JP2012216722A - 基板中間体、基板及び貫通ビア電極形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板10の厚さ方向に形成された高アスペクト比の、貫通ビア電極形成用の孔12の内周面に、自己組織化単分子膜24を形成し、これに、金属ナノ粒子14を、高密度で吸着させて、この金属ナノ粒子14を触媒として、バリア層を無電解めっきにより形成し、バリア層の上にシード層を無電解めっきにより形成し、次に、貫通ビア電極材を電解めっきにより堆積して、孔12を埋めて、貫通ビア電極を形成する。
【選択図】図7
Description
12…孔
13…内周面
14…金属ナノ粒子
16…バリア層
18…シード層
20…貫通ビア電極材
22…貫通ビア電極
24…自己組織化単分子膜
Claims (19)
- 基板厚さ方向に、アスペクト比が3乃至15の範囲で形成され、貫通ビア電極となる貫通ビア電極材が充填される孔を有する基板中間体であって、
前記孔の内周面に形成された自己組織化単分子膜と、
この自己組織化単分子膜に吸着された、無電解めっきの触媒となる金属ナノ粒子と、
を有してなる基板中間体。 - 請求項1において、
前記自己組織化単分子膜は、シランカップリング剤により形成されていることを特徴とする基板中間体。 - 請求項2において、
前記シランカップリング剤として、3−アミノプロピルトリエトキシシランを用いて、前記自己組織化単分子膜が形成されていて、前記金属ナノ粒子は、Pd、Pt及びAu粒子のうち1種類以上からなることを特徴とする基板中間体。 - 請求項1において、
前記金属ナノ粒子は、ポリビニルピロドリン、ポリアクリル酸、ポリエチレンイミン、テトラメチルアンモニウム、クエン酸から選択された保護剤によりコーティングされていることを特徴とする基板中間体。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記金属ナノ粒子の、前記自己組織化単分子膜への付着数は、1000〜12000個/μm2であることを特徴とする基板中間体。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記金属ナノ粒子の直径は1nm以上、40nm未満であることを特徴とする基板中間体。 - 基板厚さ方向に、アスペクト比が3乃至15の範囲で形成された孔を充填している貫通ビア電極を有する基板であって、
前記貫通ビア電極は、
前記孔の内周面に吸着されたPd、Pt及びAuのうち1種類以上からなる金属ナノ粒子と、
前記金属ナノ粒子を触媒として、無電解めっき処理により、前記孔の内周面に形成されたバリア層と、
前記バリア層上に無触媒置換めっきにより堆積されたコンフォーマル金属シード層と、
前記コンフォーマル金属シード層上に、前記孔を埋めるようにして堆積された貫通ビア電極材とを有してなり、
前記バリア層は、前記孔の内周面への密着強度が、スタッドプルテストで14MPa以上であることを特徴とする基板。 - 請求項7において、
前記金属ナノ粒子は、直径が1nm以上、40nm未満のPd粒子からなることを特徴とする基板。 - 請求項7において、
前記金属ナノ粒子は、直径が1nm以上、40nm未満のAu粒子からなることを特徴とする基板。 - 請求項7乃至9のいずれかにおいて、
前記バリア層の膜厚は、10nm以上、100nm未満であることを特徴とする基板。 - 請求項10において、
前記バリア層は、Co−B、Ni−B、Co−W−B、Ni−W−B、Co-P、Ni-P、Co-W-P、Ni-W-P、その他の高融点材料、その合金のいずれかからなることを特徴とする基板。 - 基板に、アスペクト比が3乃至15の範囲で形成されている孔の内周面にバリア層を形成し、このバリア層上にシード層を積層し、更に、このシード層上に、貫通ビア電極材を堆積して、前記孔を埋め込んで、貫通ビア電極を形成する貫通ビア電極形成方法であって、
前記孔の内周面に自己組織化単分子膜を形成する工程と、
前記自己組織化単分子膜上に、無電解めっきの触媒となる金属ナノ粒子を1000〜12000個/μm2の密度で吸着させる工程と、
前記金属ナノ粒子を触媒として、前記孔の内周面に、無電解めっき処理により、前記バリア層となる金属膜を形成する工程と、
このバリア層の金属膜上に、前記シード層となる金属を、無電解めっき処理により積層する工程と、
前記貫通ビア電極材を、前記シード層上に、電解めっきにより、前記孔が充填されるまで堆積させる工程と、
を有してなる貫通ビア電極形成方法。 - 請求項12において、
前記孔の内周面に金属ナノ粒子を吸着させる工程は、前記自己組織化単分子膜を、前記触媒となる金属ナノ粒子コロイド溶液中に浸漬させることを特徴とする貫通ビア電極形成方法。 - 請求項13において、
前記自己組織化単分子膜を、アミノ基、メルカプト基、スルフィド基またはクロロ基を末端に持つシランカップリング剤による、シランカップリング処理により形成することを特徴とする貫通ビア電極形成方法。 - 請求項14において、
前記シランカップリング剤として、3−アミノプロピルトリエトキシシランを用いて、前記自己組織化単分子膜を形成することを特徴とする貫通ビア電極形成方法。 - 請求項12乃至14のいずれかにおいて、
前記バリア層の形成後にアニーリングをして、前記バリア層の前記基板への密着強度を強化する工程を有することを特徴とする貫通ビア電極形成方法。 - 請求項16において、
前記アニーリングの温度は150℃以上300℃未満であることを特徴とする貫通ビア電極形成方法。 - 請求項12乃至17のいずれかにおいて、
前記シード層の無電解めっき処理に際して、抑制剤を加えることを特徴とする貫通ビア電極形成方法。 - 請求項12乃至18のいずれかにおいて、
前記金属ナノ粒子は、Pd、Pt、Auのうち1種類以上からなり、
前記バリア層を形成する工程は、無電解Ni−Bめっき、無電解Co−Bめっき、無電解Co−W−Bめっき、無電解Ni−W−Bめっき、無電解Co−Pめっき、無電解Ni−Pめっき、無電解Co−W−Pめっき、無電解Ni−W−Pめっきのいずれかであり、還元剤としてジメチルアミノボランを用いていることを特徴とする貫通ビア電極形成方法。
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