JP2012199442A - ダイボンダ及び半導体製造方法 - Google Patents
ダイボンダ及び半導体製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012199442A JP2012199442A JP2011063355A JP2011063355A JP2012199442A JP 2012199442 A JP2012199442 A JP 2012199442A JP 2011063355 A JP2011063355 A JP 2011063355A JP 2011063355 A JP2011063355 A JP 2011063355A JP 2012199442 A JP2012199442 A JP 2012199442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die
- ultraviolet light
- suction
- irradiation
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 26
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical group N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本発明は、紫外光源(ランプ)による発熱又は寿命の問題を低減した信頼性の高いダイボンダ又は前記ダイボンダを用い信頼性の高い半導体製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、ダイを真空吸着する吸着手段を有し、ウェハから剥離された前記ダイを基板にボンディングするボンディングヘッドと、前記吸着手段の位置と前記真空吸着を制御する真空吸着制御手段と、紫外光を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有し、前記ダイを前記ウェハに粘着保持するダイシング用粘着テープに前記紫外光を照射する紫外光照射手段と、前記吸着手段に前記ダイが吸着されたことを検出する吸着検出手段と、前記吸着検出手段の検出結果に基づいて、前記紫外光の照射のON/OFFを制御する照射制御手段と、を有することを特徴とする。
【選択図】図5
Description
特許文献1の方法では、光(特に紫外光)を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有する粘着剤層を有するダイシング用粘着テープを用い、粘着剤層とダイとの界面に放出された気体で接着面の少なくとも一部を剥離して、ニードルレスピックアップ法(ニードルによりダイを突き上げない方法)によりピックアップを実現する。また、特許文献1では、ダイに光を照射する時間を時間管理で行っている。
一方、特許文献2では、特許文献1に記された方法の光源として紫外光源(ランプ)を用いると、熱成分が発生しこの熱成分を除去する必要性あること、及び紫外光源(ランプの寿命が短いことが記されている。この問題を解決すために、特許文献2は紫外線発光ダイオードをマトリックス状に配列したものを用いることが開示されている。
また、本発明の第2の目的は、第1の目的を達成するダイボンダを用い信頼性の高い半導体製造方法を提供することである。
本発明は、ダイを真空吸着する吸着手段を有し、ウェハから剥離された前記ダイを基板にボンディングするボンディングヘッドと、前記吸着手段の位置と前記真空吸着を制御する真空吸着制御手段と、紫外光を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有し、前記ダイを前記ウェハに粘着保持するダイシング用粘着テープに前記紫外光を照射する紫外光照射手段と、前記吸着手段に前記ダイが吸着されたことを検出する吸着検出手段と、前記吸着検出手段の検出結果に基づいて、前記紫外光の照射のON/OFFを制御する照射制御手段と、を有することを第1の特徴とする。
また、本発明は、前記真空吸着ステップは前記紫外光照射後一定時間後に前記真空吸着を開始することを第4の特徴とする。
また、本発明によれば、第1の目的を達成するダイボンダを用い信頼性の高い半導体製造方法を提供できる。
図1は、本発明の一実施形態であるダイボンダ10を上から見た概念図である。ダイボンダ10は大別してウェハ供給部1と、基板供給・搬送部2と、ダイボンディング部3と、これ等を制御する制御部7とを有する。
基板供給・搬送部2はスタックローダ21と、フレームフィーダ22と、アンローダ23とを有する。スタックローダ21は、ダイを接着する基板(例えば、リードフレーム)をフレームフィーダ22に供給する。フレームフィーダ22は、基板をフレームフィーダ22上の2箇所の処理位置を介してアンローダ23に搬送する。アンローダ23は、搬送された基板を保管する。
図4(a)に示すように、ダイ4を粘着保持しているダイシング用粘着テープ16への紫外光57の照射を開始し、その後コレット部40をダイ4から離間した位置から真空吸着を開始する。紫外光57の照射の開始後、時間が経つにつれて、図4(b)に示すように、ダイシング用粘着テープ16が含有する気体発生剤から気体16gが、例えば窒素ガスがダイ4とダイシング用粘着テープ16の間に発生し、ダイ4がダイシング用粘着テープ16から徐々に遊離し、浮き上がる所謂自己剥離が発生し、粘着力が低下する。
そして、コレット部40の吸着力がダイ4の粘着力に勝る位置まで浮きあがると、ダイ4はコレット部40に真空吸着される。このとき、コレット42がダイ4と接触した状態であってもがよいが、離間(非接触)していた方が望ましい。何故ならば、接触しているとダイ4の剥離の進行状態が真空状態からでは判断しにくいからである。また、コレット部40による真空吸着も、紫外光57の照射前或いは照射開始時から行なってもよいが、ダイ4がある程度遊離して、即ち吸着力が低下してから真空吸着を開始しても良い。
また、上記におけるコレット部40の吸着の開始時間及び離間した状態で剥離するコレット42とダイシング用粘着テープ16との距離は、例えば実験的に定める。
さらに、上記の本実施形態の方法によれば、コレット42とダイ4とを離間した状態で剥離することで、ダイ4の損傷をより低減できる。
最後に、ステップ1から8の処理をウェハリング14上に保持されるダイ4うち必要な個数又は全部をボンディングするまで繰り返す(Step9)。
さらに、以上説明した本実施形態の方法によれば、コレット42とダイ4とを離間した状態で剥離することで、ダイ4の損傷をより低減できる信頼性の高いダイボンダ又は半導体製造方法を提供できる。
3:ダイボンディング部 4:ダイ(半導体チップ)
7:制御部 10:ダイボンダ
12:ピックアップ装置 14:ウェハリング
15:エキスパンドリング 16:ダイシング用粘着テープ
16g:気体発生剤からの気体 17:支持リング
32:ボンディングヘッド部 32h:ボンディングヘッド
32p:エアポンプ 32t:エア吸引配管
40:コレット部 41:コレットホルダー
41v:コレットホルダーにおける吸着孔 42:コレット
42v:コレットにおける吸着孔 50:紫外光照射手段
51:紫外光源 52:レンズ部
52c:レンズ固定部 53:ファイバーケーブル
54:遮光マスク 55:位置調整部
57:紫外光 60:ウェハ保持部
70:紫外光源制御部 71:エア流量センサ
72:紫外光照射制御手段
Claims (6)
- ダイを真空吸着する吸着手段を有し、ウェハから剥離された前記ダイを基板にボンディングするボンディングヘッドと、
前記吸着手段の位置と前記真空吸着を制御する真空吸着制御手段と、
紫外光を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有し、前記ダイを前記ウェハに粘着保持するダイシング用粘着テープに前記紫外光を照射する紫外光照射手段と、
前記吸着手段に前記ダイが吸着されたことを検出する吸着検出手段と、
前記吸着検出手段の検出結果に基づいて、前記紫外光の照射のON/OFFを制御する紫外光照射制御手段と、
を有することを特徴とするダイボンダ。 - 前記真空吸着制御手段は、前記紫外光の照射によって浮き上がってきた前記ダイを非接触で吸着できる離間した位置に前記吸着手段を制御することを特徴とする請求項1に記載のダイボンダ。
- 前記真空吸着制御手段は前記紫外光照射後一定時間後に前記真空吸着を開始することを特徴とする請求項1に記載のダイボンダ。
- ボンディングヘッドがその先端に設けられた吸着手段でダイを真空吸着し、ウェハから剥離する剥離ステップと、
剥離された前記ダイを基板にボンディングする装着ステップと、
紫外光を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有し、前記ダイを前記ウェハに粘着保持するダイシング用粘着テープに前記紫外光を照射する照射ステップと、
を有し、
前記剥離ステップであって、前記吸着手段の位置と前記真空吸着を制御する真空吸着ステップと、前記ダイが前記吸着手段に吸着されたことを検出する吸着検出ステップと、前記吸着検出ステップの検出結果に基づいて、前記紫外光の照射のON/OFFを制御するステップと、
を有することを特徴とする半導体製造方法。 - 前記真空吸着ステップは、前記紫外光の照射によって浮き上がってきた前記ダイを非接触で吸着できる離間した位置に前記吸着手段を制御することを特徴とする請求項4に記載の半導体製造方法。
- 前記真空吸着ステップは前記紫外光照射後一定時間後に前記真空吸着を開始することを特徴とする請求項4に記載の半導体製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011063355A JP5847410B2 (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | ダイボンダ及び半導体製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011063355A JP5847410B2 (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | ダイボンダ及び半導体製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012199442A true JP2012199442A (ja) | 2012-10-18 |
JP5847410B2 JP5847410B2 (ja) | 2016-01-20 |
Family
ID=47181358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011063355A Active JP5847410B2 (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | ダイボンダ及び半導体製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5847410B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6999209B1 (ja) | 2021-08-25 | 2022-01-18 | 株式会社 東京ウエルズ | チップ状ワークの搬送装置および搬送方法 |
WO2022157830A1 (ja) * | 2021-01-19 | 2022-07-28 | 株式会社新川 | 半導体装置の製造装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6392038A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チツプ供給方法 |
JPH06196554A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Nitto Denko Corp | 紫外線照射装置 |
JP2006324373A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップのピックアップ装置およびピックアップ方法 |
JP2007194433A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Canon Machinery Inc | ピックアップ装置及びピックアップ方法 |
-
2011
- 2011-03-22 JP JP2011063355A patent/JP5847410B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6392038A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チツプ供給方法 |
JPH06196554A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Nitto Denko Corp | 紫外線照射装置 |
JP2006324373A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップのピックアップ装置およびピックアップ方法 |
JP2007194433A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Canon Machinery Inc | ピックアップ装置及びピックアップ方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022157830A1 (ja) * | 2021-01-19 | 2022-07-28 | 株式会社新川 | 半導体装置の製造装置 |
JP6999209B1 (ja) | 2021-08-25 | 2022-01-18 | 株式会社 東京ウエルズ | チップ状ワークの搬送装置および搬送方法 |
JP2023031741A (ja) * | 2021-08-25 | 2023-03-09 | 株式会社 東京ウエルズ | チップ状ワークの搬送装置および搬送方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5847410B2 (ja) | 2016-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101441692B1 (ko) | 자외선 조사 방법 및 이것을 사용한 장치 | |
TWI445067B (zh) | The method of expansion of the workpiece | |
TWI457976B (zh) | 保護帶剝離方法及其裝置 | |
JP5253996B2 (ja) | ワーク分割方法およびテープ拡張装置 | |
JP2013065757A (ja) | 半導体チップのピックアップ方法及び半導体チップのピックアップ装置 | |
JP2014175547A (ja) | コレットクリーニング方法及びそれを用いたダイボンダ | |
JP2010278066A (ja) | 紫外線照射装置 | |
KR20130090827A (ko) | 기판 반송 방법 및 기판 반송 장치 | |
JP5931772B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JP7333807B2 (ja) | ボンディング設備におけるダイ移送のための装置及び方法 | |
CN107230656B (zh) | 基板输送装置和基板输送方法 | |
JP4766258B2 (ja) | 板状物品のピックアップ装置 | |
JP5847410B2 (ja) | ダイボンダ及び半導体製造方法 | |
JP2018067668A (ja) | シート拡張装置 | |
JP2021027239A (ja) | 保護部材形成方法及び保護部材形成装置 | |
JP5847411B2 (ja) | ダイボンダ及び半導体製造方法 | |
TWI810522B (zh) | 晶片接合裝置、剝離治具及半導體裝置的製造方法 | |
JP2013219245A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005276987A (ja) | 極薄チップの製造プロセス及び製造装置 | |
WO2006038609A1 (ja) | 電子部品ピックアップ方法および電子部品搭載方法ならびに電子部品搭載装置 | |
JP2021034395A (ja) | 加工装置 | |
KR102516448B1 (ko) | 다이 이젝팅 장치 및 이를 포함하는 다이 본딩 설비 | |
JP4968849B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
KR20220011074A (ko) | 시트, 및 보호 부재의 형성 방법 | |
JP3949035B2 (ja) | ダイボンド装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150325 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20150330 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151027 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5847410 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |