JP2012191126A - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】突出部P1の先端を始点として貼付領域R1を引っ張って接着シートSの端部をウェハWから剥離することで、剥離用テープTとともにウェハWが起き上がることを抑制することができ、接着シートSの端部をウェハWから確実に剥離することができる。このように接着シートSの端部を剥離してから、貼付領域R1を介した剥離用テープTで接着シートSを引っ張って接着シートS全体を剥離することで、ウェハWが起き上がって割れてしまうことを確実に防止しつつウェハWから接着シートSを円滑に剥離することができる。
【選択図】図2
Description
また、従来の剥離装置は、ウェハを保持するテーブルを有し、このテーブルに設けた吸引口等の吸引手段によって吸引することでウェハを保持するようになっている。
このようなウェハWの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域90のウェハWの中心に向かう径方向の長さ(距離d0)を短くすれば、解消されるが、ウェハWの全面から接着シート91を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープTが接着シート91から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。
また、本発明のシート剥離装置では、前記貼付領域における1つの突出部は、その先端が前記接着シートにおける前記相対移動方向の剥離開始側の最外縁に位置して形成されていることが好ましい。
さらに、1つの突出部の先端が接着シートにおける移動方向の剥離開始側の最外縁に位置して形成されていれば、さらに確実に突出部から剥離を開始することができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。
図1において、シート剥離装置1は、被着体としてのウェハWの表面に貼付された接着シートSを剥離用テープTを用いて剥離する装置であって、ウェハWを保持する保持手段であるテーブル2と、剥離用テープTを繰出す繰出手段3と、繰出された剥離用テープTを接着シートSに貼付する貼付手段4と、ウェハWと剥離用テープTとを相対移動させる移動手段5とを備えて構成されている。ここで、ウェハWは、例えば、内周部が薄く研削されるとともに、その一方の面(上面)に回路が形成された半導体ウェハであり、ウェハWの外周部にリング状の凸部WAが形成されている。
テーブル2は、図示しない吸引口を介してウェハWの凸部WAを他方の面(下面)から吸着保持する平板状のテーブル本体21を備えて構成されている。
ウェハWから接着シートSを剥離する手順としては、先ず、図1に示すように、ウェハWをテーブル2の所定位置に保持するとともに、シート剥離装置1の各部を初期位置設定した状態において、テープ切断部38および貼付手段4が上方に移動して退避してから、単軸ロボット51を介してチャック部材37が繰出手段3に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪36がテープ受け板354に当接すると、テープ受け板354をブッシュ351方向に押し込み、剥離用テープTの先端を上下の把持爪36間に受け入れる。そして、チャック部材37は、把持爪36を閉じて剥離用テープTの先端を把持するとともに、剥離用テープTを把持したまま繰出手段3から離れる方向に移動し、剥離用テープTを所定長さ引き出して停止することで、繰出手段3から剥離用テープTを繰出す。
次いで、単軸ロボット51、53が同期して、ウェハWと剥離用テープTとを同時に同速度で反対方向、つまり、テーブル2を左方向に、チャック部材37を右方向に移動させることで、接着シートSを順次ウェハWから剥離していき、接着シートS全体を剥離する。この後、剥離した接着シートSが接着された剥離用テープTをチャック部材37から離脱させて回収するとともに、接着シートSを剥離したウェハWを適宜な搬送装置でテーブル2から搬出し、シート剥離装置1の各部を初期位置に復帰させて接着シートSの剥離手順が完了する。
すなわち、突出部P1の先端を始点として貼付領域R1を引っ張って接着シートSの端部をウェハWから剥離することで、剥離用テープTとともにウェハWが起き上がることを抑制することができ、接着シートSの端部をウェハWから確実に剥離することができる。
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の剥離用テープTを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートSを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。さらに、繰出手段として、帯状の剥離用テープTを供給するように図示、説明したが、剥離用テープTは帯状のものに限らず、例えば、剥離用テープTを適宜な長さにカットした枚葉のテープを採用してもよい。
さらに、突出部P1の先端角部Pを始点とした剥離を可能とするために、テーブル本体21と移動手段5とをウェハWの表面と同一面内で回転移動させる適宜な回動モータ等の駆動機器を設けてもよい。この場合、図示しないカメラや光学センサ等のセンサ等で突出部P1の先端角部Pが所定の位置に配置されたことを認識できるように構成することもできる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
2 テーブル(保持手段)
3 繰出手段
4 貼付手段
5 移動手段
42 押圧ヘッド
43 押圧面部
44 ヒータ(加熱手段)
P1,P2,P3,P4,P5 突出部
R1,R2,R3,R4,R5 貼付領域
S 接着シート
T 剥離用テープ
W ウェハ(被着体)
Claims (4)
- 一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を他方の面から保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、
前記貼付手段は、前記移動手段による相対移動方向の剥離開始側であって、前記接着シートの外縁に沿った所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成し、当該接着シートと前記剥離用テープとを貼付可能に設けられ、
前記貼付領域は、前記接着シートの外縁よりも前記相対移動方向の剥離終了側に後退した後退部と、この後退部から剥離開始側に突出した突出先端が当該接着シートの外縁に位置する少なくとも1つの突出部とを有して形成されていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、
前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成され、この押圧ヘッドの押圧面の形状に従って前記貼付領域の後退部および突出部が形成されることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。 - 前記貼付領域における1つの突出部は、その先端が前記接着シートにおける前記相対移動方向の剥離開始側の最外縁に位置して形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。
- 一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
他方の面から前記被着体を保持して前記剥離用テープを繰出し、
前記接着シートの外縁よりも剥離終了側に後退した後退部と、この後退部から剥離開始側に突出した突出先端が当該接着シートの外縁に位置する少なくとも1つの突出部とを有する貼付領域を形成して前記剥離用テープを当該接着シートに貼付し、
前記剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて前記貼付領域の突出部から前記接着シートの剥離を開始することを特徴とするシート剥離方法。
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