JP2013186100A - 形状検査方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明は、検査対象の第1の形状データを取得する第1の3次元形状センサと、前記検査対象の前記第1の形状データとは異なる第2の形状データを取得する第2の3次元形状センサと、前記第1の形状データと前記第2の形状データとを補正し、統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする3次元形状検査装置を提供する。
【選択図】 図5
Description
2次元カメラ123にて撮像された画像より、形状を求める手法に、3角測量に基づくステレオ法、レンズの焦点を動かしピントを合わせることで距離を計測するレンズ焦点法、物体に格子パターンを投影し物体表面の形状に応じて変形したパターン模様から形状計測するモアレ法などがある。また、表面凹凸を検出する手法として、照明方向による陰影の違いを利用し、対象物体の面の法線ベクトル方向を推定する照度差ステレオ等がある。
本実施例では、複数の計測手法で得られた計測データを相補的に統合し、計測手法の安定性、精度向上を実現する。まず、各計測手法を単独で用いた場合について説明する。
(S100)
距離計測部130は、試料1の面の傾きによって計測精度が制限される。試料1のCADデータが事前に入手できる場合は、距離計測部130と計測対象の位置関係より、計測精度が保証される計測領域を決定することができる。距離計測部130により計測される距離情報の精度は、距離計測部130と試料1との距離、試料1の距離計測部に対する傾き、試料1の材質に依存している。必要な精度が確保される領域を検査領域として設定する。また、CADデータがない場合、試料1の形状を目視し、計測精度が保証されると思われる計測領域を決めてもよい。
(S101)
距離計測部130と試料1の相対位置は、xステージ106、yステージ107、θステージ108にて制御される。各ステージを、試料1の計測領域をカバーするよう制御し、3D空間中の座標を表す点群を取得する。距離計測部130にて計測されるのは、試料1表面との距離であるため、各ステージの位置情報を用いて3D空間座標に変換する。
(S102)
距離計測部130にて計測された点群には、距離計測部130の計測誤差により例外値が生じる。この例外値は、一般に計測点群の統計的な性質より除去される。例えば、ある着目範囲内にて密集している点群の位置の違いを標準偏差で表し、標準偏差のN倍距離が離れている点は例外値とするなどの処理が考えられる。
(S103)
点群をCAD比較に適したメッシュ形式に変換する。変換手法はBall−Pivoting、Power Crust等の手法が提案されている。
(S104)
S103にてメッシュ化した計測データを、CADデータと比較し、形状不良を定量化する。また、CADデータがない場合には、良品をS100〜S103の手順にてデジタル化した良品形状データと比較し、形状不良を定量化することもできる。
(S105)
S104にて定量化した形状不良値に対し、しきい値をあらかじめ設定し、OK/NG判定を自動的に行う。
(S200)
ステレオ計測にて形状計測する領域を決定し、画像を取得する箇所を決定する。
(S201)
S200にて決定した測定領域に対して、θステージ108の回転角を設定し、回転させながら、異なる視点にて複数枚の画像を取得する。回転角は、物体の大きさに依存するが、画像間にて同一箇所であるという対応関係が取れるよう、十分細かく設定する。
(S202)
S201にて取得した画像より、エッジを抽出する。エッジ抽出には、Cannyエッジ抽出法やSobelフィルタを用いた方法等を用いることができる。
(S203)
S202にてエッジ抽出した視点の異なる複数枚の画像間のエッジ部の対応関係を算出する。対応関係を算出するには、正規化相関法等を用いることができる。
(S204)
ステージ移動量より算出可能な視点のずれと、S203にて算出した対応点の位置ずれ量より、三角測量の原理に基づき奥行き情報を算出し、3D空間中の座標を示す点群を導出する。
(S205)
S204にて算出した点群をCAD比較に適したメッシュ形式に変換する。変換手法はBall−Pivoting、Power Crust等の手法が提案されている。
(S206)
S205にてメッシュ化した計測データを、CADデータと比較し、形状不良を定量化する。また、CADデータがない場合には、良品をS200〜S205の手順にてデジタル化した良品形状データと比較し、形状不良を定量化することもできる。
(S207)
S206にて定量化した形状不良値に対し、しきい値をあらかじめ設定し、OK/NG判定を自動的に行う。
(S300)
照度差ステレオ計測にて形状計測する領域を決定し、画像を取得する箇所を決定する。
(S301)
S300にて決定した測定領域に対して、最低でも3種類以上の異なる方向から照明を照射し、最低3枚の画像を取得する。θステージ108の回転角を設定し、回転させながら、異なる視点にて画像取得を行う。回転角は、物体の大きさに依存するが、画像間にて同一箇所であるという対応関係が取れるよう、十分細かく設定する。
(S302)
S301にて取得した画像に行列計算を施し法線ベクトルを算出する。物体の反射率をランバート面と仮定することで、2次元カメラ123にて取得した照明方向の異なる画像の強度からなる強度ベクトルと、照明方向を表す単位ベクトルからなる照明方向行列より、面の法線ベクトルが算出される。一般に、試料1の面がランバート面ではないとき、設定した照明方向に誤差が含まれるとき、算出された法線ベクトルには系統誤差が含まれる。
(S303)
S302にて導出した法線ベクトルに含まれる系統誤差は、試料1と同じ材質でできており、異なる面の傾きが3つ以上含まれた既知の形状サンプルを用いることで較正することができる。ただし、一般に、形状既知のサンプルを入手することは困難であり、誤差を取り除くことが困難である。そのため、照度差ステレオ法は、形状の絶対計測に用いられることは少ない。
(S304)
S302,303にて導出した法線ベクトルを積分することによって、形状情報を表す点群を算出することができる。ただし、S303にて法線ベクトルの誤差を較正仕切れていない場合、点群にも誤差が含まれる。
(S305)
S304にて算出した点群をCAD比較に適したメッシュ形式に変換する。変換手法はBall−Pivoting、Power Crust等の手法を用いる。
(S306)
S305にてメッシュ化した計測データを、CADデータと比較し、形状不良を定量化する。また、CADデータがない場合には、良品をS300〜S305の手順にてデジタル化した良品形状データと比較し、形状不良を定量化することもできる。
(S307)
S306にて定量化した形状不良値に対し、しきい値をあらかじめ設定し、OK/NG判定を自動的に行う。
ここで、空間座標中の座標変換は数式(1)のように示すことができる。
101、102・・・保持機構
103・・・サーボモータ
104・・・モータコントローラ
105・・・ベース
106・・・xステージ
107・・・yステージ
108・・・θステージ
109・・・ステージコントローラ
110・・・防振定盤
120・・・画像撮像部
121・・・照明部
122・・・レンズ
123・・・2次元カメラ
124・・・カメラコントローラ
130・・・距離計測部
131・・・距離計測センサ
132・・・センサコントローラ
140・・・制御用PC
141・・・モニタ
142・・・CADデータ
143・・・データベース
144・・・入力装置
200・・・試料の面
201・・・形状欠陥
202・・・距離計測部の計測点
203・・・距離計測による例外値
204・・・面の傾き
205・・・距離計測部による計測結果
206・・・法線ベクトル
207・・・計測点
208・・・照度差ステレオ計測による例外値
209・・・欠陥
210・・・例外値
211・・・例外値
212・・・例外値
213・・・例外値
214・・・しきい値A
215・・・しきい値B
250・・・範囲
251・・・平面
252・・・平面
253・・・形状情報
300・・・GUI
301・・・しきい値A入力ボックス
302・・・しきい値B入力ボックス
303・・・しきい値C入力ボックス
304・・・計測開始ボタン
305・・・計測結果表示ウィンドウ
306・・・CAD比較ボタン
307・・・誤差表示ボックス
308・・・OK/NG表示ボックス
Claims (16)
- 検査対象の第1の形状データを取得する第1の3次元形状センサと、
前記検査対象の前記第1の形状データとは異なる第2の形状データを取得する第2の3次元形状センサと、
前記第1の形状データと前記第2の形状データとを補正し、統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする3次元形状検査装置。 - 前記相補的統合部により統合された統合データと検査対象の参照モデルの形状データである参照データとを定量的に評価する不良定量化部とを備える請求項1に記載の3次元形状検査装置。
- 前記第1の3次元形状センサは3次元形状の点群を計測する距離計測センサであり、前記第2の3次元形状センサは3次元形状を2次元の画像データとして取得する2次元カメラであることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状検査装置。
- 前記検査対象を回転させるθステージを備え、
前記第2の3次元形状センサは前記θステージを回転させることにより得られる複数の形状データを取得することを特徴とする請求項1に記載の3次元形状検査装置。 - 前記検査対象に複数方向から照明を照射する照明部を備え、
前記第2の3次元形状センサは前記照明部で異なる方向から照明を照射することにより得られた複数の形状データを取得することを特徴とする請求項4に記載の3次元形状検査装置。 - 前記不良定量化部の評価から製品の不良を判定する判定部を備える請求項2に記載の3次元形状検査装置。
- 前記相補的統合部は、前記第1の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルと前記第2の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルとにより重み付けを行い、前記第1の形状データと前記第2の形状データとを統合することを特徴とする請求項1に記載の3次元形状検査装置。
- 前記相補的統合部は、前記第1の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルと前記第2の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルを用いて前記第1の形状データと前記第2の形状データとを補正することを特徴とする請求項1に記載の3次元形状検査装置。
- 検査対象の第1の形状データを第1の3次元形状センサにて取得する第1のデータ取得工程と、
前記検査対象の前記第1の形状データとは異なる第2の形状データを第2の3次元形状センサにて取得する第2のデータ取得工程と、
前記第1の形状データと前記第2の形状データとを補正し、統合する相補的統合工程を行うことを特徴とする3次元形状検査方法。 - 検査対象の参照モデルの形状データである参照データと前記相補的統合工程により得られタ統合データとを定量的に評価し、不良を定量化する不良定量化工程を行う請求項9に記載の3次元形状検査方法。
- 前記第1のデータ取得工程では、前記第1の3次元形状センサは3次元形状の点群を計測する距離計測センサを用い、前記第2のデータ取得工程では、前記第2の3次元形状センサは3次元形状を2次元の画像データとして取得する2次元カメラを用いること特徴とする請求項9に記載の3次元形状検査方法。
- 前記第2のデータ取得工程では、前記第2の3次元形状センサで異なる視点から前記検査対象の複数の形状データを取得することを特徴とする請求項9に記載の3次元形状検査方法。
- 前記第2のデータ取得工程では、前記第2の3次元形状センサで異なる方向から照明を照射された前記検査対象の複数の形状データを取得することを特徴とする請求項12に記載の3次元形状検査方法。
- 前記不良定量化工程による評価から製品の不良を判定する不良判定工程を行う請求項10記載の3次元形状検査方法。
- 前記相補的統合工程では、前記第1の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルと前記第2の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルとにより重み付けを行い、前記第1の形状データと前記第2の形状データとを統合することを特徴とする請求項9に記載の3次元形状検査方法。
- 前記相補的統合工程では、前記第1の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルと前記第2の3次元形状センサで得られた点群における法線ベクトルを用いて前記第1の形状データと前記第2の形状データとを補正することを特徴とする請求項9に記載の3次元形状検査方法。
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