JP2017187296A - 同軸照明装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ワーク・・・W
観察部・・・M
観察軸・・・C
第1ハーフミラー・・・11
光源部・・・12
第2ハーフミラー・・・14
Claims (5)
- 観察対象であるワークと該ワークを観察する観察部とを結ぶ観察軸上に斜めに配置された第1ハーフミラーと、観察軸とは異なる方向から第1ハーフミラーに光を照射する光源部とを具備し、前記光源部から射出された光が前記第1ハーフミラーで反射して前記ワークに照射するように構成された同軸照明装置において、
前記第1ハーフミラーとワークとの間の前記観察軸上に該観察軸及び前記第1ハーフミラーとは異なる角度で配置された第2ハーフミラーを具備し、該第2ハーフミラーの反射率が30%以下であることを特徴とする同軸照明装置。 - 観察対象であるワークと該ワークを観察する観察部とを結ぶ観察軸上に斜めに配置された第1ハーフミラーと、観察軸とは異なる方向から第1ハーフミラーに光を照射する光源部とを具備し、前記光源部から射出された光が前記第1ハーフミラーで反射して前記ワークに照射するように構成された同軸照明装置において、
前記第1ハーフミラーとワークとの間の前記観察軸上に該観察軸及び前記第1ハーフミラーとは異なる角度で配置された第2ハーフミラーを具備し、前記第2ハーフミラーが、光の入射する方向と前記観察軸との成す角度が所定の値よりも小さい場合には反射率が0%以上30%以下であり、前記角度が前記所定の値よりも大きい場合には、反射率が20%以上60%以下であることを特徴とする同軸照明装置。 - 前記第2ハーフミラーが、光の入射する方向と前記観察軸との成す角度が所定の値よりも小さい場合には反射率がほぼ0%であり、前記角度が前記所定の値よりも大きい場合には、反射率がほぼ50%であることを特徴とする請求項2記載の同軸照明装置。
- 前記所定の値が15度以上35度以下であることを特徴とする請求項2又は3記載の同軸照明装置。
- 前記第1ハーフミラーが前記観察軸に対して45度の角度で配置されており、前記第2ハーフミラーが前記観察軸に対して垂直に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の同軸照明装置。
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