JP2013030550A - 磁気抵抗素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体に磁界を加えると抵抗が変化する磁気抵抗体10を備えている磁気抵抗素子で、磁気抵抗体10が、基板11上に設けられた薄膜状の半導体層12aからなる感磁部12と、感磁部12上に配置された複数の短絡電極13,13とを備え、半導体層12aの厚みが、0.4μm以上0.8μm以下である。半導体層12aの延在方向に対して垂直方向の半導体層の幅をW、複数の短絡電極間の一定間隔の距離をLとしたときに、距離Lと幅Wの比であるL/Wが、0.18以上0.22以下である。
【選択図】図2
Description
ΔR/R0∝(μB)2 :低印加磁界時
ΔR/R0∝(μB) :高印加磁界時
図3(a)乃至(d)は、図2に示した本発明に係る磁気抵抗素子の製造手順を示す工程図である。つまり、2端子の磁気抵抗体10の製造プロセスフローを示している。図1(a)のA−A’線断面図である。製造プロセスには、通常のフォトグラフィーの技術を用いることができる。
A=(R1(B1)−R2(B2))/(R1(B1)+R2(B2))×入力電圧
InSbを0.7μmで形成した場合の比較例として、InSbを2.0μm形成した磁気抵抗素子を製作した。ドープをせずに2μm形成したInSb膜の電子移動度は、65000cm2/Vs、電子キャリア濃度が1.6×1016個/cm3であった。エッチング時間をInSb膜厚に合うように変更したことを除き、上述した実施例1の磁気抵抗素子を製作した場合と同様の手順で磁気抵抗素子を複数製作した。半導体層の幅Wのばらつきの割合は3σで、2.6%と大きな値となった。
2 磁気抵抗層
3 短絡電極
4 端子電極
5 電磁部
10 磁気抵抗体
11 絶縁基板
12 感磁部
12a 化合物半導体膜(半導体層)
13(13a,13b) 短絡電極
14(14a,14b) 取り出し電極(入出力電極)
15(15a,15b) 接続電極
16 保護膜
17 軟樹脂層
Claims (19)
- 半導体に磁界を加えると抵抗が変化する磁気抵抗体を備えている磁気抵抗素子において、
前記磁気抵抗体が、基板上に設けられた薄膜状の半導体層からなる感磁部と、該感磁部上に配置された複数の短絡電極とを備え、前記半導体層の厚みが、0.4μm以上0.8μm以下であることを特徴とする磁気抵抗素子。 - 前記半導体層の電子移動度が、28000cm2/Vs以上39500cm2/Vs以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗素子。
- 前記半導体層が、InAsySb1-y(0≦y≦1)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気抵抗素子。
- 前記半導体層にIV族元素又はVI族元素がドーピングされており、該半導体層の電子キャリア濃度が、1×1016個/cm3以上5×1017個/cm3以下であることを特徴とする請求項1,2又は3に記載の磁気抵抗素子。
- 前記半導体層の延在方向に対して垂直方向の前記半導体層の幅をW、前記複数の短絡電極間の一定間隔の距離をLとしたときに、前記距離Lと前記幅Wの比であるL/Wが、0.18以上0.22以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 前記半導体層の延在方向に対して垂直方向の前記半導体層の幅Wが、10μm以上60μm以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 前記基板が、Si又はGaAsであることを特徴とする請求項1及至6のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 前記半導体層に少なくとも300mTの磁場がかかるように配置した磁石を備えていることを特徴とする請求項1及至7のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 前記感磁部を複数設け、該感磁部の一端に接続された一方の入出力電極と、前記感磁部の他端に接続された他方の入出力電極とを備えているとともに、前記感磁部同士を接続する複数の接続電極を備えていることを特徴とする請求項1及至8のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 前記感磁部及び前記短絡電極を覆うように軟樹脂層を設けたことを特徴とする請求項1及至9のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 前記磁気抵抗体を複数個設け、直列連結又はブリッジ連結したことを特徴とする請求項1及至10のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 歯車検出センサとして用いることを特徴とする請求項1及至11のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 半導体に磁界を加えると抵抗が変化する磁気抵抗体を備えている磁気抵抗素子の製造方法において、
絶縁基板上に、厚みが、0.4μm以上0.8μm以下である化合物半導体膜を成膜するステップと、
前記化合物半導体膜からなる感磁部を形成するステップと、
前記絶縁基板上及び前記感磁部上に保護膜を形成するステップと、
前記感磁部上及び前記絶縁基板上に複数の短絡電極と入出力電極と接続電極とを形成するために前記保護層を除去するステップと、
前記除去された前記保護層間に前記短絡電極と前記入出力電極と前記接続電極を形成するステップと、
前記感磁部及び前記短絡電極の全面を覆うように軟樹脂層を形成するステップと
を有することを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。 - 前記半導体層の電子移動度が、28000cm2/Vs以上39500cm2/Vs以下であることを特徴とする請求項13に記載の磁気抵抗素子の製造方法。
- 前記半導体層が、InAsySb1-y(0≦y≦1)であることを特徴とする請求項13又は14に記載の磁気抵抗素子の製造方法。
- 前記半導体層にIV族元素又はVI族元素をドーピングし、該半導体層の電子キャリア濃度が、1×1016個/cm3以上5×1017個/cm3以下であることを特徴とする請求項13,14又は15に記載の磁気抵抗素子の製造方法。
- 前記半導体層の延在方向に対して垂直方向の前記半導体層の幅をW、前記複数の短絡電極間の一定間隔の距離をLとしたときに、前記距離Lと前記幅Wの比であるL/Wが、0.18以上0.22以下であることを特徴とする請求項13乃至16のいずれかに記載の磁気抵抗素子の製造方法。
- 前記半導体層の延在方向に対して垂直方向の前記半導体層の幅Wが、10μm以上60μm以下であることを特徴とする請求項13乃至17のいずれかに記載の磁気抵抗素子の製造方法。
- 前記基板が、Si又はGaAsであることを特徴とする請求項13及至18のいずれかに記載の磁気抵抗素子の製造方法。
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