JP2008211091A - レーザアニール装置、レーザアニール方法 - Google Patents
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Abstract
回転型ステージを用い、設置場所の面積利用効率が高く、均一なレーザアニール処理を行なえるレーザアニール装置を提供する。
【解決手段】
レーザアニール装置は、回転軸の周りに回転する回転ステージに向かうレーザビームを、第1、第2の半径方向辺と、前記第1、第2の半径方向辺の間を結ぶ第1の半径距離における第1の円弧と、第2の半径距離における第2の円弧とで画定される開口を備えたマスクを用いて整形し、マスクの開口の像を前記回転ステージ上の被処理対象物上に結像する。
【選択図】 図2
Description
回転軸を水平に配置した回転ステージと、
レーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザビームを整形するマスクであって、第1、第2の半径方向辺と、前記第1、第2の半径方向辺の間を結ぶ第1の半径距離における第1の円弧と、第2の半径距離における第2の円弧とで画定される開口を備えたマスクと、
前記レーザ光源からのレーザビームを前記マスクの開口に照射する照明光学系と、
前記レーザビームを照射された開口の像を前記回転ステージ上の被処理対象物上に結像する結像光学系と、
を有するレーザアニール装置
が提供される。
(a)レーザ光源から出射するレーザビームを、第1、第2の半径方向辺と、前記第1、第2の半径方向辺の間を結ぶ第1の半径距離における第1の円弧と、第2の半径距離における第2の円弧とで画定される開口を有するマスクに照射する工程と、
(b)前記開口の像を、回転軸を水平に配置した回転ステージ上の環状領域に向け、回転ステージ上に載置された被照射物上に結像する工程と、
を含むレーザアニール方法
が提供される。
2 ビーム整形照明光学系、
3 マスク、
4 結像光学系、
5、9 走査光学系、
6 回転ステージ、
7 回転軸、
8 被照射物、
A 開口、
51,91 リニアガイド
52,92 走査ミラー
Claims (15)
- 回転軸を水平に配置した回転ステージと、
レーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザビームを整形するマスクであって、第1、第2の半径方向辺と、前記第1、第2の半径方向辺の間を結ぶ第1の半径距離における第1の円弧と、第2の半径距離における第2の円弧とで画定される開口を備えたマスクと、
前記レーザ光源からのレーザビームを前記マスクの開口に照射する照明光学系と、
前記レーザビームを照射された開口の像を前記回転ステージ上の被処理対象物上に結像する結像光学系と、
を有するレーザアニール装置。 - 前記マスクが半径距離に応じて複数の開口を有する請求項1記載のレーザアニール装置。
- 前記マスクの位置を調整する駆動系、
をさらに有する請求項2記載のレーザアニール装置。 - 前記結像光学系が、入射レーザビームを前記回転ステージの表面に平行に、かつ半径方向に反射する第1のミラーと、前記第1のミラーで反射されたレーザビームを前記回転ステージ上に反射する第2のミラーとを含む請求項1〜3のいずれか1項記載のレーザアニール装置。
- 前記結像光学系が、入射レーザビームを前記回転ステージの表面に近づく方向に、かつ半径方向に反射する第3のミラーと、前記第3のミラーで反射されたレーザビームを前記回転ステージ上に反射する、前記回転ステージ表面に対して垂直に配置された第4のミラーとを含む請求項1〜3のいずれか1項記載のレーザアニール装置。
- 前記第4のミラーを、前記第3のミラーの反射光に沿う方向にガイドするリニアガイドをさらに有し、第4のミラーの位置を変更しても光路長が変わらない請求項5記載のレーザアニール装置。
- 回転軸を水平に配置した回転ステージと、
レーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザビームを整形するマスクであって、第1、第2の半径方向辺と、前記第1、第2の半径方向辺の間を結ぶ第1の半径距離における第1の円弧と、第2の半径距離における第2の円弧とで画定される開口を備えたマスクと、
前記レーザ光源からのレーザビームを前記マスクの開口に照射する照明光学系と、
前記レーザビームを照射された開口の像を前記回転ステージ上の被処理対象物上に結像する結像光学系と、
を有し、
前記結像光学系が、入射レーザビームを前記回転ステージの表面に近づく方向に、かつ半径方向に反射する第3のミラーと、前記第3のミラーで反射されたレーザビームを前記回転ステージ上に反射する、前記第3のミラーの反射光に沿う方向に配置されたリニアガイドに沿ってガイドされ、前記回転ステージ表面に対して垂直に配置された第4のミラーとを含み、第4のミラーの位置を変更しても光路長が変わらないレーザアニール装置。 - (a)レーザ光源から出射するレーザビームを、第1、第2の半径方向辺と、前記第1、第2の半径方向辺の間を結ぶ第1の半径距離における第1の円弧と、第2の半径距離における第2の円弧とで画定される開口を有するマスクに照射する工程と、
(b)前記開口の像を、回転軸の周りに回転可能な回転ステージ上の環状領域に向け、回転ステージ上に載置された被照射物上に結像する工程と、
を含むレーザアニール方法。 - 前記工程(b)において、前記回転ステージを回転させる請求項8記載のレーザアニール方法。
- 前記マスクが半径位置が異なる複数の開口を有し、
(c)前記マスクの開口を代えて、前記工程(a)、(b)を繰り返す工程、
を含む請求項8または9記載のレーザアニール方法。 - 前記工程(c)で形成される照射領域が、先に形成された照射領域と半径方向で接する請求項10記載のレーザアニール方法。
- 前記工程(b)が、レーザビームを前記回転ステージの表面に平行に、かつ半径方向に反射するサブ工程と、前記半径方向に反射されたレーザビームを、前記回転ステージ上に反射するサブ工程とを含む請求項8〜11のいずれか1項記載のレーザアニール方法。
- 前記工程(b)が、レーザビームを前記回転ステージの半径方向に、かつ回転ステージの表面に近づく方向に斜め反射するサブ工程と、前記斜め反射されたレーザビームを、前記回転ステージ表面に対して垂直に配置されたミラーで前記回転ステージ上に反射するサブ工程とを含む請求項8〜11のいずれか1項記載のレーザアニール方法。
- 前記回転軸が水平に配置されている請求項8〜13のいずれか1項記載のレーザアニール方法。
- 前記回転軸が垂直に配置されている請求項8〜13のいずれか1項記載のレーザアニール方法。
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---|---|---|---|
JP2007048069A JP2008211091A (ja) | 2007-02-27 | 2007-02-27 | レーザアニール装置、レーザアニール方法 |
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JP2007048069A JP2008211091A (ja) | 2007-02-27 | 2007-02-27 | レーザアニール装置、レーザアニール方法 |
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2007
- 2007-02-27 JP JP2007048069A patent/JP2008211091A/ja active Pending
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