JP2012160382A - 燃料電池用セパレータ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】燃料電池用の金属製セパレータは、金属材料からなる基材と、基材表面に形成された結晶性窒化物からなる皮膜とを備えている。また、基材表面に導電性非晶質膜を形成して結晶性窒化物からなる皮膜を形成するようにしてもよい。金属材料からなる基材の表面を結晶性窒化物からなる皮膜で被覆しているので、燃料電池の燃料極側及び空気極側の両側にセパレータとして用いた場合でも気密性、耐食性及び導電性を確保して安定した発電性能を発揮することができる。
【選択図】図1
Description
基材としてステンレス(SUS304)を用い、基材表面に結晶性窒化物としてInGaNからなる皮膜を形成したセパレータを製造した。まず、基材表面を、アルカリ浸漬脱脂処理及び電解脱脂処理を行った後、純水で洗浄して乾燥させ、清浄化処理を行った。清浄化して異物を除去した基材表面に、MOCVD法によりInGaNを形成した。原料として、有機金属ガス(トリエチルガリウム及びトリメチルガリウム)、キャリアガス(窒素)、反応ガス(アンモニアガス)を混合したものを使用し、基材温度を600℃〜800℃に設定して混合ガスを60分間基材表面に吹き込み、膜厚0.5μmの皮膜を基材表面に形成した。
基材としてステンレス(SUS304)を用い、基材表面を清浄化処理した後導電性非晶質膜としてTiN膜を形成し、導電性非晶質膜の表面に結晶性窒化物としてInGaNからなる皮膜を形成したセパレータを製造した。導電性非晶質膜は、チタンをターゲットとし、プラズマ化したアルゴンでターゲットをスパッタするマグネトロンスパッタリング法で形成し、膜形成の際に窒素ガスを吹き込み反応させることでTiN膜を形成させる。アルゴンと窒素の流量比を5:3とし、30分間膜成長させることで膜厚0.6μmの導電性非晶質膜を形成した。結晶性窒化物からなる皮膜は、実施例1と同様に混合ガスを導電性非晶質膜の表面に吹き込んで膜厚0.5μmに形成した。
実施例2において導電性非晶質膜としたTiN膜をアークイオンプレーティング法によって形成したセパレータを製造した。アークイオンプレーティング法では、チタンターゲットをカソードとして、アノードとの間で真空アーク放電を起こしてターゲットを蒸発させ、イオン化することにより基材表面に膜形成した。膜形成の際に窒素ガスを吹き込み、チタンイオンと反応させることでTiN膜を形成させる。窒素の流量は640sccmとし、30分間基材表面に膜成長させることで膜厚0.6μmの導電性非晶質膜を形成した。
比較例1として、ステンレス(SUS304)をそのまま用いて評価を行った。また、比較例2として、ステンレス(SUS316)をそのまま用いて評価を行った。比較例3として、実施例2と同様にステンレスを基材として用い、基材表面にマグネトロンスパッタリング法により導電性非晶質膜としてTiN膜のみを膜厚0.6μm形成したものを製造して評価を行った。比較例4として、実施例3と同様にステンレスを基材として用い、基材表面にアークイオンプレーティング法により導電性非晶質膜としてTiN膜のみを膜厚0.6μm形成したものを製造して評価を行った。
製造したセパレータの評価試験として、接触面積抵抗率の測定、耐食性試験及び簡易発電試験を行った。接触面積抵抗率の測定については、図2に示す試験装置を用いて実施した。試験装置では、電極板10とセパレータ13の両面にカーボンシート12(東レ株式会社製TGP−H−060)を介してそれぞれ電極板11を配置し、電極板11の外側に絶縁性プレートからなる加圧保持部材10をそれぞれ配置して加圧保持部材10を両側から挟圧するように加圧して各部材を密着させた状態に設定する。そして、一対の電極板11の間に電流計及び電圧計を接続する。
Claims (6)
- 金属材料からなる基材と、基材表面に形成された結晶性窒化物からなる皮膜とを備えていることを特徴とする燃料電池用セパレータ。
- 金属材料からなる基材と、基材表面に形成された導電性非晶質膜と、導電性非晶質膜の表面に形成された結晶性窒化物からなる皮膜とを備えていることを特徴とする燃料電池用セパレータ。
- 前記導電性非晶質膜は、アルミニウム、チタン、クロム、ジルコニウム、バナジウム、ニオブ、ハフニウム、タンタルのうちの少なくとも1種類を含有する窒化物、炭化物又は窒炭化物であることを特徴とする請求項2に記載の燃料電池用セパレータ。
- 前記皮膜は、アルミニウム、ガリウム、インジウム、チタン、クロムのうちの少なくとも1種類を含有する結晶性窒化物からなることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の燃料電池用セパレータ。
- 金属材料からなる基材表面に有機金属化学蒸着法(MOCVD)又は分子線エピキタシー法(MBE)により結晶性窒化物からなる皮膜を形成したことを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
- 金属材料からなる基材表面に物理蒸着法(PVD)によって導電性非晶質膜を形成し、形成された導電性非晶質膜の表面に有機金属化学蒸着法(MOCVD)又は分子線エピキタシー法(MBE)により結晶性窒化物からなる皮膜を形成したことを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
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