JPS59194048U - 同軸反射形光学検査器 - Google Patents

同軸反射形光学検査器

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JPS59194048U
JPS59194048U JP8707183U JP8707183U JPS59194048U JP S59194048 U JPS59194048 U JP S59194048U JP 8707183 U JP8707183 U JP 8707183U JP 8707183 U JP8707183 U JP 8707183U JP S59194048 U JPS59194048 U JP S59194048U
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JP
Japan
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inspection device
illumination system
article
reflective optical
optical inspection
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JP8707183U
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紀臣 三好
橘　幸正
哲治 川崎
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富士電機株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は光学検査器の従来例を示す構成図、第１Ａ図は
カプセルをヘリカルスキャンした場合のフォトセンサ出
力を示す波形図、第１Ｂ図はカプセルの球状部における
照射光と反射光との関係を説明するための説明図、第２
図はこの考案の実施例を示す構成図、第２Ａ図はセンサ
出力波形を示す波形図、第２Ｂ図はカプセルの球状部近
傍を拡大して示す拡大図、第２Ｃ図はセンサ出力波形の
相違を説明する説明図、第２Ｄ図は傷がある場合　　。 とない場合を比較して示す波形図である。 符号説明、１・・−同軸反射形光学検査器、１１・・・
フォトセンサ、１２・・・ハーフミラ−１１３・・・照
明光源、１４・・・対物レンズ、１５．．１５□・・・
照明用補助光源、２・・・カプセル（被検査物）、２．
・・・穴（傷）、３・・・入射光、４・・・法線、５・
・・反射光。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）長手軸を中心として回転されなから該長手方向に
    搬送される、両端に球形状部をもつ円筒状物品をその長
    手軸を含む水平面に対して垂直方向から所定の対物レン
    ズを介して照明する照明系と該物品からの反射光を前記
    対物レンズを介して受光する受光系とを備え、該照明系
    と受光系とで光軸の一部を互いに共有してなる同軸反射
    形光学検査器において、前記物品の長手軸を含む垂直平
    面によって切られる対物レンズの各端部近傍に前記光軸
    と所定角度をもってそれぞれ少なくとも１個の補助照明
    系を設け、該補助照明系にて前記物品の球形状部を照明
    することによりその反射光を前記受光系へ導くことを特
    徴とする同軸反射形光学検査器。
  2. （２）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の同軸反射
    形光学検査器において、前記照明系と補助照明系の各光
    軸の交点が前記物品の略表面で一致し、かつ前記検査器
    のピントが該交点と一致する如（構成してなることを特
    徴とする同軸反射形光学検査器。
JP8707183U 1983-06-09 1983-06-09 同軸反射形光学検査器 Granted JPS59194048U (ja)

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JP8707183U JPS59194048U (ja) 1983-06-09 1983-06-09 同軸反射形光学検査器

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JPS59194048U true JPS59194048U (ja) 1984-12-24
JPH0114915Y2 JPH0114915Y2 (ja) 1989-05-02

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225690A (ja) * 2011-04-15 2012-11-15 Ccs Inc 光照射装置

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JP2012225690A (ja) * 2011-04-15 2012-11-15 Ccs Inc 光照射装置

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JPH0114915Y2 (ja) 1989-05-02

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