JP2010054376A - 光照射装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面Pにおいて反射方向の違いに起因するコントラストを打ち消すとともに、大きいサイズの観測対象面Pに均一な光を照射して観測対象面Pの傷等を検出できるようにする。
【解決手段】観測対象面Pに、その裏面を除く略全方向から略均一な光を照射する光照射装置であって、観測対象面Pをその裏面以外の略全方向から略囲むように設けられ、観測対象面Pに向かうに従って徐々に拡開する略切頭円錐状をなす拡散面2aと、拡散面2aに向かって光を照射して、拡散面2aの輝度を略全面において略均一にする第1光源と、拡散面2aの輝度と同一輝度の光を、拡散面2aの観測対象面Pとは反対側の開口から観測対象面Pに照射する第2光源と、を具備する。
【選択図】図1

Description

本発明は、多結晶ソーラパネル等の多結晶パネルの観測対象面に均一な光を照射することができる光照射装置に関するものである。
従来、例えば表面に光沢があるような製品(ワーク)の表面検査及び透明光沢シートで包装された中身の検査を行う場合、特許文献1に示すように、そのワークの観測対象面(検査対象面)に全方向から略均一な光を照射することによって、CCDカメラ等の観測手段が前記観測対象面に写り込むのを防止するとともに、観測対象面のなだらかな凹凸による反射むらをも除去し、傷等のみをコントラストの変化として明りょうに抽出できるようにして自動的に表面検査を行えるようにしたものが知られている。
しかしながら、製品によってはその表面に文字や絵が描かれているなど印刷が施され、その表面の色彩が変化しているものがある。このような場合、CCDカメラで撮像した画像に前記色彩の変化を原因としたコントラストが生じ、傷等により生じたコントラストと区別すること難しくなって、検査に不具合を生じる場合がある。
このような問題を解決するものとして、特許文献2に示すように、いわゆるドーム型光照射装置が考えられている。このドーム型光照射装置は、図 に示すように、観測対象面をその裏面以外の全方向から囲むように設けられた半凹球面状をなす反射面を有するケーシングと、前記反射面に向かって光を照射する第1光源と、当該ケーシングの上部に設けられた透窓からハーフミラーを介して光を照射する第2光源と、を備え、撮像手段により透窓を介して観測対象面を撮像するように構成されている。このドーム型光照射装置により観測対象面に形成された色彩の変化を原因としたコントラストを打ち消すことができ、傷等のみを容易に検出することができる。
しかしながら、上記のドーム型光照射装置を用いて多結晶ソーラパネル等の多結晶パネルを撮像する場合には、各結晶粒の反射率が異なることから、色彩の変化を原因としたコントラストを打ち消すだけでは、結晶粒の濃淡を消すことができない。つまり、ドーム型光照射装置では、結晶粒における反射率の差により生じるコントラストを打ち消すことができない。
また、サイズの大きい多結晶ソーラパネルを撮像するためには、観測対象面全面を覆うようにケーシングを大きくする必要がある。また、観測対象面を撮像するためには、CCDカメラの視野(FOV)の関係から、観測対象面が大きくなるに従って、CCDカメラを観測対象面から離す必要があり、そうするとケーシングに設けた透窓によりCCDカメラの視野が狭くなってしまい、小さい領域しか撮像できないという不具合がある。ここで、ケーシングに設けた透窓をCCDカメラの視野を遮らない程度に大きくすることが考えられるが、そうすると、ハーフミラー及び第2光源を大きくする必要があり、観測対象面への均一な光の照射が困難になるという問題がある。
特表平08−510053号公報 特開2004−184241号公報
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面において反射方向の違いに起因するコントラストを打ち消すとともに、大きいサイズの観測対象面に均一な光を照射して観測対象面の傷等を検出できるようにすることをその主たる所期課題とするものである。
すなわち本発明に係る光照射装置は、照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面に、その観測方向側の略全方向から略均一な輝度の光を照射する光照射装置であって、前記観測対象面をその観測方向側の略全方向から略囲むように設けられ、前記観測対象面に向かうに従って徐々に拡開する略切頭円錐状をなす拡散面と、前記拡散面と略同心円上に設けられ、前記拡散面に向かって光を照射して、前記拡散面の輝度を略全面において略均一にする第1光源部と、前記拡散面の輝度と同一輝度の光を、前記拡散面の観測対象面とは反対側の上部開口から前記観測対象面に照射する第2光源部とを具備し、前記第1光源部が、前記拡散面に対して同心円上に配された複数列のLED列を有し、前記第2光源部が、前記拡散面の中心軸線に略直交して設けられた複数のLEDと、当該LED及び前記上部開口間に介在して設けられ、前記LEDの光を上部開口を介して観測対象面に導くハーフミラーと、前記LED及び前記ハーフミラーを収容するとともに、前記ハーフミラーを透過した反射光を撮像手段に導く撮像窓を有し、内面が鏡面の収容体と、を備えることを特徴とする。
このようなものであれば、第1光源部により観測対象面の略全方向から略囲むように設けた拡散面の輝度を略均一にするとともに、拡散面の観測対象面とは反対側の開口から拡散面の輝度と同一輝度の光を照射するようにしているので、反射方向の違いに起因するコントラストを打ち消すことができる。したがって、照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面において傷等のみにより生じるコントラストを明確に抽出できるようになる。また、拡散面が切頭円錐状をなすことから、第2光源部を大型化することなく、大きいサイズの観測対象面に均一輝度の光を容易に照射できる。さらに、拡散面の観測対象面とは反対側の開口において撮像手段により観測対象面を撮像する場合には、撮像手段の視野を制限すること無く、観測対象面全体を撮像することができるようになる。加えて、収容体の内面が鏡面であることから、第2光源部のLEDが大面積になったと同様の効果が得られるため、肥大化及び大幅な構造複雑化を招くことなく、観測対象面から上部開口を見たときの発光部の無い領域を減少させることができ、観測対象面から見た略全天の輝度をより均一にすることができる。
拡散面を簡単に構成して、光照射装置の製造を簡単化するためには、前記拡散面を形成するケーシングを備えてなり、そのケーシングが平板を略コーン状に成形することにより形成されていることが望ましい。
拡散面の内側に第1光源部を設けることにより照射領域が制限されることを好適に防止するためには、前記ケーシングが、光透過性を有する平板から成形され、前記第1光源部が、前記ケーシングの外側に配置されて、当該ケーシングの外側周面の略全体に光を照射することにより、前記拡散面の輝度を略全面において略均一にすることが望ましい。
第1光源部を小型化するとともに、ケーシングの外側周面に光を照射し易くするためには、前記拡散面の上部開口側に同心円上に配されていることが望ましい。
このとき、拡散面の輝度を略同一にするための具体的な実施の態様としては、前記第1光源部が、前記拡散面の上半分に光を照射する上照射部と、前記拡散面の下半分に光を照射する下照射部と、からなり、前記上照射部のLEDが前記拡散面の中心軸線に略直交して配され、前記下照射部のLEDが前記拡散面の中心軸線に沿って配されることが望ましい。
さらに、拡散面に均等に光を照射して、拡散面の輝度を略同一にするための具体的な実施の態様としては、前記第1光源部のLED列が、列毎に独立して調光可能に構成されていることが望ましい。より詳細には、前記第1光源部の各LED列の光軸と前記拡散面の中心軸線とのなす角度がそれぞれ異なることが望ましい。
例えば観測対象面の画像を取得して画像処理により自動的に傷等を検出可能にするためには、前記拡散面の観測対象面とは反対側の開口から前記観測対象面の略全体を撮像する撮像部をさらに備えることが望ましい。
前記観測対象面が多結晶パネルの受光面である場合において本発明は一層顕著な効果を奏する。多結晶パネルは、複数の結晶粒から形成されており、各結晶粒の結晶方向が異なり、その反射率が異なって、結晶粒界を境目として濃淡のコントラストが生じてしまい、傷、異物又はマイクロクラック等により生じるコントラストが結晶粒によりコントラストに紛れてしまうことを防止することができる。
このように本発明によれば、多結晶パネルの鏡面状をなす観測対象面において、各結晶粒における反射率の差により生じるコントラストを打ち消すとともに、大きいサイズの多結晶パネルに均一な光を照射して観測対象面の傷等を検出できるようにすることができる。
次に、本発明に係る光照射装置の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図1は本実施形態の光照射装置100を示す概略構成図である。
<装置構成>
本実施形態に係る光照射装置100は、多結晶ソーラパネル等に代表される多結晶パネルの表面(受光面)等のように照射部位によって反射方向及び反射率の異なる正反射光を返す観測対象面Pに、その観測方向側の略全方向から略均一な輝度の光を照射する多結晶パネル用の光照射装置で、撮像手段500で所定照射領域を撮影し、得られた画像データを、画像処理装置600に取り込んで傷等の有無の自動表面検査を行う表面検査システム等に用いられる。
具体的にこのものは、図1に示すように、ケーシング2と、当該ケーシング2に取り付けた第1光源部3及び第2光源部4とを備え、観測手段たる白黒CCDカメラ等の撮像手段500を取付可能に構成している。
以下、各部2〜4について詳述する。
ケーシング2は、図1及び図2に示すように、外観視略コーン形状をなすものであり、その頂部に開口2Hが形成されている。そして、その内面に観測対象面Pに向かうに従って徐々に拡開する略切頭円錐状をなす拡散面2aが形成されている。この拡散面2aは、観測対象面Pにその観測方向側の略全方向から囲むように設けられている。また、ケーシング2は、光透過性を有する平板を巻回することにより形成されている。
第1光源部3は、図1に示すように、拡散面2aと略同心円上に設けられ、拡散面2aに向かって光を照射して、拡散面2aの輝度を略全面において略均一にするものである。具体的な構成は、拡散面2aに対して同心円上に配された複数のLED列を有するリング照明である。
本実施形態の第1光源部3は、ケーシング2の外側において、拡散面2aの上部開口2H側に同心円上に配置されて、当該ケーシング2の外側周面の略全体に光を照射することにより、拡散面2aの輝度を略全面において略均一にするものであり、拡散面2a(ケーシング2の外側周面)の略上半分に光を照射する上照射部31と、拡散面2a(ケーシング2の外側周面)の略下半分に光を照射する下照射部32とからなる。
上照射部31は、図1及び図3に示すように、LED301が拡散面2aの中心軸線Cに略直交するように複数設けられたリング照明により構成されている。具体的には、LED取付面311aが拡散面2aの中心軸線Cを向く筒状の基板311と、当該基板のLED取付面311aに拡散面2aの中心軸線Cに略直交するように取り付けた複数のLED301とを備えたものである。また、LED301は、LED取付面311aにおいて、拡散面2aの中心軸線Cに対して同心円上に複数列設けられている。この上照射部31は、例えば長尺状の基板にLED301を配設し、その後、当該基板の両端部を接続することにより製作される。なお、図3は電気配線を省略した図であり、図中の破線は、LED列を示すためのものであり、破線上に位置するLEDがLED列を構成する。
また、下照射部32は、図1及び図4に示すように、LED301が拡散面2aの中心軸線Cに沿って複数設けられたリング照明により構成されている。具体的には、LED取付面321aが観測対象面Pを向く円環状の基板321と、当該基板321のLED取付面321aに拡散面2aの中心軸線Cに沿うように取り付けられた複数のLED301とを備えたものである。また、LED301は、LED取付面321aにおいて、拡散面2aの中心軸線Cに対して同心円上に複数列設けられている。なお、図4は電気配線を省略した図であり、図中の破線は、LED列を示すためのものであり、破線上に位置するLEDがLED列を構成する。
そして、これら上照射部31及び下照射部32は保持枠33に固定され、当該保持枠33がケーシング2に固定されている。
ここで各照明部31、32における各LED列の光軸と、拡散面2aの中心軸線Cとのなす角度が、列毎にそれぞれ異なるようにしている。これにより、各照明部31、32からの照射された光を、ケーシング2の外側周面に均等に照射することができる。
そしてそれら照明部31、32から射出される光が、ケーシング2を透過して拡散面2aで拡散され、その拡散光が観測対象面Pの各部位に、裏側を除く略全方向から略均一に照射されるように構成している。
さらに、本実施形態の第1光源部3(各照明部)のLED列は、当該列毎に独立して調光可能に構成されている。具体的には、図示しないLED制御手段によって各LED301に供給する電力を各LED列毎に調整することにより、各LED列の光量を調整できるようにしている。
第2光源部4は、ケーシング2の頂部に取り付けられるもので、拡散面2aの輝度と同一輝度の光を、拡散面2aの観測対象面Pとは反対側の上部開口2Hから観測対象面Pに照射するものである。具体的な構成は、LED光源41と、ハーフミラー42と、LED301及び前記ハーフミラー42を収容して支持する収容体43と、を備えてなる。
LED光源41は、矩形状をなす基板411に複数のLED301を縦横に配設してなるものである。また、LED光源41は、後述する収容体43に支持され、発光方向が拡散面2a(ケーシング2)中心軸線Cを向くように設けられている。つまり、各LED301は、その光軸が拡散面2aの中心軸に略直交して配置され、後述するハーフミラー42に向かって光を照射する。
ハーフミラー42は、LED光源41及び拡散面2aの上部開口2Hの間に介在して設けられ、LED光源41の光を上部開口2Hを介して観測対象面Pに導くものである。また、ハーフミラー42は、後述する収容体43に支持され、拡散面2aの中心軸線Cに対して斜め45度の角度で設けられている。
収容体43は、底面が開口する例えば直方体中空形状のもので、ケーシング2の頂部に取り付けてある。そして収容体43は、その側部に前記LED光源41を起立させた状態で支持するとともに、LED光源41の光射出方向に配置した光拡散板44を支持し、さらに前記上部開口2Hの直上に45度の角度に配置したハーフミラー42を支持する。そしてLED光源41から射出された光を前記光拡散板44によって均一なものとし、さらにハーフミラー42で反射させて上部開口2Hを通過させ、前記観測対象面Pに上方から照射するように構成してある。
また、この収容体43には、その頂板に撮像手段500により観測対象面Pを撮影するための撮像窓431を設けている。この撮像窓431は前記上部開口2Hの直上に位置させたもので、ここに取り付けた撮像手段500の撮像面がハーフミラー42及び上部開口2Hを介して前記観測対象面Pを向くように構成している。これにより、撮像手段500は、上部開口2H及びハーフミラー42を通過した反射光を受光する。
さらに、収容体43の内面は鏡面である。つまり、拡散板2aの上部開口2Hを覆う面全体が鏡面となるようにしている。これにより、LED光源41が大面積になったと同様の効果が得られるため、肥大化及び大幅な構造複雑化を招くことなく、観測対象面Pから上部開口2Hを見たときの発光部の無い領域を減少させることができ、観測対象面Pから見た略全天の輝度をより均一にすることができる。
しかしてこのようにして、前記拡散面2aで拡散される照射光と上部開口2Hから進入してくる照射光とにより、観測対象面Pからみて水平線より上の略全天から、あらゆる方向の均一な輝度の光が照射されるように構成している。
<本実施形態の効果>
このように構成した本実施形態に係る光照射装置100によれば、第1光源部3により観測対象面Pの略全方向から略囲むように設けた拡散面2aの輝度を略均一にするとともに、拡散面2aの観測対象面Pとは反対側の開口から拡散面2aの輝度と同一輝度の光を照射するようにしているので、反射方向の違いに起因するコントラストを打ち消すことができる。したがって、照射部位によって反射方向及び反射率の異なる正反射光を返す観測対象面Pにおいて傷等のみにより生じるコントラストを明確に抽出できるようになる。また、拡散面2aが切頭円錐状をなすことから、第2光源部4を大型化することなく、大きいサイズの観測対象面Pに均一輝度の光を容易に照射できる。さらに、拡散面2aの観測対象面Pとは反対側の開口において撮像手段500により観測対象面Pを撮像する場合には、撮像手段500の視野を制限すること無く、観測対象面P全体を撮像することができるようになる。
<その他の変形実施形態>
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
例えば、前記実施形態の第1光源部3の構成の他に、図5に示すように、ケーシング2の下側開口近傍に内方に突出するように、固定部材(図示しない)を介してケーシング2に取り付けた円環状をなす基板33と、拡散面2aの中心軸線Cに沿って上部開口2Hを向くように基板33に取り付けられた複数のLED301とを備えたものであっても良い。
また、図6に示すように、上照射部31をケーシング2の外側において拡散面2aの上部開口2H側に同心円上に配置して、当該上照射部31によってケーシング2の外側周面の略上半分に光を照射し、下照射部32をケーシング2の下側開口近傍に内方に突出するように配置して、当該下照射部32によって拡散面2aの略下半分に光を照射するようにしても良い。
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。
本実施形態の光照射像装置を示す概略構成図。 同実施形態のケーシングの斜視図。 同実施形態の上照射部の基板及びLEDを示す図。 同実施形態の下照射部の基板及びLEDを示す図。 変形実施形態に係る光照射装置の概略構成図。 変形実施形態に係る光照射装置の概略構成図。
符号の説明
100・・・光照射装置
P ・・・観測対象面
2a ・・・拡散面
3 ・・・第1光源部
2H ・・・上部開口
4 ・・・第2光源部
301・・・LED
42 ・・・ハーフミラー
43 ・・・収容体
431・・・撮像窓
2 ・・・ケーシング
31 ・・・上照射部
32 ・・・下照射部
C ・・・拡散面2aの中心軸線(ケーシング2の中心軸線C)

Claims (9)

  1. 照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面に、その観測方向側の略全方向から略均一な輝度の光を照射する光照射装置であって、
    前記観測対象面をその観測方向側の略全方向から略囲むように設けられ、前記観測対象面に向かうに従って徐々に拡開する略切頭円錐状をなす拡散面と、
    前記拡散面と略同心円上に設けられ、前記拡散面に向かって光を照射して、前記拡散面の輝度を略全面において略均一にする第1光源部と、
    前記拡散面の輝度と同一輝度の光を、前記拡散面の観測対象面とは反対側の上部開口から前記観測対象面に照射する第2光源部とを具備し、
    前記第1光源部が、前記拡散面に対して同心円上に配された複数列のLED列を有し、
    前記第2光源部が、前記拡散面の中心軸線に略直交して設けられた複数のLEDと、当該LED及び前記上部開口間に介在して設けられ、前記LEDの光を上部開口を介して観測対象面に導くハーフミラーと、前記LED及び前記ハーフミラーを収容するとともに、前記ハーフミラーを透過した反射光を撮像手段に導く撮像窓を有し、内面が鏡面の収容体と、を備える光照射装置。
  2. 内面に前記拡散面を形成するケーシングを備えてなり、そのケーシングが平板を略コーン形状に成形することにより形成されている請求項1記載の光照射装置。
  3. 前記ケーシングが、光透過性を有する平板から成形され、
    前記第1光源部が、前記ケーシングの外側に配置されて、当該ケーシングの外側周面の略全体に光を照射することにより、前記拡散面の輝度を略全面において略均一にする請求項2記載の光照射装置。
  4. 前記第1光源部が、前記拡散面の上部開口側に同心円上に配されている請求項3記載の光照射装置。
  5. 前記第1光源部が、前記拡散面の上半分に光を照射する上照射部と、前記拡散面の下半分に光を照射する下照射部と、からなり、
    前記上照射部のLEDが前記拡散面の中心軸線に略直交して配され、前記下照射部のLEDが前記拡散面の中心軸線に沿って配される請求項4記載の光照射装置。
  6. 前記第1光源部のLED列が、列毎に独立して調光可能に構成されている請求項1、2、3、4又は5記載の光照射装置。
  7. 前記第1光源部の各LED列の光軸と前記拡散面の中心軸線とのなす角度がそれぞれ異なる請求項1、2、3、4、5又は6記載の光照射装置。
  8. 前記撮像窓から前記観測対象面の略全体を撮像する撮像手段をさらに備える請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の光照射装置。
  9. 前記観測対象面が多結晶パネルである請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載の光照射装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225690A (ja) * 2011-04-15 2012-11-15 Ccs Inc 光照射装置
JP2013011448A (ja) * 2011-06-28 2013-01-17 Denso Corp 視覚装置
CN105510336A (zh) * 2015-12-28 2016-04-20 凌云光技术集团有限责任公司 平面图像获取装置
KR101753988B1 (ko) * 2015-10-16 2017-07-05 백승규 동축 조명 장치
KR101814575B1 (ko) 2015-10-16 2018-01-30 백승규 조명장치
JP2018091692A (ja) * 2016-12-01 2018-06-14 国立研究開発法人産業技術総合研究所 表面検査装置、表面検査方法、表面検査プログラムおよび記録媒体

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006313147A (ja) * 2005-04-08 2006-11-16 Omron Corp 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置
JP2007234342A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Ccs Inc 光照射装置
JP2008058270A (ja) * 2006-09-04 2008-03-13 Mitsubishi Electric Corp 多結晶シリコン基板の検査方法および太陽電池セルの検査方法、並びに赤外線検査装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006313147A (ja) * 2005-04-08 2006-11-16 Omron Corp 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置
JP2007234342A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Ccs Inc 光照射装置
JP2008058270A (ja) * 2006-09-04 2008-03-13 Mitsubishi Electric Corp 多結晶シリコン基板の検査方法および太陽電池セルの検査方法、並びに赤外線検査装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225690A (ja) * 2011-04-15 2012-11-15 Ccs Inc 光照射装置
JP2013011448A (ja) * 2011-06-28 2013-01-17 Denso Corp 視覚装置
KR101753988B1 (ko) * 2015-10-16 2017-07-05 백승규 동축 조명 장치
KR101814575B1 (ko) 2015-10-16 2018-01-30 백승규 조명장치
CN105510336A (zh) * 2015-12-28 2016-04-20 凌云光技术集团有限责任公司 平面图像获取装置
JP2018091692A (ja) * 2016-12-01 2018-06-14 国立研究開発法人産業技術総合研究所 表面検査装置、表面検査方法、表面検査プログラムおよび記録媒体

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