JP2012208396A - レジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 - Google Patents
レジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012208396A JP2012208396A JP2011075219A JP2011075219A JP2012208396A JP 2012208396 A JP2012208396 A JP 2012208396A JP 2011075219 A JP2011075219 A JP 2011075219A JP 2011075219 A JP2011075219 A JP 2011075219A JP 2012208396 A JP2012208396 A JP 2012208396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- pattern
- substrate
- resist film
- resist pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 title description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 52
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 66
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 19
- 239000012190 activator Substances 0.000 claims description 14
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 7
- 238000001459 lithography Methods 0.000 abstract 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 60
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 6
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 6
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 4
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 3
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 2
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005196 alkyl carbonyloxy group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005278 alkyl sulfonyloxy group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
- G03F7/203—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure comprising an imagewise exposure to electromagnetic radiation or corpuscular radiation
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/039—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
- G03F7/0392—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists the macromolecular compound being present in a chemically amplified positive photoresist composition
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2051—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
- G03F7/2059—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
- G03F7/322—Aqueous alkaline compositions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
【課題】最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成において、描画装置の切り替え作業に起因する描画パターンの設計からのずれを防止することを可能とする。
【解決手段】最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成方法において、基板3上にレジスト膜2を形成し、可変成形電子線EBによりレジスト膜2に描画パターンを描画した後、レジスト膜2のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下となるように、レジスト膜2にパドル現像を実施する。
【選択図】なし
【解決手段】最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成方法において、基板3上にレジスト膜2を形成し、可変成形電子線EBによりレジスト膜2に描画パターンを描画した後、レジスト膜2のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下となるように、レジスト膜2にパドル現像を実施する。
【選択図】なし
Description
本発明は、所定の凹凸パターンを有するレジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法に関するものである。
ナノインプリントは、エンボス技術を発展させたパターン形成技術である。具体的には、ナノインプリントは、凹凸パターンを形成した型(一般的にモールド、スタンパ、テンプレートとも呼ばれる)を被加工基板上に塗布されたナノインプリントレジストに押し付け、ナノインプリントレジストを力学的に変形または流動させて微細なパターンを精密に転写する技術である。
現在、複雑な回路構造を有する半導体デバイスの形成にナノインプリントを応用することが検討されている。半導体デバイスの回路パターンの形成にナノインプリントが応用された場合には、半導体デバイスの製造コストを大幅に削減することができると期待されている。
半導体デバイスの回路パターンの形成にナノインプリントが応用された例としては、例えば特許文献1が挙げられる。半導体デバイスの回路パターンの線幅の範囲は例えば数十nm〜数umと広範な範囲にわたる。そして通常、モールドの凹凸パターンは、当該回路パターンに対応した凹凸パターンが形成されたレジスト膜をマスクとして、モールドの基になる基板の表面をエッチングすることにより製造される。したがって、レジスト膜に形成される凹凸パターンの線幅の範囲も当然上記範囲に対応して広範な範囲となる。そこで特許文献1では、上記事情を考慮し、描画パターンの線幅が100nm以下である第1描画領域ではスポット電子線描画装置で、線幅が100nmよりも大きい第2描画領域では可変成形電子線描画装置で、回路パターンに対応した描画パターンをレジスト膜に描画することを開示している。当該特許文献1の方法によれば、第1描画領域のパターンを高い精度で描画することができ、かつ描画処理全体としての処理能力を向上させることができる。
しかしながら、特許文献1の方法では、スポット電子線描画装置と可変成形電子線描画装置とを切り替える必要があり、それぞれの描画装置で描画する描画パターンの重ね合わせ精度が低い場合には、この切り替え作業に起因して描画パターンが設計からずれてしまうという問題が生じる可能性がある。さらに、場合によっては描画パターンが断線する可能性もある。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成において、描画装置の切り替え作業に起因する描画パターンの設計からのずれを防止することを可能とするレジストパターンの形成方法を提供することを目的とするものである。
さらに本発明は、レジストパターンをマスクとしてエッチングするパターン化基板の製造において、当該レジストパターンに対応した凹凸パターンの加工精度を向上させることを可能とするパターン化基板の製造方法を提供することを目的とするものである。
上記課題を解決するために、本発明に係るレジストパターンの形成方法は、
最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成方法において、
基板上にレジスト膜を形成し、
可変成形電子線によりレジスト膜に描画パターンを描画した後、レジスト膜のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下となるように、レジスト膜にパドル現像を実施することを特徴とするものである。
最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成方法において、
基板上にレジスト膜を形成し、
可変成形電子線によりレジスト膜に描画パターンを描画した後、レジスト膜のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下となるように、レジスト膜にパドル現像を実施することを特徴とするものである。
本明細書において、「最小線幅」とは、パターンレイアウトの中で最小の線幅を意味する。
「レジスト非溶解部」とは、ポジ型レジストの場合、描画用の電子線の影響を全く受けない領域にあるレジスト膜の部分を意味し、ネガ型レジストの場合は、描画用の電子線の影響を受ける領域にあるレジスト膜の部分を意味する。
「膜減り率」とは、レジスト膜のレジスト非溶解部の現像前における厚さに対する、同じ場所の現像後における厚さ差分の割合を意味する。
そして、本発明に係るレジストパターンの形成方法において、パドル現像の現像時間は15〜60sであることが好ましい。
そして、本発明に係るレジストパターンの形成方法において、パドル現像の現像液の希釈濃度は20〜90%であることが好ましい。
そして、本発明に係るレジストパターンの形成方法において、パドル現像時の温度は2〜20℃であることが好ましい。
そして、本発明に係るレジストパターンの形成方法において、パドル現像の現像液は活性剤を含有しないものであることが好ましい。
そして、本発明に係るレジストパターンの形成方法において、レジストは、下記構造式(1)で表される化合物または下記構造式(2)で表される化合物を含有するものであることが好ましい。
構造式(1)において、R01、R02及びR03は、各々独立に、例えば、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基又はアルコキシカルボニル基を表す。Ar1は、例えば、芳香環基を表す。なお、R03とAr1とがアルキレン基であり、両者が互いに結合することにより、−C−C−鎖と共に、5員又は6員環を形成していてもよい。
n個のYは、各々独立に、水素原子又は酸の作用により脱離する基を表す。但し、Yの少なくとも1つは酸の作用により脱離する基を表す。
nは、1〜4の整数を表し、1〜2が好ましく、1がより好ましい。
n個のYは、各々独立に、水素原子又は酸の作用により脱離する基を表す。但し、Yの少なくとも1つは酸の作用により脱離する基を表す。
nは、1〜4の整数を表し、1〜2が好ましく、1がより好ましい。
構造式(2)中、Aは、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子又はシアノ基を表す。
Rは、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルケニル基、アラルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニルオキシ基又はアルキルスルホニルオキシ基を表し、複数存在する場合は同じでも異なっていてもよく、互いに結合して環を形成してもよい。
aは1〜3の整数を表す。
bは0〜(3−a)の整数を表す。
Rは、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルケニル基、アラルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニルオキシ基又はアルキルスルホニルオキシ基を表し、複数存在する場合は同じでも異なっていてもよく、互いに結合して環を形成してもよい。
aは1〜3の整数を表す。
bは0〜(3−a)の整数を表す。
さらに、本発明に係るパターン化基板の製造方法は、上記に記載の方法により基板上にレジストパターンを形成し、
レジストパターンが形成されたレジスト膜をマスクとして基板をエッチングすることにより、レジストパターンに対応した凹凸パターンを基板の表面に形成することを特徴とするものである。
レジストパターンが形成されたレジスト膜をマスクとして基板をエッチングすることにより、レジストパターンに対応した凹凸パターンを基板の表面に形成することを特徴とするものである。
本発明に係るレジストパターンの形成方法は、最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成方法において、基板上にレジスト膜を形成し、可変成形電子線によりレジスト膜に描画パターンを描画した後、レジスト膜のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下となるように、レジスト膜にパドル現像を実施するものである。本発明者は、レジスト膜のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下である場合には、裾野領域(電子線の強度プロファイルが裾を引く領域)の電子線により描画されたレジスト膜の部分が現像により完全に除去されることを防止できることを見出した。したがって、本発明に係るレジストパターンの形成方法によれば、最小線幅が100nm以下のレイアウトを含む描画パターンを可変成形電子線により描画しても所望の線幅のレジストパターンを形成することができる。この結果、スポット電子線描画装置と可変成形電子線描画装置とを切り替える必要がなく、可変成形電子線描画装置のみで描画パターンを描画することができるため、最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成において、描画装置の切り替え作業に起因する描画パターンの設計からのずれを防止することが可能となる。
また、本発明に係るパターン化基板の製造方法は、上記に記載の方法により基板上にレジストパターンを形成し、レジストパターンが形成されたレジスト膜をマスクとして基板をエッチングすることにより、レジストパターンに対応した凹凸パターンを基板の表面に形成するものである。したがって、レジスト膜を描画する際、描画装置の切り替え作業に起因する描画パターンの設計からのずれを防止することができる。この結果、レジストパターンをマスクとしてエッチングするパターン化基板の製造において、当該レジストパターンに対応した凹凸パターンの加工精度を向上させることが可能となる。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明するが、本発明はこれに限られるものではない。なお、視認しやすくするため、図面中の各構成要素の縮尺等は実際のものとは適宜異ならせてある。
「レジストパターンの形成方法」
まず、レジストパターン(レジストからなる凹凸パターン)の形成方法の実施形態について説明する。図1は、電子線の強度プロファイルとレジスト膜の描画との関係を説明する概略断面図である。
まず、レジストパターン(レジストからなる凹凸パターン)の形成方法の実施形態について説明する。図1は、電子線の強度プロファイルとレジスト膜の描画との関係を説明する概略断面図である。
本実施形態のレジストパターン形成方法は、基板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成し、可変成形電子線によりレジスト膜に最小線幅が100nm以下のレイアウトを含む描画パターンを描画し、その後、レジスト膜のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下となるようにレジスト膜にパドル現像を実施するものである。
基板3は、表面に凹凸パターンが形成されるパターン化基板の基となる基板である。基板3は、後述するパターン化基板の製造方法によりパターン化されてパターン化基板となる。基板3は、その形状、構造、大きさ、材質等については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。基板3の凹凸パターン形成面が、レジストが塗布される面となる。例えば基板3は、6インチシリコンウエハでもよく、6025マスクブランクスであってもよい。構造としては、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。材質としては、基板材料として公知のものの中から、適宜選択することができ、例えば、シリコン、ニッケル、アルミニウム等の金属材料、石英等のガラス材料、および樹脂などが挙げられる。これらの基板材料は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。基板3の厚さとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
基板3はそのレジストが塗布される面に1層以上のマスク層を有することが好ましい。この場合基板3は、図1に示されるように、支持基板3aおよびマスク層3bから構成される。マスク層3bは、後述するように支持基板3aがエッチングされる際のマスクとして機能する。マスク層3bの材料は、支持基板3aに対するマスク層3bのエッチング選択比が小さくなるような材料から選択される。マスク層3bの材料は、特にクロム、タングステン、チタン、ニッケル、銀、白金、金などの金属材料、および酸化クロム、酸化タングステン、酸化チタンなどの金属酸化物材料が好ましい。さらにマスク層3bは、クロムおよび/または酸化クロムを含有する層を少なくとも1層有することが好ましい。
また、基板3の表面は、レジストとの接着性を高めるために、シランカップリング剤やHMDS(ヘキサメチルジンラザン)等により表面処理が施されてもよい。
レジスト膜2は、電子線の照射により現像液に可溶となる化学増幅型レジストから構成される。レジスト膜2は、例えば基板3上にレジスト液をスピンコートする等により形成される。上記のようなレジストは、特に限定されるものではないが、特に、富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ社製PRL009(商品名)、下記構造式(1)で表される化合物および下記構造式(2)で表される化合物等を含有する樹脂を好適に用いることができる。
構造式(1)において、R01、R02及びR03は、各々独立に、例えば、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基又はアルコキシカルボニル基を表す。Ar1は、例えば、芳香環基を表す。なお、R03とAr1とがアルキレン基であり、両者が互いに結合することにより、−C−C−鎖と共に、5員又は6員環を形成していてもよい。n個のYは、各々独立に、水素原子又は酸の作用により脱離する基を表す。但し、Yの少なくとも1つは酸の作用により脱離する基を表す。nは、1〜4の整数を表し、1〜2が好ましく、1がより好ましい。
構造式(2)において、Aは、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子又はシアノ基を表す。Rは、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルケニル基、アラルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニルオキシ基又はアルキルスルホニルオキシ基を表し、複数存在する場合は同じでも異なっていてもよく、互いに結合して環を形成してもよい。aは1〜3の整数を表す。bは0〜(3−a)の整数を表す。
描画パターンの描画は可変成形電子線描画装置を用いて実施する。可変成形電子線描画装置は、電子銃(エミッタ)から発せられる電子線を成形アパーチャーと呼ばれる矩形の穴を透過させることにより電子線形状を矩形に変え、x−yステージの移動に同期させながら矩形状の電子線を連続照射してパターン描画を行う装置である。可変成形電子線描画装置では、成形アパーチャーの穴の透過面積を変更することにより様々な形状の電子線照射範囲の調整が可能である。可変成形電子線描画装置は、スポット電子線描画装置に比べ描画の処理能力がおよそ100倍と非常に高いため、可変成形電子線描画装置のみを用いて描画処理を実施することにより描画処理全体としての処理能力を大幅に向上させることができる。レジスト膜は、描画パターンの各地点における線幅の設計通りの幅に合わせて成形された電子線によって描画される。このような可変成形電子線描画装置としては、例えば株式会社ニューフレアテクノロジー社製のEBM−6000という描画装置を使用することができる。
レジストの現像はパドル現像により実施する。このパドル現像は、基板上のレジスト膜の表面に現像液を供給し、その表面張力を利用して現像液でレジスト膜の表面全体を覆った後、現像液の供給を停止し、当該基板を静止させて、または現像液がレジスト膜から飛散しない程度の低速度で当該基板を回転させながら、レジスト膜の現像処理を行う方法である。なおパドル現像後、純水等でリンス処理を施すことにより現像液は除去される。また、上記パドル現像において、現像液の供給は複数回行ってもよい。具体的には、現像液がレジスト膜の表面全体を覆うように当該表面上で現像液の供給手段の1回目の走査を実施し、その後所定の時間経過した後に同様に2回目の走査を実施するようにしてもよい。ここで、走査回数は特に限定されない。パドル現像は、(1)現像液の使用量を少なくすることができる、(2)現像欠陥を抑制できるため、浸漬法に比べて現像のコストおよび性能劣化を抑制することが可能になる、等の利点を有する。このようなパドル現像装置としては、例えばHamaTech社製のMaskTrackという現像装置を使用することができる。
本発明では、レジスト膜のレジスト非溶解部の現像における膜減り率が20%以下となるようにパドル現像を実施する。この膜減り率とは、前述したように、レジスト膜のレジスト非溶解部の現像前における厚さに対する、同じ場所の現像後における厚さ差分の割合を意味する。つまり、レジスト膜のレジスト非溶解部の現像前における厚さをA、同じ場所のレジスト非溶解部の現像後における厚さをBとしたとき、上記膜減り率は(A−B)/Aで表される。
膜減り率は、パドル現像における条件を適宜調整することにより調整される。パドル現像における条件とは、例えば現像時間(レジストを現像液に暴露する時間)、現像液の濃度および現像液中の活性剤の有無、現像時の液温度、並びに現像液を供給する供給手段の走査回数等である。膜減り率が低下する方向に調整したい場合には、例えば現像時間を短縮し、現像液の濃度を低くし、現像液中の活性剤を使用せず、現像時の温度を下げ、または現像液を供給する走査回数を減らす等の調整を行う。例えば、現像液として水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)2.38%アルカリ現像液を使用する場合には、東京応化工業社製の活性剤入りの現像液NMD−Wよりも活性剤なしの現像液NMD−3を使用することが好ましく、現像時間は15〜60sであることが好ましく、現像液の希釈濃度は20〜90%であることが好ましく、パドル現像時の現像液温度は2〜20℃であることが好ましい。また、現像液を供給する供給手段の走査回数は、後述するように現像液を静的な状態に維持しながら現像することが好ましいため、1回または2回であることが好ましい。
以下、本発明の作用を説明する。
可変成形電子線EBは、成型アパーチャーによって矩形状に成形されるが、電子線EBの強度プロファイルは矩形状の外側の領域に若干の裾野を有している(図1)。したがって、レジスト膜2は、強度プロファイルが比較的均一な成形領域Raの電子線EBaと裾野領域Rbの電子線EBbとにより描画される。通常、成形領域Raの幅が描画パターンの線幅に合わせて設計されるため、成形領域Raの電子線EBaによって描画されたレジスト膜2の部分2aが描画パターンの所望の線幅となる。そのため、可変成形電子線EBを使用して設計通りの描画パターンを得るためには、裾野領域Rbの電子線EBbによって描画されたレジスト膜2の部分2bを残すように現像することが重要となる。
そこで、本発明者は、鋭意検討を行った結果、レジスト膜2のレジスト非溶解部2cの膜減り率が現像の進行度合いを表す指標として有効であることを見出した。そして、その膜減り率が20%以下となるように現像を行えば、レジスト膜2の裾野領域Rbの電子線EBbによって描画された部分2bが現像により完全に除去されることを防止できることが確認された。なお、実際にパドル現像を実施する場合には、予め描画されていないレジスト膜を用いて膜減り率と現像条件との関係を取得しておく。
以上より、本発明に係るレジストパターンの形成方法によれば、最小線幅が100nm以下のレイアウトを含む描画パターンを可変成形電子線により描画しても所望の線幅のレジストパターンを形成することができる。この結果、スポット電子線描画装置と可変成形電子線描画装置とを切り替える必要がなく、可変成形電子線描画装置のみで描画パターンを描画することができるため、最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成において、描画装置の切り替え作業に起因する描画パターンの設計からのずれを防止することが可能となる。
さらに、本発明に係るレジストパターンの形成方法によれば、描画処理の処理能力の高い可変成形電子線描画装置で描画するから、描画処理全体としての処理能力も特許文献1の方法に比してより向上させることができる。
「パターン化基板の製造方法」
次に、本発明のパターン化基板の製造方法の実施形態について説明する。本実施形態では、前述したレジストパターンの形成方法を用いてパターン化基板の製造を行う。
次に、本発明のパターン化基板の製造方法の実施形態について説明する。本実施形態では、前述したレジストパターンの形成方法を用いてパターン化基板の製造を行う。
まず、前述したレジストパターンの形成方法を用いて、所定の凹凸パターンが形成されたレジスト膜を基板上に形成する。次に、パターン形成されたレジスト膜をマスクにして基板のエッチングを行い、レジスト膜に形成された凹凸パターンに対応した凹凸パターンを基板上に形成して、所定の凹凸パターンを表面に有するパターン化基板を得る。例えば、パターン化基板は、それ自身がナノインプリント用のモールドとして使用されたり、そのようなモールドを製造するための原盤として使用されたりする。
一方、基板3が積層構造を有しており表面上にマスク層3bを含む場合には、前述したレジストパターンの形成方法を用いて、所定の凹凸パターンが形成されたレジスト膜2をマスク層3b付きの基板3上に形成する。次に、レジスト膜2をマスクにしてドライエッチングを行い、レジスト膜2に形成された凹凸パターンに対応した凹凸パターンを当該マスク層3bに形成し、そのマスク層3bをエッチストップ層にして基板3にさらにドライエッチングを行い、凹凸パターンを基板3上に形成して、所定の凹凸パターンを表面に有するパターン化基板を得る。
ドライエッチングとしては、基板に凹凸パターンを形成できるものであれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、反応性イオンエッチング(RIE)、イオンミリング法、スパッタエッチング、などが挙げられる。これらの中でも、反応性イオンエッチング(RIE)、イオンミリング法が特に好ましい。
RIEのエッチャントとしては、フッ素系ガスや塩素系ガスを用いることができる。
以上のように、本発明に係るパターン化基板の製造方法によれば、レジストを描画する際、描画装置の切り替え作業に起因する描画パターンの設計からのずれを防止することができる。この結果、レジストパターンをマスクとしてエッチングするパターン化基板の製造において、当該レジストパターンに対応した凹凸パターンの加工精度を向上させることが可能となる。
上記のような製造方法により得られるモールド1は、例えば図2Aおよび図2Bに示すように、支持部12と、支持部12の表面上に形成された微細な凹凸パターン13とから構成される。
支持部12の材料は、例えばシリコン、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、タンタルおよびタングステン等の金属材料、並びにそれらの酸化物、窒化物および炭化物とすることができる。具体的には、支持部12の材料としては、酸化シリコン、酸化アルミニウム、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラスおよびソーダガラス等を挙げることができる。
凹凸パターン13の形状は、特に限定されず、ナノインプリントの用途に応じて適宜選択される。例えば典型的なパターンとして図2Aおよび図2Bに示すようなライン&スペースパターンである。そして、ライン&スペースパターンの凸部の長さ、凸部の幅W1、凸部同士の間隔W2および凹部底面からの凸部の高さ(凹部の深さ)Hは適宜設定される。例えば、凸部の幅W1は10〜100nm、より好ましくは20〜70nmであり、凸部同士の間隔W2は10〜500nm、より好ましくは20〜100nmであり、凸部の高さHは10〜500nm、より好ましくは30〜100nmである。また、凹凸パターン13の形状は、その他、矩形、円および楕円等の断面を有するドットが配列したような形状でもよい。
本発明のレジストパターンの形成方法の実施例を以下に示す。
<現像条件と膜減り率の関係>
まず、現像条件を変えて、レジストが上記構造式(1)で表される化合物Aである場合の膜減り率を算出した。図3は現像条件と膜減り率との関係を示すグラフである。当該グラフ中、項目「パドル現像(4回)」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が4回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「パドル現像(2回)」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が2回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「パドル現像(1回)」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「NMD−3」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が活性剤無しのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「10℃」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が10℃である場合のデータである。項目「1:1希釈」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が、活性剤入りのTMAH2.38%の現像液と純水のリンス液を等量で混合した希釈現像液であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。
まず、現像条件を変えて、レジストが上記構造式(1)で表される化合物Aである場合の膜減り率を算出した。図3は現像条件と膜減り率との関係を示すグラフである。当該グラフ中、項目「パドル現像(4回)」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が4回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「パドル現像(2回)」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が2回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「パドル現像(1回)」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「NMD−3」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が活性剤無しのTMAH2.38%であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。項目「10℃」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が活性剤入りのTMAH2.38%であり、現像液の温度が10℃である場合のデータである。項目「1:1希釈」は、現像手法がパドル現像であって現像液の供給回数が1回のものであり、現像液が、活性剤入りのTMAH2.38%の現像液と純水のリンス液を等量で混合した希釈現像液であり、現像液の温度が23℃である場合のデータである。
<実施例1>
基板上にレジストを塗布し、可変成形電子線(VSB)を使用して所定のライン&スペースパターンを描画し、その後レジスト膜を現像した。そして、当該条件でどこまでの解像度(実用的に好ましいパターンが形成できた時のライン&スペースパターンの最小線幅)が得られるのかを検討した。本実施例において、レジストは上記構造式(1)で表される化合物A、現像液は活性剤入りのTMAH2.38%、現像手法は現像液の供給回数が1回のパドル現像、現像液の温度は23℃、現像時間は30secである。
基板上にレジストを塗布し、可変成形電子線(VSB)を使用して所定のライン&スペースパターンを描画し、その後レジスト膜を現像した。そして、当該条件でどこまでの解像度(実用的に好ましいパターンが形成できた時のライン&スペースパターンの最小線幅)が得られるのかを検討した。本実施例において、レジストは上記構造式(1)で表される化合物A、現像液は活性剤入りのTMAH2.38%、現像手法は現像液の供給回数が1回のパドル現像、現像液の温度は23℃、現像時間は30secである。
<実施例2>
現像時間が15secである点以外は実施例1と同様である。
現像時間が15secである点以外は実施例1と同様である。
<実施例3>
現像液が活性剤を含有しない点以外は実施例2と同様である。
現像液が活性剤を含有しない点以外は実施例2と同様である。
<実施例4>
現像液の温度が10℃である点以外は実施例2と同様である。
現像液の温度が10℃である点以外は実施例2と同様である。
<実施例5>
現像液におけるTMAHの濃度が1.19%でありかつ現像時間が30secである点以外は実施例2と同様である。
現像液におけるTMAHの濃度が1.19%でありかつ現像時間が30secである点以外は実施例2と同様である。
<比較例1>
パドル現像における現像液の供給回数が4回でありかつ現像時間が60secである点以外は実施例1と同様である。
パドル現像における現像液の供給回数が4回でありかつ現像時間が60secである点以外は実施例1と同様である。
<比較例2>
現像手法がスプレー現像である点以外は比較例1と同様である。
現像手法がスプレー現像である点以外は比較例1と同様である。
<比較例3>
レジストが前述したPRL009である点以外は比較例2と同様である。
レジストが前述したPRL009である点以外は比較例2と同様である。
1 モールド
2 レジスト膜
2a レジスト膜の成形領域の電子線によって描画された部分
2b レジスト膜の裾野領域の電子線によって描画された部分
2c レジスト膜の描画されないポジレジストのレジスト非溶解部
3 基板
3a 支持基板
3b マスク層
12 支持部
13 凹凸パターン
EB 電子線
EBa 成形領域の電子線
EBb 裾野領域の電子線
Ra 成形領域
Rb 裾野領域
2 レジスト膜
2a レジスト膜の成形領域の電子線によって描画された部分
2b レジスト膜の裾野領域の電子線によって描画された部分
2c レジスト膜の描画されないポジレジストのレジスト非溶解部
3 基板
3a 支持基板
3b マスク層
12 支持部
13 凹凸パターン
EB 電子線
EBa 成形領域の電子線
EBb 裾野領域の電子線
Ra 成形領域
Rb 裾野領域
Claims (7)
- 最小線幅が100nm以下のレイアウトを含むレジストパターンの形成方法において、
基板上にレジスト膜を形成し、
可変成形電子線により前記レジスト膜に描画パターンを描画した後、前記レジスト膜のレジスト非溶解部の膜減り率が20%以下となるように、前記レジスト膜にパドル現像を実施することを特徴とするレジストパターンの形成方法。 - 前記パドル現像の現像時間が15〜60sであることを特徴とする請求項1に記載のレジストパターンの形成方法。
- 前記パドル現像の現像液の希釈濃度が20〜90%であることを特徴とする請求項1または2に記載のレジストパターンの形成方法。
- 前記パドル現像時の温度が2〜20℃であることを特徴とする請求項1から3いずれかに記載のレジストパターンの形成方法。
- 前記パドル現像の現像液が活性剤を含有しないものであることを特徴とする請求項1から4いずれかに記載のレジストパターンの形成方法。
- 請求項1から6いずれかに記載の方法により基板上のレジスト膜にレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンが形成された前記レジスト膜をマスクとして前記基板をエッチングすることにより、前記レジストパターンに対応した凹凸パターンを前記基板の表面に形成することを特徴とするパターン化基板の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011075219A JP2012208396A (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | レジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 |
KR1020137028208A KR20140018956A (ko) | 2011-03-30 | 2012-03-23 | 레지스트 패턴의 형성 방법 및 그것을 사용한 패턴화 기판의 제조 방법 |
PCT/JP2012/002034 WO2012132371A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-03-23 | レジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 |
TW101110953A TW201250777A (en) | 2011-03-30 | 2012-03-29 | Forming method of resist pattern and fabricating method of patterned substrate using the same |
US14/040,171 US20140030656A1 (en) | 2011-03-30 | 2013-09-27 | Method for forming resist patterns and method for producing patterned substrates |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011075219A JP2012208396A (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | レジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012208396A true JP2012208396A (ja) | 2012-10-25 |
JP2012208396A5 JP2012208396A5 (ja) | 2013-08-22 |
Family
ID=46930148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011075219A Abandoned JP2012208396A (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | レジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140030656A1 (ja) |
JP (1) | JP2012208396A (ja) |
KR (1) | KR20140018956A (ja) |
TW (1) | TW201250777A (ja) |
WO (1) | WO2012132371A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2792056A4 (en) * | 2011-12-16 | 2016-04-06 | Heron Energy Pte Ltd | HIGH SPEED TURBINE |
US9921467B2 (en) * | 2015-11-30 | 2018-03-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Mask blank and mask and fabrication method thereof |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05198495A (ja) * | 1991-06-04 | 1993-08-06 | Sony Corp | 現像方法及び現像装置 |
JPH09190963A (ja) * | 1996-01-10 | 1997-07-22 | Canon Inc | マスク及びこれを用いたデバイス生産方法や露光装置 |
JP2001056558A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-02-27 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法 |
JP2004177929A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-06-24 | Sumitomo Chem Co Ltd | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物 |
JP2004289020A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法および現像処理装置 |
JP2004333549A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 |
JP2005037414A (ja) * | 2003-05-16 | 2005-02-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ネガ型ホトレジスト組成物 |
JP2010134240A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Jsr Corp | レジストパターン形成方法及びレジストパターン形成用現像液 |
JP2011124352A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4159963B2 (ja) * | 2003-10-06 | 2008-10-01 | 東京応化工業株式会社 | レジスト積層体およびパターン形成方法 |
JP2006285075A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法 |
JP4846332B2 (ja) * | 2005-07-25 | 2011-12-28 | 東京応化工業株式会社 | 化合物およびその製造方法、低分子化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 |
JP2008162970A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Hitachi Ltd | 化合物、ネガ型レジスト組成物およびパターン形成方法 |
JP5364443B2 (ja) * | 2009-05-20 | 2013-12-11 | 東京応化工業株式会社 | ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物 |
JP2011071170A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成方法及びパターン形成装置 |
-
2011
- 2011-03-30 JP JP2011075219A patent/JP2012208396A/ja not_active Abandoned
-
2012
- 2012-03-23 WO PCT/JP2012/002034 patent/WO2012132371A1/ja active Application Filing
- 2012-03-23 KR KR1020137028208A patent/KR20140018956A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-03-29 TW TW101110953A patent/TW201250777A/zh unknown
-
2013
- 2013-09-27 US US14/040,171 patent/US20140030656A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05198495A (ja) * | 1991-06-04 | 1993-08-06 | Sony Corp | 現像方法及び現像装置 |
JPH09190963A (ja) * | 1996-01-10 | 1997-07-22 | Canon Inc | マスク及びこれを用いたデバイス生産方法や露光装置 |
JP2001056558A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-02-27 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法 |
JP2004177929A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-06-24 | Sumitomo Chem Co Ltd | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物 |
JP2004289020A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法および現像処理装置 |
JP2004333549A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 |
JP2005037414A (ja) * | 2003-05-16 | 2005-02-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ネガ型ホトレジスト組成物 |
JP2010134240A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Jsr Corp | レジストパターン形成方法及びレジストパターン形成用現像液 |
JP2011124352A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140018956A (ko) | 2014-02-13 |
US20140030656A1 (en) | 2014-01-30 |
WO2012132371A1 (ja) | 2012-10-04 |
TW201250777A (en) | 2012-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7851135B2 (en) | Method of forming an etching mask pattern from developed negative and positive photoresist layers | |
US20110171585A1 (en) | Photolithography Method | |
JP5426489B2 (ja) | テンプレートの製造方法 | |
CN106324998B (zh) | 光刻图形的形成方法 | |
US20100086877A1 (en) | Pattern forming method and pattern form | |
CN105319831B (zh) | 光掩模、光掩模的制造方法以及显示装置的制造方法 | |
JP2010219456A (ja) | パターン形成方法、インプリントモールド及びフォトマスク | |
JP2014209509A (ja) | インプリントモールドの製造方法 | |
CN107799402A (zh) | 二次图形的形成方法 | |
JP2014194960A (ja) | ナノインプリント用テンプレート、ナノインプリント用テンプレートを用いたパターン形成方法、およびナノインプリント用テンプレートの製造方法 | |
JP2009080421A (ja) | マスクブランク、及びインプリント用モールドの製造方法 | |
KR20090119644A (ko) | 반도체 소자의 형성 방법 | |
JP2013187387A (ja) | パターン形成方法 | |
JP2012208396A (ja) | レジストパターンの形成方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 | |
JP2015095501A (ja) | パターン形成方法とこれを用いたインプリントモールドの製造方法およびそれらに用いるインプリントモールド | |
JP2012023242A (ja) | パターン製造方法およびパターン形成体 | |
JP5200814B2 (ja) | ナノインプリントモールド | |
JP5011774B2 (ja) | 転写マスクブランク及び転写マスク並びにパターン露光方法 | |
JP2011167780A (ja) | パターン形成方法およびパターン形成体 | |
JP2007313814A (ja) | モールドおよびその製造方法 | |
JP2012190986A (ja) | ナノインプリント用のモールド | |
JP2012074566A (ja) | パターン形成方法、パターン形成体 | |
JP2008286828A (ja) | パターン形成方法 | |
JP6206632B2 (ja) | ナノインプリント用ブランクスおよびナノインプリント用テンプレートの製造方法 | |
JP2005079450A (ja) | マスクおよびその製造方法、並びに露光装置および露光方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130704 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140624 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20140717 |