JP2012220656A5 - - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 40
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011085172A JP5724557B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
| US13/441,342 US9482857B2 (en) | 2011-04-07 | 2012-04-06 | Tunable interference filter, optical module, and photometric analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011085172A JP5724557B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012220656A JP2012220656A (ja) | 2012-11-12 |
| JP2012220656A5 true JP2012220656A5 (enExample) | 2014-05-22 |
| JP5724557B2 JP5724557B2 (ja) | 2015-05-27 |
Family
ID=46965891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011085172A Expired - Fee Related JP5724557B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9482857B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5724557B2 (enExample) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5673075B2 (ja) * | 2010-12-21 | 2015-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
| JP5919728B2 (ja) * | 2011-10-26 | 2016-05-18 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
| JP5811789B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-11-11 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
| JP6098051B2 (ja) | 2012-07-04 | 2017-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
| JP2015066611A (ja) | 2013-09-27 | 2015-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
| JP2015177564A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-05 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
| JP6115519B2 (ja) * | 2014-05-27 | 2017-04-19 | セイコーエプソン株式会社 | Mems駆動装置、電子機器、及びmems駆動方法 |
| EP3794326A4 (en) * | 2018-05-17 | 2022-08-17 | Unispectral Ltd. | OPTICAL DEVICE AND METHOD OF CONNECTING |
| JP2018186704A (ja) * | 2018-08-02 | 2018-11-22 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
| JP2020171191A (ja) * | 2020-06-03 | 2020-10-15 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194312A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Sharp Corp | 可変干渉装置 |
| FR2768812B1 (fr) | 1997-09-19 | 1999-10-22 | Commissariat Energie Atomique | Interferometre fabry-perot accordable integre |
| US5914804A (en) * | 1998-01-28 | 1999-06-22 | Lucent Technologies Inc | Double-cavity micromechanical optical modulator with plural multilayer mirrors |
| JP3450180B2 (ja) * | 1998-04-20 | 2003-09-22 | 日本電気株式会社 | 波長可変レーザー |
| JP2002071562A (ja) | 2000-09-04 | 2002-03-08 | Yokogawa Electric Corp | 赤外分光測定装置 |
| JP3835525B2 (ja) | 2001-03-19 | 2006-10-18 | ホーチキ株式会社 | 波長可変フィルタ制御装置 |
| GB2375184A (en) * | 2001-05-02 | 2002-11-06 | Marconi Caswell Ltd | Wavelength selectable optical filter |
| JP4548245B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2010-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ |
| JP4548288B2 (ja) | 2005-09-22 | 2010-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ |
| CN100538432C (zh) | 2006-01-19 | 2009-09-09 | 精工爱普生株式会社 | 波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器 |
| JP4466634B2 (ja) | 2006-01-19 | 2010-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP4379457B2 (ja) | 2006-01-19 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| GB2445956B (en) * | 2007-01-26 | 2009-12-02 | Valtion Teknillinen | A spectrometer and a method for controlling the spectrometer |
| JP2008183350A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Olympus Corp | 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
| FI125817B (fi) * | 2009-01-27 | 2016-02-29 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Parannettu sähköisesti säädettävä Fabry-Perot-interferometri, välituote, elektrodijärjestely ja menetelmä sähköisesti säädettävän Fabry-Perot-interferometrin tuottamiseksi |
| JP2010224011A (ja) | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Olympus Corp | エタロン装置及びそれを備えた光学ユニット |
| JP4831244B2 (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ |
| JP4831243B2 (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ |
| JP4831242B2 (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ |
-
2011
- 2011-04-07 JP JP2011085172A patent/JP5724557B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-04-06 US US13/441,342 patent/US9482857B2/en not_active Expired - Fee Related
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