CN109906489A - 柔性电极和其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种柔性电极及用于制造柔性电极的方法，且根据本发明的实施例的柔性电极包括：衬底(10)；耦合层(20)，通过在衬底(10)上吸收含氨基(NH2)的单分子材料来形成；以及导电层(30)，通过在耦合层(20)上涂布金属纳米颗粒(31)来形成。
Description
技术领域
本发明涉及一种柔性电极和其制造方法。
背景技术
随着纳米技术、信息技术以及显示技术的最新进展，对易于携带且便携的移动电子装置的需求已增加。特定来说，柔性(flexible)、轻量且易于携带的电子装置已在包含显示器、晶体管、触摸面板以及太阳能电池的各种领域中引起注意。适于制造这种柔性电子装置的电极应即使在例如弯曲、扭转以及拉伸的各种机械应力下也能够维持其电导率。通过在柔性衬底上形成高度电导性的电极材料来制造柔性电极。取决于其片电阻，柔性电极不仅适用于柔性装置，且还适用于抗静电膜、天线以及滤光器(optical filter)。由于这些优点，柔性电极已被公认为信息、电子以及能量领域中的关键组件。
导电氧化物、碳纳米管、石墨烯以及聚合物导体在当前已知为最普遍地用于柔性电极的材料。如在KR2009-0069886中所公开，氧化铟锡(Indium tin oxide；ITO)是代表性的柔性电极材料。ITO是一种透明导电氧化物且因其高透射率和导电性而最普遍地用于柔性电极中。
然而，铟(ITO的主要构成元素)的储量有限，造成柔性电极的制造成本增加，导致在市场中的竞争力较低。由于其对衬底弯曲和翘曲的抗性较低，所以ITO电极容易破裂，导致其电极特性劣化。也就是说，ITO电极的较低机械强度导致电性质不佳。电极与轻量且对人类友好的(human-friendly)纺织材料的结合对可穿戴装置的发展尤为重要。ITO电极不适合于这一需求。
因此，存在解决常规柔性电极的问题的迫切需求。
发明内容
本发明要解决的问题
本发明已致力于解决现有技术的问题且希望提供一种通过在使用含氨基(NH2)的单分子材料的高柔性且对人类友好的衬底上吸附高度电导性金属纳米颗粒来制造的柔性电极，实现高电/机械强度。
解决问题的手段
本发明的一个方面提供一种柔性电极，包含：衬底；接合层，通过在衬底上吸附含氨基(NH2)的单分子材料来形成；以及导电层，通过在接合层上涂布金属纳米颗粒来形成。
在本发明的柔性电极中，衬底由选自聚酯、纤维素、尼龙以及丙烯酸纤维的至少一种材料制成。
在本发明的柔性电极中，接合层和导电层形成电极层且进一步提供一个或多个电极层。
在本发明的柔性电极中，含氨基(NH2)的单分子材料是三(2-氨基乙胺)(tris(2-aminoethylamine)；TREN)。
在本发明的柔性电极中，金属纳米颗粒是选自Pt、Au、Ag、Al以及Cu的至少一种金属的纳米颗粒。
本发明的柔性电极进一步包含：吸附层，通过在导电层上吸附含氨基的单分子材料来形成；以及集流层，通过在吸附层上涂布过渡金属纳米颗粒来形成。
在本发明的柔性电极中，过渡金属纳米颗粒是选自Fe3O4、MnO2、TiO2、WO3、V2O5以及TiO2的至少一种过渡金属氧化物的纳米颗粒。
本发明的柔性电极进一步包含通过在导电层上吸附含氨基的单分子材料来形成的覆盖层。
本发明的另一方面提供一种用于制造柔性电极的方法，包含a)使衬底浸没在包含分散在其中的含氨基(NH2)的单分子材料的有机溶剂中，以在衬底上吸附含氨基的单分子材料，以及b)使由含氨基的单分子材料吸附的衬底浸没在包含分散在其中的金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以在衬底上形成由金属纳米颗粒吸附的导电层。
本发明的方法进一步包含c)使形成有导电层的衬底浸没在包含分散在其中的含氨基的单分子材料的有机溶剂中，以在导电层上吸附含氨基的单分子材料，以及d)使由含氨基的单分子材料吸附的衬底浸没在包含分散在其中的金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以形成另一导电层。
本发明的方法进一步包含c)使形成有导电层的衬底浸没在包含分散在其中的含氨基的单分子材料的有机溶剂中，以在导电层上吸附含氨基的单分子材料，以及d)使由含氨基的单分子材料吸附的衬底浸没在包含分散在其中的过渡金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以在导电层上吸附过渡金属纳米颗粒。
在本发明的方法中，衬底由选自聚酯、纤维素、尼龙以及丙烯酸纤维的至少一种材料制成。
在本发明的方法中，含氨基(NH2)的单分子材料包含选自三(2-氨基乙胺)(TREN)、均苯三甲酸(trimesic acid)、乌头酸(aconitic acid)以及萘三磺酸酯(naphthalenetrisulfonate)的至少一种材料。
在本发明的方法中，金属纳米颗粒是选自Pt、Au、Ag、Al以及Cu的至少一种金属的纳米颗粒。
在本发明的方法中，过渡金属纳米颗粒是选自Fe3O4、MnO2、TiO2、WO3、V2O5以及TiO2的至少一种过渡金属氧化物的纳米颗粒。
从参考附图的以下描述中，本发明的特征和优点将为显而易见的。
在具体实施方式之前，应理解，鉴于发明人可恰当地定义术语和词语的概念以便以最佳方法描述他的/她的发明的原则，本说明书和权利要求中使用的术语和词语不应被理解为具有公共和词典含义，而应被理解为具有对应于本发明的技术精神的含义和概念。
本发明的效果
通过在使用含氨基(NH2)的单分子材料的高柔性且对人类友好的衬底上吸附高度电导性的金属纳米颗粒以形成一个或多个导电层来制造本发明的柔性电极，实现高电/机械强度和良好可加工性(processability)。
另外，本发明的方法确保颗粒之间的高接合强度和在柔性电极中许多孔隙的存在。因此，当将柔性电极用作能量存储装置的集流器时，可确保能量存储装置的高离子迁移率(ionic mobility)和驱动稳定性。
此外，本发明的柔性电极不仅可应用于能量存储装置，还可应用于需要轻量和高柔性的各种类型的电装置。此外，可通过无关于柔性电极的大小和形状的溶液工艺来以简单方式制造本发明的柔性电极。
附图说明
图1是示出根据本发明的第一实施例的柔性电极的横截面视图。
图2是图1中所示出的柔性电极的导电层的SEM图像。
图3是示出根据本发明的第二实施例的柔性电极的横截面视图。
图4是示出根据本发明的第三实施例的柔性电极的横截面视图。
图5是示出根据本发明的第四实施例的柔性电极的横截面视图。
图6示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极中的具有不同数目的导电层的薄膜的厚度。
图7示出涂布在根据本发明的示范性实施例的柔性电极中的不同衬底上的薄膜的SEM图像。
图8示出具有不同数目的导电层的根据本发明的示范性实施例的柔性电极的片电阻。
图9示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极的电性质。
图10示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极对抗反复弯曲的稳定性。
图11示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极的导电多层的吸收值。
具体实施方式
参考附图，本发明的其它目标、优点以及新颖特征将通过以下具体实施方式和优选实施例变得更明显。在所述附图中，相同的元件由相同的附图标号指示，即使它们描绘于不同的图中。尽管术语“第一”、“第二”等可使用以描述各种元件，但这些元件不应受限于以上术语。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开来。在本发明的描述中，在认为现有技术可能不必要地混淆本发明的本质时省略对所述现有技术的详细解释。
现将参考附图详细描述本发明的优选实施例。
图1是示出根据本发明的第一实施例的柔性电极的横截面视图且图2是柔性电极的导电层的SEM图像。
如图1和图2中所示出，柔性电极包含：衬底(10)；接合层(20)，通过在衬底(10)上吸附含氨基(NH2)的单分子材料来形成；以及导电层(30)，通过在接合层(20)上涂布金属纳米颗粒(31)来形成。
需要将即使在各种机械应力(例如弯曲、扭转以及拉伸)下也能够保持其电导率的电极作为各种应用领域(包含显示器、晶体管、触摸面板以及太阳能电池)中的柔性电子装置的关键组件。主要使用氧化铟锡(ITO)(一种透明导电氧化物)作为常规柔性电子装置中的电极材料。ITO具有高透射率和导电性，但铟(ITO的主要构成元素)的储量有限造成柔性电极的高制造成本。另外，ITO对弯曲和翘曲的抗性较低，导致机械性质劣化。此外，ITO在重复使用之后损失其电性质。因此，本发明已致力于解决常规柔性电极的问题。
如上文所描述，本发明的柔性电极包含衬底(10)、接合层(20)以及导电层(30)。衬底(10)需要为高度柔性的以供用于柔性电子装置。特定来说，柔性衬底(10)可由对人类友好的材料制成，因为柔性电极也可用于可穿戴装置中。合适的对人类友好的材料的实例包含纺织纤维，例如聚酯、纤维素、尼龙、丙烯酸纤维以及纸，其可单独使用或作为其两种或大于两种的混合物使用。衬底(10)的材料不必限于上述纺织纤维且可以是塑料材料(例如PET)、石英玻璃或Si晶片，视柔性电极所应用于的电子装置的类型而定。接合层(20)在衬底(10)的一个表面上形成。
布置在衬底(10)上的接合层(20)通过在衬底(10)上吸附含氨基(NH2)的单分子材料来形成。这里，归因于其对金属纳米颗粒(31)的亲和力，含氨基的单分子材料用以将金属纳米颗粒(31)固定到衬底(10)上。金属纳米颗粒(31)是用于形成导电层(30)和提高导电层(30)的电导率的材料。典型的金属具有低电阻而由金属颗粒构成的薄膜在一定程度上是绝缘的，因为薄膜的表面由金属颗粒的长有机配体(long organic ligand)包围。含氨基的单分子材料取代金属纳米颗粒(31)的绝缘有机配体以提高金属纳米颗粒(31)之间的接合强度和导电层(30)的电导率。
含氨基的单分子材料可以是例如具有固定金属纳米颗粒(31)和提高导电层(30)的电导率的能力的三(2-氨基乙胺)(TREN)。然而，单分子材料不必限于TREN。
金属纳米颗粒(31)在接合层(20)上涂布和分散以形成呈薄膜形式的导电层(30)。金属纳米颗粒(31)是选自Pt、Au、Ag、Al以及Cu的至少一种金属的纳米颗粒。然而，金属纳米颗粒(31)的材料不必限于上文提及的金属。导电层(30)的电导率由金属的种类决定。取决于金属的种类，导电层(30)的电阻可相较于块体金属的电阻而较高。然而，如上文所描述，配体取代增强导电层(30)的电导率。
总的来说，本发明的柔性电极具有一结构，其中在使用含氨基的单分子材料的高柔性且对人类友好的衬底(10)上吸附高度电导性金属纳米颗粒(31)以形成导电层(30)，实现电/机械性质的提高。
图3是示出根据本发明的第二实施例的柔性电极的横截面视图。
如图3中所示出，柔性电极可进一步包含提高导电层(30)的电性质并提高柔性电极在空气中的稳定性的覆盖层(60)。覆盖层(60)通过在导电层(30)上吸附含氨基的单分子材料来形成。覆盖层(60)的含氨基的单分子材料取代导电层(30)的表面配体surfaceligand)且结合到金属纳米颗粒(31)，以去除金属纳米颗粒(31)的所有表面配体。因此，由配体诱导的导电层(30)的绝缘性质消失以使导电层(30)的电性质可有效地展现。另外，覆盖层(60)覆盖导电层(30)暴露于空气的区域以保护导电层(30)不与空气接触。也就是说，覆盖层(60)的形成解决了柔性电极的氧化和稳定性问题。
图4是示出根据本发明的第三实施例的柔性电极的横截面视图。
如图4中所示出，本发明的柔性电极包含两个电极层(100)的多层结构，所述电极层中的每一个包含在衬底(10)上以此次序形成的接合层(20)和导电层(30)。电极层(100)可独立地提供或呈多层结构的形式提供。当电极层(100)具有多层结构时，接合层(20)和导电层(30)交替地堆叠。因此，第一接合层(20a)、第一导电层(30a)、第二接合层(20b)以及第二导电层(30b)在衬底(10)上以此次序布置。随着电极层(100)的数目增加，柔性电极的片电阻减小且柔性电极的电导率提高。
覆盖层(60)可在离衬底(10)最远的位置处形成为电极层(100)的多层结构的最外层。覆盖层(60)与在第二实施例中描述的覆盖层(60)(见图3)相同。覆盖层(60)保护导电层(30)不暴露于空气。
图5是示出根据本发明的第四实施例的柔性电极的横截面视图。
图5中所提出的柔性电极被适配以供用于能量存储装置。柔性电极进一步包含吸附层(40)和集流层(50)。吸附层(40)通过在下伏导电层(30)上吸附含氨基的单分子材料来形成且因此适于固定金属纳米颗粒(31)。集流层(50)通过在吸附层(40)上涂布过渡金属纳米颗粒(51)来形成。集流层(50)的形成使得能够在能量存储装置中使用柔性电极，所述能量存储装置例如具有高功率密度的超级电容器或具有高能量容量的锂离子电池。确保了颗粒之间的高接合强度且在柔性电极中存在许多孔隙。因此，当在能量存储装置中使用柔性电极时，可确保能量存储装置的高离子迁移率和驱动稳定性。然而，柔性电极的使用不必限于能量存储装置。举例来说，柔性电极可用于需要轻量和高柔性的各种类型的电装置中。过渡金属纳米颗粒(51)可以是例如选自Fe3O4、MnO2、TiO2、WO3、V2O5以及TiO2的至少一种过渡金属氧化物的纳米颗粒。然而，过渡金属纳米颗粒(51)的材料不必限于上文提及的金属材料且决不意欲限制本发明的范围。
进行本发明的模式
将给出有关根据本发明的用于制造柔性电极的方法的描述。由于通过本发明的方法制造的柔性电极与在前述实施例中所描述的那些柔性电极相同，所以在此描述中省略或简单地提供对柔性电极的重复解释。
本发明的方法包含a)使衬底浸没在包含分散在其中的含氨基(NH2)的单分子材料的有机溶剂中，以在衬底上吸附含氨基的单分子材料，以及b)使由含氨基的单分子材料吸附的衬底浸没在包含分散在其中的金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以在衬底上形成由金属纳米颗粒吸附的导电层。
在步骤a)中，在衬底上形成接合层。具体来说，含氨基的单分子材料分散于有机溶剂中且使衬底浸没在分散液中。在衬底上吸附分散于溶剂中的含氨基的单分子材料以形成接合层。在后续步骤(b)中，在接合层上形成导电层。
在步骤b)中，制备包含分散在其中的金属纳米颗粒的非极性溶剂且使形成有接合层的衬底浸没在非极性溶剂中。因此，分散于非极性溶剂中的金属纳米颗粒由接合层固定且发生配体取代以在衬底上形成导电层。
其后，通过以下过程来形成电极层的多层结构，所述电极层中的每一个包含接合层和导电层。首先，使步骤b)中的形成有导电层的衬底浸没在包含分散在其中的含氨基的单分子材料的有机溶剂中，以在导电层上吸附含氨基的单分子材料。接着，使由含氨基的单分子材料吸附的衬底浸没在包含分散在其中的金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以形成另一导电层。可重复此过程以形成电极层的双层、三层或更多层的多层结构。
当使形成有电极层的衬底浸没在包含分散在其中的含氨基的单分子材料的有机溶剂中，而不后续浸没在包含分散在其中的金属纳米颗粒的非极性溶剂中时，在离衬底最远的位置处的最外导电层上形成覆盖层。
使包含最外导电层的柔性电极浸没在包含分散在其中的含氨基的单分子材料的有机溶剂中，以形成含有所吸附含氨基的单分子材料的吸附层。接着，使形成有吸附层的衬底浸没在包含分散在其中的过渡金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以形成集流层。通过以过渡金属纳米颗粒涂布而在最外导电层上形成集流层使得柔性电极能够用于能量存储装置中。
将基于实验结果解释根据本发明的柔性电极的所提高机械/电性质。
图6示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极中的具有不同数目的导电层的薄膜的厚度，图7示出涂布在根据本发明的示范性实施例的柔性电极中的不同衬底上的薄膜的SEM图像，图8示出具有不同数目的导电层的根据本发明的示范性实施例的柔性电极的片电阻，图9示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极的电性质，图10示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极对抗反复弯曲的稳定性，且图11示出根据本发明的示范性实施例的柔性电极的导电多层的吸收值。
根据本发明的方法，在衬底上形成电极层的多层结构并测量薄膜的厚度(图6)。如从图6可看出，薄膜的厚度与堆叠电极层的数目成比例增加，指示本发明的方法使得电极层能够以均匀厚度堆叠。
在扫描电子显微镜(scanning electron microscope；SEM)下观测涂布在不同衬底上的电极层(图7)。图7的(A)是示出涂布在聚酯织物(Polyester textile)上的金纳米颗粒(gold nanoparticles；Au NPs)的SEM图像。金纳米颗粒非常密集地吸附在衬底的纤维结构上，这被认为是因为分散于有机溶剂中的含氨基的单分子材料将分散于非极性溶剂中的金属纳米颗粒有效地固定到衬底上。图7的(B)到(D)分别是传统韩国纸(在韩语中称为“Hanji”)、A4大小纸以及聚酯衬底在以金属纳米颗粒涂布前后涂布的图像。这些图像示出金属纳米颗粒的均匀涂布。金属纳米颗粒的涂布不影响每一衬底材料的内部结构或形态，且因此，每一材料的机械性质保持不变。
测量包含在衬底上形成的电极层的多层结构的柔性电极的片电阻和电导率(图8)。如图8的(A)中所示出，随着电极层的数目增加，片电阻减小且电导率增大。柔性电极的电性质提高被认为是因用含氨基的单分子材料对导电层进行配体取代所致。基于这些结果，柔性电极可实现105西门子/厘米(S/cm)，其对应于块体金属的电导率且比具有半传导性质的碳材料的电导率高得多。
将金属纳米颗粒(Au NP)堆叠在使用TREN的纸衬底上以形成电极层的多层结构(图8的(B))。基于图8的(B)中所示出的结果，柔性电极可通过将金属纳米颗粒单次涂布于衬底上来实现预定电平处的电导率，指示处理时间可因颗粒的高充填密度而减少。在图8的(B)中，n表示电极层的数目且n.5表示最外电极层上的覆盖层的布置。
在图9中，进行比较实验以确定含氨基的单分子材料的使用是否有助于提高柔性电极的电性质。在此实验中，将含氨基的单分子材料(TREN)和聚合材料(聚乙烯亚胺(polyethyleneimine；PEI))用作连接子(linker)来固定金属纳米颗粒。因此，发现使用TREN的柔性电极的片电阻更低，如图9的(A)中所示出。发现使用TREN的柔性电极的电导率更高，如图9的(B)中所示出。这些结果可得出结论：相较于使用聚合材料时，使用含氨基的单分子材料时柔性电极的电性质提高了。
如图10的(A)中所示出，观测本发明的柔性电极的机械性质。为此目的，在PET衬底上形成电极层的15层结构且在最外电极层的导电层上布置覆盖层。对所得的15.5层结构进行弯曲测试。将金纳米颗粒(Au NP)用作金属纳米颗粒。
结果，衬底的曲率改变对薄膜几乎不造成损坏。这些结果被认为是因为纳米化的金属颗粒通过与TREN的氨基基团接合而密集地堆叠。
如图10的(B)中所示出，通过作为溶液工艺的逐层组装(layer-by-layerassembly)来制造本发明的柔性电极且通过作为气相沉积工艺的电子束蒸镀(E-beamevaporation)来制造比较柔性电极。对两者柔性电极进行弯曲测试。
结果，发现相较于通过昂贵的气相沉积工艺(其目前在业界中被普遍使用)来制造的电极，本发明的柔性电极具有非常稳定的机械性质。
在紫外光可见光分光光度计(UV-vis spectrophotometer)上测量使用不同种类的金属纳米颗粒的柔性电极的吸收值。金属是Au、Ag以及Pt(分别见图11的(A)、(B)以及(C))。进行此实验以表明除在前述实例中使用的金纳米颗粒以外，各种金属纳米颗粒都可应用于本发明的柔性电极。这些结果显示，本发明的范围不限于Au且可延伸到其它金属颗粒。
尽管本文中已描述具体实施例，但应理解，这些实施例仅提供用于说明且不应以任何方式解释为限制本发明，且本领域的普通技术人员可能在不脱离本发明的精神和范围的情况下作出各种修改和改良。
对本发明的简单修改和改变属于本发明的范围，且本发明的具体范围将由所附权利要求清晰地定义。
工业实用性
通过在使用含氨基(NH2)的单分子材料的高柔性且对人类友好的衬底上吸附高度电导性的金属纳米颗粒以形成一个或多个导电层来制造本发明的柔性电极，实现高电/机械强度和良好可加工性。由于这些优点，认识到本发明的柔性电极可在工业上应用。
Claims (15)
1.一种柔性电极，包括：
衬底；
接合层，通过在所述衬底上吸附含氨基(NH2)的单分子材料来形成；以及
导电层，通过在所述接合层上涂布金属纳米颗粒来形成。
2.根据权利要求1所述的柔性电极，其中所述衬底由选自聚酯、纤维素、尼龙以及丙烯酸纤维的至少一种材料制成。
3.根据权利要求1所述的柔性电极，其中所述接合层和所述导电层形成电极层且进一步提供一个或多个电极层。
4.根据权利要求1所述的柔性电极，其中所述含氨基(NH2)的单分子材料是三(2-氨基乙胺)(TREN)。
5.根据权利要求1所述的柔性电极，其中所述金属纳米颗粒是选自铂、金、银、铝以及铜的至少一种金属的纳米颗粒。
6.根据权利要求1所述的柔性电极，还包括：
吸附层，通过在所述导电层上吸附含氨基的单分子材料来形成；以及
集流层，通过在所述吸附层上涂布过渡金属纳米颗粒来形成。
7.根据权利要求6所述的柔性电极，其中所述过渡金属纳米颗粒是选自四氧化三铁、二氧化锰、二氧化钛、三氧化钨、五氧化二钒以及二氧化钛的至少一种过渡金属氧化物的纳米颗粒。
8.根据权利要求1所述的柔性电极，还包括：
覆盖层，通过在所述导电层上吸附含氨基的单分子材料来形成。
9.一种用于制造柔性电极的方法，包括a)使衬底浸没在包括分散在其中的含氨基(NH2)的单分子材料的有机溶剂中，以在所述衬底上吸附所述含氨基的单分子材料，以及b)使由所述含氨基的单分子材料吸附的所述衬底浸没在包括分散在其中的金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以在所述衬底上形成由所述金属纳米颗粒吸附的导电层。
10.根据权利要求9所述的用于制造柔性电极的方法，还包括c)使形成有所述导电层的所述衬底浸没在包括分散在其中的所述含氨基的单分子材料的所述有机溶剂中，以在所述导电层上吸附所述含氨基的单分子材料，以及d)使由所述含氨基的单分子材料吸附的所述衬底浸没在包括分散在其中的所述金属纳米颗粒的所述非极性溶剂中，以形成另一导电层。
11.根据权利要求9所述的用于制造柔性电极的方法，还包括c)使形成有所述导电层的所述衬底浸没在包括分散在其中的所述含氨基的单分子材料的所述有机溶剂中，以在所述导电层上吸附所述含氨基的单分子材料，以及d)使由所述含氨基的单分子材料吸附的所述衬底浸没在包括分散在其中的过渡金属纳米颗粒的非极性溶剂中，以在所述导电层上吸附所述过渡金属纳米颗粒。
12.根据权利要求9所述的用于制造柔性电极的方法，其中所述衬底由选自聚酯、纤维素、尼龙以及丙烯酸纤维的至少一种材料制成。
13.根据权利要求9所述的用于制造柔性电极的方法，其中所述含氨基(NH2)的单分子材料包括选自三(2-氨基乙胺)(TREN)、均苯三甲酸、乌头酸以及萘三磺酸酯的至少一种材料。
14.根据权利要求9所述的用于制造柔性电极的方法，其中所述金属纳米颗粒是选自铂、金、银、铝以及铜的至少一种金属的纳米颗粒。
15.根据权利要求11所述的用于制造柔性电极的方法，其中所述过渡金属纳米颗粒是选自四氧化三铁、二氧化锰、二氧化钛、三氧化钨、五氧化二钒以及二氧化钛的至少一种过渡金属氧化物的纳米颗粒。
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