JP2012220275A - 短絡検査装置および短絡検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 248
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 76
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 33
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】一対の検査枝配線13,14の両側の枝配線12,15を補助枝配線として規定したときに、一方の検査枝配線14および補助枝配線12,15のうちのこの検査枝配線14側の補助枝配線15で構成される電流供給枝配線の組にランド24,25から検査電流Iを供給する電流供給部2と、他方の検査枝配線13および補助枝配線12,15のうちのこの検査枝配線13側の補助枝配線12で構成される電圧検出枝配線の組のランド22,23間に発生する電圧Vを測定する電圧測定部3と、この電圧Vと判定データDrefで示される判定範囲とを比較して一対の検査枝配線13,14間の短絡の有無を検査する処理部5とを備えている。
【選択図】図1
Description
2 電流供給部
3 電圧測定部
5 処理部
11〜16 枝配線
13,14 検査枝配線
12,15 補助枝配線
21〜26 ランド(プロービング点)
I 検査電流
M 幹配線
Claims (5)
- 幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査装置であって、
前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記一対の枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給する電流供給部と、
前記一対の枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定する電圧測定部と、
前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲を記憶する記憶部と、
前記電流供給部から前記電流供給枝配線の組に前記検査電流が供給されている状態において前記電圧測定部によって測定された前記配線間電圧に基づく前記電気的パラメータと前記判定範囲とを比較することにより、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する処理部とを備えている短絡検査装置。 - 前記一対の検査枝配線の両側に位置する一対の前記枝配線を前記補助枝配線として規定したときに、
前記電圧測定部は、前記一対の枝配線および前記補助枝配線のすべての枝配線のうちの前記電流供給枝配線の組を構成する前記一対の枝配線と異なる他の一対の枝配線の組を前記電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する請求項1記載の短絡検査装置。 - 前記電流供給枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該一方の検査枝配線側の補助枝配線で構成され、
前記電圧測定枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの他方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該他方の検査枝配線側の補助枝配線で構成されている請求項2記載の短絡検査装置。 - 前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線に隣接する1本の前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記電圧測定部は、前記一対の枝配線および前記補助枝配線のすべての枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する請求項1記載の短絡検査装置。 - 幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査方法であって、
前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記一対の枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給し、
前記一対の枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定し、
前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲と前記測定した配線間電圧に基づく前記電気的パラメータとを比較して、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する短絡検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2011084587A JP5687943B2 (ja) | 2011-04-06 | 2011-04-06 | 短絡検査装置および短絡検査方法 |
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JP5687943B2 JP5687943B2 (ja) | 2015-03-25 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000275295A (ja) * | 1999-01-21 | 2000-10-06 | Sharp Corp | 電極パターン検査装置および電極パターン検査方法 |
JP2006234401A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Hioki Ee Corp | 回路配線検査方法および回路配線検査装置 |
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