JP2013026433A - レーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るレーザアニール装置1は、対象物11が載置されるステージ2と、照射部13からの距離に応じて断面積が変化し断面積とエネルギ密度とが反比例するレーザ光12を照射するレーザ装置3と、対象物11と照射部13との相対的位置関係を変化させる移動手段4とを備え、移動手段4は、レーザ光12の対象物11への照射位置がステージ2の回転中心から離間するに従って、対象物11に照射されるレーザ光12の断面積が小さくなるように相対的位置関係を変化させるものである。
【選択図】図1
Description
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の実施の形態1に係るレーザアニール装置1の構成及び動作を示している。レーザアニール装置1は、テーブル2、レーザ装置3、及び移動機構4を有する。
図15は、本発明の実施の形態2に係るレーザアニール装置21の構成及び動作を示している。当該レーザアニール装置21と上記実施の形態1に係るレーザアニール装置1との相違点は、テーブル2を変位させる移動機構24にある。
図16は、本発明の実施の形態3に係るレーザアニール装置31の構成及び動作を示している。当該レーザアニール装置31と上記実施の形態2に係るレーザアニール装置21との相違点は、レーザ装置33及び移動機構34にある。
2 テーブル
3,33 レーザ装置
4,24,34 移動機構(移動手段)
11 対象物
12 レーザ光
13,35 照射部
15 照射面積
Claims (4)
- 対象物が載置され、前記対象物を回転させるステージと、
照射部からの距離に応じて断面積が変化し前記断面積とエネルギ密度とが反比例するレーザ光を照射するレーザ装置と、
前記ステージに載置された前記対象物と前記照射部との相対的位置関係を変化させる移動手段とを備え、
前記移動手段は、前記レーザ光の前記対象物への照射位置が前記ステージの回転中心から離間するに従って、前記対象物に照射される前記レーザ光の断面積が小さくなるように前記相対的位置関係を変化させる、
レーザアニール装置。 - 前記ステージの載置面と前記レーザ光の光軸とが直交せず、
前記移動手段は、前記ステージ又は前記レーザ装置の少なくともどちらか一方を水平方向に変位させる、
請求項1に記載のレーザアニール装置。 - 前記ステージの載置面と前記レーザ光の光軸とが略直行し、
前記移動手段は、前記ステージ又は前記レーザ装置の少なくともどちらか一方を垂直方向に変位させる、
請求項1に記載のレーザアニール装置。 - 前記レーザ装置は、前記レーザ光の断面積を変化させる手段を備え、
前記移動手段は、前記ステージ又は前記レーザ装置の少なくともどちらか一方を水平方向に変位させる、
請求項1に記載のレーザアニール装置。
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