JP2015232478A - 検査装置、検査方法およびプログラム - Google Patents
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フォトメトリックステレオ法にしたがって検査対象物を照明する照明手段と、
フォトメトリックステレオ法にしたがって前記照明された検査対象物からの反射光を受光し、非線形なトーンカーブ特性に基づいて反射光を輝度値に変換することにより輝度画像を生成する撮像手段と、
前記撮像手段における受光量と当該受光量に対応する輝度値とが線形となるように前記輝度画像を補正する補正手段と、
前記撮像手段により取得された複数の輝度画像をフォトメトリックステレオ法により合成して、当該検査対象物の表面の傾きまたは反射率に応じた複数の画素値を有する検査画像を生成する検査画像生成手段と、
前記検査画像を用いて前記検査対象物の良否を判定する判定手段と
を有することを特徴とする検査装置が提供される。
一般的なフォトメトリックステレオ法では、図2に示すように、ワーク2に対して4方向から照明光L1〜L4を切り替えながら照射し、4枚の輝度画像を生成する。各輝度画像を撮影する際に使用される照明光の方向は一方向だけである。なお、輝度画像は複数の画素により構成されており、4枚の輝度画像において座標が一致する4つの画素は同一のワーク表面に対応している。4つの画素の画素値(輝度値)I1、I2、I3、I4と、法線ベクトルnとの間には図2示した式1が成り立つ。ここでρは反射率である。Lは各方向からの照明光の光量であり、既知である。ここでは4方向とも光量は同一である。Sは照明方向行列であり、既知である。この数式を解くことで各座標(ワーク表面)ごとの反射率ρと法線ベクトルnが求められる。その結果、反射率画像と傾き画像とが得られる。
テクスチャ情報とはワーク2の表面の反射率ρに基づく情報である。式1によって反射率ρが求められる、つまり4枚の輝度画像から1枚の反射率画像が得られる。反射率画像はワーク表面の反射率ρに比例した画素値を有する画像である。図7に示すように、4枚の輝度画像701〜704から法線ベクトルを算出し、算出された法線ベクトルと複数の輝度画像の各々対応する画素の輝度値に基づいて各画素の反射率に比例した画素値を算出することで反射率画像である1枚のテクスチャ画像711が求められる。この生成方法としては4枚の輝度画像の画素平均によってテクスチャ画像を求める方法や、4枚の反射率画像からハレーションを除去してから画素平均によってテクスチャ画像を求める方法などがある。テクスチャ画像711は画像平均によって求められたものであり、テクスチャ画像712はハレーション除去によって求められたものの一例である。4枚の輝度画像において座標が一致する画素が4つ存在する。4つの画素のうち画素値が1番大きい画素を除外したり、画素値の大きい順に1番目からN番目(Nは3以下の自然数)までの画素を除外したりすることでハレーションを除去することが可能である。ハレーションは高い輝度として画像に現れるからである。テクスチャ画像711、712はともに反射率に基づく画素により構成されているため、反射率画像の一種である。
図8は検査装置のブロック図である。この例では照明装置3、カメラ4および画像処理装置5がそれぞれ個別の筐体に収容されているが、これは一例に過ぎず、適宜に一体化されてもよい。照明装置3は、フォトメトリックステレオ法にしたがって検査対象物を照明する照明手段の一例であり、光源群801とこれを制御する照明コントローラ802を備えている。複数の発光素子で1つのセグメントが構成され、さらに複数のセグメントによって光源群801が構成されていてもよい。セグメントの数は一般的には4つであるが、3つ以上であればよい。これは3方向以上の照明方向からワーク2を照明できれば、フォトメトリックステレオ法により検査画像を生成できるからである。図1に示したように照明装置3の外形はリング状をしていてもよい。また、照明装置3は、それぞれ分離した複数の照明ユニットにより構成されていてもよい。たとえば、市場にはワーク2を撮影するために使用される照明ユニットが存在しているが、これらはフォトメトリックステレオ用に開発されたものではない。ただし、このような照明ユニットを複数個用意するとともに、これらを制御する照明コントローラを接続することで、照明装置3を構成してもよい。照明コントローラ802は、画像処理装置5からの制御コマンドに応じて光源群801の点灯タイミングや点灯パターンを制御する。照明コントローラ802は照明装置3に内蔵されているものとして説明するが、カメラ4に内蔵されていてもよいし、画像処理装置5に内蔵されていてもよいし、これらからは独立した筐体に収容されていてもよい。
検査システムには検査ツールを設定する設定モードと、設定された検査ツールにしたがってワーク2の外観検査を実行する検査モード(運転モード)とを有しいている。ここでは設定モードの一例について説明する。
図20は検査モードを示すフローチャートである。入力部6を通じて検査モードの開始が指示されると、プロセッサ810が動作モードを検査モードに移行させる。
図21は検査フローを設定するUI2100の一例を示している。UI管理部814はUI2100を表示部7に表示させ、検査フローのスタートからエンドまでの間に実行される複数の工程を入力部6から入力される指示にしたがって設定して行く。この例では、撮像工程、パターンサーチ工程、位置補正工程および傷検査工程が検査フローに追加されている。たとえば、入力部6を通じて検査フローのエンドが指定されると、UI管理部814はエンドにおいて検査履歴を蓄積するように設定してもよい。検査履歴とは、検査結果や検査に使用された画像などである。
フォトメトリックステレオ法では異なる方向から照明して最低3枚(一般的には4枚)の輝度画像を取得する必要がある。照明光は異なる方向からワーク2へ照射される。そのため、ワーク表面の形状や材質によっては、ある照明方向からは飽和(白とびや黒つぶれ)が発生することなく正しく輝度画像を取得できたとしても、他の照明方向からは正しく輝度画像を取得できないことがある。これではワーク表面の法線ベクトルなどを正しく求めることができない。
ところで白とびや飽和画素を削減する方法としては輝度画像の明るさを調整する方法がある。UI管理部814の表示制御部851はカメラ4により取得された輝度画像を表示部7に表示させる。さらにUI管理部814の検査ツール設定部817は輝度画像の明るさを調整するためのUIを表示し、UIを通じて入力された調整値を調整部862に渡す。調整部862はこの調整値に応じて輝度画像の各輝度値を調整する。これにより白とびや黒つぶれを軽減してもよい。
ところでカメラ4のシャッター方式としてはローリングシャッター方式とよばれる電子シャッターが一般的である。図30(A)が示すようにローリングシャッター方式の撮像素子では露光中には画像信号を取り出すことができない。そのため、画像の取得に要する処理時間が長い。フォトメトリックステレオ法では、多数の輝度画像を取得するために全体での画像取得時間が長くなることはきわめて問題である。さらに、ローリングシャッター方式の撮像素子で移動体を撮像すると、移動体が歪んで写ってしまうことがある。とりわけ、フォトメトリックステレオ法では、ワーク2が歪んで写ってしまうと、検査画像を正しく生成できなくなってしまう。これは輝度画像から求められる法線ベクトルなどの誤差が大きくなってしまうからである。
図31は飽和画素と検査画像との関係を示す図である。輝度画像3101は白とび画素が多い輝度画像である。検査画像3111は白とびが多い輝度画像3101から生成された表面形状画像である。輝度画像3102は白とびや黒つぶれのない輝度画像である。検査画像3112は白とびや黒つぶれのない輝度画像3102から生成された表面形状画像である。輝度画像3103は黒つぶれ画素が多い輝度画像である。検査画像3113は黒つぶれが多い輝度画像3103から生成された表面形状画像である。輝度画像3101〜3103を比較するとある程度は白とびや黒つぶれの発生を認識できるが、検査画像3111〜3113ではもはや白とびや黒つぶれの発生を認識することは不可能である。よって、輝度画像において白とびや黒つぶれが発生している場合は、検査画像においても白とびや黒つぶれを強調表示することで、ユーザに対して白とびや黒つぶれの発生を認識させやすくなろう。
本実施例によれば、フォトメトリック処理部811は、フォトメトリックステレオ法にしたがってカメラ4により取得された複数の輝度画像からワーク2の表面の法線ベクトルを算出し、複数の輝度画像から算出された法線ベクトルに基づく画素値により構成された傾き画像と、当該傾き画像の縮小画像とについて、注目画素に隣接する隣接画素の法線ベクトルを用いて当該注目画素の画素値を積み上げ演算し、当該画素値を有する検査画像を生成する。とりわけ、本実施例によれば、積み上げ演算において使用される縮小画像の成分に対する重みを与えるパラメータである特徴サイズを設定する特徴サイズ設定部815を設けている。このように特徴サイズという概念を導入することで、フォトメトリックステレオの原理を用いて取得された画像から検査用画像を生成する際のパラメータを容易に設定できるようになる。
Claims (14)
- フォトメトリックステレオ法にしたがって検査対象物を照明する照明手段と、
フォトメトリックステレオ法にしたがって前記照明された検査対象物からの反射光を受光し、非線形なトーンカーブ特性に基づいて反射光を輝度値に変換することにより輝度画像を生成する撮像手段と、
前記撮像手段における受光量と当該受光量に対応する輝度値とが線形となるように前記輝度画像を補正する補正手段と、
前記撮像手段により取得された複数の輝度画像をフォトメトリックステレオ法により合成して、当該検査対象物の表面の傾きまたは反射率に応じた複数の画素値を有する検査画像を生成する検査画像生成手段と、
前記検査画像を用いて前記検査対象物の良否を判定する判定手段と
を有することを特徴とする検査装置。 - 前記補正手段は対数曲線を用いて前記輝度画像を補正することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記補正手段は低輝度領域と高輝度領域とでそれぞれ異なる傾きの直線を用いて前記輝度画像を補正することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記撮像手段における前記受光量と前記輝度値との対応関係を示すトーンカーブ特性を記憶する記憶手段をさらに有し、
前記補正手段は前記記憶手段に記憶されたトーンカーブ特性に基づいて前記輝度画像を補正することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記受光量に対する前記輝度値が線形となるように前記輝度画像を補正する補正テーブルを記憶する記憶手段をさらに有し、
前記補正手段は前記記憶手段に記憶された補正テーブルに基づいて前記輝度画像を補正することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記撮像手段により取得された輝度画像を表示する表示手段と、
前記輝度画像の明るさを調整する調整手段と
をさらに有し、
前記表示手段は前記輝度画像を構成している複数の画素のうち画素値が飽和している画素を強調表示することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記表示手段はそれぞれ照明方向が異なる複数の輝度画像を並べて表示することを特徴とする請求項6に記載の検査装置。
- 前記表示手段は前記複数の輝度画像のそれぞれで画素値が飽和している画素を強調表示することを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 前記表示手段は、前記複数の輝度画像のいずれかで画素値が飽和している画素が存在するときに、前記複数の輝度画像のうち他の輝度画像においても当該画素と座標の一致する画素について強調表示することを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 前記検査画像を生成する際に使用された複数の輝度画像においていずれかの画素で画素値が飽和しているときに、前記表示手段は、前記検査画像において当該画素と座標が一致している画素を強調表示することを特徴とする請求項6に記載の検査装置。
- それぞれ照明方向が異なる複数の輝度画像において座標が共通する複数の画素の画素値を平均化して平均画像を生成する平均画像生成手段をさらに有し、
前記複数の輝度画像においていずれかの画素で画素値が飽和しているときに、前記表示手段は、前記検査画像において当該画素と座標が一致している画素を強調表示することを特徴とする請求項6に記載の検査装置。 - 前記撮像手段はグローバルシャッターを備えていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載の検査装置。
- フォトメトリックステレオ法にしたがって検査対象物を照明する照明工程と、
フォトメトリックステレオ法にしたがって撮像手段を制御し、前記照明された検査対象物からの反射光を受光し、非線形なトーンカーブ特性に基づいて反射光を輝度値に変換することにより輝度画像を生成する撮像工程と、
前記撮像手段における受光量と当該受光量に対応する輝度値とが線形となるように前記輝度画像を補正する補正工程と、
前記撮像手段により取得された複数の輝度画像をフォトメトリックステレオ法により合成して、当該検査対象物の表面の傾きに応じた複数の画素値を有する検査画像を生成する検査画像生成工程と、
前記検査画像を用いて前記検査対象物の良否を判定する判定工程と
を有することを特徴とする検査方法。 - フォトメトリックステレオ法にしたがって検査対象物を照明する照明工程と、
フォトメトリックステレオ法にしたがって撮像手段を制御し、前記照明された検査対象物からの反射光を受光し、非線形なトーンカーブ特性に基づいて反射光を輝度値に変換することにより輝度画像を生成する撮像工程と、
前記撮像手段における受光量と当該受光量に対応する輝度値とが線形となるように前記輝度画像を補正する補正工程と、
前記撮像手段により取得された複数の輝度画像をフォトメトリックステレオ法により合成して、当該検査対象物の表面の傾きに応じた複数の画素値を有する検査画像を生成する検査画像生成工程と、
前記検査画像を用いて前記検査対象物の良否を判定する判定工程と
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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