JP2011191554A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011191554A5 JP2011191554A5 JP2010058301A JP2010058301A JP2011191554A5 JP 2011191554 A5 JP2011191554 A5 JP 2011191554A5 JP 2010058301 A JP2010058301 A JP 2010058301A JP 2010058301 A JP2010058301 A JP 2010058301A JP 2011191554 A5 JP2011191554 A5 JP 2011191554A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- potential difference
- electrode
- segment
- reflective film
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 20
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010058301A JP6010275B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| US13/039,390 US8917449B2 (en) | 2010-03-15 | 2011-03-03 | Optical filter including a step section, and analytical instrument and optical apparatus using the optical filter |
| CN201110057787.1A CN102207615B (zh) | 2010-03-15 | 2011-03-08 | 光滤波器以及使用其的分析设备和光设备 |
| CN201610034338.8A CN105511072B (zh) | 2010-03-15 | 2011-03-08 | 光滤波器以及使用其的分析设备和光设备 |
| EP15182923.1A EP2977800A1 (en) | 2010-03-15 | 2011-03-11 | Optical filter, and analytical instrument and optical apparatus using the optical filter |
| TW100108369A TWI510829B (zh) | 2010-03-15 | 2011-03-11 | 濾光器及使用其之分析機器以及光機器 |
| EP11157861.3A EP2367035B1 (en) | 2010-03-15 | 2011-03-11 | Optical filter, and analytical instrument and optical apparatus using the optical filter |
| KR1020110022700A KR20110103887A (ko) | 2010-03-15 | 2011-03-15 | 광 필터 및 그것을 이용한 분석 기기 및 광 기기 |
| US14/540,370 US9134470B2 (en) | 2010-03-15 | 2014-11-13 | Optical filter including a step section, and analytical instrument and optical apparatus using the optical filter |
| US14/823,661 US9606276B2 (en) | 2010-03-15 | 2015-08-11 | Optical filter including a step section, and analytical instrument and optical apparatus using the optical filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010058301A JP6010275B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015095181A Division JP6135707B2 (ja) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011191554A JP2011191554A (ja) | 2011-09-29 |
| JP2011191554A5 true JP2011191554A5 (enExample) | 2013-05-02 |
| JP6010275B2 JP6010275B2 (ja) | 2016-10-19 |
Family
ID=44010027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010058301A Active JP6010275B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US8917449B2 (enExample) |
| EP (2) | EP2977800A1 (enExample) |
| JP (1) | JP6010275B2 (enExample) |
| KR (1) | KR20110103887A (enExample) |
| CN (2) | CN105511072B (enExample) |
| TW (1) | TWI510829B (enExample) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5370246B2 (ja) * | 2009-05-27 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法 |
| JP6010275B2 (ja) | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5601190B2 (ja) * | 2010-12-17 | 2014-10-08 | 株式会社デンソー | 波長選択型赤外線検出装置 |
| JP5807353B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-11-10 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
| JP5834718B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP5879910B2 (ja) * | 2011-10-18 | 2016-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器 |
| JP5919728B2 (ja) * | 2011-10-26 | 2016-05-18 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
| JP5811789B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-11-11 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
| JP5910099B2 (ja) * | 2012-01-18 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学モジュールおよび電子機器 |
| JP6003168B2 (ja) * | 2012-04-11 | 2016-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP5983020B2 (ja) * | 2012-05-18 | 2016-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP6098051B2 (ja) * | 2012-07-04 | 2017-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
| JP6019863B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2016-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法 |
| JP6036341B2 (ja) * | 2013-01-29 | 2016-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、及び電子機器 |
| JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| WO2015026333A1 (en) * | 2013-08-20 | 2015-02-26 | Intel Corporation | A display apparatus including mems devices |
| JP6264810B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2018-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2015066611A (ja) | 2013-09-27 | 2015-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
| JP6264838B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2018-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子 |
| JP6323004B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 蛍光観察装置、及び光学部材 |
| JP6543884B2 (ja) | 2014-01-27 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 |
| JP6413325B2 (ja) | 2014-05-01 | 2018-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法 |
| US20170075103A1 (en) * | 2015-09-11 | 2017-03-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical systems device with segmented electrodes and thin film transistors for increasing stable range |
| JP6296128B2 (ja) * | 2016-09-16 | 2018-03-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP2019015865A (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法 |
| CN107247331A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-10-13 | 太仓宏微电子科技有限公司 | 一种基于mems技术的法布里‑珀罗腔可调光滤波器 |
| JP7006172B2 (ja) * | 2017-11-21 | 2022-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP6566061B2 (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| CN111684335A (zh) * | 2018-04-20 | 2020-09-18 | 株式会社村田制作所 | 分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置 |
| DE102018213823A1 (de) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | Robert Bosch Gmbh | Fabry-Pérot-Interferometer und Verfahren zum Herstellen eines Fabry-Pérot-Interferometers |
| JP7200842B2 (ja) * | 2019-06-21 | 2023-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター |
| WO2025248169A1 (en) * | 2024-05-31 | 2025-12-04 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Fabry-perot interferometer having a wide tuning range |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5646772A (en) | 1996-05-10 | 1997-07-08 | Lucent Technologies Inc. | Methods and apparatus for a multi-electrode micromechanical optical modulator |
| JPH11142752A (ja) | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Yokogawa Electric Corp | 透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器 |
| JP2001221913A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-17 | Yokogawa Electric Corp | ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計 |
| AUPS098002A0 (en) * | 2002-03-08 | 2002-03-28 | University Of Western Australia, The | Tunable cavity resonator, and method of fabricating same |
| US7145143B2 (en) * | 2002-03-18 | 2006-12-05 | Honeywell International Inc. | Tunable sensor |
| US7265477B2 (en) * | 2004-01-05 | 2007-09-04 | Chang-Feng Wan | Stepping actuator and method of manufacture therefore |
| JP2005305614A (ja) | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 微小構造体の製造方法、微小構造体、波長可変光フィルタ及びマイクロミラー |
| US20080239494A1 (en) | 2005-08-16 | 2008-10-02 | Zander Dennis R | Tunable Light Filter |
| US7733553B2 (en) * | 2005-09-21 | 2010-06-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light modulator with tunable optical state |
| GB0521251D0 (en) * | 2005-10-19 | 2005-11-30 | Qinetiq Ltd | Optical modulation |
| JP4473209B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2010-06-02 | アンリツ株式会社 | 可変波長光フィルタ |
| JP4466634B2 (ja) * | 2006-01-19 | 2010-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| US7734131B2 (en) * | 2006-04-18 | 2010-06-08 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
| JP4561728B2 (ja) * | 2006-11-02 | 2010-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| US7469085B1 (en) * | 2007-07-12 | 2008-12-23 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for minimizing propagation losses in wavelength selective filters |
| JP5141213B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP5446110B2 (ja) | 2008-03-31 | 2014-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 受光装置 |
| JP5369515B2 (ja) * | 2008-06-26 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルタとその製造方法及び光学フィルタ装置モジュール |
| JP6010275B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5779852B2 (ja) * | 2010-08-25 | 2015-09-16 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
| JP6036341B2 (ja) * | 2013-01-29 | 2016-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、及び電子機器 |
| JP6182918B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2017-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2015066611A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
-
2010
- 2010-03-15 JP JP2010058301A patent/JP6010275B2/ja active Active
-
2011
- 2011-03-03 US US13/039,390 patent/US8917449B2/en active Active
- 2011-03-08 CN CN201610034338.8A patent/CN105511072B/zh active Active
- 2011-03-08 CN CN201110057787.1A patent/CN102207615B/zh active Active
- 2011-03-11 EP EP15182923.1A patent/EP2977800A1/en not_active Withdrawn
- 2011-03-11 TW TW100108369A patent/TWI510829B/zh active
- 2011-03-11 EP EP11157861.3A patent/EP2367035B1/en active Active
- 2011-03-15 KR KR1020110022700A patent/KR20110103887A/ko not_active Ceased
-
2014
- 2014-11-13 US US14/540,370 patent/US9134470B2/en active Active
-
2015
- 2015-08-11 US US14/823,661 patent/US9606276B2/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011191554A5 (enExample) | ||
| TWI408471B (zh) | 顯示裝置 | |
| CN105705989B (zh) | 液晶显示装置 | |
| CN104698700B (zh) | 一种触控显示面板及显示装置 | |
| ES2677244T3 (es) | Electrodo para sensor táctil, panel táctil y dispositivo de pantalla | |
| TWI471795B (zh) | 電容式觸控面板 | |
| CN102830556A (zh) | 一种触摸显示面板及显示装置 | |
| TW201243440A (en) | Liquid crystal lens | |
| JP2011257596A5 (enExample) | ||
| CN104793421A (zh) | 阵列基板、显示面板和显示装置 | |
| CN104977771A (zh) | 液晶透镜结构 | |
| CN110224079B (zh) | 显示基板、制作方法及显示装置 | |
| CN104932765A (zh) | 一种电容触摸屏及其制备方法、触控装置 | |
| JP2012220656A5 (enExample) | ||
| CN106449662A (zh) | 阵列基板及显示装置 | |
| CN102109726B (zh) | 显示模块 | |
| US11099443B2 (en) | Display panel and display apparatus having a plurality of first wirings and a plurality of second wirings | |
| CN107077249A (zh) | 触敏投影屏 | |
| WO2013143708A3 (de) | Schaltelemente mit überlappenden leiterbahnen und verfahren zum ausbilden einer schaltungskonfiguration | |
| CN106406607B (zh) | 触控面板及其制作方法 | |
| JP2016191894A5 (ja) | 画像表示装置及び液晶パネル | |
| CN103870044A (zh) | 触控电极结构及其制程工艺 | |
| TWI482061B (zh) | 觸控面板 | |
| JP2012208480A5 (enExample) | ||
| WO2016095609A1 (zh) | 触控面板及其制作方法、触控显示装置 |