JP4601473B2 - 検査対象物の外観を検査する装置 - Google Patents
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Description
(1)照明装置と撮像装置とが検査対象物を挟むように対向配置されている。
(2)照明装置が有機エレクトロルミネッセンス素子とハーフミラーとから構成され、このハーフミラーが有機エレクトロルミネッセンス素子の発光を反射して検査対象物に照射し、かつ検査対象物により反射された光を撮像装置に伝えるように配置されている。
(3)照明装置が、上下方向に伸びる筒体、この筒体の内部に筒体の長さ方向に沿って互いに同軸に配置された一対の光学レンズ、この一対の光学レンズの間にレンズの軸に対して表面を傾斜させて配置されたハーフミラー、そして上記筒体の側部に備えられ、ハーフミラー表面での反射を介してレンズの軸と同軸に且つ筒体の下側方向に伝わる光を発する有機エレクトロルミネッセンス素子から構成され、そして照明装置がその筒体の上端を撮像装置の側に向け、そして下端を検査対象物の側に向けて配置されている。
(4)照明装置が、上下方向に伸びる筒体、該筒体の内部に筒体の長さ方向に沿って互いに同軸に配置された一対の光学レンズ、上記筒体の下側端部に固定された、前記のレンズの軸に沿って上下に開口が形成された筐体、この筐体内に上記レンズの軸に対して表面を傾斜させて配置されたハーフミラー、そして上記筐体に収容され、ハーフミラー表面での反射を介してレンズの軸と同軸に且つ筐体の下側方向に伝わる光を発する有機エレクトロルミネッセンス素子から構成され、そして照明装置がその筒体の上端を撮像装置の側に向け、そして下端を検査対象物の側に向けて配置されている。
(5)照明装置が備える有機エレクトロルミネッセンス素子の陰電極層が円環状の形状にあり、そして撮像装置が上記の陰電極層の円環の透孔を通して検査対象物の光学像を撮像するように配置されている。
11 検査対象物
12 照明装置
13 撮像装置
14 画像処理装置
15 有機エレクトロルミネッセンス素子
16 ケース
17 駆動電圧制御装置
18 モニタ
19 検査対象物の搬送具
20 搬送具の移動方向
31 透明基板
32 透明陽電極層
33 正孔注入層
34 正孔輸送層
35 発光層
36 電子注入層
37 陰電極層
40 検査装置
41 検査対象物
42 照明装置
45 有機エレクトロルミネッセンス素子
46 ケース
49 検査対象物の搬送具
60 検査装置
61 検査対象物
61a 容器
62 照明装置
65 有機エレクトロルミネッセンス素子
66 ケース
69 検査対象物の搬送具
71 ハーフミラー
81 筒体
82 照明装置
83a、83b 光学レンズ
91 筒体
92 照明装置
94 光源部
95a、95b 開口
96 筐体
Claims (9)
- 検査対象物に光を照射する有機エレクトロルミネッセンス素子を備える照明装置、光照射された検査対象物の光学像を撮像して該光学像に対応する画像データを出力する撮像装置、および該画像データと参照データとの照合を行なう画像処理装置からなり、該有機エレクトロルミネッセンス素子が、透明基板上に、透明陽電極層、金属フッ化フタロシアニンを含む正孔注入層、カルバゾール化合物を含む正孔輸送層、バンドギャップが3.55eV以上の有機発光材料を含む発光層、そして陰電極層がこの順に積層された構成を有していることを特徴とする検査対象物の外観を検査する装置。
- 照明装置と撮像装置とが検査対象物を挟むように対向配置されている請求項1に記載の検査装置。
- 照明装置が有機エレクトロルミネッセンス素子とハーフミラーとから構成され、該ハーフミラーが有機エレクトロルミネッセンス素子の発光を反射して検査対象物に照射し、かつ検査対象物により反射された光を撮像装置に伝えるように配置されている請求項1に記載の検査装置。
- 照明装置が、上下方向に伸びる筒体、該筒体の内部に筒体の長さ方向に沿って互いに同軸に配置された一対の光学レンズ、該一対の光学レンズの間にレンズの軸に対して表面を傾斜させて配置されたハーフミラー、そして上記筒体の側部に備えられ、該ハーフミラー表面での反射を介してレンズの軸と同軸に且つ筒体の下側方向に伝わる光を発する有機エレクトロルミネッセンス素子から構成され、そして該照明装置がその筒体の上端を撮像装置の側に向け、そして下端を検査対象物の側に向けて配置されている請求項1に記載の検査装置。
- 照明装置が、上下方向に伸びる筒体、該筒体の内部に筒体の長さ方向に沿って互いに同軸に配置された一対の光学レンズ、上記筒体の下側端部に固定された、該レンズの軸に沿って上下に開口が形成された筐体、該筐体内に上記レンズの軸に対して表面を傾斜させて配置されたハーフミラー、そして上記筐体に収容され、該ハーフミラー表面での反射を介してレンズの軸と同軸に且つ筐体の下側方向に伝わる光を発する有機エレクトロルミネッセンス素子から構成され、そして該照明装置がその筒体の上端を撮像装置の側に向け、そして下端を検査対象物の側に向けて配置されている請求項1に記載の検査装置。
- 照明装置が備える有機エレクトロルミネッセンス素子の陰電極層が円環状の形状にあり、そして撮像装置が該陰電極層の円環の透孔を通して検査対象物の光学像を撮像するように配置されている請求項1に記載の検査装置。
- 上下方向に伸びる筒体、該筒体の内部に筒体の長さ方向に沿って互いに同軸に配置された一対の光学レンズ、該一対の光学レンズの間にレンズの軸に対して表面を傾斜させて配置されたハーフミラー、そして上記筒体の側部に備えられ、該ハーフミラー表面での反射を介してレンズの軸と同軸に且つ筒体の下側方向に伝わる光を発する有機エレクトロルミネッセンス素子からなり、該有機エレクトロルミネッセンス素子が、透明基板上に、透明陽電極層、金属フッ化フタロシアニンを含む正孔注入層、カルバゾール化合物を含む正孔輸送層、バンドギャップが3.55eV以上の有機発光材料を含む発光層、そして陰電極層がこの順に積層された構成を有していることを特徴とする検査対象物の外観検査装置用の同軸落射照明装置。
- 上下方向に伸びる筒体、該筒体の内部に筒体の長さ方向に沿って互いに同軸に配置された一対の光学レンズ、上記筒体の下側端部に固定された、該レンズの軸に沿って上下に開口が形成された筐体、該筐体内に上記レンズの軸に対して表面を傾斜させて配置されたハーフミラー、そして上記筐体に収容され、該ハーフミラー表面での反射を介してレンズの軸と同軸に且つ筐体の下側方向に伝わる光を発する有機エレクトロルミネッセンス素子からなり、該有機エレクトロルミネッセンス素子が、透明基板上に、透明陽電極層、金属フッ化フタロシアニンを含む正孔注入層、カルバゾール化合物を含む正孔輸送層、バンドギャップが3.55eV以上の有機発光材料を含む発光層、そして陰電極層がこの順に積層された構成を有していることを特徴とする検査対象物の外観検査装置用の同軸落射照明装置。
- 透明基板上に、透明陽電極層、金属フッ化フタロシアニンを含む正孔注入層、カルバゾール化合物を含む正孔輸送層、バンドギャップが3.55eV以上の有機発光材料を含む発光層、そして陰電極層をこの順に積層してなる有機エレクトロルミネッセンス素子を備え、該陰電極層が円環状の形状にあることを特徴とする検査対象物の外観検査装置用の環状照明装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0672046U (ja) * | 1993-03-17 | 1994-10-07 | 三洋電機株式会社 | 検査装置用照明装置 |
JP2002214532A (ja) * | 2001-01-22 | 2002-07-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2003132343A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-09 | Yamatake Corp | 画像処理システムおよび画像処理システム用照明装置 |
JP2004012294A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Suntory Ltd | ラベル検査方法およびラベル検査装置 |
JP3903187B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2007-04-11 | 国立大学法人信州大学 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Family Cites Families (2)
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JPH10332601A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Fujitsu Ltd | 検査装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0672046U (ja) * | 1993-03-17 | 1994-10-07 | 三洋電機株式会社 | 検査装置用照明装置 |
JP2002214532A (ja) * | 2001-01-22 | 2002-07-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2003132343A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-09 | Yamatake Corp | 画像処理システムおよび画像処理システム用照明装置 |
JP2004012294A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Suntory Ltd | ラベル検査方法およびラベル検査装置 |
JP3903187B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2007-04-11 | 国立大学法人信州大学 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012225690A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Ccs Inc | 光照射装置 |
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