JP2012238730A - ウェハ保持体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のウェハ保持体は、被処理物保持面を有するセラミックス基体中に導電体が埋設されたウェハ保持体であって、被処理物保持面以外の面に露出し前記導電体に接続された導電端子と、該導電端子に接続された電極リードとを有し、該電極リードは、両端が気密に封止された絶縁パイプに覆われており、前記電極リードは前記絶縁パイプ内で分割され、分割された電極リードを電気的に接続する接続部品を有しており、該接続部品は、少なくとも一方端部に筒状部を有する柱状部品であり、該筒状部に前記分割された電極リードの一方が挿入されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
2 被処理物保持面
3 導電体
4 導電端子
5 電極リード
6 接続部品
7 絶縁パイプ
8 スリット
9 リング状部材
Claims (3)
- 被処理物保持面を有するセラミックス基体中に導電体が埋設されたウェハ保持体であって、被処理物保持面以外の面に露出し前記導電体に接続された導電端子と、該導電端子に接続された電極リードとを有し、該電極リードは、両端が気密に封止された絶縁パイプに覆われており、前記電極リードは前記絶縁パイプ内で分割され、分割された電極リードを電気的に接続する接続部品を有しており、該接続部品は、少なくとも一方端部に筒状部を有する柱状部品であり、該筒状部に前記分割された電極リードの一方が挿入されていることを特徴とするウェハ保持体。
- 前記筒状部には、スリットを有することを特徴とする請求項1に記載のウェハ保持体。
- 前記筒状部の一部が、内径側に向かって変形していることを特徴とする請求項2に記載のウェハ保持体。
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