JP2012176545A5

JP2012176545A5 -

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Publication number: JP2012176545A5
Application number: JP2011040592A
Authority: JP
Filing date: 2011-02-25
Publication date: 2013-10-03
Anticipated expiration: 2031-02-25

Description

同図に示すワイピングユニット２６１（拭取ユニット６６）は、図７に示すワイピングユニット６１（拭取ユニット６６）の第１温度センサ９４及び第２温度センサ９６に代わり、洗浄液噴霧ヘッド８８に供給される洗浄液の流速を測定する流速測定器（Ｓｖ）２９４が設けられている。

なお、本発明の第１実施形態、及び第２実施形態は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜、変更等を行うことが可能である。例えば基板上に機能性液体（レジスト、発光機能性材料等）をインクジェット方式により配置させる工業用途の液体吐出装置に対して本発明を適用しうる。

（発明７）：発明１に記載のワイピングユニットにおいて、前記検知手段は、前記拭取部材を撮像する撮像装置を含み、前記撮像装置から得られた撮像信号に所定の画像処理を施して、前記拭取部材の上の洗浄液の塗りむらの画像を生成する画像生成手段を備えたことを特徴とする。

（発明９）：発明１から８のいずれか１項に記載のワイピングユニットにおいて、前記検知手段は、洗浄液が噴霧される前の前記払拭部材の状態を検知する第１検知部と、洗浄液が噴霧された後の前記拭取部材の状態を検知する第２検知部と、前記第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果との相対的な差に基づいて前記拭取部材における洗浄液の塗りむらを検知することを特徴とする。

（発明１５）：発明１から１４のいずれかに記載のワイピングユニットにおいて、前記移動手段は、前記拭取部材が巻かれた送り出しローラと、前記送り出しローラから送り出された前記拭取部材を前記液体吐出面に接触させる接触位置において、前記拭取部材の前記液体吐出面と接触させる面の反対側面から前記拭取部材を支持する支持ローラと、前記送り出しローラから送り出され、前記液体吐出面と接触させた拭取部材を巻き取る巻き取りローラと、前記送り出しローラ又は前記巻き取りローラのいずれか一方を回転させるモータと、前記モータを所定の回転速度で回転させて前記拭取部材を所定の速度で走行させるように前記モータを制御するモータ制御手段と、を含むことを特徴とする。

（発明１８）：インクジェットヘッドの液体吐出面に接触させて前記液体吐出面を拭き取るシート状の拭取部材を移動させる移動工程と、前記移動工程における拭取部材の移動経路の前記液体吐出面と前記拭取部材との接触位置よりも上流側で、前記移動工程により移動させている拭取部材に洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧工程と、前記洗浄液噴霧工程により洗浄液が噴霧された払拭部材における、少なくとも前記移動工程の移動方向における洗浄液の塗りむらを検知する検知工程と、を含むことを特徴とするワイピング方法。

Claims

インクジェットヘッドの液体吐出面に接触させて前記液体吐出面を拭き取るシート状の拭取部材と、
前記拭取部材を前記液体吐出面に対して移動させる移動手段と、
前記移動手段における拭取部材の移動経路の前記液体吐出面と前記拭取部材との接触位置よりも上流側に配設され、前記移動手段により移動させている拭取部材に洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧手段と、
前記洗浄液噴霧手段により洗浄液が噴霧された払拭部材における、少なくとも前記移動手段の移動方向における洗浄液の塗りむらを検知する検知手段と、
を備えたことを特徴とするワイピングユニット。
前記検知手段は、前記拭取部材の温度変化を検出することを特徴とする請求項１に記載のワイピングユニット。
前記検知手段は、前記拭取部材の温度を非接触で測定する非接触式温度センサを含むことを特徴とする請求項２に記載のワイピングユニット。
前記検知手段は、前記拭取部材に接触させて前記払拭部材の温度を測定する接触式温度センサを含むことを特徴とする請求項２に記載のワイピングユニット。
前記拭取部材の液体吐出面に接触させる面の反対側面から前記拭取部材を押圧させて、前記拭取部材を前記液体吐出面に接触させる押圧部材を備え、
前記接触式温度センサは、前記押圧部材に内蔵されることを特徴とする請求項４に記載のワイピングユニット。
前記洗浄液噴霧手段から噴霧される洗浄液の温度が環境温度以上となるように前記洗浄液の温度を調整する温度調整手段を備えたことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のワイピングユニット。
前記検知手段は、前記拭取部材を撮像する撮像装置を含み、
前記撮像装置から得られた撮像信号に所定の画像処理を施して、前記拭取部材の上の洗浄液の塗りむらの画像を生成する画像生成手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のワイピングユニット。
前記検知手段は、前記拭取部材の移動方向と直交する幅方向に沿って並べられた複数の検知部を含むことを特徴する請求項１から７のいずれか１項に記載のワイピングユニット。
前記検知手段は、洗浄液が噴霧される前の前記払拭部材の状態を検知する第１検知部と、
洗浄液が噴霧された後の前記拭取部材の状態を検知する第２検知部と、
前記第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果との相対的な差に基づいて前記拭取部材における洗浄液の塗りむらを検知することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のワイピングユニット。
前記検知手段は、洗浄液が噴霧される前の前記払拭部材の状態の情報が記憶される記憶手段と、
洗浄液が噴霧された後の前記拭取部材の状態を検知する検知部と、
を備え、
前記記憶手段に記憶されている洗浄液が噴霧される前の前記払拭部材の状態と、検知部による検知結果との相対的な差に基づいて前記拭取部材における洗浄液の塗りむらを検知することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のワイピングユニット。
前記洗浄液噴霧手段へ供給される洗浄液が貯留される洗浄液貯留手段と、
前記洗浄液貯留手段と前記洗浄液噴霧手段とを連通させる洗浄液流路と、
を備え、
前記検知手段は、前記洗浄液流路における洗浄液の流速を検知する流速センサを含むことを特徴とする請求項１に記載のワイピングユニット。
前記洗浄液噴霧手段は、前記拭取部材の幅方向について複数の噴霧ユニットをつなぎ合わせた構造を有するとともに、前記噴霧ユニットごとに前記洗浄液貯留手段と連通される洗浄液流路が接続され、
前記流速センサは、前記噴霧ユニットごとの洗浄液流路のそれぞれに設けられることを特徴とする請求項１１に記載のワイピングユニット。
前記洗浄液噴霧手段へ供給される洗浄液が貯留される洗浄液貯留手段を備え、
前記検知手段は、前記洗浄液貯留手段の洗浄液消費量を検知する液量センサを含むことを特徴とする請求項１に記載のワイピングユニット。
前記洗浄液噴霧手段へ供給される洗浄液が貯留される洗浄液貯留手段を備え、
前記検知手段は、前記洗浄液貯留手段内の洗浄液の液面高さを検知する液面センサを含むことを特徴とする請求項１３に記載のワイピングユニット。
前記移動手段は、前記拭取部材が巻かれた送り出しローラと、
前記送り出しローラから送り出された前記拭取部材を前記液体吐出面に接触させる接触位置において、前記拭取部材の前記液体吐出面と接触させる面の反対側面から前記拭取部材を支持する支持ローラと、
前記送り出しローラから送り出され、前記液体吐出面と接触させた拭取部材を巻き取る巻き取りローラと、
前記送り出しローラ又は前記巻き取りローラのいずれか一方を回転させるモータと、
前記モータを所定の回転速度で回転させて前記拭取部材を所定の速度で走行させるように前記モータを制御するモータ制御手段と、
を含むことを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載のワイピングユニット。
インクジェットヘッドの液体吐出面に接触させて前記液体吐出面を拭き取るシート状の拭取部材と、
前記拭取部材を移動させる移動手段と、
前記移動手段における拭取部材の移動経路の前記液体吐出面と前記拭取部材との接触位置よりも上流側に配設され、前記移動手段により移動させている拭取部材に洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧手段と、
前記洗浄液噴霧手段により洗浄液が噴霧された払拭部材における、少なくとも前記移動手段の移動方向における洗浄液の塗りむらを検知する検知手段と、
を備えたワイピングユニットを具備することを特徴とするメンテナンス装置。
液体を吐出させるノズルが設けられる液体吐出面を有するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドの液体吐出面に対してワイピング処理を施すワイピングユニットと、
を具備し、
前記ワイピングユニットは、前記インクジェットヘッドの液体吐出面に接触させて前記液体吐出面を拭き取るシート状の拭取部材と、
前記拭取部材を移動させる移動手段と、
前記移動手段における拭取部材の移動経路の前記液体吐出面と前記拭取部材との接触位置よりも上流側に配設され、前記移動手段により移動させている拭取部材に洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧手段と、
前記洗浄液噴霧手段により洗浄液が噴霧された払拭部材における、少なくとも前記移動手段の移動方向における洗浄液の塗りむらを検知する検知手段と、
を備えたことを特徴とする液体吐出装置。
インクジェットヘッドの液体吐出面に接触させて前記液体吐出面を拭き取るシート状の拭取部材を移動させる移動工程と、
前記移動工程における拭取部材の移動経路の前記液体吐出面と前記拭取部材との接触位置よりも上流側で、前記移動工程により移動させている拭取部材に洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧工程と、
前記洗浄液噴霧工程により洗浄液が噴霧された払拭部材における、少なくとも前記移動工程の移動方向における洗浄液の塗りむらを検知する検知工程と、
を含むことを特徴とするワイピング方法。