JP2012251933A - 湿度センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】湿度センサ10は、基板20の一面20aにおいて対向配置された一対の検出電極31a,31bと感湿膜36を有する湿度検出部30と、一面20aにおいて湿度検出部30と離れて形成され、ボンディングワイヤ115が接続された状態で保護ゲル50に覆われるパッド40と、一面20aにおいて湿度検出部30とパッド40の間に形成され、パッド40側から湿度検出部30側への保護ゲル50の流動を抑制するダム部60と、を備える。ダム部60は、検出電極31a,31bと同一材料を用いて一面20aに形成されたダミー配線61と、感湿膜36と同一材料を用いて形成され、ダミー配線61の少なくとも一部を覆うダム用感湿膜62を有する。
【選択図】図3
Description
基板(20)の同一平面(20a)において対向配置された一対の検出電極(31a,31b)と、該検出電極(31a,31b)及び検出電極(31a,31b)間を覆う感湿膜(36)と、を有する湿度検出部(30)と、
基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において、湿度検出部(30)と離れた位置に形成され、ボンディングワイヤ(115)が接続された状態で保護ゲル部(50)に覆われる外部接続端子としてのパッド部(40)と、
基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において湿度検出部(30)とパッド部(40)の間に形成され、パッド部(40)側から湿度検出部(30)側への保護ゲル部(50)の流動を抑制するダム部(60)と、を備える。
ダム部(60)は、隣り合うダム用配線(61,81)の間の部分に対応して凹部(63,64)を有する構成とすることが好ましい。
ダム用感湿膜(62)から露出されたダム用配線(61b)と該ダム用配線(61b)の隣に位置するダム用配線(61,81)との間に凹部(64)を有するようにしても良い。
検出電極(31a,31b)の表面とダム用配線(61,81)の表面は、保護膜(23)により一体的に覆われ、
感湿膜(36)及びダム用感湿膜(62)は、保護膜(23)上に形成された構成としても良い。
ダム部(60)を構成するダム用感湿膜(62)は、平面矩形状の湿度検出部形成面(20a)の一辺部から該一辺部に対向する辺部まで延設されて湿度検出部形成面(20a)を2分割する構成を採用することができる。
ダム部(60)を構成するダム用感湿膜(62)は、平面矩形状の湿度検出部形成面(20a)の一辺部から該一辺部に対向する辺部まで延設されて湿度検出部形成面(20a)を2分割するとともに、その長手方向に直交する方向の幅が、湿度検出部(30)の感湿膜(36)よりも狭くされ、
連結用感湿膜(70)は、ダム用感湿膜(62)の長手方向においてダム用感湿膜(62)の一部に接続された構成を採用することができる。
基板(20)の同一平面(20a)において対向配置された一対の検出電極(31a,31b)と、該検出電極(31a,31b)及び検出電極(31a,31b)間を覆う感湿膜(36)と、を有する湿度検出部(30)と、
基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において、湿度検出部(30)と離れた位置に形成され、ボンディングワイヤ(115)が接続された状態で保護ゲル部(50)に覆われる外部接続端子としてのパッド部(40)と、
基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において湿度検出部(30)とパッド部(40)の間に形成され、パッド部(40)側から湿度検出部(30)側への保護ゲル部(50)の流動を抑制するダム部(60)と、を備える湿度センサ(10)の製造方法であって、
基板(20)の湿度検出部形成面(20a)に、一対の検出電極(31a,31b)を形成する電極形成工程と、
電極形成工程後、検出電極(31a,31b)及び検出電極(31a,31b)間を覆うように感湿膜(36)を形成する感湿膜形成工程と、を有する。
感湿膜形成工程において、感湿膜(36)を形成するとともに、ダム部(60)を構成するダム用感湿膜(62)を、ダム用配線(61,81)の少なくとも一部を覆うように、感湿膜(36)と同一材料を用いて形成することを特徴とする。
図1は、本実施形態の湿度センサチップ10を備えた湿度検出装置100である。この湿度検出装置100は、合成樹脂等を用いて有底角筒状に形成されたケース110と、該ケース110の底部内面に固定されたリードフレームのアイランド111,112と、アイランド111にダイマウントされた湿度センサチップ10と、アイランド112にダイマウントされた回路チップ113と、一端がケース110の内部に露出し、他端がケース110外に延出されたリード114を備える。
上記実施形態では、図3及図4に示したように、ダム部60が、ダミー配線61として、ダム用感湿膜62に少なくとも覆われるダミー配線61aと、ダム用感湿膜62から露出されたダミー配線61bを有するとともに、凹部63,64を有する例を示した。しかしながら、例えば図5に示すように、複数のダミー配線61として、ダム用感湿膜62に少なくとも覆われるダミー配線61aのみを有する構成、すなわちダム用感湿膜62表面の凹部63のみを有し、凹部64を有さない構成としても良い。このような構成としても、ダム部60の高さが高いため、保護ゲル50が感湿膜36の表面に付着するのをより効果的に抑制することができる。また、ダム用感湿膜62が凹部63を有するため、保護ゲル50が感湿膜36に付着するのをより効果的に抑制することができる。
第1実施形態では、感湿膜36とダム用感湿膜62が分離される例を示した。これに対し、本実施形態では、図9に示すように、感湿膜36とダム用感湿膜62が、感湿膜36と同一材料(ポリイミド)を用いて形成された連結用感湿膜70により、一体化されている点を特徴とする。
上記実施形態では、湿度センサチップ10が回路チップ113と別チップとして構成されており、湿度検出部30を構成する電極31a,31b,32a,32b、パッド40と電気的に接続されないダミー配線61をダム用配線とする例を示した。これに対し、本実施形態では、図10に示すように、回路チップ113に構成される回路部80が、湿度センサチップ10に集積され、この回路部80の配線81をダム用配線として用いる点を特徴とする。この回路部80は、少なくとも湿度検出部30の出力を処理する回路(例えばC−V変換回路など)を有している。
20・・・基板
20a・・・一面(湿度検出部形成面)
30・・・湿度検出部
31・・・検出容量部
31a,31b・・・検出電極
36・・・感湿膜
40〜44・・・パッド(パッド部)
50・・・保護ゲル(保護ゲル部)
60・・・ダム部
61,61a,61b・・・ダミー配線(ダム用配線)
62・・・ダム用感湿膜
80・・・回路部
81・・・配線(ダム用配線)
Claims (16)
- 基板(20)の同一平面(20a)において対向配置された一対の検出電極(31a,31b)と、該検出電極(31a,31b)及び検出電極(31a,31b)間を覆う感湿膜(36)と、を有する湿度検出部(30)と、
前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において、前記湿度検出部(30)と離れた位置に形成され、ボンディングワイヤ(115)が接続された状態で保護ゲル部(50)に覆われる外部接続端子としてのパッド部(40)と、
前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において前記湿度検出部(30)と前記パッド部(40)の間に形成され、前記パッド部(40)側から前記湿度検出部(30)側への前記保護ゲル部(50)の流動を抑制するダム部(60)と、を備える湿度センサであって、
前記ダム部(60)は、前記検出電極(31a,31b)と同一材料を用いて前記検出電極(31a,31b)と同一平面に形成されたダム用配線(61,81)と、前記感湿膜(36)と同一材料を用いて形成され、前記ダム用配線(61,81)の少なくとも一部を覆うダム用感湿膜(62)と、を有することを特徴とする湿度センサ。 - 前記湿度検出部(30)と前記パッド部(40)との対向方向において、複数の前記ダム用配線(61,81)が並設されており、
前記ダム部(60)は、隣り合う前記ダム用配線(61,81)の間の部分に対応して凹部(63,64)を有することを特徴とする請求項1に記載の湿度センサ。 - 前記ダム用感湿膜(62)は、隣り合う少なくとも2本の前記ダム用配線(61,81)及びダム用配線(61,81)間を覆うとともに、前記ダム用配線(61,81)間の部分に前記凹部(63)を有することを特徴とする請求項2に記載の湿度センサ。
- 前記ダム用配線(61,81)として、前記ダム用感湿膜から露出されたダム用配線(61b)を少なくとも1本有し、
前記ダム用感湿膜(62)から露出されたダム用配線(61b)と該ダム用配線(61b)の隣に位置するダム用配線(61,81)との間に前記凹部(64)を有することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の湿度センサ。 - 前記湿度検出部(30)と前記パッド部(40)との対向方向において、前記ダム用感湿膜(62)から露出されたダム用配線(61b)を、前記ダム用感湿膜(62)と前記感湿膜(36)との間に有することを特徴とする請求項4に記載の湿度センサ。
- 前記検出電極(31a,31b)、前記パッド部(40)、及び前記ダム用配線(61,81)は同一材料を用いて形成され、
前記検出電極(31a,31b)の表面と前記ダム用配線(61,81)の表面は、保護膜(23)により一体的に覆われ、
前記感湿膜(36)及び前記ダム用感湿膜(62)は、前記保護膜(23)上に形成されていることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の湿度センサ。 - 前記ダム用配線として、電気的な接続機能を提供せず、前記検出電極(31a,31b)及び前記パッド部(40)と電気的に分離されたダミー配線(61)を有することを特徴とする請求項1〜6いずれか1項に記載の湿度センサ。
- 前記基板(20)に形成され、前記湿度検出部(30)の出力信号を処理する回路部(80)を有し、
前記ダム用配線として、前記回路部(80)を構成する配線(81)を有することを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の湿度センサ。 - 前記感湿膜(36)と前記ダム用感湿膜(62)とは、分離されていることを特徴とする請求項1〜8いずれか1項に記載の湿度センサ。
- 前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)は矩形状をなし、
前記ダム部(60)を構成するダム用感湿膜(62)は、平面矩形状の前記湿度検出部形成面(20a)の一辺部から該一辺部に対向する辺部まで延設されて前記湿度検出部形成面(20a)を2分割していることを特徴とする請求項9に記載の湿度センサ。 - 前記感湿膜(36)と前記ダム用感湿膜(62)とは、前記感湿膜(36)と同一材料を用いて形成された連結用感湿膜(70)により、一体化されていることを特徴とする請求項1〜8いずれか1項に記載の湿度センサ。
- 前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)は矩形状をなし、
前記ダム部(60)を構成するダム用感湿膜(62)は、平面矩形状の前記湿度検出部形成面(20a)の一辺部から該一辺部に対向する辺部まで延設されて前記湿度検出部形成面(20a)を2分割するとともに、その長手方向に直交する方向の幅が、前記湿度検出部(30)の感湿膜(36)よりも狭くされ、
前記連結用感湿膜(70)は、前記ダム用感湿膜(62)の長手方向において前記ダム用感湿膜(62)の一部に接続されていることを特徴とする請求項11に記載の湿度センサ。 - 前記ダム部(60)は平面コの字状をなし、このダム部(60)が、前記パッド部(40)と前記湿度検出部(30)の間と、前記湿度検出部(30)と前記パッド部(40)との対向方向に垂直な方向において前記パッド部(40)の両側と、に位置していることを特徴とする請求項9又は請求項11に記載の湿度センサ。
- 前記ダム部(60)により、前記湿度検出部(30)が取り囲まれていることを特徴とする請求項9又は請求項11に記載の湿度センサ。
- 前記湿度検出部(30)は、雰囲気の湿度変化を一対の前記検出電極(31a,31b)間の静電容量の変化として検出することを特徴とする請求項1〜14いずれか1項に記載の湿度センサ。
- 基板(20)の同一平面において対向配置された一対の検出電極(31a,31b)と、該検出電極(31a,31b)及び検出電極(31a,31b)間を覆う感湿膜(36)と、を有する湿度検出部(30)と、
前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において、前記湿度検出部(30)と離れた位置に形成され、ボンディングワイヤ(115)が接続された状態で保護ゲル部(50)に覆われる外部接続端子としてのパッド部(40)と、
前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)において前記湿度検出部(30)と前記パッド部(40)の間に形成され、前記パッド部(40)側から前記湿度検出部(30)側への前記保護ゲル部(50)の流動を抑制するダム部(60)と、を備える湿度センサの製造方法であって、
前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)に、一対の前記検出電極(31a,31b)を形成する電極形成工程と、
前記電極形成工程後、前記検出電極(31a,31b)及び検出電極(31a,31b)間を覆うように前記感湿膜(36)を形成する感湿膜形成工程と、を有し、
前記電極形成工程において、前記検出電極(31a,31b)を形成するとともに、前記ダム部(60)を構成するダム用配線(61,81)を、前記検出電極(31a,31b)と同一材料を用いて前記基板(20)の湿度検出部形成面(20a)に形成し、
前記感湿膜形成工程において、前記感湿膜(36)を形成するとともに、前記ダム部(60)を構成するダム用感湿膜(62)を、前記ダム用配線(61,81)の少なくとも一部を覆うように、前記感湿膜(36)と同一材料を用いて形成することを特徴とする湿度センサの製造方法。
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