JP2012182457A - 伝導性組成物並びにこれを含むシリコン太陽電池及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属粉末、半田粉末、硬化性樹脂、還元剤、及び硬化剤を含む、シリコン太陽電池における前面電極バスバーの製造に供される組成物を提供する。また、前記組成物を使用するシリコン太陽電池の前面電極バスバーの製造方法を提供する。
【選択図】図1
Description
(1)p型シリコンウェハ基板の形成:まず、p型シリコンウェハ基板を形成する。
(2)p−n接合構造の形成:p型シリコンウェハの基板上にリンなどの5価元素を熱拡散させてシリコンウェハ基板の表面全体にn型層を形成する。これにより、p型シリコンウェハとn型層との間のp−n接合が形成される。
(3)後面のn型層の除去:シリコンウェハ基板前面のn型層をフォトレジスタで保護し、後面のn型層をエッチングで除去した後、有機溶媒を用いてn型層のフォトレジスタを除去する。
(4)反射防止膜の形成:n型層の上に反射防止膜としてシリコン窒化膜(SiNx)をPECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)で蒸着する。
(5)電極の形成:シリコンウェハ基板の前面電極は、通常、H-パターンとして形成されるが、このH-パターンは、複数の平行線からなるフィンガーライン(finger line)と、このフィンガーラインと直角をなし、2つの幅が1.5〜2mmのバスバーとで構成される。スクリーン印刷法によれば、前面電極用銀ペーストでフィンガーラインとバスバーとを同時に印刷し、乾燥させる。
本発明のさらに他の目的は、前記シリコン太陽電池の製造方法を提供することにある。
p−n接合構造を有するシリコン基板、
前記シリコン基板の前面に形成された反射防止膜層、
前記反射防止膜層を貫通して前記シリコン基板の前面に電気的・機械的に接合される第1の電極アレイ、
前記シリコン基板の後面に形成された第2の電極、及び
前記第1の電極アレイに電気的・機械的に接合され、前記シリコン基板の前面には連結されず、伝導性粉末、硬化性樹脂、還元剤及び硬化剤を含む伝導性組成物を含有する1つ以上の第3の電極、
を含むシリコン太陽電池を提供する。
(1)p−n接合構造を形成するシリコン基板を形成するステップ、
(2)前記シリコン基板の前面に反射防止膜層を形成するステップ、
(3)前記反射防止膜層の上に金属粉末とガラスフリットを含む第1の伝導性組成物を印刷し、乾燥、焼成することで第1の伝導性組成物が反射防止膜を貫通して、前記シリコン基板の前面に電気的・機械的に接合して第1の電極アレイを形成するステップ、
(4)前記シリコン基板の後面に金属粉末とガラスフリットを含む第2の伝導性組成物を印刷し、焼成して第2の電極を形成するステップ、及び
(5)前記反射防止膜と前記第1の電極アレイの上に伝導性粉末、硬化性樹脂、還元剤及び硬化剤を含む第3の伝導性組成物を印刷し、乾燥、焼成することで、前記反射防止膜に機械的に接合し、前記第1の電極に電気的・機械的に接合され、前記シリコン基板の前面には連結されない第3の電極を形成するステップ、
を含むシリコン太陽電池の製造方法を提供する。
図1は、本発明によって製造されたシリコン太陽電池1の平面図である。
シリコン太陽電池の前面には、光により生成した電子を収集するフィンガーライン51と、このフィンガーライン51を他のシリコン太陽電池と連結するために使用される、半田が施された銅リボンと接着するためのバスバー80を含む電極が設けられている。従来のシリコン太陽電池は、前面電極のフィンガーラインとバスバーを銀ペーストで印刷し、乾燥させた後、700℃以上の高温で焼成するという過程を経て製造される。焼成によって、銀ペーストは、シリコン窒化膜を貫通(ファイヤスルー)してn型層に電気的に連結される。これに対し、本発明に係るシリコン太陽電池は、前面電極バスバーを、従来の銀ペーストの代わりに、伝導性粉末及び還元剤を含む伝導性組成物で印刷し、乾燥させた後、低温で焼成するという過程を経て製造される。伝導性粉末として銅などを使用する場合、シリコン太陽電池における前面電極のバスバー材料として伝統的に使用されている高価な銀ペーストを安価な伝導性組成物に置き換えることができるため、シリコン太陽電池の低コスト化を期待することができる。また、本発明のバスバー用伝導性組成物は、シリコン窒化膜を貫通しないため、n型層との接触面が形成されなくなり、バスバーの下側における電子と正孔との再結合を極力抑制することができる。これにより、シリコン太陽電池の開放回路電圧が増加して、シリコン太陽電池の変換効率が増大する。
(1)p型シリコンウェハ基板の形成:まず、p型シリコンウェハ基板2を形成する。図2aには、太陽電池の製造に供されるシリコンウェハp型基板2が示されている。
[実施例]
次のような工程によって本発明に係るシリコン太陽電池を製造した。
(1)180μm厚さの156×156mmのp型(ボロン)単結晶シリコン基板を用意し、このシリコン基板の表面にPOCl3を熱拡散させてn型エミッタを形成、p型シリコンとp−n接合を形成した。
(2)シリコン基板前面のn型層をフォトレジスタで保護し、後面のn型層をエッチングで除去する。シリコン基板前面のフォトレジストを有機溶媒を用いて除去すると、シリコン基板の前面にn型層のみが残った。
(3)n型層の上にシリコン窒化膜(SiNx)をPECVD(プラズマ化学気相成長法)にて蒸着して反射防止膜を形成した。
(4)シリコン基板後面全体に後面電極用としてアルミニウムペースト(Ferro 33−612)を塗布し、乾燥させた。このアルミニウム後面電極の上に幅2mmの後面バスバー用アルミニウム/銀ペースト(Ferro 33−601)をスクリーン印刷法で印刷し、乾燥させた。これは、他のシリコン太陽電池と連結するために使用する半田が施された銅リボンとの接着を行うためである。
(5)前面電極のフィンガーラインを前面電極用銀ペースト(Ferro NS33−5D/EX)でスクリーン印刷法で印刷し、乾燥させた。但し、前面電極バスバーには、前面電極用銀ペースト印刷が行わなかった。
(6)前面電極と後面電極を形成するため、前記基板を700℃ 以上の高温で焼成した。
(7)焼成後、幅2mmの前面電極バスバーを、本発明の伝導性組成物(硬化性樹脂としてエポキシベースのジグリシジルエーテルビスフェノールA(DGEBA)を、金属粉末として銅粉末を、還元剤としてマレイン酸を、半田粉末として58Sn/42Bi半田を、硬化剤としてDDS(ジアミノジフェニルスルホン)を含む)をスクリーン印刷法で印刷し、乾燥させた後、200℃の低温で焼成を行った。
実施例に係るシリコン太陽電池の製造プロセスにおいて、ステップ(5)において、前面電極のフィンガーラインと同じくバスバーにも前面電極用銀ペースト(Ferro NS33−5D/EX)を用いてスクリーン印刷法で印刷して乾燥させ、また、ステップ(7)を行わない以外は、実施例と同様にしてシリコン太陽電池を製造した。
上記の実施例で製造された本発明に係るシリコン太陽電池と、比較例で製造された従来のシリコン太陽電池の特性を、常用ソーラーシミュレータ(McScience K3000)で測定した。AM1.5 1Sun照明下で抵抗を変化させながら光電流を測定するI−Vカーブを通じて光電変換効率を測定した。測定結果を下記表1に示す。
2:シリコンp型ウェハ基板
20:シリコンn型層
30:反射防止膜
40:後面シリコンp+層
50:前面電極フィンガーライン用銀ペースト
51:前面電極フィンガーライン
60:後面電極用アルミニウムペースト
61:アルミニウム後面電極
70:後面電極バスバー用アルミニウム/銀ペースト
71:後面電極バスバー
80:前面電極バスバー
Claims (30)
- 金属粉末、半田粉末、硬化性樹脂、還元剤、及び硬化剤を含む、シリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記金属粉末は、融点が500℃以上であり、半田粉末と金属間化合物を形成することができる物質であることを特徴とする請求項1に記載のシリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記金属粉末は、銅、ニッケル、銀及び金からなる群から選択される少なくとも1種の物質であることを特徴とする請求項1又は2に記載のシリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記半田粉末は、Sn、In、Bi、Pb、Zn、Ga、Te、Hg、To、Sb及びSeから群から選択される少なくとも1種の物質を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記半田粉末は、Sn、In、Pb、SnBi、SnAgCu、SnAg、Sn、In、AuSin及びInSnからなる群から選択される少なくとも1種の物質であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記硬化性樹脂は、エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記還元剤は、カルボキシル基(COOH−)を含む酸であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記硬化剤は、アミン系硬化剤及び無水物系硬化剤からなる群から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物。
- 前記組成物の総体積に対して、金属粉末は、1〜50体積%、半田粉末は、1〜50体積%、硬化性樹脂は、50〜95体積%で含まれ、前記還元剤は、硬化性樹脂に対して重量割合で0.5〜20phrであり、前記硬化剤は、硬化性樹脂に対して0.4〜1.2当量であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の前面バスバー用伝導性組成物。
- シリカ及びセラミック粉末のうちから選択される少なくとも1種の物質をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の前面バスバー用伝導性組成物。
- シリコン太陽電池前面電極フィンガーラインが形成されたシリコン太陽電池の前面に請求項1乃至10のいずれか1項に記載の組成物を適用して前記シリコン太陽電池の前面電極バスバーに前記組成物を印刷し、乾燥させ、基板を形成するステップ、及び前記基板を半田粉末の融点以上で加熱するステップを含むことを特徴とするシリコン太陽電池の前面電極バスバーの製造方法。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の組成物で形成されたシリコン太陽電池の前面電極バスバーを含む基板。
- 前記シリコン太陽電池の前面電極バスバー用伝導性組成物は、前記組成物の金属粉末と半田粉末により形成された金属間化合物、前記金属間化合物と金属粉末により形成された多孔質マトリックス、及び前記マトリックスの気孔内に満たされた硬化した樹脂を含むことを特徴とする 請求項12に記載の基板。
- p−n接合構造を有するシリコン基板、
前記シリコン基板の前面に形成された反射防止膜層、
前記反射防止膜層を貫通して前記シリコン基板の前面に電気的・機械的に接合される第1の電極アレイ、
前記シリコン基板の後面に形成された第2の電極、及び
前記第1の電極アレイに電気的・機械的に接合され、前記シリコン基板の前面には連結されず、伝導性粉末、硬化性樹脂、還元剤及び硬化剤を含む伝導性組成物を含有する1つ以上の第3の電極、
を含むシリコン太陽電池。 - 前記反射防止膜層は、シリコン窒化物を含むことを特徴とする請求項14に記載のシリコン太陽電池。
- 前記伝導性粉末は、金属粉末と半田粉末を含むことを特徴とする請求項14又は15に記載のシリコン太陽電池。
- 前記金属粉末は、融点が500℃以上であり、半田粉末と金属間化合物を形成することができる物質であることを特徴とする請求項16に記載のシリコン太陽電池。
- 前記金属粉末は、銅、ニッケル、銀及び金からなる群から選択される少なくとも1種の物質であることを特徴とする請求項16又は17に記載のシリコン太陽電池。
- 前記金属粉末は、銅であることを特徴とする請求項18に記載のシリコン太陽電池。
- 前記半田粉末は、Sn、In、Bi、Pb、Zn、Ga、Te、Hg、To、Sb及びSeからなる群から選択される少なくとも1つを含む物質であることを特徴とする請求項16乃至19のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池。
- 前記半田粉末は、Sn、In、SnBi、SnAgCu、SnAg、Sn、In、AuSin及びInSnからなる群から選択される少なくとも1種の物質であることを特徴とする請求項16乃至20のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池。
- 前記硬化性樹脂は、エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項14乃至21のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池。
- 前記還元剤は、カルボキシル基(COOH−)を含む酸であることを特徴とする請求項14乃至22のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池。
- 前記硬化剤は、アミン系硬化剤及び無水物系硬化剤からなる群から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項14乃至23のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池。
- 前記組成物の総体積に対して、金属粉末は、1〜50体積%、半田粉末は、1〜50体積%、硬化性樹脂は、50〜95体積%で含まれ、前記還元剤は、硬化性樹脂に対して重量割合で0.5〜20phrであり、前記硬化剤は、硬化性樹脂に対して0.4〜1.2当量であることを特徴とする請求項16乃至24のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池。
- 前記伝導性組成物は、シリカ及びセラミック粉末のうちから選択される少なくとも1種の物質をさらに含むことを特徴とする請求項14乃至25のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池。
- (1)p−n接合構造を形成するシリコン基板を形成するステップ、
(2)前記シリコン基板の前面に反射防止膜層を形成するステップ、
(3)前記反射防止膜層の上に金属粉末とガラスフリットを含む第1の伝導性組成物を印刷し、乾燥、焼成することで、第1の伝導性組成物が反射防止膜を貫通して、前記シリコン基板の前面に電気的・機械的に接合して第1の電極アレイを形成するステップ、
(4)前記シリコン基板の後面に金属粉末とガラスフリットを含む第2の伝導性組成物を印刷し、焼成して第2の電極を形成するステップ、及び
(5)前記反射防止膜と前記第1の電極アレイの上に伝導性粉末、硬化性樹脂、還元剤及び硬化剤を含む第3の伝導性組成物を印刷し、乾燥、焼成することで、前記反射防止膜に機械的に接合し、前記第1の電極に電気的・機械的に接合され、前記シリコン基板の前面には連結されない第3の電極を形成するステップ、
を含む請求項14乃至26のいずれか一項に記載のシリコン太陽電池の製造方法。 - 前記第1の伝導性組成物の金属粉末は、銀であることを特徴とする請求項27に記載のシリコン太陽電池の製造方法。
- 前記第2の伝導性組成物の金属粉末は、アルミニウムまたは銀であることを特徴とする請求項27又は28に記載のシリコン太陽電池の製造方法。
- 前記反射防止膜は、シリコン窒化物を含むことを特徴とする請求項27乃至29のいずれか1項に記載のシリコン太陽電池の製造方法。
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