JP2012225690A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光の照射対象である製品等のワークと外部観察点との間であって、かつ、それらを結ぶ観察軸線上に設けられた観察孔と、前記観察孔の周囲に設けられ前記ワークに光を照射する第1光源部と、前記外部観察点側であって前記観察孔に臨む位置に、前記観察軸線に対して斜めに設けられたハーフミラーと、射出された光が前記ハーフミラーで反射し、前記観察孔を通って前記ワークに照射される位置に設けられた第2光源部と、前記観察孔内に嵌入された透明部材と、を備えているようにした。
【選択図】図1
Description
第1光照射部2は、矩形板状をなす光学部材3と、その光学部材3の側周囲から光を照射する第1光源部5と、光学部材3及び第1光源部5を保持する枠体4とを備えている。
311・・・観察孔
5・・・第1光源部
7・・・キューブ型ビームスプリッター
72・・・下端部
71・・・ハーフミラー
7b・・・下端面
7´・・・透明部材
8・・・第2光源部
C・・・観察軸線
W・・・ワーク
Claims (8)
- 光の照射対象である製品等のワークと外部観察点との間であって、かつ、それらを結ぶ観察軸線上に設けられた観察孔と、
前記観察孔の周囲に設けられ前記ワークに光を照射する第1光源部と、
前記外部観察点側であって前記観察孔に臨む位置に、前記観察軸線に対して斜めに設けられたハーフミラーと、
射出された光が前記ハーフミラーで反射し、前記観察孔を通って前記ワークに照射される位置に設けられた第2光源部と、
前記観察孔内に嵌入された透明部材と、を備えていることを特徴とする光照射装置。 - 前記ハーフミラーが、中実透明体からなるビームスプリッターに内包されている請求項1記載の光照射装置。
- 前記ビームスプリッターを構成する中実透明体の絶対屈折率が前記透明部材の絶対屈折率より大きい請求項2記載の光照射装置。
- 前記第1光源部が、前記観察孔が形成された平板状の透明体と、前記透明体に光を導入する複数の発光体とを備え、前記透明板の前記ワークに対向する面より光を導出するものであり、
前記透明部材の前記ワークに対向する端面が、前記透明体の前記ワークに対向する面と面一である請求項1、2又は3記載の光照射装置。 - 前記透明部材の側周端面の内面が光反射面である請求項4記載の光照射装置。
- 前記透明部材の側周端面の外面が光反射面である請求項4又は5記載の光照射装置。
- 前記透明部材の絶対屈折率が前記平板状の透明体の絶対屈折率より大きい請求項4記載の光照射装置。
- 前記透明部材が、前記ビームスプリッターのワークに対向する側の端部を構成している請求項2、3、4又は5記載の光照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5556733B2 JP5556733B2 (ja) | 2014-07-23 |
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