JP2013018249A - スクリーン印刷装置およびマスククリーニング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】安価なクリーニングペーパを用いて良好なクリーニング性能を確保することができるスクリーン印刷装置およびマスククリーニング方法を提供する。
【解決手段】長手方向の引張り強度が長手方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有する安価なクリーニングペーパ２３を用いる場合において、クリーニングペーパ２３を細長形状の押付け面２１ａによって押し付けるクリーニングヘッド２１の配設方法を、押付け面２１ａの長手方向をクリーニング方向と直交する基準方向に対して所定の偏角αだけ傾斜させた姿勢で配設するようにしている。これにより、スクリーンマスク１２に対するクリーニングペーパ２３の摺動方向が引張り強度の弱い幅方向となることを防止することができ、安価なクリーニングペーパ２３を用いて良好なクリーニング性能を確保することができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、スクリーンマスクを介して基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷装置においてスクリーンマスクの下面をクリーニングするマスククリーニング方法に関するものである。

電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接させ、スクリーンマスク上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。

印刷作業中には、スクリーンマスクの下面側には基板上で印刷部位からはみ出したクリーム半田が付着したり、基板上に完全に転写されなかったクリーム半田がスクリーンマスクの開口部に残留するなどの汚損が発生する。このようなクリーム半田による汚損は後続の基板への正常な印刷を妨げるため、スクリーン印刷作業を連続して実行する過程においては、これらのクリーム半田を除去するためのクリーニングを行う必要がある。

このため従来より、スクリーンマスクを下面側から専用のクリーニングぺーパを用いて拭き取ることによって残余のクリーム半田を除去するクリーニング機構を備えたスクリーン印刷装置が知られている（例えば特許文献１参照）。この特許文献例に示す先行技術においては、ローラ状の巻き取り部から引き出されたシート状の拭き取り材であるクリーニングペーパを吸引ノズルによってスクリーンマスクの下面に押し当てて摺動させることにより、スクリーンマスクの下面をクリーニングするようにしている。

特開平１０−１９３５７７号公報

近年電子部品実装業界ではコスト競争力アップのため製造コスト削減が強く要請されており、スクリーン印刷分野においてもランニングコスト低減の試みが種々行われている。この一環として、マスククリーニングに用いられるクリーニングペーパについても、従来マスククリーニング用途に一般的に用いられていたいわゆる標準品に代えて、価格が安価な代替品を用いることが求められるようになっている。

ところが現状において提供されている代替品には、その強度特性に起因して以下のような難点がある。すなわち、従来の標準品には良好な拭き取り特性を確保するために表面に微小なエンボス状の凹凸が加工されており、強度特性についても長尺方向、幅方向のいずれにもほぼ等しい強度を有している。これに対し、安価な代替品は微小な凹状の筋が長尺方向に形成されたシンプルな構造となっていることから、長尺方向の強度に比べて幅方向の強度が弱い強度特性を有するものとなっている。このため、良好な拭き取り特性を確保することを目的としてクリーニングペーパを幅方向に移動させるような拭き取り動作を行わせると、幅方向の強度が弱いことから繊維の毛羽立ちなどの表面荒れが生じ、正常なクリーニングを阻害する結果となる。このように従来技術においては、安価なクリーニングペーパを用いると、良好なクリーニング性能を確保することが困難であるという課題があった。

そこで本発明は、安価なクリーニングペーパを用いて良好なクリーニング性能を確保することができるスクリーン印刷装置およびマスククリーニング方法を提供することを目的とする。

本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドに設けられた細長形状の押付け面によって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置であって、前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給・回収機構と、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給・回収手段、ヘッド昇降手段とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、前記クリーニングペーパは前記長尺シート状における長手方向の引張り強度が前記長手方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有するものであり、前記クリーニングヘッドは、前記押付け面の長手方向を前記クリーニング方向と直交する基準方向に対して所定の偏角だけ傾斜させた姿勢で配設されている。

本発明のマスククリーニング方法は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドに設けられた細長形状の押付け面によって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置において、前記スクリーンマスクをクリーニングペーパによってクリーニングするマスククリーニング方法であって、前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給・回収機構と、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給・回収手段、ヘッド昇降手段とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動機構とを備え、前記クリーニングペーパは前記長尺シート状における長尺方向の引張り強度が前記長尺方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有するものであり、前記クリーニングヘッドを、前記押付け面の長手方向を前記クリーニング方向と直交する基準方向に対して所定の偏角だけ傾けた姿勢で配設することにより、前記クリーニングペーパにおける長尺方向を前記クリーニング方向に対して前記偏角だけ傾けた状態で前記拭き取りを行う。

本発明によれば、長尺シート状における長手方向の引張り強度が長手方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有する安価なクリーニングペーパを用いる場合において、クリーニングペーパを細長形状の押付け面によって押し付けるクリーニングヘッドの配設方法を、押付け面の長手方向をクリーニング方向と直交する基準方向に対して所定の偏角だけ傾斜させた姿勢で配設することにより、マスクに対するクリーニングペーパの摺動方向が引張り強度の弱い幅方向となることを防止することができ、安価なクリーニングペーパを用いて良好なクリーニング性能を確保することができる。

本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの構造説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの構造説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに使用されるクリーニングペーパの特性説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットにおけるクリーニングペーパのクランプ方法の説明図

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１、図２、図３を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷部１１を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル５、第２のＺ軸テーブル６を組み合わせて構成されている。

第１のＺ軸テーブル５の構成を説明する。θ軸テーブル４の上面に設けられた水平なベースプレート４ａの上面側には、同様に水平なベースプレート５ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート５ａは、複数の送りねじ５ｃをモータ５ｂによってベルト５ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。

ベースプレート５ａには垂直フレーム５ｅが立設されており、垂直フレーム５ｅの上端部には基板搬送機構８が保持されている。基板搬送機構８は基板搬送方向（Ｘ方向−−図１において紙面垂直方向）に平行に配設された２条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板１０の両端部を支持して搬送する。第１のＺ軸テーブル５を駆動することにより、基板搬送機構８によって保持された状態の基板１０を、基板搬送機構８とともに後述するスクリーン印刷部１１に対して昇降させることができる。図２、図３に示すように、基板搬送機構８は上流側（図２、図３において左側）および下流側に延出し、上流側から搬入された基板１０は基板搬送機構８によって搬送され、さらに基板位置決め部１によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷部１１によって印刷が行われた後の基板１０は、基板搬送機構８によって下流側に搬出される。

第２のＺ軸テーブル６の構成を説明する。基板搬送機構８とベースプレート５ａの中間には、水平なベースプレート６ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート６ａは、複数の送りねじ６ｃをモータ６ｂによってベルト６ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート６ａの上面には、上面に基板１０を保持する下受け面が設けられた基板下受部７が配設されている。

第２のＺ軸テーブル６を駆動することにより、基板下受部７は基板搬送機構８に保持された状態の基板１０に対して昇降する。そして基板下受部７の下受け面が基板１０の下面に当接することにより、基板下受部７は基板１０を下面側から支持する。基板搬送機構８の上面にはクランプ機構９が配設されている。クランプ機構９は、左右対向して配置された２つのクランプ部材９ａを備えており、一方側のクランプ部材９ａを駆動機構９ｂによって進退させることにより、基板１０を両側からクランプして固定する。

次に基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷部１１について説明する。図１，図２において、マスク枠１２ａにはスクリーンマスク１２が展張されており、スクリーンマスク１２には、基板１０において印刷対象となる電極１０ａの形状・位置（図３参照）に対応して、パターン孔１２ｂが設けられている。スクリーンマスク１２上にはスキージユニット１３が配設されている。スキージユニット１３は、水平なプレート１４にスキージ１６を昇降させるスキージ昇降機構１５を配設した構成となっている。スキージ昇降機構１５を駆動することによりスキージ１６は昇降して、スクリーンマスク１２の上面に当接する。

図２に示すように、縦フレーム２５上に配置されたブラケット２６上にはガイドレール２７がＹ方向に配設されており、ガイドレール２７にスライド自在に嵌合したスライダ２８は、プレート１４の両端に結合されている。これにより、スキージユニット１３はＹ方向にスライド自在となっている。プレート１４は、ナット３０、送りねじ２９および送りねじ２９を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。

次に、スクリーンマスク１２の下面をクリーニングするクリーニング部について説明する。図１に示すように、本実施の形態においては、クリーニングヘッドユニット１８は基板１０およびスクリーンマスク１２を撮像するカメラヘッドユニット１７と一体的に移動する構成となっている。カメラヘッドユニット１７は、基板１０を上方から撮像するための基板認識カメラ１７ａと、スクリーンマスク１２を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ１７ｂとを備えており、カメラヘッドユニット１７を移動させることにより、基板１０の認識とスクリーンマスク１２の認識とを同時に行うことができる。

図３に示すように、クリーニングヘッドユニット１８は水平なユニットベース１８ａに未使用のクリーニングペーパ２３を巻回したペーパロール２２Ａと、使用済みのクリーニングペーパを巻回したペーパロール２２Ｂの間に、細長形状のクリーニングヘッド２１を配設した構成となっている。ペーパロール２２Ａから引き出されたクリーニングペーパ２３は、クリーニングヘッド２１の押付け面２１ａ（図５（ｂ）参照）を経由してペーパロール２２Ｂに回収される。クリーニングヘッドユニット１８は、カメラヘッドユニット１７とともにヘッドＸ軸テーブル１９に装着されてＹ方向に一体的に移動する。

図２において縦フレーム２５上にはガイドレール３１がＹ方向に配設されており、ガイドレール３１にスライド自在に嵌合したスライダ３２は、ヘッドＸ軸テーブル１９にブラケット１９ａを介して結合されている。これにより、ヘッドＸ軸テーブル１９はＹ方向にスライド自在となっている。ヘッドＸ軸テーブル１９は、ナット３４、送りねじ３３および送りねじ３３を回転駆動するヘッド移動用モータ（図示省略）より成るヘッドＹ軸移動機構２０によりＹ方向に水平移動する。ヘッドＸ軸テーブル１９およびヘッドＹ軸移動機構２０は、カメラヘッドユニット１７およびクリーニングヘッドユニット１８を一体的に水平移動させるヘッド移動機構を構成する。

カメラヘッドユニット１７による基板１０やスクリーンマスク１２の認識を行わず、またクリーニングヘッドユニット１８によるマスククリーニングを行わないときには、図４（ａ）に示すように、カメラヘッドユニット１７、クリーニングヘッドユニット１８はともに基板位置決め部１の上方から側方に退避する。そしてマスククリーニングを実行する際には、図４（ｂ）に示すように、クリーニングヘッドユニット１８をカメラヘッドユニット１７とともにスクリーンマスク１２の下方に進出させ（矢印ａ）、次いでクリーニングヘッド２１を上昇させる。

そしてクリーニングヘッド２１によってクリーニングペーパ２３をスクリーンマスク１２の下面に押し当てた状態で、前述のヘッド移動機構によってクリーニングヘッドユニット１８を水平移動させることにより、クリーニングヘッド２１の下面を拭き取ってクリーニングする。

すなわちクリーニングヘッドユニット１８およびクリーニングヘッドユニット１８を移動させるヘッド移動手段は、クリーニングペーパ２３をクリーニングヘッド２１に設けられた細長形状の押付け面２１ａによってスクリーンマスク１２の下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスク１２を下面側からクリーニングするクリーニング部を構成する。

次にスクリーン印刷部１１による印刷動作について説明する。まず基板搬送機構８によって基板１０が印刷位置に搬入されると、第２のＺ軸テーブル６を駆動して基板下受部７を上昇させ、基板１０の下面を下受けする。そしてこの状態で基板位置決め部１を駆動して基板１０をスクリーンマスク１２に対して位置合わせする。この後、第１のＺ軸テーブル５を駆動して基板１０を基板搬送機構８とともに上昇させてスクリーンマスク１２の下面に当接させ、次いで基板１０をクランプ機構９によってクランプする。これにより、スキージユニット１３によるスキージングにおいて、基板１０の水平位置が固定される。そしてこの状態で、ペーストであるクリーム半田が供給されたスクリーンマスク１２上でスキージ１６を摺動させることにより、パターン孔１２ｂを介して基板１０にはクリーム半田が印刷される。

次に、図５，図６，図７および図８を参照して、クリーニング部を構成するクリーニングヘッドユニット１８の構造を説明する。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示すクリーニングヘッドユニット１８のＡ−Ａ断面を示している。ユニットベース１８ａに立設された支持ブラケット１８ｂ、１８ｃには、ペーパロール２２Ａ、２２Ｂをそれぞれ貫通するロール支持軸４０Ａ、４０Ｂが軸支される。ペーパロール２２Ａ、２２Ｂの間には細長形状のクリーニングヘッド２１が配設されている。ここでクリーニングヘッド２１は、押付け面２１ａの長手方向をクリーニング方向（Ｙ方向）と直交する基準方向（Ｘ方向）に対して、平面視した状態において所定の偏角α（５度〜１０度の角度範囲から適宜設定）だけ傾斜させた姿勢で配設されている。

支持ブラケット１８ｃにはロール支持軸４０Ｂと同軸位置にモータ４１が配置されており、ロール支持軸４０Ｂにはカップリング部材４２を介してモータ４１の回転軸が結合されている。モータ４１を駆動することにより、ロール支持軸４０Ｂが巻き取り方向に回転して、クリーニングペーパ２３がペーパロール２２Ｂに巻き取られる。これによりペーパロール２２Ａからクリーニングペーパ２３が引き出され、引き出されたクリーニングペーパ２３はガイドローラ３７によって導かれてクリーニングヘッド２１の押付け面２１ａを周回し、ペーパロール２２Ｂに回収される。ペーパロール２２Ａ、２２Ｂおよびモータ４１は、長尺シート状で提供される未使用のクリーニングぺーパ２３をクリーニングヘッド２１に供給し、使用後のクリーニングぺーパ２３を回収するペーパ供給・回収機構となっている。

ここで、本実施の形態において使用されるクリーニングペーパ２３について説明する。従来用いられていた標準品は、良好な拭き取り特性を確保するために表面に微小なエンボス状の凹凸が加工されており、強度特性についても長尺方向、幅方向のいずれにもほぼ等しい等方性を有するものとなっていた。これに対し、本実施の形態では、コスト面でのメリットを重視して安価な代替品、すなわち表面を微細幅で線状に凹入させた微細な筋状部２３ａ（図７参照）が長手方向にのみ形成されて、長尺シート状における長手方向の引張り強度が、長手方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有するものをクリーニングペーパ２３として採用するようにしている。

図５（ｂ）に示すように、クリーニングヘッド２１の下面には、ヘッド昇降機構３５の昇降ロッドが結合されている。ヘッド昇降機構３５を駆動することにより、クリーニングヘッド２１はスクリーンマスク１２の下面に対して昇降する（矢印ｂ）。図５（ｂ）に示す通常状態では、クリーニングヘッド２１は下降状態にある。そしてスクリーンマスク１２の下面を清掃するマスククリーニング時には、ヘッド昇降機構３５を駆動してクリーニングヘッド２１を上昇させ、クリーニングペーパ２３をスクリーンマスク１２の下面に押し付ける。クリーニングヘッド２１は押付け面２１ａが設けられた上部２１ｂと、上部２１ｂよりも横方向寸法が大きくヘッド昇降機構３５と結合された基部２１ｃを有する形状となっている。基部２１ｃの上面は、後述するようにクリーニングペーパ２３を挟み込んでクランプする上クランプ面２１ｄ（図８参照）として機能する。

上記構成において、ヘッドＸ軸テーブル１９およびヘッドＹ軸移動機構２０より成るヘッド移動機構は、クリーニングヘッド２１をペーパ供給・回収機構、ヘッド昇降機構３５とともに一体的に水平移動させることにより、クリーニングヘッド２１をスクリーンマスク１２の下面においてクリーニング方向（Ｙ方向）へ移動させるクリーニングヘッド移動手段となっている。

なお上述構成のペーパ供給・回収機構とクリーニングヘッド２１の構成において、クリーニングヘッド２１は前述のように平面視してＸ方向から偏角αだけ傾斜した姿勢となっていることから、ペーパロール２２Ａから巻き出されたクリーニングペーパ２３は幾分の弛みを生じた状態でクリーニングヘッド２１の押付け面２１ａに供給され、同様に押付け面２１ａによってスクリーンマスク１２に押し付けられてクリーニングに使用された後のクリーニングペーパ２３は、幾分の弛みを生じた状態で、ペーパロール２２Ｂによって巻き取られて回収される。

この弛みによる影響を極力低減するためには、図６に示す構成のクリーニングヘッドユニット１８Ａを用いることができる。図６（ｂ）は、図６（ａ）に示すクリーニングヘッドユニット１８ＡのＢ−Ｂ断面を示している。図６（ａ）において、クリーニングヘッドユニット１８Ａは、図５（ａ）に示すクリーニングヘッドユニット１８と同様構成のペーパロール２２Ａ、２２Ｂおよびクリーニングヘッド２１を備えている。図６（ｂ）に示すように、クリーニングヘッド２１はヘッド昇降機構３５によって昇降する。

ペーパロール２２Ａとクリーニングヘッド２１との間には、ペーパロール２２Ａとクリーニングヘッド２１とのテーパ状隙間を占有する形態で、テーパローラ４３Ａが水平姿勢で配設されている。同様に、ペーパロール２２Ｂとクリーニングヘッド２１との間には、ペーパロール２２Ｂとクリーニングヘッド２１とのテーパ状隙間を占有する形態で、テーパローラ４３Ｂが水平姿勢で配設されている。

テーパローラ４３Ａ，４３Ｂはいずれも細長円錐形状の回転体であり、それぞれ回転軸心Ａ１，Ａ２廻りに回転自在に配設されている。テーパローラ４３Ａとクリーニングヘッド２１、テーパローラ４３Ｂとクリーニングヘッド２１との間には、クリーニングペーパ２３を導くために必要な隙間が確保されている。図６（ｂ）に示すように、ペーパロール２２Ａから巻き出されたクリーニングペーパ２３はテーパローラ４３Ａを周回してクリーニングヘッド２１の押付け面２１ａに供給され、同様に押付け面２１ａによってスクリーンマスク１２に押し付けられてクリーニングに使用された後のクリーニングペーパ２３は、テーパローラ４３Ｂを周回してペーパロール２２Ｂによって巻き取られて回収される。このクリーニングペーパ２３のペーパ送りの過程において、テーパローラ４３Ａ、テーパローラ４３Ｂを介在させることにより、クリーニングヘッド２１が平面視してＸ方向から偏角αだけ傾斜した姿勢となっていることに起因するクリーニングペーパ２３の弛みが軽減され、クリーニングペーパ２３をより安定してクリーニングヘッド２１の押付け面２１ａに供給することができる。

次に図７を参照して、クリーニングペーパ２３を用いたクリーニングヘッドユニット１８によるマスククリーニング方法について説明する。前述のように、本実施の形態においては、微細な筋状部２３ａが長手方向にのみ形成された形態のクリーニングペーパ２３を用いるようにしている。このようなクリーニングペーパ２３をスクリーンマスク１２の拭き取りによるマスククリーニングに使用した場合、クリーニングペーパ２３をクリーニング対象面に対して長手方向に相対移動させると、良好な拭き取り性能が確保されず、拭き取り残りが生じる。またクリーニングペーパ２３をクリーニング対象面に対して長手方向に直交する方向、すなわち筋状部２３ａと直交する幅方向に移動させると、幅方向の強度が弱いことから繊維の毛羽立ちなどの表面荒れが生じて正常なクリーニングを行うことができない。

このような特性を有するクリーニングペーパ２３を用いる場合にあっても、本実施の形態においては、図７（ａ）に示すようにクリーニングヘッド２１を、押付け面２１ａの長手方向をクリーニング方向（Ｙ方向）と直交する基準方向（Ｘ方向）に対して所定の偏角αだけ傾けた姿勢で配設することにより、クリーニングペーパ２３における長尺方向を、クリーニング方向に対して偏角αだけ傾けた状態で、クリーニングヘッド２１の押付け面２１ａによってスクリーンマスク１２に対して押し付けて拭き取りを行うようにしている。

したがってクリーニングペーパ２３の筋状部２３ａの方向は、図７（ｂ）に示すように、常に偏角αだけクリーニング方向（矢印ｃ）から傾いた角度に保たれる。これにより、クリーニングペーパ２３をスクリーンマスク１２の下面に対して摺動させる拭き取り動作において、筋状部２３ａを引き裂くように作用する力はクリーニングペーパ２３をクリーニング対象面に対して幅方向に摺動させる場合と比較して格段に小さく、従ってクリーニングペーパ２３がミクロ的に破断することによる繊維の毛羽立ちなどの不具合が生じることがない。しかも、筋状部２３ａは常に偏角αだけクリーニング方向から傾いていることから、クリーニング対象面に付着した付着物は筋状部２３ａの微細なエッジに掻き取られ、良好なクリーニング性能が得られる。

なお、本実施の形態のような構成のクリーニングヘッド２１とクリーニングペーパ２３とを組み合わせたマスククリーニングにおいては、クリーニングペーパ２３をスクリーンマスク１２に押し付けた状態において、クリーニングペーパ２３が押付け面２１ａに対して滑りを生じることなくクリーニング対象面を正常に摺動することが求められる。このため、クリーニングヘッド２１に、図８に示すように、クリーニングペーパ２３をクリーニングヘッド２１にクランプするクランプ固定機構４４を設けることが望ましい。このようなクランプ固定機構４４は、図８（ａ）に示すように、クリーニングヘッド２１においてクリーニングペーパ２３の幅方向の両端部近傍をクリーニングヘッド２１にクランプする機能を有するものである。

クランプ固定機構４４の構成例を説明する。まず図８（ｂ）は、ヘッド昇降機構３５によってクリーニングヘッド２１を押し上げる押し上げ力Ｆによってクリーニングペーパ２３を挟み込むことによりクランプする例を示している。すなわち、クランプ固定機構４４には、クリーニングヘッド２１の基部２１ｃの上面の上クランプ面２１ｄとの間でクリーニングペーパ２３を挟み込む固定クランプ部材４４ａが固定配置されている。マスククリーニング動作においてヘッド昇降機構３５を駆動してクリーニングヘッド２１を上昇させることにより、クリーニングペーパ２３は固定クランプ部材４４ａの下面４４ｂと上クランプ面２１ｄとの間に挟み込まれ、これによりクリーニングペーパ２３の押付け面２１ａに対する相対滑りが拘束される。

また図８（ｃ）は、クランプ固定機構４４として、クランプ部材を独立の駆動機構によって駆動することによりクリーニングペーパ２３をクリーニングヘッド２１に対してクランプ固定する構成のクランプ固定機構４４を示している。すなわち上部２１ｂの側方には、上部２１ｂの側面に設けられた側クランプ面２１ｅに対してクリーニングペーパ２３を押し付けるための移動クランプ部材４５ａが進退機構４５によって進退自在に配設されている。マスククリーニング動作において進退機構４５を駆動して移動クランプ部材４５ａを進出させることにより、クリーニングペーパ２３は移動クランプ部材４５ａと側クランプ面２１ｅとの間に挟み込まれ、これによりクリーニングペーパ２３の押付け面２１ａに対する相対滑りが拘束される。

これにより、クリーニングペーパ２３をスクリーンマスク１２に対して押し付けながらクリーニングヘッド２１をスクリーンマスク１２に対して相対移動させるマスククリーニング動作において、クリーニングペーパ２３はクリーニングヘッド２１と完全に一体的に移動する。すなわち、クリーニングヘッドユニット１８が移動する際において、ペーパロール２２Ｂの回転がロックされていることに加えて、クリーニングペーパ２３がクリーニングヘッド２１にクランプされていることから、クリーニングペーパ２３の弛みが生じることがない。

上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置およびマスククリーニング方法においては、長尺シート状における長手方向の引張り強度が長手方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有する安価なクリーニングペーパ２３を用いる場合において、クリーニングペーパ２３を細長形状の押付け面２１ａによって押し付けるクリーニングヘッド２１の配設方法を、押付け面２１ａの長手方向をクリーニング方向と直交する基準方向に対して所定の偏角αだけ傾斜させた姿勢で配設するようにしている。これにより、スクリーンマスク１２に対するクリーニングペーパ２３の摺動方向が引張り強度の弱い幅方向となることを防止することができ、安価なクリーニングペーパ２３を用いて良好なクリーニング性能を確保することができる。

本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は、安価なクリーニングペーパを用いて良好なクリーニング性能を確保することができるという特徴を有し、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷の分野に有用である。

１ 基板位置決め部
１０ 基板
１１ スクリーン印刷部
１２ スクリーンマスク
１２ｂ パターン孔
１３ スキージユニット
１６ スキージ
１８、１８Ａ クリーニングヘッドユニット
１９ ヘッドＸ軸テーブル
２０ ヘッドＹ軸移動機構
２１ クリーニングヘッド
２１ａ 押付け面
２２Ａ、２２Ｂ ペーパロール
２３ クリーニングペーパ
３５ ヘッド昇降機構
４１ モータ

Claims (2)

1. パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドに設けられた細長形状の押付け面によって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置であって、
   前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給・回収機構と、
   前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、
   前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給・回収機構、ヘッド昇降機構とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動機構とを備え、
   前記クリーニングペーパは前記長尺シート状における長手方向の引張り強度が前記長手方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有するものであり、
   前記クリーニングヘッドは、前記押付け面の長手方向を前記クリーニング方向と直交する基準方向に対して所定の偏角だけ傾斜させた姿勢で配設されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
2. パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドに設けられた細長形状の押付け面によって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置において、前記スクリーンマスクをクリーニングペーパによってクリーニングするマスククリーニング方法であって、
   前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給・回収機構と、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給・回収機構、ヘッド昇降機構とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、
   前記クリーニングペーパは前記長尺シート状における長尺方向の引張り強度が前記長尺方向に直交する幅方向の引張り強度よりも高い異方性の強度特性を有するものであり、
   前記クリーニングヘッドを、前記押付け面の長手方向を前記クリーニング方向と直交する基準方向に対して所定の偏角だけ傾けた姿勢で配設することにより、前記クリーニングペーパにおける長尺方向を前記クリーニング方向に対して前記偏角だけ傾けた状態で前記拭き取りを行うことを特徴とするマスククリーニング方法。

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