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QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNG
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Diese Anmeldung basiert auf der am 06. Juni 2011 eingereichten
japanischen Patentanmeldung Nr. 2011-126375 , auf deren Offenbarung hiermit vollinhaltlich Bezug genommen wird.
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TECHNISCHES GEBIET
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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Luftfeuchtigkeitssensor und ein Verfahren zur Fertigung des Luftfeuchtigkeitssensors, der ein Paar von Erfassungselektroden, die sich gegenüberliegend angeordnet sind, und einen luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film, der die Erfassungselektroden und einen Zwischenraum zwischen den Erfassungselektroden bedeckt, aufweist.
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BISHERIGER STAND DER TECHNIK
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Luftfeuchtigkeitssensoren sind beispielsweise aus den Patentdokumenten 1 und 2 bekannt.
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Im Patentdokument 1 ist ein Paar von kammförmigen Elektroden auf einer Oberfläche eines Substrats gebildet und ein Rahmenelement aus einem Schaumstoff um die kammförmigen Elektroden angeordnet. Der gesamte Bereich innerhalb des Rahmenelements ist mit einem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film bedeckt. Ferner ist ein Kontaktstellenabschnitt als ein externer Verbindungsanschluss auf dem Substrat außerhalb des Rahmenelements gebildet.
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Im Patentdokument 2 sind ein Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt und ein Schaltungsabschnitt auf demselben Substrat gebildet. Der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt weist ein Paar von Erfassungselektroden und einen luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film auf. Der Schaltungsabschnitt verarbeitet ein Ausgangssignal des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts. Das Paar von Erfassungselektroden, das sich auf derselben Oberfläche des Substrats gegenüberliegt, ist voneinander beabstandet. Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film bedeckt die Erfassungselektroden und einen Zwischenraum zwischen den Erfassungselektroden. Ferner ist eine Kontaktstelle (nicht gezeigt) des Schaltungsabschnitts mit einem Bonddraht verbunden und ein Sperrabschnitt zwischen dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt und dem Kontaktstellenabschnitt (dem Schaltungsabschnitt) des Substrats gebildet.
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Der Kontaktstellenabschnitt ist im Hinblick auf die Kosten für gewöhnlich beispielsweise aus Aluminium aufgebaut. Folglich bestehen dahingehend Bedenken, dass der Kontaktstellenabschnitt korrodieren wird, wenn der Luftfeuchtigkeitssensor in einer feuchten Atmosphäre verwendet wird. Im Patentdokument 2 bedeckt ein aus einem wasserbeständigen Material aufgebaute Schutzgelabschnitt den Kontaktstellenabschnitt und schützt der Schutzgelabschnitt den Kontaktstellenabschnitt vor einer Korrosion.
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Der Schutzgelabschnitt besitzt jedoch noch Fließbarkeit, wenn der Schutzgelabschnitt aufgetragen wird. Anschließend erfolgt ein Aushärteprozess derart, dass der Schutzgelabschnitt an einer vorbestimmten Position fest angeordnet werden kann. Folglich kann dann, wenn der Schutzgelabschnitt mit der Fließbarkeit auf den Kontaktstellenabschnitt aufgetragen wird, der Schutzgelabschnitt fließen und an einer Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films haften. In solch einem Fall kann eine Eigenschaft des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films derart geändert werden, dass die Luftfeuchtigkeitserfassungsgenauigkeit abnehmen kann.
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Im Patentdokument 1 wird ein Haften des Schutzgelabschnitts am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film durch den Sperrabschnitt gemindert. Im Patentdokument 2 wird das Haften des Schutzgelabschnitts am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film durch das Rahmenelement gemindert.
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STAND DER TECHNIK
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PATENTDOKUMENT
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- Patentdokument 1: JP 2008-64561 A
- Patentdokument 2: JP 2002-71612 A
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Im Patentdokument 2 wird der Sperrabschnitt übrigens gebildet, indem Polyimid, als ein Material für den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film, auf einen Bereich aufgetragen wird, in dem der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt gebildet wird, während Polyimid auf einen Bereich aufgetragen wird, in dem der Sperrabschnitt gebildet wird. Da der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film und der Sperrabschnitt gleichzeitig gebildet werden, wird ein Aufbau des Luftfeuchtigkeitssensors vereinfacht. Ferner wird ein Fertigungsprozess vereinfacht.
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Im Patentdokument 2 ist der Sperrabschnitt jedoch, gleich dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film, einzig aus Polyimid aufgebaut. Da die Höhe des Sperrabschnitts von den Bildungszuständen des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films abhängt, ist es schwierig, den Sperrabschnitt sehr viel höher (dicker) als den luftfeuchtigkeitsempfindliche Film auszubilden. Folglich kann dann, wenn die aufzutragende Menge des Schutzgelabschnitts groß ist, der Schutzgelabschnitt über den Sperrabschnitt zum Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt fließen und am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film haften.
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Im Patentdokument 2 ist das Rahmenelement als ein vom luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film getrenntes Teil gebildet. Folglich kann die Höhe des Rahmenelements auf eine gewünschte Höhe gesetzt werden, unabhängig von den Bildungszuständen des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films. Da das Rahmenelement jedoch als ein von den anderen Elementen des Luftfeuchtigkeitssensors getrenntes Teil gebildet ist, nimmt die Anzahl von Teilen des Luftfeuchtigkeitssensors zu. Folglich wird der Fertigungsprozess kompliziert. Die Zunahme in der Anzahl von Teilen und die Verkomplizierung des Fertigungsprozesses werden sich deutlich in einer Zunahme der Fertigungskosten widerspiegeln. Dies führt dazu, dass der Luftfeuchtigkeitssensor teuer wird.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Es ist folglich Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Luftfeuchtigkeitssensor und ein Verfahren zur Fertigung des Luftfeuchtigkeitssensors bereitzustellen, um ein Haften eines Schutzgelabschnitts an einem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film effektiv zu mindern und gleichzeitig einen Aufbau und einen Fertigungsprozess zu vereinfachen.
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Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Luftfeuchtigkeitssensor einen Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt, einen Kontaktstellenabschnitt als einen externen Verbindungsanschluss und einen Sperrabschnitt auf. Der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt weist ein Paar von Erfassungselektroden, die sich auf einer Oberfläche eines Substrats gegenüberliegen, und einen luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film, der die Erfassungselektroden und einen Zwischenraum zwischen den Erfassungselektroden bedeckt, auf. Der Kontaktstellenabschnitt ist vom Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt auf der Oberfläche des Substrats beabstandet und mit einem Schutzgelabschnitt bedeckt, unter einer Bedingung, dass ein Bonddraht mit dem Kontaktstellenabschnitt verbunden ist. Der Sperrabschnitt ist zwischen dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt und dem Kontaktstellenabschnitt auf der Oberfläche des Substrats angeordnet, um den Schutzgelabschnitt daran zu hindern, von der Seite des Kontaktstellenabschnitts zur Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts zu fließen.
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Der Sperrabschnitt weist eine Sperrleitung und einen luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm (62) auf. Die Sperrleitung ist aus dem gleichen Material wie die Erfassungselektroden aufgebaut und auf derselben Oberfläche wie die Erfassungselektroden angeordnet. Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm ist aus dem gleichen Material wie der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film aufgebaut und bedeckt wenigstens einen Teil der Sperrleitung.
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Gemäß dem ersten Aspekt ist die Sperrleitung des Sperrabschnitts auf derselben Oberfläche wie die Erfassungselektroden gebildet, unter Verwendung des gleichen Materials wie die Erfassungselektroden. Ferner ist der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm des Sperrabschnitts unter Verwendung des gleichen Materials wie der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film gebildet. Folglich kann ein Aufbau des Luftfeuchtigkeitssensors vereinfacht werden. Ferner kann, da der Sperrabschnitt unter Verwendung eines Prozesses gebildet wird, bei dem ein anderer Abschnitt des Luftfeuchtigkeitssensors gebildet wird, ein Fertigungsprozess vereinfacht werden.
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Darüber hinaus weist der Sperrabschnitt einen Mehrschichtaufbau auf, bei dem der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm auf der Sperrleitung angeordnet ist. Folglich kann die Höhe des Sperrabschnitts verglichen mit dem Fall, dass der Sperrabschnitt nur mit dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm aufgebaut ist, groß sein. Dementsprechend wird der Schutzgelabschnitt weniger wahrscheinlich über den Sperrabschnitt fließen und kann ein Haften des Schutzgelabschnitts an einer Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films effektiv gemindert werden.
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Folglich können, gemäß dem ersten Aspekt, der Aufbau und der Fertigungsprozess vereinfacht werden und kann das Haften des Schutzgelabschnitts am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film effektiv gemindert werden.
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Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zur Fertigung eines Luftfeuchtigkeitssensors auf: einen Elektrodenbildungsschritt zum Bilden eines Paares von Erfassungselektroden auf einer vorbestimmten Oberfläche eines Substrats, einen Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts-Bildungsschritt zum Bilden eines Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts durch Bildung eines luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films, um die Erfassungselektroden und einen Zwischenraum zwischen den Erfassungselektroden zu bedecken, und einen Kontaktstellenabschnitts-Bildungsschritt zum Bilden eines Kontaktstellenabschnitts als einen externen Verbindungsanschluss derart, dass der Kontaktstellenabschnitt vom Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt auf der Oberfläche des Substrats beabstandet und mit einem Schutzgelabschnitt bedeckt ist, unter einer Bedingung, dass ein Bonddraht mit dem Kontaktstellenabschnitt verbunden ist. Der Elektrodenbildungsschritt weist einen Sperrleitungsbildungsschritt auf, zum Bilden einer Sperrleitung auf der Oberfläche des Substrats zwischen dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt und dem Kontaktstellenabschnitt unter Verwendung des gleichen Materials wie die Erfassungselektroden. Der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts-Bildungsschritt weist einen Sperrabschnittsbildungsschritt auf, zum Bilden eines Sperrabschnitts, der den Schutzgelabschnitt darin hindert, von der Seite des Kontaktstellenabschnitts zur Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts zu fließen, durch Bildung eines luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms, um wenigstens einen Teil der Sperrleitung zu bedecken, unter Verwendung des gleichen Materials wie der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film.
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Im Elektrodenbildungsschritt werden die Erfassungselektroden gebildet und wird die Sperrleitung des Sperrabschnitts auf der vorbestimmten Oberfläche des Substrats gebildet, unter Verwendung des gleichen Materials wie die Erfassungselektroden.
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Im Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts-Bildungsschritt wird der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film zum Bedecken der Erfassungselektroden gebildet und wird der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm des Sperrabschnitts zum Bedecken von wenigstens einem Teil der Sperrleitung unter Verwendung des gleichen Materials wie der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film gebildet.
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Folglich kann durch den zweiten Aspekt der gleiche Vorteil wie durch den ersten Aspekt hervorgebracht werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die obige und weitere Aufgaben, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung sind aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher ersichtlich. In den Zeichnungen zeigt:
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1 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Perspektivansicht einer Luftfeuchtigkeitserfassungsvorrichtung mit einem Luftfeuchtigkeitssensor gemäß einer ersten Ausführungsform, in der ein Schutzgel der Einfachheit halber ausgelassen ist;
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2 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Draufsicht des Luftfeuchtigkeitssensors der ersten Ausführungsform, in der eine Erfassungselektrode, eine Referenzelektrode, eine Leitung zum Verbinden der Elektroden mit einer Kontaktstelle und eine Dummy-Leitung durch eine durchgezogene Linie gezeigt sind und das Schutzgel der Einfachheit halber durch eine gestrichelte Linie gezeigt ist;
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3 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Querschnittsansicht entlang der Linie III-III in der 2, in welcher die Leitung zum Verbinden der Erfassungselektrode mit der Kontaktstelle ausgelassen und die Anzahl der Erfassungselektroden und der Dummy-Leitungen verglichen mit der 2 verringert ist;
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4A eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Querschnittsansicht zur Erklärung eines Vorteils eines Sperrabschnitts eines Aufbaus der ersten Ausführungsform, in welcher der Einfachheit halber die Anzahl der Dummy-Leitungen verglichen mit der 3 verringert ist, und 4B eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Querschnittsansicht eines herkömmlichen Aufbaus als ein Vergleichsbeispiel;
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5 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Querschnittsansicht eines Sperrabschnitts gemäß einer Modifikation;
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6 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Querschnittsansicht eines Sperrabschnitts gemäß einer Modifikation;
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7 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Draufsicht eines Layouts eines Sperrabschnitts eines Substrat gemäß einer Modifikation, in der eine Erfassungselektrode, eine Referenzelektrode, eine Leitung zum Verbinden der Elektroden mit einer Kontaktstelle und ein Dummy-Leitung durch eine durchgezogene Linie gezeigt sind und das Schutzgel der Einfachheit halber durch eine gestrichelte Linie gezeigt ist;
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8 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Draufsicht eines Layouts eines Sperrabschnitts auf einem Substrat gemäß einer Modifikation, in der eine Erfassungselektrode, eine Referenzelektrode, eine Leitung zum Verbinden der Elektroden mit einer Kontaktstelle und eine Dummy-Leitung durch eine durchgezogene Linie gezeigt sind und ein Schutzgel der Einfachheit halber durch eine gestrichelte Linie gezeigt ist;
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9 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Draufsicht eines Luftfeuchtigkeitssensors gemäß einer zweiten Ausführungsform, in der eine Erfassungselektrode, eine Referenzelektrode, eine Leitung zum Verbinden der Elektroden mit einer Kontaktstelle und eine Dummy-Leitung durch eine durchgezogene Linie gezeigt sind und ein Schutzgel der Einfachheit halber durch eine gestrichelte Linie gezeigt ist;
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10 eine Abbildung zur Veranschaulichung einer Draufsicht eines Luftfeuchtigkeitssensors gemäß einer dritten Ausführungsform, in der eine Erfassungselektrode, eine Referenzelektrode, eine Leitung zum Verbinden der Elektroden mit einem Schaltungsabschnitt, eine Leitung des Schaltungsabschnitts in einem Sperrabschnitt, eine Leitung zum Verbinden des Schaltungsabschnitts mit einer Kontaktstelle durch eine durchgezogene Linie gezeigt sind, ein Schutzgel durch eine gestrichelte Linie gezeigt ist und Abschnitte des Schaltungsabschnitts mit Ausnahme der Leitung im Sperrabschnitt durch eine Strichpunktlinie gezeigt sind.
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AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG
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Nachstehend sind Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben, in denen gleiche Elemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind. In den Draufsichten der 2 und 7 bis 10 sind ein luftfeuchtigkeitsempfindlicher Film, ein luftfeuchtigkeitsempfindlicher Sperrfilm und ein luftfeuchtigkeitsempfindlicher Verbindungsfilm schraffiert, um Bereiche anzuzeigen, in denen sie gebildet sind.
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(Erste Ausführungsform)
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1 zeigt eine Luftfeuchtigkeitserfassungsvorrichtung 100 mit einem Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 gemäß einer vorliegenden Ausführungsform. Die Luftfeuchtigkeitserfassungsvorrichtung 100 weist ein Gehäuse 110, das aus Kunstharz aufgebaut und gleich einem Rechteckrohr mit einem Boden ausgebildet ist, Leiterrahmeninseln 111 und 112, die an einer Innenoberfläche des Bodens des Gehäuses 110 befestigt sind, einen Luftfeuchtigkeitssensorchip 10, der auf der Insel 111 befestigt ist, einen Schaltungschip 113, der auf der Insel 112 befestigt ist, und eine Leitung (Anschlussleitung) 114 mit einem ersten Ende innerhalb des Gehäuses 110 und einem zweiten Ende außerhalb des Gehäuses 110 auf.
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Der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 und der Schaltungschip 113 sind über einen Bonddraht 115 elektrisch miteinander verbunden. Der Schaltungschip 113 und die Leitung 114 sind über einen Bonddraht 116 elektrisch miteinander verbunden. Obgleich nicht in den Zeichnungen gezeigt, sind der Bonddraht 115, der Bonddraht 116 und deren Verbindungsabschnitte (Kontaktstellen) mit einem Schutzgel bedeckt.
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Demgemäß ist der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, ein vom Schaltungschip 113 getrennter Chip. Der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 entspricht einem in den Ansprüchen aufgeführten Luftfeuchtigkeitssensor.
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Nachstehend ist ein Aufbau des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 beschrieben.
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Wie in den 2 und 3 gezeigt, sind im Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 ein Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30, eine Kontaktstelle 40 als ein externer Verbindungsanschluss und ein Sperrabschnitt 60 zur Minderung eines Flusses eines Schutzgels 50 auf demselben Substrat 20 gebildet. Die Kontaktstelle 40 ist unter einer Bedingung, dass der Bonddraht 115 mit der Kontaktstelle 40 verbunden ist, durch das Schutzgel 50 geschützt. Die Kontaktstelle 40 entspricht einem in den Ansprüchen aufgeführten Kontaktstellenabschnitt, und das Schutzgel 50 entspricht einem in den Ansprüchen aufgeführten Schutzgelabschnitt.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist das Substrat 20 ein Siliziumsubstrat und ist eine Störstellendiffusionsschicht 21 in einem Oberflächenabschnitt der Gesamtheit einer ersten Oberfläche des Substrats 20 gebildet. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Diffusionsschicht 21 eine p-leitende Diffusionsschicht. Eine Isolierschicht 22 ist auf der Diffusionsschicht 21 gebildet, und ein Kontaktloch 22a ist in einem Teil der Isolierschicht 22 gebildet. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist die Isolierschicht 22 eine Siliziumoxidschicht und eine BPSG-Schicht auf, die in dieser Reihenfolge von der Seite des Substrats 20 aus übereinander geschichtet angeordnet sind. Der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30, die Kontaktstelle 40 und der Sperrabschnitt 60 sind auf der Isolierschicht 22 gebildet. Das Substrat 20 und die Isolierschicht 22 werden kollektiv als ein Substrat bezeichnet, und eine gegenüberliegende Seite der Isolierschicht 22 vom Substrat 20 wird als eine erste Oberfläche 20a des Substrats 20 bezeichnet. Die erste Oberfläche 20a entspricht einer in den Ansprüchen aufgeführten Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts-Bildungsoberfläche.
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Der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 weist wenigstens eine kapazitive Erfassungsvorrichtung 31 auf. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 ferner eine kapazitive Referenzvorrichtung 32 auf. Die kapazitive Erfassungsvorrichtung 31 weist ein Paar von Erfassungselektroden 31a, 31b auf, die sich auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20 gegenüberliegen. Die kapazitive Referenzvorrichtung 32 weist ein Paar von Referenzelektroden 32a, 32b auf, die sich auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20 gegenüberliegen, an einer anderen Position als die Erfassungselektroden 31a, 31b.
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Die Formen der Erfassungselektroden 31a, 31b und der Referenzelektroden 32a, 32b sind nicht beschränkt. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform weisen die Erfassungselektroden 31a, 31b, wie in 2 gezeigt, eine Kammform auf und sind abwechselnd angeordnet. Aufgrund der Kammform wird, während der Layoutbereich der Erfassungselektroden 31a, 31b verringert wird, der Überlappungsbereich der Erfassungselektroden 31a, 31b erhöht. Folglich wird eine Änderung in einer Kapazität zwischen den Erfassungselektroden 31a, 31b bezüglich einer Änderung in der Umgebungsluftfeuchtigkeit erhöht, so dass die Sensorempfindlichkeit erhöht werden kann. In gleicher Weise weisen die Referenzelektroden 32a, 32b eine Kammform auf und sind die Referenzelektroden 32a, 32b abwechselnd angeordnet.
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Ferner unterscheiden sich die Erfassungselektroden 31a, 31b, wie in 2 gezeigt, im Überlappungsbereich und in der Anzahl von Zähnen der Kammform von den Referenzelektroden 32a, 32b. Insbesondere ist die Anzahl von Zähnen der Erfassungselektroden 31a, 31b größer als diejenige der Referenzelektroden 32a, 32b und ist der Überlappungsbereich der Erfassungselektroden 31a, 31b größer als derjenige der Referenzelektroden 32a, 32b.
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Die Erfassungselektroden 31a, 31b und die Referenzelektroden 32a, 32b sind aus dem gleichen Material aufgebaut. Insbesondere wird ein Verdrahtungsmaterial, wie beispielsweise Aluminium, Kupfer, Gold, Platin oder polykristallines Silizium, durch Aufdampfung, Sputtern oder dergleichen abgeschieden. Anschließend wird in einem photolithographischen Prozess durch Mustern eine Kammform gebildet. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Erfassungselektroden 31a, 31b, die Referenzelektroden 32a, 32b und die Kontaktstelle 40 aus Aluminium aufgebaut. Folglich ist, wie in 3 gezeigt, eine Schutzschicht 23 auf den Erfassungselektroden 31a, 31b und den Referenzelektroden 32a, 32b gebildet und ein luftfeuchtigkeitsempfindlicher Film 36 ist auf der Schutzschicht 23 gebildet.
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Die Schutzschicht 23 schützt die Erfassungselektroden 31a, 31b und die Referenzelektroden 32a, 32b vor einer Korrosion aufgrund von Wasser. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Schutzschicht 23 eine Siliziumnitridschicht, die mittels eines Plasma-CVD-Verfahrens gebildet wird. Die Schutzschicht 23 ist auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20 gebildet, um nicht nur die Erfassungselektroden 31a, 31b, sondern ebenso Abschnitte mit Ausnahme der Kontaktstelle 40 zu bedecken. Wenn die Erfassungselektroden 31a, 31b (und die Referenzelektroden 32a, 32b) gegenüber Wasser korrosionsbeständig sind, kann die Schutzschicht 23 weggelassen werden.
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Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 ist auf der Schutzschicht 23 gebildet, um die Erfassungselektroden 31a, 31b, einen Abschnitt zwischen den Erfassungselektroden 31a, 31b, die Referenzelektroden 32a, 32b und einen Abschnitt zwischen den Referenzelektroden 32a, 32b zu bedecken. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 zum Bedecken der Erfassungselektroden 31a und 31b und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 zum Bedecken der Referenzelektroden 32a und 32b einteilig als ein einziger luftfeuchtigkeitsempfindlicher Film 36 gebildet. Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 kann aus einem bekannten Material, wie beispielsweise einem polyimidartigen Material, aufgebaut sein. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 aus einem polyimidartigen Material aufgebaut. Nachdem ein Vorprodukt (Polyamid) mittels eines Spin-Coating-Verfahrens oder eines Druckverfahrens beschichtet wurde, wird eine Heiz- und Härtebehandlung (Imidisierungsbehandlung) derart angewandt, dass der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 gebildet werden kann.
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Im Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 ist, wie in 2 gezeigt, die Erfassungselektrode 31a der kapazitiven Erfassungsvorrichtung 31 über eine Leitung 33 elektrisch mit einer entsprechenden Kontaktstelle 41 verbunden. Die Erfassungselektrode 31b der kapazitiven Erfassungsvorrichtung 31 und die Referenzelektrode 32b der kapazitiven Referenzvorrichtung 32 sind über eine gemeinsame Leitung 34 elektrisch mit einer entsprechenden Kontaktstelle 42 verbunden. Die Referenzelektrode 32a der kapazitiven Referenzvorrichtung 32 ist über eine Leitung 35 elektrisch mit einer entsprechenden Kontaktstelle 43 verbunden. Folglich ist ein Kondensator, der aus dem Paar der Erfassungselektroden 31a, 31b gebildet wird, zwischen den Kontaktstellen 41 und 43 in Reihe mit einem Kondensator geschaltet, der aus dem Paar der Referenzelektroden 32a, 32b gebildet wird, und ist ein Verbindungspunkt (Mittelpunkt) zwischen diesen Kondensatoren mit der Kontaktstelle 42 verbunden.
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Diese Leitungen 33–35 sind auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20, d. h. auf der gleichen Ebene wie die Erfassungselektroden 31a, 31b und die Referenzelektroden 32a, 32b, gebildet. Ferner sind die Leitungen 33–35, gleich den Erfassungselektroden 31a, 31b und den Referenzelektroden 32a, 32b, aus Aluminium aufgebaut und mit der Schutzschicht 23 bedeckt.
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Die Kontaktstellen 41–43, die elektrisch mit den Elektroden 31a, 31b, 32a und 32b des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 verbunden sind, sind in der Kontaktstelle 40 enthalten. Endabschnitte der Leitungen 33–35 auf der abgewandten Seite vom Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 sind über die Öffnung der Schutzschicht 23 freiliegend und dienen als die jeweiligen Kontaktstellen 41–43. D. h., die Kontaktstellen 41–43 sind aus dem gleichen Aluminium wie die Erfassungselektroden 31a, 31b und die Referenzelektroden 32a, 32b aufgebaut.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist die Kontaktstelle 40 ferner eine Kontaktstelle 44 auf, die elektrisch mit der Diffusionsschicht 21 verbunden ist. Eine Leitung 45, die sich entlang eines Randes des Substrats 20 mit einer rechteckigen planaren Form erstreckt, ist mit der Kontaktstelle 44 verbunden. Ein Abschnitt der Leitung 45 ist, wie in 3 gezeigt, über die Öffnung der Schutzschicht 23 freiliegend und dient als die Kontaktstelle 44. Die Leitung 45 ist ebenso auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20, d. h. auf derselben Ebene wie die Erfassungselektroden 31a, 31b und die Referenzelektroden 32a, 32b, gebildet. Ferner ist die Leitung 45, gleich den Erfassungselektroden 31a, 31b und den Referenzelektroden 32a, 32b, aus Aluminium aufgebaut und mit der Schutzschicht 23 bedeckt. Ein Kontaktloch 22a der Isolierschicht 22 ist, wie in 3 gezeigt, derart mit der Leitung 45 gefüllt, dass die Leitung 45 elektrisch mit der Diffusionsschicht 21 verbunden werden kann. Folglich kann, wenn ein konstantes Potential (wie beispielsweise ein Massepotential) über die Kontaktstelle 44 an die Leitung 45 gelegt wird, die Diffusionsschicht 21 als eine Abschirmungsschicht gegenüber elektromagnetischen Wellen dienen.
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Die Kontaktstelle 40 (41–44) ist unter der Bedingung, dass der Bonddraht 115 mit der Kontaktstelle 40 verbunden ist, mit dem Schutzgel 50 bedeckt. D. h., bevor der Bonddraht 115 mit der Kontaktstelle 40 verbunden ist, weist der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 das Schutzgel 50 nicht auf. Das Schutzgel 50 schützt die Kontaktstelle 40 aus Aluminium vor einer Korrosion aufgrund von Wasser und ist aus einem wasserresistenten Material, wie beispielsweise einem fluorierten Gel, aufgebaut. Das Schutzgel 50 wird unter Verwendung eines Dispensers oder dergleichen um die Kontaktstelle 40 herum aufgetragen und anschließend gehärtet. Folglich weist das Schutzgel 50, wenn es aufgetragen wird, noch eine Fließbarkeit auf.
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Wenn das Schutzgel 50, das nahe der Kontaktstelle 40 aufgetragen wird, in Richtung des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 fließt und am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 haftet, kann eine Eigenschaft des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 derart geändert werden, dass die Erfassungsgenauigkeit bei der Umgebungsluftfeuchtigkeit gemindert werden kann. Aus diesem Grund wird der Sperrabschnitt 60 auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20 zwischen dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und der Kontaktstelle 40 gebildet. Der Sperrabschnitt 60 verhindert, dass das Schutzgel 50, das nahe der Kontaktstelle 40 aufgebracht wird, in Richtung des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 fließt und am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 haftet.
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Der Sperrabschnitt 60 weist eine Dummy-Leitung 61 und einen luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 auf. Die Dummy-Leitung 61 ist aus dem gleichen Material wie die Erfassungselektroden 31a, 31b aufgebaut und auf derselben Ebene (die erste Oberfläche 20a des Substrats 20) wie die Erfassungselektroden 31a, 31b gebildet. Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 ist aus dem gleichen Material wie der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 aufgebaut und bedeckt wenigstens einen Teil der Dummy-Leitung 61. D. h., der Sperrabschnitt 60 weist einen Mehrschichtaufbau mit der Dummy-Leitung 61 und dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 auf.
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Der Sperrabschnitt 60 ist nachstehend näher beschrieben. Die Dummy-Leitung 61 ist elektrisch von den Elektroden 31a, 31b, 32a, 32b und der Kontaktstelle 40 des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 isoliert und stellt keine elektrische Verbindungsfunktion bereit. Die Dummy-Leitung 61 ist, wie in 3 gezeigt, auf derselben Ebene wie die Erfassungselektroden 31a, 31b, d. h. auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20, gebildet. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Leitungen 33–35, 45, wie in 2 gezeigt, nahe einem Rand des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 (der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20) mit der rechteckigen planaren Form gebildet. Die Dummy-Leitung 61 erstreckt sich in einer Richtung (einer Richtung entlang einer Seite der Rechteckform) senkrecht zu eine Gegenüberliegungsrichtung (nachstehend einfach als die „Gegenüberliegungsrichtung” bezeichnet), in der sich der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und die Kontaktstelle 40 gegenüberliegen, um den Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 mit der rechteckigen planaren Form in zwei Bereich zu unterteilen. Ferner sind die mehreren Dummy-Leitungen 61 nebeneinander in der Gegenüberliegungsrichtung angeordnet. Insbesondere sind die Dummy-Leitungen 61 zu regelmäßigen Intervallen parallel angeordnet.
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Gleich den Erfassungselektroden 31a, 31b ist die Dummy-Leitung 61 aus Aluminium aufgebaut. Folglich ist, wie in 3 gezeigt, die Dummy-Leitung 61 ebenso mit der Schutzschicht 23 bedeckt und ist der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 durch die Schutzschicht 23 gebildet. Gleich dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 ist der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 aus einem polyimidartigen Material aufgebaut.
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Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 ist über den Dummy-Leitungen 61a gebildet. Insbesondere ist der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 einteilig über die Dummy-Leitungen 61 hinweg gebildet, die in der Gegenüberliegungsrichtung nebeneinander angeordnet sind. Da zwischen den benachbarten Dummy-Leitungen 61a keine Dummy-Leitung 61a angeordnet ist, erscheint, wie in 4 gezeigt, eine Vertiefung 63 auf einer Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 zwischen den Dummy-Leitungen 61a. Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 erstreckt sich von einer zur anderen Seite von gegenüberliegenden Seiten des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 mit der rechteckigen planaren Form entlang einer Erstreckungsrichtung (einer Längsrichtung) der Dummy-Leitung 61a. Folglich unterteilt der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 den Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 mit der rechteckigen planaren Form in der Gegenüberliegungsrichtung in zwei Bereiche.
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Die anderen der Dummy-Leitungen 61 sind Dummy-Leitungen 61b. Die Dummy-Leitungen 61b sind außerhalb des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 freiliegend, und einzig die Schutzschicht 23 ist über den Dummy-Leitungen 61b angeordnet. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Dummy-Leitung 61b, wie in den 2 bis 4 gezeigt, zwischen dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 und dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 angeordnet. Da zwischen der Dummy-Leitung 61b und der Dummy-Leitung 61a benachbart zur Dummy-Leitung 61b keine Dummy-Leitung 61 angeordnet ist, erscheint eine Vertiefung 64 auf einer Oberfläche der Schutzschicht 23 zwischen den Dummy-Leitungen 61a, 61b. Obgleich nicht in den 3 und 4 gezeigt, sind, wie in 5 gezeigt, mehrere Dummy-Leitungen 61b außerhalb des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 freiliegend. Folglich erscheint die Vertiefung 64 ebenso auf der Oberfläche der Schutzschicht 23 zwischen den Dummy-Leitungen 61b.
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Der Sperrabschnitt 60 ist in der Gegenüberliegungsrichtung vom Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 beabstandet. Insbesondere gibt es einen Bereich, in dem keine Leitung und keine Elektrode gebildet sind, zwischen der Dummy-Leitung 61 und den Erfassungselektroden 31a, 31b und den Referenzelektroden 32a, 32b in der Gegenüberliegungsrichtung. Ferner sind der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 vollständig voneinander getrennt. Es gibt einen Bereich, in dem die luftfeuchtigkeitsempfindlichen Filme 36, 62 nicht angeordnet sind, zwischen dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 und dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 in der Gegenüberliegungsrichtung. Folglich erscheint, wie in 4 gezeigt, eine Vertiefung 65 auf der Oberfläche der Schutzschicht 23 zwischen dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und der äußersten Dummy-Leitung 61 am nächsten zum Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 in der Gegenüberliegungsrichtung.
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Im Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 ändert sich eine Kapazität des Kondensators, der in der kapazitiven Erfassungsvorrichtung 31 gebildet wird, mit einer Änderung in der relativen Umgebungsluftfeuchtigkeit und ändert sich eine Kapazität des Kondensators, der in der kapazitiven Referenzvorrichtung 32 gebildet wird, mit der Änderung in der relativen Umgebungsluftfeuchtigkeit. Ferner ist, aufgrund des obigen Aufbaus, das Verhältnis der Änderung in der Kapazität bezüglich der Änderung in der Umgebungsluftfeuchtigkeit zwischen der kapazitiven Erfassungsvorrichtung 31 und der kapazitiven Referenzvorrichtung 32 verschieden. Dementsprechend wird jede Kapazität durch eine gerade Linie mit einer anderen Steigung und einem anderen Schnittpunkt bezüglich der relativen Umgebungsluftfeuchtigkeit beschrieben. Genauer gesagt, es besteht ein Unterschied in der Empfindlichkeit zwischen der kapazitiven Erfassungsvorrichtung 31 und der kapazitiven Referenzvorrichtung 32. Folglich kann die relative Umgebungsluftfeuchtigkeit auf der Grundlage einer Differenz in der Änderung der Kapazität zwischen der kapazitiven Erfassungsvorrichtung 31 und der kapazitiven Referenzvorrichtung 32 erfasst werden.
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Ferner ist der auf den Erfassungselektroden 31a, 31b gebildete luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 aus dem gleichen Material wie der auf den Referenzelektroden 32a, 32b gebildete luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 aufgebaut. Folglich können ein Einfluss einer Charakteristik eines Sensorausgangs in Abhängigkeit der Temperatur (einer Charakteristik einer Empfindlichkeit in Abhängigkeit der Temperatur) aufgrund einer Charakteristik des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 in Abhängigkeit der Temperatur (einer Charakteristik einer Absorption und Desorption von Wasserdampf in Abhängigkeit der Temperatur) und ein Einfluss einer altersbedingten Verschlechterung des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 behoben werden.
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Der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 kann beispielsweise durch das nachstehend beschriebene Fertigungsverfahren gefertigt werden.
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Zunächst wird ein Siliziumwafer als das Substrat 20 vorbereitet und eine Siliziumoxidschicht durch thermische Oxidation auf einer Oberfläche gebildet. Anschließend wird die Diffusionsschicht 21 durch eine Ionenimplantation von Fremdatomen durch die Siliziumoxidschicht in die Oberfläche des Substrats 20 gebildet. Hierauf folgend wird die BPSG-Schicht derart auf der Siliziumoxidschicht gebildet, dass die BPSG-Schicht und die Siliziumoxidschicht zu der Isolierschicht 22 werden können. Anschließend wird, nachdem das Kontaktloch 22a an einer vorbestimmten Position der Isolierschicht 22 gebildet wurde, Aluminium auf der gesamten ersten Oberfläche 20a des Substrats 20 abgeschieden. Anschließend werden die Elektroden 31a, 31b, 32a, 32b, die Leitungen 33–35 mit der Kontaktstelle 40 (41–44) und die Dummy-Leitung 61 per Musterung gebildet. Auf diese Weise werden die Elektroden 31a, 31b, 32a und 32b des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 und die Dummy-Leitung 61 (Sperrleitung) im gleichen Prozess unter Verwendung des gleichen Materials gebildet.
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Anschließend wird eine Siliziumnitridschicht als die Schutzschicht 23 auf der gesamten ersten Oberfläche 20a des Substrats 20 gebildet und die Kontaktstelle 40 (41–44) durch eine Musterung freigelegt. Hierauf folgend wird, nachdem die erste Oberfläche 20a des Substrats 20 mit einem Vorprodukt beschichtet wurde, indem beispielsweise ein Spin-Coating-Verfahren angewandt wird, eine Härtebehandlung ausgeführt. Anschließend werden der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 durch eine Musterung gebildet. Auf diese Weise werden der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 im gleichen Prozess unter Verwendung des gleichen Materials gebildet.
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Anschließend wird das Substrat 20 in Chips vereinzelt. Hierauf folgend wird, nachdem der Bonddraht 115 mit der entsprechenden Kontaktstelle 40 (41–44) verbunden wurde, das Schutzgel 50 unter Verwendung eines Dispensers oder dergleichen um die Kontaktstelle 40 herum aufgetragen. Hierauf folgend wird das Schutzgel 50 gehärtet. Auf diese Weise kann der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 gefertigt werden.
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Nachstehend sind Vorteile des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 und des Fertigungsverfahrens der vorliegenden Ausführungsform beschrieben.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden die Dummy-Leitung 61 als eine Sperrleitung des Sperrabschnitts 60 und die Erfassungselektroden 31a, 31b des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 in demselben Prozess unter Verwendung des gleichen Materials gebildet. Ferner wird die Dummy-Leitung 61 auf der gleichen Ebene (auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20) wie die Erfassungselektroden 31a, 31b gebildet. Ferner werden der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 des Sperrabschnitts 60 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 in demselben Prozess unter Verwendung des gleichen Materials gebildet. Da der Sperrabschnitt 60 unter Verwendung des gleichen Materials wie der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 gefertigt wird, kann ein Aufbau des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 vereinfacht werden. Ferner kann, da der Sperrabschnitt 60 unter Verwendung des Fertigungsprozesses gebildet wird, bei dem der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 gebildet wird, der Fertigungsprozess vereinfacht werden.
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Ferner ist, wie in 4B gezeigt, wenn der Sperrabschnitt 60 einzig den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 ohne die Dummy-Leitung 61 als die Sperrleitung aufweist, eine Höhe H2 des Sperrabschnitts 60 an einer Position, an der sich keine Dummy-Leitung 61 auf der Isolierschicht 22 befindet (an einer Position, an der sich die Schutzschicht 23 in Kontakt mit der Isolierschicht 22 ist), gleich einer Dicke des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62. Da der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62, wie vorstehend beschrieben, im gleichen Prozess unter Verwendung des gleichen Materials gebildet werden, ist es schwierig, den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 sehr viel dicker als den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 auszubilden. Folglich kann der Sperrabschnitt 60 dann, wenn einzig der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilms 62 verwendet wird, keine ausreichende Höhe aufweisen.
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Demgegenüber weist der Sperrabschnitt 60, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 4A gezeigt, einen Mehrschichtaufbau auf, bei dem der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 über die Schutzschicht 23 geschichtet auf der Dummy-Leitung 61a angeordnet ist. Folglich ist eine Höhe H1 des Sperrabschnitts 60 an einer Position, an der sich keine Dummy-Leitung 61 auf der Isolierschicht 22 befindet (an einer Position, an der sich die Schutzschicht 23 in Kontakt mit der Isolierschicht 22 befindet), gleich der Summe einer Dicke des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 und einer Dicke der Dummy-Leitung 61 (61a). Dementsprechend kann die Höhe des Sperrabschnitts 60 verglichen mit dem Fall, dass der Sperrabschnitt 60 einzig den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 aufweist, vergrößert werden. Folglich kann, da das Schutzgel 50 weniger wahrscheinlich über den Sperrabschnitt 60 fließt, ein Haften des Schutzgels 50 an einer Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 effektiv gemindert werden. In den 4A und 4B zeigt ein Bereich zwischen gestrichelten Linien einen Bildungsbereich des Sperrabschnitts 60.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform können, wie vorstehend beschriebenen, der Aufbau und der Fertigungsprozess des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 vereinfacht werden und kann das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiv gemindert werden.
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Ferner ist, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, die Dummy-Leitung 61 als die Sperrleitung elektrisch von den Erfassungselektroden 31a, 31b und der Kontaktstelle 40 isoliert und stellt die Dummy-Leitung 61 keine elektrische Verbindungsfunktion bereit. Bei solch einem Ansatz kann die Höhe des Sperrabschnitts 60 ohne eine Leitung 81 eines Schaltungsabschnitts 80, die nachstehend noch beschrieben sind, vergrößert werden. Ferner kann, da die Dummy-Leitung 61 keine elektrische Verbindungsfunktion bereitstellt, eine Signalqualität auch dann aufrechterhalten werden, wenn mehrere Dummy-Leitungen 61 nebeneinander angeordnet und mit dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 bedeckt sind.
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Es wird angemerkt, dass ein Reibungswiderstand von einer Form eines Objekts in Kontakt mit einem viskosen Element, wie beispielsweise dem Schutzgel 50, abhängt. insbesondere ist, verglichen mit einer Ebene, der Reibungswiderstand hoch, da ein Aufbau mit einem Vorsprung und einer Vertiefung einen großen Kontaktbereich mit dem viskosen Element aufweist. D. h., das Schutzgel 50 kann nicht einfach fließen.
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Diesbezüglich sind, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, mehrere Dummy-Leitungen 61 nebeneinander in der Gegenüberliegungsrichtung angeordnet, in der sich der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und die Kontaktstelle 40 gegenüberliegen, und weist der Sperrabschnitt 60 die Vertiefungen 63, 64 zwischen benachbarten Dummy-Leitungen 61 auf. Insbesondere ist der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 ganzheitlich über die nebeneinander angeordneten Dummy-Leitungen 61a hinweg gebildet und ist die Vertiefung 63 auf der Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 zwischen den Dummy-Leitungen 61a angeordnet. Die Dummy-Leitung 61 weist die Dummy-Leitung 61b auf, die außerhalb des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 freiliegt, und die Vertiefung 64 ist zwischen der Dummy-Leitung 61b und der Dummy-Leitung 61 (61a oder 61b) benachbart zu dieser Dummy-Leitung 61b angeordnet.
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Wenn der Sperrabschnitt 60 die Vertiefungen 63, 64 zwischen den Dummy-Leitungen 61 aufweist (an einer Position, an der keine Dummy-Leitung 61 existiert), wird der Kontaktbereich zwischen dem Sperrabschnitt 60 und dem Schutzgel 50, bis das Schutzgel 50 über den Sperrabschnitt 60 fließt, vergrößert, ohne die Größe des Sperrabschnitts 60 in der Gegenüberliegungsrichtung zu erhöhen. Genauer gesagt, eine Länge eines Fließpfades, die das Schutzgel 50 benötigt, um über den Sperrabschnitt 60 zu fließen, wird vergrößert. Folglich wird der Reibungswiderstand des fließenden Schutzgels 50 erhöht. Ferner kann ein Teil des Schutzgels 50 in den Vertiefungen 63, 64 gespeichert werden. Dementsprechend kann das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiver gemindert werden.
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Insbesondere ist, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, die Dummy-Leitung 61b, die außerhalb des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 freiliegt, zwischen dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 und dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 in der Gegenüberliegungsrichtung angeordnet, in der sich der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und die Kontaktstelle 40 gegenüberliegen. Genauer gesagt, die Vertiefung 64 befindet sich zwischen dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 und dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36. Folglich können der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 voneinander beabstandet sein, während der Kontaktbereich zwischen dem Sperrabschnitt 60 und dem Schutzgel 50 vergrößert wird.
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Für gewöhnlich nimmt die Tiefe der durch mehrere Dummy-Leitungen 61 (Sperrleitungen) gebildeten Vertiefungen 63, 64 mit abnehmendem Abstand von der Dummy-Leitung 61 in der Höhenrichtung zu. Diesbezüglich ist, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, während die Vertiefung 63 auf dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 gebildet ist, die Vertiefung 64 auf der Oberfläche der Schutzschicht 23 gebildet, und zwar durch die Dummy-Leitung 61b, die außerhalb des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 freiliegt. Da die Vertiefung 64 in der Höhenrichtung näher zur Dummy-Leitung 61 angeordnet ist als die Vertiefung 63, ist die Tiefe der Vertiefung 64 größer als die Tiefe der Vertiefung 63. Folglich kann das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiver gemindert werden.
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Ferner sind, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 2 gezeigt, der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 voneinander getrennt. Folglich erreicht das Schutzgel 50 auch dann, wenn das Schutzgel 50 eine Oberfläche (eine obere Oberfläche) des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 erreicht, nicht die Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36, indem es kontinuierlich über ein Element fließt, das aus dem gleichen Material (Polyimid) aufgebaut ist. Ferner wird die Länge des Fließpfades zum luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 vergrößert. Dementsprechend kann das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiver gemindert werden. Insbesondere unterteilt der Sperrabschnitt 60, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, den Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 (die erste Oberfläche 20a des Substrats 20) mit der rechteckigen planaren Form in der Gegenüberliegungsrichtung in zwei Bereiche. Folglich hindert der Sperrabschnitt 60 das Schutzgel 50 effektiv daran, zum Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 zu fließen.
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Ferner ist, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, die Vertiefung 65 zwischen dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und der äußersten Dummy-Leitung 61b, die dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 in der Gegenüberliegungsrichtung am nächsten liegt, angeordnet. Der Kontaktbereich zwischen dem Sperrabschnitt 60 und dem Schutzgel 50 wird durch die Vertiefung 65 vergrößert. Ferner kann das Schutzgel 50 in der Vertiefung 65 aufgenommen werden.
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(Modifikation)
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In der obigen Ausführungsform weist der Sperrabschnitt 60, wie in den 3 und 4 gezeigt, die Dummy-Leitung 61a, die mit dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 bedeckt ist, die Dummy-Leitung, die außerhalb des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 freiliegt, und die Vertiefungen 63, 64 auf. Alternativ kann der Sperrabschnitt 60 beispielsweise, wie in 5 gezeigt, einzig die Dummy-Leitung 61a aufweisen, die mit dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 bedeckt ist, und zwar derart, dass einzig die Vertiefung 63 auf der Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 gebildet werden kann. Auch bei solch einem Aufbau kann, da die Höhe des Sperrabschnitts 60 groß wird, das Haften des Schutzgels 50 an der Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 effektiver gemindert werden. Darüber hinaus kann, da der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 die Vertiefung 63 aufweist, das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiver gemindert werden.
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In der 5 ist, in der Gegenüberliegungsrichtung, in der sich die Kontaktstelle 40 und der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 gegenüberliegen, ein Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite der Kontaktstelle 40 näher zur Kontaktstelle 40 angeordnet als ein Ende der Dummy-Leitung 61a auf der Seite der Kontaktstelle 40 und ist ein Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 näher zum Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 angeordnet als ein Ende der Dummy-Leitung 61a auf der Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30. Alternativ kann das Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite der Kontaktstelle 40 oberhalb des Endes der Dummy-Leitung 61a auf der Seite der Kontaktstelle 40 angeordnet sein. In gleicher Weise kann das Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 oberhalb des Endes der Dummy-Leitung 61a auf der Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 angeordnet sein.
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Der Sperrabschnitt 60 kann beispielsweise, wie in 6 gezeigt, einzig eine Dummy-Leitung 61a als die Dummy-Leitung 61 aufweisen. Da die Höhe des Sperrabschnitts 60 groß wird, kann das Haften des Schutzgels 50 an der Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 effektiver gemindert werden. In der 6 sind, in der Gegenüberliegungsrichtung, in der sich die Kontaktstelle 40 und der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 gegenüberliegen, sowohl das Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite der Kontaktstelle 40 als auch das Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 oberhalb der Dummy-Leitung 61a angeordnet. Alternativ kann das Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite der Kontaktstelle 40 näher zur Kontaktstelle 40 angeordnet sein als das Ende der Dummy-Leitung 61a auf der Seite der Kontaktstelle 40 und kann das Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 auf der Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 näher zum Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 angeordnet sein als das Ende der Dummy-Leitung 61a auf der Seite des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30.
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In der obigen Ausführungsform erstreckt sich der Sperrabschnitt 60 in der Richtung senkrecht zur Gegenüberliegungsrichtung, in der sich der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und die Kontaktstelle 40 gegenüberliegen, um den Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 (die erste Oberfläche 20a des Substrats 20) mit der rechteckigen planaren Form in zwei Bereiche zu unterteilen. Ein Layout des Sperrabschnitts 60 ist jedoch nicht auf das obige Beispiel beschränkt. Der Sperrabschnitt 60 kann beispielsweise, wie in 7 gezeigt, eine rechteckige C-Form in der Draufsicht aufweisen. Der Sperrabschnitt 60 kann in der Gegenüberliegungsrichtung zwischen der Kontaktstelle 40 und dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und in einer Richtung senkrecht zur Gegenüberliegungsrichtung auf beiden Seiten der Kontaktstelle 40 angeordnet sein. Da die Kontaktstelle 40, wie in 7 gezeigt, entlang eines Randes von einer Seite des Substrats 20 mit der rechteckigen planaren Form angeordnet ist, umgibt der Sperrabschnitt 60 die Kontaktstelle 40 auf der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20. Folglich kann, da das Schutzgel 50 wahrscheinlich in einer Richtung weg vom Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 fließen wird, das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiver gemindert werden.
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Ferner kann der Sperrabschnitt 60, wie in 8 gezeigt, den Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 umgeben. In der 8 weist der Sperrabschnitt 60 eine rechteckige Ringform auf und ist der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 innerhalb des Sperrabschnitts 60 angeordnet. In der 8 ist die Kontaktstelle 40 über den Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und den Sperrabschnitt 60 gesehen auf jeder Seite angeordnet. Auch bei solch einem Aufbau kann das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiver gemindert werden. In den 7 und 8 ist die Dummy-Leitung 61 in Abschnitten, in denen die Leitungen 33–35 und 45 nicht gebildet sind, innerhalb des Bildungsbereichs des Sperrabschnitts 60 gebildet.
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In der obigen Ausführungsform sind die Erfassungselektroden 31a, 31b, die Referenzelektroden 32a, 32b und die Dummy-Leitung 61 mit der Schutzschicht 23 bedeckt. Wenn die Erfassungselektroden 31a, 31b, die Referenzelektroden 32a, 32b und die Dummy-Leitung 61 aus einem Material aufgebaut sind, das gegenüber von Wasser korrosionsbeständig ist, kann die Schutzschicht 23 weggelassen werden. In diesem Fall befindet sich der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 in Kontakt mit der Dummy-Leitung 61a und ist die Vertiefung 64 benachbart zur Dummy-Leitung 61b angeordnet.
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In der obigen Ausführungsform sind die Leitungen 33 bis 35 und 45, die mit der Kontaktstelle 40 verbunden sind, aus dem gleichen Aluminiummaterial wie die Kontaktstelle 40 aufgebaut und auf der gleichen Ebene (der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20) wie die Erfassungselektroden 31a, 31b gebildet. Alternativ kann wenigstens ein Teil der Leitung, der durch den Bildungsbereich des Sperrabschnitts 60 verläuft, durch eine Diffusionsschicht vorgesehen sein. Bei solch einem Ansatz kann die Dummy-Leitung 61 derart gebildet sein, dass sich die Dummy-Leitung 61 zwischen zwei gegenüberliegenden Seiten des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 (die erste Oberfläche 20a des Substrats 20) mit der rechteckigen planaren Form erstrecken kann. Folglich kann die Höhe des Sperrabschnitts 60 über einen gesamten Bereich zwischen den zwei gegenüberliegenden Seiten vergrößert werden.
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In der obigen Ausführungsform weist der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 die Diffusionsschicht 21, die Kontaktstelle 44 und die Leitung 45, die elektrisch mit der Diffusionsschicht 21 verbunden sind, auf. Es ist jedoch nicht stets erforderlich, dass der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 diese aufweist.
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(Zweite Ausführungsform)
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In der ersten Ausführungsform sind der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 voneinander getrennt. Demgegenüber sind der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 und der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 9 gezeigt, über einen luftfeuchtigkeitsempfindlichen Verbindungsfilm 70, der aus dem gleichen Material (Polyimid) wie der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 aufgebaut ist, zu einer Einheit miteinander verbunden.
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In einem Beispiel der 9 erstreckt sich der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62, gleich der ersten Ausführungsform (siehe 2), zwischen zwei gegenüberliegenden Seiten der ersten Oberfläche 20a des Substrats 20 mit der rechteckigen planaren Form, um die erste Oberfläche 20a in zwei Bereiche zu unterteilen. Ferner ist die Breite des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 in einer Richtung senkrecht zu einer Längsrichtung des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 (in der Gegenüberliegungsrichtung, in der sich der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und die Kontaktstelle 40 gegenüberliegen) geringer als die Breite des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36. Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Verbindungsfilm 70 ist mit jedem Ende des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 in der Längsrichtung des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 verbunden.
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Der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 des obigen Aufbaus kann die folgenden Vorteile zusätzlich zu den in der ersten Ausführungsform beschriebenen Vorteilen hervorbringen. Es sollte beachtet werden, dass der Sperrabschnitt 60 mit Ausnahme des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Verbindungsfilms 70 die gleichen Vorteile wie die Vertiefung 64, 65 hervorbringen kann.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform verbindet der luftfeuchtigkeitsempfindliche Verbindungsfilm 70 den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 und den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 zu einem einzigen luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film. Folglich wird der Gesamtkontaktbereich zwischen dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film und dem Substrat 20 vergrößert, so dass Ablösungen des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 und des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 während eines Vereinzelungsprozesses reduziert werden können. Insbesondere kann ein Ablösen des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62, der schmaler als der luftfeuchtigkeitsempfindliche Film 36 ist, reduziert werden.
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Der luftfeuchtigkeitsempfindliche Sperrfilm 62 ist über den luftfeuchtigkeitsempfindlichen Verbindungsfilm 70 an beiden Enden in der Längsrichtung mit dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 verbunden und in der Mitte in der Längsrichtung vom luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 getrennt. Die Kontaktstelle 40 ist in der Längsrichtung in der Mitte angeordnet. D. h., auch wenn das Schutzgel 50 eine Oberfläche eines mittleren Abschnitts des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 erreicht, der in der Gegenüberliegungsrichtung, in der sich der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und die Kontaktstelle 40 gegenüberliegen, nahe der Kontaktstelle 40 angeordnet ist, erreicht das Schutzgel 50 nicht die Oberfläche des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36, indem es kontinuierlich über ein Element fließt, das aus dem gleichen Material (Polyimid) aufgebaut ist. Ferner wird die Länge des Fließpfades zum luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 vergrößert. Folglich kann das Haften des Schutzgels 50 am luftfeuchtigkeitsempfindlichen Film 36 effektiver gemindert werden.
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(Dritte Ausführungsform)
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In der obigen Ausführungsform ist der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 ein vom Schaltungschip 113 getrennter Chip und wird die Dummy-Leitung 61, die elektrisch von den Elektroden 31a, 31b, 32a, 32b und der Kontaktstelle 40 des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 getrennt ist, als die Sperrleitung verwendet. Demgegenüber ist, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 10 gezeigt, ein Schaltungsabschnitt 80 des Schaltungschips 113 in den Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 integriert und wird eine Leitung 81 des Schaltungsabschnitts 80 als die Sperrleitung verwendet. Der Schaltungsabschnitt 80 weist eine Schaltung (wie beispielsweise eine C-V-Wandlungsschaltung) zur Verarbeitung eines Ausgangs des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 auf.
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In einem Beispiel der 10 ist der Schaltungsabschnitt 80 in der Gegenüberliegungsrichtung, in der sich der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und die Kontaktstelle 40 gegenüberliegen, zwischen dem Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 und der Kontaktstelle 40 gebildet. Die Leitung 81 des Schaltungsabschnitts 80 ist aus dem gleichen Material (Aluminium) wie die Erfassungselektroden 31a, 31b aufgebaut. Gleich der Dummy-Leitung 61 erstreckt sich die Leitung 81 in einer Richtung senkrecht zur Gegenüberliegungsrichtung. Ferner sind mehrere Leitungen 81 in der Gegenüberliegungsrichtung nebeneinander angeordnet. In der 2 sind zwei Leitungen 81 mit dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 bedeckt. Die Anzahl der Leitungen 81 ist jedoch nicht auf das obige Beispiel beschränkt. Gleich der Dummy-Leitung 61 kann die Leitung 81 nicht nur eine Leitung aufweisen, die mit dem luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilm 62 bedeckt ist, sondern ebenso eine Leitung, die außerhalb des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Sperrfilms 62 freiliegt.
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Es sollte beachtet werden, dass die Leitungen 33–35 elektrisch mit den Elektroden 31a, 31b, 32a, 32b des Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitts 30 und dem Schaltungsabschnitt 80 verbunden sind. Die Leitung 46 ist mit der Kontaktstelle 40 und dem Schaltungsabschnitt 80 verbunden.
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Der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 des obigen Aufbaus kann die folgenden Vorteile zusätzlich zu den in der ersten Ausführungsform beschriebenen Vorteilen hervorbringen. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Schaltungsabschnitt 80 in den Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 integriert. Folglich kann die Größe der Luftfeuchtigkeitserfassungsvorrichtung 100 verringert werden. Ferner wird die Leitung 81 des Schaltungsabschnitts 80, die in demselben Substrat 20 wie der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 gebildet ist, als die Sperrleitung verwendet. Folglich kann die Größe des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 verglichen mit dem Fall, dass die Dummy-Leitung 61 verwendet wird, verringert werden.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 und der Schaltungschip 113 in einem Chip integriert. Folglich kann eine der Inseln 111, 112 der Luftfeuchtigkeitserfassungsvorrichtung 100, die in der 1 gezeigt ist, weggelassen werden und ist die Kontaktstelle 40 des Luftfeuchtigkeitssensorchips 10 über den Bonddraht 115 mit der Leitung 114 verbunden.
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Obgleich die vorliegende Erfindung in Verbindung mit ihren Ausführungsformen beschrieben worden ist, sollte wahrgenommen werden, dass sie nicht auf die Ausführungsformen beschränkt ist. Die vorliegende Erfindung soll verschiedene Modifikationen und äquivalente Anordnungen innerhalb ihres Schutzumfangs mit umfassen.
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Gemäß den Ausführungsformen weist der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 die kapazitive Erfassungsvorrichtung 31 und die kapazitive Referenzvorrichtung 32 auf. Alternativ kann der Luftfeuchtigkeitserfassungsabschnitt 30 einzig die kapazitive Erfassungsvorrichtung 31 aufweisen.
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Gemäß den Ausführungsformen ist der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 als ein kapazitiver Luftfeuchtigkeitssensor zur Erfassung einer Änderung in einer Umgebungsluftfeuchtigkeit auf der Grundlage einer Änderung in der Kapazität zwischen den Erfassungselektroden 31a, 31b konfiguriert. Das Erfassungsprinzip ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Der Luftfeuchtigkeitssensorchip 10 kann beispielsweise als ein Widerstands-Luftfeuchtigkeitssensor zur Erfassung einer Änderung in der Umgebungsluftfeuchtigkeit auf der Grundlage einer Änderung in der Impedanz des luftfeuchtigkeitsempfindlichen Films 36 konfiguriert sein.
