞれを含む領域を特定し（このデータを、以下「テーブル基準各領域表面形状データ」という。）（図１４のｓｔｅｐ４参照）、
特定された領域においてテーブルの上面（テーブル基準面ＨＴ）からの各座標位置（ｘ、ｙ）における距離の値の代表値を決定する（図１４のｓｔｅｐ５参照）、
という構成としているものである。
図１４のｓｔｅｐ３に示すテーブル基準表面形状データ（特許文献１では「表面形状データ」）は、テーブルの上面から測定対象物の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における高さ距離によって、測定対象物の表面の３次元形状をあらわすデータでもある。

＜特許文献１の中核的構成＞
よって、特許文献１の発明は、
（１）図１４の＜ｓｔｅｐ１＞図参照
測定対象物の無い状態でテーブル上面を測定して、各座標位置（ｘ、ｙ）における、第１の基準面ＤＴからのテーブル上面の高さ距離を示す表面形状データで表されるテーブル基準面ＨＴ（基準位相データ（段落［００４４］））を生成し予め記録しておく、
（２）図１４の＜ｓｔｅｐ２＞図参照
各座標位置（ｘ、ｙ）おける、第１の基準面ＤＴからの測定対象物の表面の高さ距離を示す表面形状データである第１の基準表面形状データを生成し、
（３）図１４の＜ｓｔｅｐ３＞図参照
第１の基準表面形状データの値からテーブル基準面ＨＴの値を引き演算して、テーブルの上面から測定対象物の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における高さ距離によって表されるテーブル基準表面形状データを生成し、
（４）図１４の＜ｓｔｅｐ４＞図参照
テーブル基準表面形状データにおいて突起部のそれぞれを含む領域を特定し、テーブルの上面から測定対象物の表面の前記領域それぞれの各座標位置（ｘ、ｙ）における高さ距離によって表されるテーブル基準各領域表面形状データを生成し、
（５）図１４の＜ｓｔｅｐ５＞図参照
テーブル基準各領域表面形状データにおいて各領域の代表値を決定する、
という前記（１）～（５）の構成を、発明の目的を達成する中核的構成としているものであり、特にテーブル基準表面形状データの生成は、迅速な測定（検査）という発明の目的を達成するための核心的構成としているものである。

そして、テーブル基準表面形状データは、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である測定対象物位相データの値を減算して生成されるものである。
よって、テーブル基準表面形状データ（図１４のｓｔｅｐ３参照）は、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値を減算することによって生成されるものである。

＜特許文献１の発明の問題点＞
（１）テーブル基準表面形状データ（図１４のｓｔｅｐ３参照）は、テーブルの上面（テーブル基準面ＨＴ）の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値を減算することによって生成するものであるため、その情報処理量が大きいという問題を有するものであった。

（２）また、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である測定対象物位相データを生成するため、その情報処理量が大きいという問題を有するものであった。

本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、特許文献１の発明における表面形状データ（「テーブル基準表面形状データ」（本願の図１４のｓｔｅｐ３参照））の生成及び使用を行わない処理構成によって代表値を決定する測定装置の提供を目的としている。

上記目的を達成するために、本発明は次に述べるような構成としている。
＜＜第１の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成する第１の各領域表面形状データ生成部（１５）と、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）の値から第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記第２の基準面（ＤＢ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成する第２の各領域表面形状データ生成部（１０）と、
前記第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１７）と、を備え、
前記第１の基準面（ＤＴ）は前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面であり、
前記第２の基準面（ＤＢ）は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面であり、又は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。

＜＜第２の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部（７）と、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成する第１の各領域表面形状データ生成部（１５）と、
前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定する第１の代表値決定部（３０）と、
前記第１の代表値（Ｇ１）のデータの値から第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１１）と、を備え、
前記第１の基準面（ＤＴ）は前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面であり、
前記第２の基準面（ＤＢ）は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面であり、又は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。

＜＜第３の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部（７）と、
前記受光手段（５）で受光された前記測定対象物（Ｗ）の受光情報にもとづいて、第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（８）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれの、第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成する第１の各領域表面形状データ生成部（９）と、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）の値から第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記第２の基準面（ＤＢ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成する第２の各領域表面形状データ生成部（１０）と、
前記第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１１）と、を備え、
前記第１の基準面（ＤＴ）は前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面であり、
前記第２の基準面（ＤＢ）は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面であり、又は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。

＜＜第４の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載置する域である載置域を上面に有する透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の上面で前記載置域外に設けられた反射部材と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部（７）と、
前記受光手段（５）で受光された前記測定対象物（Ｗ）の受光情報にもとづいて、第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（８）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれの、第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成する第１の各領域表面形状データ生成部（９）と、
前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定する第１の代表値決定部（３０）と、
前記第１の代表値（Ｇ１）のデータの値から第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（３１）と、を備え、
前記第１の基準面（ＤＴ）は前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面であり、
前記第２の基準面（ＤＢ）は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面であり、又は、前記反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面であることを特徴とする測定装置である。

＜＜第５の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載せる透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面を第１の基準面（ＤＴ）とし、
前記テーブル（２）の上面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、又は、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面を第２の基準面（ＤＢ）とし、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、前記第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するステップと、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）の値から前記第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記第２の基準面（ＤＢ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成するステップと、
前記第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定するステップと、
を含む測定方法である。

＜＜第６の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載せる透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面を第１の基準面（ＤＴ）とし、
前記テーブル（２）の上面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、又は、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面を第２の基準面（ＤＢ）とし、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、前記第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するステップと、
前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定するステップと、
前記第１の代表値（Ｇ１）のデータの値から前記第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定するステップと、
を含む測定方法である。

＜＜第７の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載せる透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、を備えた測定装置の測定方法であり、
前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面を第１の基準面（ＤＴ）とし、
前記テーブル（２）の上面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、又は、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面を第２の基準面（ＤＢ）とし、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記受光手段（５）で受光された前記測定対象物（Ｗ）の受光情報にもとづいて、前記第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）を生成するステップと、
前記第１の表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれの、前記第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するステップと、
前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおいて、前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）の値から第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記第２の基準面（ＤＢ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成するステップと、
前記第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定するステップと、
を含む測定方法である。

＜＜第８の発明＞＞
測定対象物（Ｗ）を載せる透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）とを有する測定部（１２）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面を第１の基準面（ＤＴ）とし、
前記テーブル（２）の上面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、又は、前記テーブル（２）の面に設けた反射部材の表面の前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離の位置を任意ないし所定の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面を第２の基準面（ＤＢ）とし、
前記測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておくステップと、
前記受光手段（５）で受光された前記測定対象物（Ｗ）の受光情報にもとづいて、前記第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定対象物（Ｗ）の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）を生成するステップと、
前記第１の表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれの、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成するステップと、
前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定するステップと、
前記第１の代表値（Ｇ１）のデータの値から第２の基準面（ＤＢ）のデータの値を減算して、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定するステップと、
を含む測定方法である。

以上の説明から明らかなように、本発明にあっては、以下に述べるような作用効果を奏する。
＜＜本願発明の共通する特徴＞＞
本発明の各発明に共通する事項は、それぞれの領域おける代表値を決定する処理構成は、特許文献１の発明における表面形状データ（「テーブル基準表面形状データ」（本願の図１４のｓｔｅｐ３参照））の生成及び使用を行わない（本願の図１５の対比図参照）ことを特徴とするものである。

＜＜阻害要因＞＞
前記「＜特許文献１の中核的構成＞」で述べたように、特許文献１の発明は、テーブル上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータを含む）である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示すデータである測定対象物位相データの値を差し引く減算によるテーブル基準表面形状データ（特許文献１においては「表面形状データ」）の生成及び使用を、発明の目的を達成する中核的構成としているものである。
しかるに、本願の発明は、代表値を決定する処理構成において、特許文献１の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データ（特許文献１においては「表面形状データ」）という処理構成の無いものである。
そうすると、本願発明は、特許文献１の発明の中核的構成を否定していると言えるものであり、であるなら、特許文献１には本願の各発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。

本願明細書の実施例１は主に第３、７の発明に対応するものであり、実施例２は主に第４、８の発明に対応するものであり、実施例３は主に第１、５の発明に対応するものであり、実施例４は主に第２、６の発明に対応するものである。

＜＜第１の発明の効果＞＞
第１の各領域表面形状データ生成部（１５）で、測定対象物（Ｗ）の表面の測定を測定領域（ｋｔ）のみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域（ｋｔ）それぞれのみの測定データである第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成し、
第２の各領域表面形状データ生成部（１０）で、第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）の値から第２の基準面（ＤＢ）（反射部材の表面の位置データにもとづいて、テーブル（２）の上面位置近傍に設定され基準面）のデータの値を差し引く減算によって、測定領域（ｋｔ）それぞれのみのデータである第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成する。
よって、本願の第１の発明は、測定領域（ｋｔ）それぞれのみの測定データである第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）から測定領域（ｋｔ）それぞれのみのデータである第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成するものである。
第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）は、測定領域（ｋｔ）それぞれの、第１の基準面（ＤＴ）からの測定対象物の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示すデータである。
第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）は、測定領域（ｋｔ）それぞれの、第２の基準面（ＤＢ）からの測定対象物の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示すデータである。
よって、第１の発明における第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）は、特許文献１の発明の第２の基準各領域表面形状データに相当するものである。（但し、第２の基準面（ＤＢ）は特許文献１の「表面形状データ」ではない。）
であるから、本願の第１の発明は、特許文献１の発明における、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値を減算することによって生成するテーブル基準表面形状データ（特許文献１においては「表面形状データ」）を生成も使用もすることなく、特許文献１の第２の基準各領域表面形状データに相当する第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成するものであるから、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その情報量及び情報処理量が少なくなるという作用効果を奏するものである。
そのことは、測定領域（ｋｔ）それぞれの代表値によって平坦度を判定する処理を、少ない情報処理によって迅速に行うことを実現するものである。

また、本願の第１の発明の、第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）は測定領域（ｋｔ）のみを測定域とした領域のみ測定であり、これに対して、特許文献１の発明の、測定対象物位相データは測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）とは、基本的に異なり、その情報量及び情報処理量は領域のみ測定（一部域測定）である本願第１の発明は、全域測定である特許文献１の発明に比べて少ないものであるから、この点でも、迅速な処理を実現するものである。

＜＜第２の発明の効果＞＞
第１の各領域表面形状データ生成部（１５）で、測定対象物（Ｗ）の表面の測定を測定領域（ｋｔ）のみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域（ｋｔ）それぞれの測定データである第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成し、
第１の代表値決定部（３０）で、第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける第１の基準面（ＤＴ）からの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定し、
測定領域（ｋｔ）それぞれにおける第１の代表値（Ｇ１）の値からから第２の基準面（ＤＢ）の値を減算することで、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける第２の代表値（Ｇ２）を決定するものである。
よって、本願の第２の発明は、特許文献１の発明の第２の基準各領域表面形状データに相当するデータの生成は無く、第２の基準各領域表面形状データにおける領域特定処理による第２の基準各領域表面形状データの生成は無く、第２の基準各領域表面形状データのおける第２の代表値の決定という構成もないものである。
よって、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値から測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離値を減算することによって生成する全域データであるテーブル基準表面形状データを生成する特許文献１の発明と対比して、第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、第１の基準面（ＤＴ）からの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定し、第１の代表値（Ｇ１）の値からから第２の基準面（ＤＢ）の値を減算することで第２の代表値（Ｇ２）を決定する本願の第２の発明は、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その情報量及び情報処理量が少ないという作用効果を奏し、よって迅速な処理を実現するものである。

また、本願の第２の発明の、第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）は測定領域（ｋｔ）のみを測定域とした領域のみ測定であり、これに対して、特許文献１の発明の、測定対象物位相データは測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）とは、基本的に異なり、その情報量及び情報処理量は領域のみ測定（一部域測定）であり、全域測定である特許文献１の発明に比べて少ないものであるから、この点でも、迅速な処理を実現するものである。
そのことは、測定領域（ｋｔ）それぞれの代表値によって平坦度を判定する処理を、少ない情報処理によって迅速に行うことを実現するものである。

前記「＜特許文献１の中核的構成＞」で述べたように、特許文献１の発明は、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である測定対象物位相データの値を減算して生成されるテーブル基準表面形状データを、発明の目的を達成する中核的構成としているものである。
しかるに、本願の第２の発明は、特許文献１の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データの生成という処理構成が無い、すなわち、かかる中核的構成を否定する構成であるものである。
そうであるなら、特許文献１には本願の第２の発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。

＜＜第３発明の効果＞＞
本願の第３の発明は、
第１の表面形状データ生成部（８）で、測定対象物（Ｗ）の表面の第１の基準面（ＤＴ）からの各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）を生成し、
第１の各領域表面形状データ生成部（９）で、第１の表面形状データ（ａｓｄ）において、測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定して、測定領域（ｋｔ）それぞれの、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成し、
第２の各領域表面形状データ生成部（１０）で、第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、第２の基準面（ＤＢ）からの測定対象物（Ｗ）の表面の距離を示す第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成し、
第２の代表値決定部（１１）で、第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）の測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定する、という構成である。

測定領域（ｋｔ）を特定しての測定処理は、第１の基準面（ＤＴ）からの測定対象物（Ｗ）の距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）において行われているので、本願の第３の発明は、特許文献１の発明におけるテーブル基準表面形状データは生成されることはない。
特許文献１におけるテーブル基準表面形状データは、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である測定対象物位相データの値を減算して生成されるものである。
すなわち、本願の第３の発明は、特許文献１の発明における大きな情報量であるテーブル基準表面形状データの生成も使用もないものであるので、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その処理情報量は小さく、よって、迅速な処理を可能としている。
そのことは、測定領域（ｋｔ）それぞれの代表値によって平坦度を判定する処理を、少ない情報処理によって迅速に行うことを実現するものである。

前記「＜特許文献１の中核的構成＞」で述べたように、特許文献１の発明は、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である測定対象物位相データの値を減算して生成されるテーブル基準表面形状データを、発明の目的を達成する中核的構成としているものである。
しかるに、本願の第３の発明は、特許文献１の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データの生成という処理構成が無い、すなわち、かかる中核的構成を否定する構成であるものである。
そうであるなら、特許文献１には本願の第２の発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。

＜＜第４の発明の効果＞＞
本願の第２の発明は、
第１の表面形状データ生成部（８）で、第１の基準面（ＤＴ）からの測定対象物（Ｗ）の表面の距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）を生成し、
第１の各領域表面形状データ生成部（９）で、第１の表面形状データ（ａｓｄ）において、測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定して、測定領域（ｋｔ）それぞれの、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成し、
第１の代表値決定部（３０）で、第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、第１の基準面（ＤＴ）からの測定領域（ｋｔ）それぞれの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定し、
第２の代表値決定部（３１）で、第１の代表値（Ｇ１）において、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定する、という構成である。

測定領域（ｋｔ）を特定しての測定処理は、第１の基準面（ＤＴ）からの測定対象物（Ｗ）の距離を示す第１の表面形状データ（ａｓｄ）において行われているので、本願の第３の発明は、特許文献１の発明における「テーブル基準表面形状データ」（特許文献１においては「表面形状データ」）は生成されることはない。
特許文献１におけるテーブル基準表面形状データは、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である測定対象物位相データの値を減算して生成されるものである。
すなわち、本願の第３の発明は、特許文献１の発明における大きな情報量であるテーブル基準表面形状データの生成も使用もないものであるので、測定領域（ｋｔ）それぞれにおける代表値を決定するプロセスにおいて、その処理情報量は小さく、よって、迅速な処理を可能としている。
そのことは、測定領域（ｋｔ）それぞれの代表値によって平坦度を判定する処理を、少ない情報処理によって迅速に行うことを実現するものである。

前記「＜特許文献１の中核的構成＞」で述べたように、特許文献１の発明は、テーブルの上面の測定域の全域（試料面１２ａ）の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である基準位相データの値から、測定対象物の表面の全域の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離のデータ（各座標位置（ｘ、ｙ）における位相θを示すデータ）である測定対象物位相データの値を減算して生成されるテーブル基準表面形状データ」（特許文献１においては「表面形状データ」）を、発明の目的を達成する中核的構成としているものである。
しかるに、本願の第４の発明は、特許文献１の発明のかかる中核的構成であるテーブル基準表面形状データ（特許文献１においては「表面形状データ」）の生成という処理構成が無い、すなわち、かかる中核的構成を否定する構成であるものである。
そうであるなら、特許文献１には本願の第４の発明に想到することを阻害する阻害要因があるとするのが相当である。

＜＜第５の発明の効果＞＞
前記第１の発明と同様の作用効果を奏する。

＜＜第６の発明の効果＞＞
前記第２の発明と同様の作用効果を奏する。

＜＜第７の発明の効果＞＞
前記第３の発明と同様の作用効果を奏する。

＜＜第８の発明の効果＞＞
前記第４の発明と同様の作用効果を奏する。

本発明の実施例１の装置の機構部分の概略構成図。本発明の実施例１のブロック図。本発明の実施例１のプロセスを示すフローチャート図。本発明の実施例１のプロセスのポイント部分をイメージ的にあらわした模式図。本発明の実施例２のブロック図。本発明の実施例２のプロセスを示すフローチャート図。本発明の実施例２のプロセスのポイント部分をイメージ的にあらわした模式図。本発明の実施例３のブロック図。本発明の実施例３のプロセスを示すフローチャート図。本発明の実施例３のプロセスのポイント部分をイメージ的にあらわした模式図。本発明の実施例４のブロック図。本発明の実施例４のプロセスを示すフローチャート図。本発明の実施例４のプロセスのポイント部分をイメージ的にあらわした模式図。従来技術のプロセスのポイント部分をイメージ的にあらわした模式図。従来技術と本願発明の実施例とを比較する、プロセスのポイント部分をイメージ的にあらわした模式図。

以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。

図１～図４に示す本発明の実施例１において、測定装置１は次に述べるような構成となっている。（本実施例１は、第３、第７の発明の実施例に相当する。）
＜定義＞
Ｚ軸とは、下方に位置する測定部から上方に位置する透明テーブルに向かう直線軸のことである。
Ｘ軸とは、Ｚ軸に直角な平面上の横向き軸のことである。
Ｙ軸とは、Ｚ軸に直角な平面上の縦向きの軸のことであり、かつ、Ｘ軸と前記平面上で直交する軸である。
ＸＹ平面とは、Ｚ軸に直角に直交するＸ軸、Ｙ軸を含む平面のことである。
高さ距離とは、Ｚ軸方向の距離のことである。
各座標位置（ｘ、ｙ）は、ＸＹ平面における各測定位置のことである。
「測定域走査」とは、測定対象物Ｗの全域の測定ないし指定された測定域である指定測定域の全域を測定のために走査域であり、そのために、測定部１２が複数の走査域（第１走査域、第２走査域・・・第ｎ走査域（図１８参照））を走査する走査形態を含むことである。

＜測定装置１の構成＞
下部側又は側部側に複数の突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗを載せる透明なテーブル２と、
テーブル２の下方に設けられた、テーブル２の上面に載せられた測定対象物Ｗに向けて、テーブル２の下方から照射光３を照射する光照射手段４と、
テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗからの照射光３の反射光をテーブル２の下方で受光する受光手段５と、
光照射手段４と受光手段５とを有する測定部１２と、
テーブル２の上面の測定対象物Ｗの設置域の外側に設けられた反射部材３６と（ここでは、セラミックス系塗料を塗布し接着されたものであるが、反射体を載せ置いたもの等でもよい。）、
制御部２１と、を備え、
制御部２１は、
測定部１２側の基準位置ないし基準面を第１の基準面ＤＴとし、
テーブル２の上面の第１の基準面ＤＴからの距離（第１の基準面ＤＴからテーブル２の上面までの距離）にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、テーブル２の面（テーブル２の上面又は下面）に設けた反射部材３６の表面の第１の基準面ＤＴからの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、又は、テーブル２の面（テーブル２の上面又は下面）に設けた反射部材３６の表面の第１の基準面ＤＴからの距離の位置を任意のないし所定位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面を第２の基準面ＤＢとし、
測定対象物Ｗの表面の測定する領域を測定領域ｋｔとし、
受光手段５で受光された測定対象物Ｗの測定対象物受光情報ｗＧにもとづいて、測定対象物Ｗの表面の第１の基準面ＤＴからの各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データａｓｄを生成する第１の表面形状データ生成部８と、
第１の表面形状データａｓｄにおいて、測定領域ｋｔそれぞれの距離情報を抽出して、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データａｍｄを生成する第１の各領域表面形状データ生成部９と、
第１の各領域表面形状データａｍｄにおいて、第２の基準面ＤＢからの測定対象物Ｗの表面の距離を示す第２の各領域表面形状データｔｍｄを生成する第２の各領域表面形状データ生成部１０と、
第２の各領域表面形状データｔｍｄにおいて、測定領域ｋｔそれぞれにおける、第２の基準面ＤＢからの距離を示す値の代表値である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１１と、
第２の代表値Ｇ２の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１９と、を備えた構成である。

光照射手段４は、ここではレーザ光線を照射光３としている。
受光手段５は、ＣＭＯＳイメージセンサ又はＣＣＤイメージセンサとするのがよい。
測定手法は、光切断法又は位相シフト法がよい。
但し、光照射手段、受光手段、測定手法は、上記のものに限定されるものではない。

透明なテーブル２は石英ガラス製部材などの透過性のものであり、照射光３（ここではレーザ光線）はテーブル２を透過してしまい、受光手段５が受光（検出）できるレベルの反射光が生じないものである。よって、テーブル２の受光情報は無い。

＜第２の基準面ＤＢの設定例１＞
第２の基準面ＤＢは、本実施例１においては、テーブル２の上面に設けた反射部材３６の表面を受光手段５で撮影（受光）し、任意ないし所定の３か所ないし４か所の領域を特定し、その３か所ないし４か所の領域の代表値点（最も短い距離位置点、最も長い距離位置点又は各座標位置（ｘ、ｙ）における距離の平均値点を領域の中央点とする等）を決定し、該３か所ないし４か所の代表値点を結ぶ平面を第２の基準面ＤＢとして、必要に応じて、所定の距離だけ上下移動させて、又は、オペレータの位置決め操作ないし自動位置決め操作によって上下移動させて、テーブル２の上面位置ないし該上面位置を含むテーブルの上面位置近傍に第２の基準面ＤＢの設定を行う。
反射部材は、テーブル２の下面に設けた形態とするのもよい。

反射部材３６は測定対象物Ｗの載置域外に設けられている。
そもそも本発明にあっては、反射部材３６の上面に測定対象物Ｗを載置した状態では、（１）反射部材３６部分の測定対象物Ｗの表面部分の該反射部材３６に遮られて測定ができないこと、（２）測定対処物（Ｗ）の反射部材３６に乗った部分がテーブル２上面より浮き上がった位置となり測定対象物Ｗが基板に該当するテーブル２上面に正確に載置された形態が測定できないこと、（３）測定対象物Ｗの表面の全面と反射部材３６の表面を同時に測定できないという、本願発明の目的を達成できないものとなってしまうものである。

（削除）

第２の基準面ＤＢの設定は上記に限定されるものではなく、以下のようなものでもよい。
（１）例えば、テーブル２の上面位置そのものを測定し第２の基準面ＤＢとして設定したもの、
（２）例えば、テーブル２の上面に突起部ｗｔを下向きにして載置されている測定対象物Ｗの、該突起部ｗｔの内で第１の基準面ＤＴからの距離が最も短い位置の、例えば３点を特定し該３点を結ぶ平面を第２の基準面ＤＢとして設定したもの、例えば２点を特定して該２点を結ぶ平面を第２の基準面ＤＢとして設定したもの、例えば１点を特定し該１点位置をテーブル２の上面又は第１の基準面ＤＴと平行な面に広げた平面を第２の基準面ＤＢとして設定したもの、
（３）例えば、テーブル２の上面又は下面（ここでは上面）に設けた反射部材３６の表面を受光手段５で撮影（受光）し、例えば任意の３か所の領域を特定し、その３か所の領域の代表値点（最も短い距離位置点、最も長い距離位置点又は各座標位置（ｘ、ｙ）における距離の平均値点を領域の中央点とする等）を決定し、該３か所の代表値点を結ぶ平面を第２の基準面ＤＢとして設定したもの、
例えば、４点以上を特定して、それらの点から最小二乗法か擬似逆行列を使って平面を求めるもの、
例えば、２点を特定して、該２点を結ぶ平面を第２の基準面ＤＢとして設定したもの、
例えば、１点を特定して、該１点位置をテーブル２の上面又は第１の基準面ＤＴと平行な面に広げた平面を第２の基準面ＤＢとして設定したもの、
（４）例えば、第１の基準面ＤＴと平行な基準面をテーブルの上面の近傍に設定して第２の基準面ＤＢとする、などなどがある。

＜測定領域ｋｔの特定＞
（１）測定領域ｋｔの特定は、測定対象物輝度情報ｗｍｄで表される濃淡画像ｎＧのＸＹ平面画像を、ディスプレイ３３に表示し、マウス等の操作により測定域を枠等で囲い指定し、該枠を測定領域ｋｔとして特定するのがよい。
測定対象物輝度情報ｗｍｄの取得や生成、濃淡画像ｎＧの生成、測定領域ｋｔの特定は、それぞれが、測定対象物Ｗの測定走査前でも測定走査後でもよいし、第１の表面形状データａｓｄの生成の前でも生成の後でもよい。第１の表面形状データａｓｄにおいて、測定領域ｋｔ、測定領域ｋｔそれぞれの、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データａｍが生成されるものは、前記事項の生成時期や取得時期の如何を問わず全て本発明の技術的範囲である。
濃淡画像は、白黒濃淡画像（グレースケール画像、例えば２５６諧調）、白黒二値画像、カラー濃淡画像、カラー二値画像などである。
（２）また、測定対象物Ｗの表面のＣＡＤデータに基づいて、測定領域ｋｔの特定をするのもよい。この場合も、前記（１）と同様に、測定領域ｋｔの特定の時期はいつでもよく、第１の表面形状データａｓｄにおいて、測定領域ｋｔ、測定領域ｋｔそれぞれの、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データａｍが生成されるものは、前記事項の生成時期や取得時期の如何を問わず全て本発明の技術的範囲である。

測定領域ｋｔの特定は、上記（２）に限定されるものではない。
例えば、測定対象物輝度情報ｗｍｄと第１の表面形状データａｓｄを得るための測定は、それぞれ別測定走査（一緒ではない測定走査）で行われるのもよい。例えば、１回目の測定走査で、測定対象物Ｗの表面の輝度測定を行い、その輝度情報で表される濃淡画像のＸＹ平面をディスプレイに表示して測定領域ｋｔを枠で指定し（特定し）記憶する。２回目の測定走査で、測定対象物Ｗの高さ距離測定を行い（輝度測定は行わない）、第１の表面形状データａｓｄの生成を行う。
例えば、測定対象物ＷのＣＡＤデータから測定領域ｋｔを取得したデータを、例えば、予め記憶しておくものもよい。
１回目の測定走査が終了すると自動的に２回目の測定走査が行われる。
また、受光手段５とは異なるカメラ等で撮影した濃淡画像を使用するのもよいし、該濃淡画像において取得した測定領域ｋｔを、例えば、予め記憶しておくのもよい。

（３）ディスプレイ３３の表示による領域ｋｔの特定は、濃淡画像ｎＧの前に、ＣＡＤデータに基づいて特定された測定領域ｋｔを示す囲い枠を表示し、濃淡画像ｎＧの測定領域とする箇所とずれている箇所は、囲い枠をマウス操作、キーボード操作等によって正確な位置に移動させて測定領域ｋｔを特定するようにするのもよい。

＜処理ステップ＞
処理ステップを主に図１、図３を参照して説明する。
ｓｔｅｐ１＜測定開始＞
ｓｔｅｐ２＜距離情報と輝度情報の取得＞
測定部１２による測定域走査で取得した反射部材受光情報ｆＧと測定対象物受光情報ｗＧには、測定対象物Ｗと反射部材３６の高さ距離情報、各座標位置（ｘ、ｙ）情報及び輝度情報が含まれ、それぞれ記憶される。
（ａ１）反射部材表面形状データ生成部２２において、反射部材受光情報ｆＧにもとづいて、第１の基準面ＤＴからの各反射部材３６の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す反射部材表面形状データｆｓｄが生成され、反射部材表面形状データ記憶部５０に記憶される。
（ａ２）反射部材輝度情報生成部２３において、反射部材受光情報ｆＧにもとづいて、各反射部材３６の輝度情報である反射部材輝度情報ｕｍｄ（各反射部材３６の表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における輝度情報）が生成され、反射部材輝度情報記憶部５１に記憶される。
（ｂ１）第１の表面形状データ生成部８において測定対象物受光情報ｗＧにもとづいて、測定対象物Ｗの距離情報（第１の基準面ＤＴからの測定対象物Ｗの表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の表面形状データａｓｄ）が生成され、第１の表面形状データ記憶部５２に記憶される。
（ｂ２）測定対象物受光情報ｗＧにもとづいて、測定対象物Ｗの輝度情報である測定対象物輝度情報ｗｍｄ（測定対象物Ｗの表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における輝度情報）は、測定対象物輝度情報記憶部５３に記憶される。
反射部材３６が複数ある場合について述べているが、反射部材３６は、一つの囲い枠形で測定域の外周を囲う形態とするのもよい。

ｓｔｅｐ３＜輝度情報及び距離情報のディスプレイへの表示＞
反射部材表面形状データｆｓｄ、反射部材輝度情報ｕｍｄ、第１の表面形状データａｓｄ、測定対象物輝度情報ｗｍｄが取得されると、自動的にディスプレイ３３（モニター）に、（１）反射部材輝度情報ｕｍｄによる反射部材濃淡画像のＸＹ平面画像と反射部材表面形状データｆｓｄのＸＹ平面画像との重なった形態が、測定部１２側から見た形態（Ｚ軸方向から見た平面であるＸＹ平面で表された反射部材輝度情報ｕｍｄと反射部材表面形状データｆｓｄ、図面でいうところの底面図）で表示され、（２）測定対象物輝度情報ｗｍｄによる測定対象物濃淡画像と第１の表面形状データａｓｄとの重なった形態が、測定部１２側（正面）から見た形態（Ｚ軸方向から見たＸＹ平面で表された測定対象物輝度情報ｗｍｄと第１の表面形状データａｓｄ、ディスプレイへの表示は図面でいうところの測定部１２側（正面）から見た測定対象物側の正面図）で表示される。

ｓｔｅｐ４＜領域の指定＞
ディスプレイ３３に表示されている反射部材輝度情報ｕｍｄによる反射部材濃淡画像のＸＹ平面画像、及び、測定対象物輝度情報ｗｍｄによる測定対象物濃淡画像のＸＹ平面画像において、例えば、マウスポインターの操作によって、（１）反射部材濃淡画像の適宜な位置の３か所をそれぞれ囲い枠（例えば、サイズが変更自在でコピー・ペーストが可能な四角形の囲い枠）で囲う形態で反射部材領域ｆｔを指定し、（２）測定対象物濃淡画面の突起部ｗｔのそれぞれを囲い枠（例えば、サイズが変更自在でコピー・ペーストが可能な四角形の囲い枠）で囲う形態で測定領域ｋｔを指定する。

ｓｔｅｐ５＜領域の記憶と特定＞
表示されている実行ボタン（図示せず省略）をクリックする。
反射部材領域特定部３７は、指定された反射部材領域ｆｔのデータである反射部材領域データｆｔｄを特定し記憶する。このとき、反射部材表面形状データｆｓｄにおいて反射部材領域ｆｔが位置した状態とされる。
測定領域特定部７は、指定された測定領域ｋｔを特定しそのデータである測定領域データｋｔｄを測定領域記憶部７２に記憶する。このとき、第１の表面形状データａｓｄにおいて測定領域ｋｔが位置した状態とされる。

ｓｔｅｐ６＜第２基準面ＤＢの設定＞
ディスプレイ３３に表示されている例えば「第２の基準面設定ボタン」をクリックして第２の基準面ＤＢの設定を指示する。
第２の基準面の設定が指示されると、第２の基準面設定部４０において、例えば３か所ないし４か所のそれぞれの反射部材領域ｆｔの代表値点（３点ないし４点の代表値点）が決定され、３点ないし４点の代表値点を結ぶ平面からなる第２の基準面ＤＢが生成される。必要に応じて、ディスプレイ３３の画面上で第２の基準面ＤＢの上下移動操作を行って位置を決定し設定を完了する。設定された第２の基準面ＤＢのデータである第２の基準面データＤＢｄは第２の基準面データ記憶部１４に記憶される。
また、第２の基準面ＤＢの設定は、走査が行われると自動的に設定されるようにしてもよい。

ｓｔｅｐ７＜第１の各領域表面形状データａｍｄの生成＞
ディスプレイ３３に表示されている例えば「各領域データ生成ボタン」をクリックして第１の各領域表面形状データａｍｄの生成を指示する。
このとき既に、第１の表面形状データａｓｄにおいて、第１の表面形状データａｓｄに既に位置されている測定領域ｋｔによって測定領域ｋｔが特定されている。
生成が指示されると、第１の各領域表面形状データ生成部９において、測定領域ｋｔそれぞれの距離情報を抽出して、各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データａｍｄが生成され、第１の各領域表面形状データ記憶部５５に記憶される。

ｓｔｅｐ８＜第２の各領域表面形状データｔｍｄの生成＞
第１の各領域表面形状データａｍｄが生成されると、自動的に、第２の各領域表面形状データ生成部１０において、第１の各領域表面形状データａｍｄにおいて、第２の基準面ＤＢからの測定対象物Ｗの表面の距離を示す第２の各領域表面形状データｔｍｄが生成され、第２の各領域表面形状データ記憶部５６に記憶される。

ｓｔｅｐ９＜第２の代表値Ｇ２の決定＞
第２の各領域表面形状データｔｍｄが生成されると、自動的に、第２の代表値決定部１１において、第２の各領域表面形状データｔｍｄにおいて、測定領域ｋｔそれぞれにおける、第２の基準面ＤＢからの距離を示す値の代表値である第２の代表値Ｇ２を決定し、そのデータである第２の代表値データＧ２ｄを第２の代表値記憶部５７に記憶する。

ｓｔｅｐ１０＜判定＞
第２の代表値データＧ２ｄが生成されると、自動的ないないし手動操作によって、判定部１９において、第２の代表値Ｇ２の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定して、そのデータである判定データｊｕｄを判定データ記憶部５８に記憶する。

ｓｔｅｐ４～ｓｔｅｐ９ないしｓｔｅｐ１０は自動的に処理されるようにしてもよい。
また、測定領域ｋｔが測定対象物Ｗの測定以前に予め記憶されている場合は、反射部材領域ｆｔの指定操作以外は、自動的に処理されるようにしてもよい。
また、第２の基準面ＤＢが測定前に予め記憶されており、かつ、測定領域ｋｔが測定以前に予め記憶されている場合は、測定開始をすると全てのｓｔｅｐが自動的に実行処理されるようにしてもよい。

（削除）

本発明は、企業から提供されている既成の測定部とコントローラからなる測定システムを使用することにより、当業者であれば容易に実施可能である。そお既成の測定システム例を下記に紹介する。
＜位相シフト法の測定部例＞
例えば、位相シフト法を測定手法とした、左右２つのプロジェクタからなる照射部とその中央に設けたカメラ（受光部・光検出部）を備えた測定部とコントローラからなる測定システム（株式会社キーエンス製「ＸＧ－８０００シリーズＸＲ－ＨＴ４０ＭＤ」）が提供されている。これは、試料に対して、左右２つのプロジェクタから高速で投影される複数のストライプパターン（縞模様）を、中央のカメラ（光検出部・受光部）で撮影（受光）して、測定部側の基準位置から試料の表面までの各座標位置（ｘ、ｙ）の高さ距離を測定取得し、該各座標位置（ｘ、ｙ）の高さで表される３次元形状データと各座標位置（ｘ、ｙ）における輝度レベルを得ることができる。

＜光切断法の測定部例＞
例えば、光切断法を測定手法とした、株式会社キーエンス製の「LJ-V7000シリーズ」の測定部とコントローラからなる測定システムがある。光切断法は、ライン状の切断面の形状（プロファイル）を取得する方法であるため、試料に対して、光切断を行う切断位置を一方向に連続的に変化させて連続的にプロファイル（ライン状の切断面の形状）を取得し、得られたプロファイルを合成することで距離画像である３次元形状データと各座標位置（ｘ、ｙ）における輝度レベルを取得する。照射光は４０５ｎｍの青紫色レーザ光線である。
例えば、Ｚ軸（高さ）の繰り返し精度（対象物の定点を繰り返し測定したときのばらつき）は０．２μｍと０．４μｍのものがある。
＜共焦点方式の測定部例＞
例えば、共焦点方式を測定手法とした、株式会社キーエンス製の「CL-3000シリーズLT-9000 シリーズ」」の測定部とコントローラからなる測定システムがある。これは、投光（照射）と受光が同軸になるように配置し、試料にピントが合った光のみがピンホール上で一点に集光されるように設計され、波長ごとに集光位置が異なる光を対象物に照射し、受光スペクトルから波長焦点位置を検出することで、対象物の高さ距離を測定する。この照射受光ユニットをＸＹ方向に走査することで３次元形状データと各座標位置（ｘ、ｙ）における輝度レベルを得ることができる。
以上述べた測定システム例は一例であって、複数の企業から多様な測定部およびコントローラからなる測定システムが提供されている。

そして、こうしたメーカーから提供されている既成の測定部およびコントローラのシステムにおいては、照射光ユニット側に第１の基準面ＤＴが既に設定されている、ないし、設定されるようになっている。

図５～図７に示す本発明の実施例２において、測定装置１８は次に述べるような構成となっている。（本実施例２は、第４、第８の発明の実施例に相当する。）
前記実施例１とは、ｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ７、ｓｔｅｐ１０は同じであり（よって説明を省略する）、主に異なる点は、ｓｔｅｐ８、９を以下のようにした点にある。

ｓｔｅｐ８＜第１の代表値Ｇ１の決定＞
第１の各領域表面形状データａｍｄが生成されると、自動的に、第１の代表値決定部３０において、第１の各領域表面形状データａｍｄにおいて第１の基準面ＤＴからの測定領域ｋｔそれぞれの距離を示す値の代表値である第１の代表値Ｇ１を決定し、そのデータである第１の代表値データＧ１ｄを第１の代表値データ記憶部５８に記憶する。

ｓｔｅｐ９＜第２の代表値Ｇ２の決定＞
第１の代表値Ｇ１が決定されると、自動的に、第２の代表値決定部３１において、第１の代表値Ｇ１において、第２の基準面ＤＢからの距離を示す値の代表値である第２の代表値Ｇ２を決定し、そのデータである第２の代表値データＧ２ｄを第２の代表値記憶部５７に記憶する。

以上のｓｔｅｐによるものであるので、実施例１における、第２の各領域表面形状データ生成部１０は設けられず、よって第２の各領域表面形状データｔｍｄは生成されず、よって第２の各領域表面形状データ記憶部５６は設けられず、そして、実施例１に設けてはいない、第１の代表値決定部３０が設けられ、よって第１の代表値データＧ１ｄが生成され、よって第１の代表値データ記憶部５８が設けられ、第２の代表値決定のプロセスが異なるものとなっている。

図９～図１０に示す本発明の実施例３において、測定装置２６は次に述べるような構成となっている。（本実施例３は、第１、第５の発明の実施例に相当する。）

＜測定装置２６の構成＞
下部側又は側面側に複数の突起部ｗｔを有する測定対象物Ｗを載せる透明なテーブル２と、
テーブル２の下方に設けられた、テーブル２の上面に載せられた測定対象物Ｗに向けて、テーブル２の下方から照射光３を照射する光照射手段４と、
テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗからの照射光３の反射光をテーブル２の下方で受光する受光手段５と、
光照射手段４と受光手段５とを有する測定部１２と、
テーブル２の上面の測定対象物Ｗの設置域の外側に設けられた反射部材３６と（ここでは、セラミックス系塗料を塗布し接着されたものでるが、反射体を載せ置いたもの等でもよい。）、
制御部２１と、を備え、
制御部２１は、
測定部１２側の基準位置ないし基準面を第１の基準面ＤＴとし、
テーブル２の上面の第１の基準面ＤＴからの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、テーブル２の面（テーブル２の上面又は下面）に設けた反射部材３６の表面の第１の基準面ＤＴからの距離にもとづいて設定した基準位置ないし基準面、又は、テーブル２の面（テーブル２の上面又は下面）に設けた反射部材３６の表面の第１の基準面ＤＴからの距離の位置を任意の位置に移動させ設定した基準位置ないし基準面を第２の基準面ＤＢとし、
（上記構成は実施例１と同様であり、また、第２の基準面ＤＢは、実施例１と同様であるので説明を省略する。）
測定対象物Ｗの表面の濃淡画像又は該測定対象物ＷのＣＡＤデータに基づいて、測定対象物Ｗの表面の測定する測定領域ｋｔを特定する又は予め特定しておく測定領域特定部７と、
測定対象物Ｗの表面の測定を測定領域ｋｔのみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域ｋｔそれぞれの、ＸＹ平面における各座標位置（ｘ、ｙ）における（ＸＹ平面の各座標位置（ｘ、ｙ）における）、第１の基準面ＤＴからの測定対象物Ｗの表面の距離を示す第１の各領域表面形状データａｍｄを生成する第１の各領域表面形状データ生成部１５と、
第１の各領域表面形状データａｍｄの値から第２の基準面ＤＢのデータの値を減算して、測定領域ｋｔそれぞれの距離情報を抽出して、第２の基準面ＤＢからの測定対象物Ｗの表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第２の各領域表面形状データｔｍｄを生成する第２の各領域表面形状データ生成部１０と、
第２の各領域表面形状データｔｍｄにおいて、測定領域ｋｔそれぞれにおける、第２の基準面ＤＢからの距離を示す値の代表値である第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部１７と、
第２の代表値Ｇ２の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１９と、を備えた構成である。

（削除）
測定部１２は駆動手段（図示せず省略）によって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向又はいずれかに駆動走行して走査を行うようになっている。
測定部１２を固定として、テーブル２がＸ軸方向及びＹ軸方向又はいずれかに駆動走行して走査が行われる形態もよい。

ｓｔｅｐ１＜測定領域ｋｔの事前の記憶＞
測定領域特定部７は、測定対象物Ｗの表面の濃淡画像又は該測定対象物ＷのＣＡＤデータに基づいて、測定する測定領域ｋｔを予め特定し、そのデータである測定領域データｋｔｄを記憶する。

ｓｔｅｐ２＜第２基準面ＤＢの事前の記憶＞
第２の基準面ＤＢを予め設定し、そのデータである第２の基準面データＤＢｄを第２の基準面データ記憶部１４に記憶しておく。

ｓｔｅｐ３＜測定開始＞
ｓｔｅｐ４＜測定領域ｋｔの領域のみ距離情報の取得＞
第１の各領域表面形状データ生成部１５において、測定対象物Ｗの表面の測定を測定領域ｋｔのみを測定域とした領域のみ測定とし、測定領域ｋｔそれぞれの距離情報を抽出して、第１の基準面ＤＴからの測定対象物Ｗの表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第１の各領域表面形状データａｍｄを生成し、第１の各領域表面形状データ記憶部５５に記憶される。

ｓｔｅｐ５＜第２の各領域表面形状データｔｍｄの生成＞
第１の各領域表面形状データａｍｄが生成されると、第２の各領域表面形状データ生成部１０において、第１の各領域表面形状データａｍｄの値から第２の基準面ＤＢのデータの値を減算して、測定領域ｋｔそれぞれの距離情報を抽出して、第２の基準面ＤＢからの測定対象物Ｗの表面の各座標位置（ｘ、ｙ）における距離を示す第２の各領域表面形状データｔｍｄが生成され、第２の各領域表面形状データ記憶部５６に記憶される。

ｓｔｅｐ６＜第２の代表値Ｇ２の決定＞
第２の各領域表面形状データｔｍｄが生成されると、自動的に、第２の代表値決定部１１において、第２の各領域表面形状データｔｍｄにおいて、測定領域ｋｔそれぞれにおける、第２の基準面ＤＢからの距離を示す値の代表値である第２の代表値Ｇ２を決定し、そのデータである第２の代表値データＧ２ｄを第２の代表値記憶部５７に記憶する。

ｓｔｅｐ７＜判定＞
第２の代表値データＧ２ｄが生成されると、自動的ないないし手動操作によって、判定部１９において、第２の代表値Ｇ２の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定して、そのデータである判定データｊｕｄを判定データ記憶部５８に記憶する。

図１１～図１３に示す本発明の実施例４において、測定装置２７は次に述べるような構成となっている。（本実施例４は、第２、第６の発明の実施例に相当する。）
前記実施例３とは、ｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ４、ｓｔｅｐ７は同じであり（よって説明を省略する）、主に異なる点は、ｓｔｅｐ５、６を以下のようにした点にある。

ｓｔｅｐ５＜第１の代表値Ｇ１の決定＞
ｓｔｅｐ４において第１の各領域表面形状データａｍｄが生成されると、第１の代表値決定部３０において、第１の各領域表面形状データａｍｄにおいて、第１の基準面ＤＴからの測定領域ｋｔそれぞれにおける距離を示す値の代表値である第１の代表値Ｇ１を決定し、そのデータである第１の代表値データＧ１ｄを第１の代表値データ記憶部５８に記憶する。

ｓｔｅｐ６＜第２の代表値Ｇ２の決定＞
第１の代表値Ｇ１が決定されると、第２の代表値決定部１１において、第１の代表値（Ｇ１）において、第２の基準面ＤＢからの距離を示す値の代表値である第２の代表値Ｇ２を決定し、そのデータである第２の代表値データＧ２ｄを第２の代表値記憶部５７に記憶する。

（削除）

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（削除）

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本発明は、主に電子部品等の、平坦度の測定ないし環境変化による挙動の測定を必要とする産業で利用される。

ｗｔ：突起部、
Ｗ：測定対象物、
ｗＧ：測定対象物受光情報、
ａｓｄ：第１の表面形状データ、
ｗｍｄ：測定対象物輝度情報、
ｋｔ：測定領域、
ｋｔｄ：測定領域データ、
ａｍｄ：第１の各領域表面形状データ、
ｔｍｄ：第２の各領域表面形状データ、
Ｇ２：第２の代表値、
Ｇ２ｄ：第２の代表値データ，
Ｇ１：第１の代表値、
Ｇ１ｄ：第１の代表値データ、
ＤＢ：第２の基準面、
ＤＢｄ：第２の基準面データ、
ｎＧ：濃淡画像、
ＤＴ：第１の基準面、
ｆＧ：反射部材受光情報、
ｆｓｄ：反射部材表面形状データ、
ｕｍｄ：反射部材輝度情報、
ｆｔ：反射部材領域、
ｆｔｄ：反射部材領域データ、
ｊｕｄ：判定データ、

１：測定装置、
２：テーブル、
３：照射光、
４：光照射手段、
５：受光手段、
７：測定領域特定部、
８：第１の表面形状データ生成部、
９：第１の各領域表面形状データ生成部、
１０：第２の各領域表面形状データ生成部、
１１：第２の代表値決定部、
１２：測定部、
１４：第２の基準面データ記憶部、
１５：第１の各領域表面形状データ生成部、
１７：第２の代表値決定部、
１８：測定装置、
１９：判定部、
２１：制御部、
２２：反射部材表面形状データ生成部、
２３：反射部材輝度情報生成部、
２６：測定装置、
２７：測定装置、
３０：第１の代表値決定部、
３１：第２の代表値決定部、
３３：ディスプレイ、
３６：反射部材、
３７：反射部材領域特定部、
４０：第２の基準面設定部、
４１：第２の代表値決定部、
４２：各領域表面形状データ生成部、
４３：テーブル上面各領域表面形状データ生成部、
５０：反射部材表面形状データ記憶部、
５１：反射部材輝度情報記憶部、
５２：第１の表面形状データ記憶部、
５３：測定対象物輝度情報記憶部、
５５：第１の各領域表面形状データ記憶部、
５６：第２の各領域表面形状データ記憶部、
５７：第２の代表値記憶部、
５８：第１の代表値データ記憶部、
７２：測定領域記憶部。

Claims

測定対象物（Ｗ）を載せる透明なテーブル（２）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記テーブル（２）の上面に載せられた前記測定対象物（Ｗ）に向けて、前記テーブル（２）の下方から照射光（３）を照射する光照射手段（４）と、
前記テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）からの前記照射光（３）の反射光を前記テーブル（２）の下方で受光する受光手段（５）と、
前記光照射手段（４）と前記受光手段（５）を有する測定部（１２）と、を備えた測定装置において、
前記テーブル（２）の上面の前記測定対象物（Ｗ）の設置域の外側に設けられた反射部材（３６）と、
前記測定部（１２）側の基準位置ないし基準面を第１の基準面（ＤＴ）とし、
前記反射部材（３６）の表面の距離情報により生成した基準面をオペレータの位置決め操作ないし自動位置決め操作によって上下移動させて、前記テーブル（２）の上面位置近傍に設定した前記第１の基準面（ＤＴ）からの距離で表される基準面を第２の基準面（ＤＢ）とし、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の測定する測定領域（ｋｔ）を特定する又は予め特定しておく測定領域特定部（７）と、
前記受光手段（５）で受光された前記測定対象物（Ｗ）の受光情報を処理して、前記第１の基準面（ＤＴ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面の前記各座標位置（ｘ、ｙ）における距離で表される第１の表面形状データ（ａｓｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（８）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）それぞれの各座標位置（ｘ、ｙ）における距離で表される第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）を生成する第１の各領域表面形状データ生成部（９）と、
前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、前記第２の基準面（ＤＢ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面の距離で表される第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成する第２の各領域表面形状データ生成部（１０）と、
前記第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）の前記測定領域（ｋｔ）それぞれにおける、前記第２の基準面（ＤＢ）からの距離を示す値の代表値である第２の代表値（Ｇ２）を決定する第２の代表値決定部（１１）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
前記第２の各領域表面形状データ（ｔｍｄ）を生成する第２の各領域表面形状データ生成部（１０）を設けない構成とし、
前記第１の各領域表面形状データ（ａｍｄ）において、前記第１の基準面（ＤＴ）からの前記測定領域（ｋｔ）それぞれの距離を示す値の代表値である第１の代表値（Ｇ１）を決定する第１の代表値決定部（３０）を設け、
第２の代表値決定部（１１）に変えて第２の代表値決定部（３１）を設け、
前記第２の代表値決定部（３１）において、前記第１の代表値（Ｇ１）の値からから前記第２の基準面（ＤＢ）の値を減算することで前記第２の代表値（Ｇ２）を決定する、ことを特徴とした請求項１記載の測定装置。