KR101000697B1 - 연료전지용 금속분리판 및 이의 표면층 형성 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 연료전지용 금속분리판 및 이의 표면층 형성 방법에 관한 것으로서, 스테인리스강 모재의 표면에 표면에너지를 감소시키는 플루오린(F)을 함유한 카본 코팅층을 형성함으로써 우수한 전기전도성과 내부식성을 가지면서도 우수한 물의 배수 성능과 열방출 성능을 가지는 연료전지용 금속분리판 및 이의 표면층 형성 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 연료전지용 금속분리판에서는 플루오린의 첨가에 의해 표면 코팅층의 내부 잔류응력을 상당량 완화시키므로 스테인리스강과 표면 코팅층 간의 밀착력을 향상시키는 추가적인 효과를 기대할 수 있다.

연료전지, 고분자 전해질, PEMFC, 금속분리판, 스테인리스강, 표면층, 표면 코팅, PACVD, 내부식성, 전기전도성, 접촉저항, 배수성, 열방출성, 플루오린, 카본 코팅층

Description

연료전지용 금속분리판 및 이의 표면층 형성 방법{Metal bipolar plate for fuel cell and method for creating surface layer of the same}

본 발명은 연료전지용 금속분리판 및 이의 표면층 형성 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스테인리스강 모재의 표면에 표면에너지를 감소시키는 플루오린(F)을 함유한 카본 코팅층을 형성함으로써 우수한 전기전도성과 내부식성을 가지면서도 우수한 물의 배수 성능과 열방출 성능을 가지는 연료전지용 금속분리판 및 이의 표면층 형성 방법에 관한 것이다.

연료전지는 연료가 가지고 있는 화학에너지를 연소에 의해 열로 바꾸지 않고 연료전지 스택 내에서 전기화학적으로 반응시켜 전기에너지로 변환시키는 일종의 발전장치이며, 산업용, 가정용 및 차량 구동용 전력을 공급할 뿐만 아니라 소형의 전기/전자제품, 특히 휴대용 장치의 전력 공급에도 적용될 수 있다.

현재 차량 구동을 위한 전력공급원으로는 연료전지 중 가장 높은 전력밀도를 갖는 고분자 고체 전해질 연료전지(PEMFC:Polymer Electrolyte Membrane Fuel Cell) 형태가 가장 많이 연구되고 있으며, 이는 낮은 작동온도로 인한 빠른 시동시간과 빠른 전력변환 반응시간을 갖는다.

이러한 고분자 전해질막 연료전지는 수소이온이 이동하는 고분자 전해질막을 중심으로 막의 양쪽에 전기화학반응이 일어나는 촉매전극층이 부착된 막전극집합체(MEA:Membrane Electrode Assembly), 반응기체들을 고르게 분포시키고 발생된 전기에너지를 전달하는 역할을 수행하는 기체확산층(GDL:Gas Diffusion Layer), 반응기체들 및 냉각수의 기밀성과 적정 체결압을 유지하기 위한 가스켓 및 체결기구, 그리고 반응기체들 및 냉각수를 이동시키는 분리판(bipolar plate)을 포함하여 구성된다.

상기한 구성의 연료전지에서 연료인 수소와 산화제인 산소(공기)가 분리판의 유로를 통해 막전극집합체의 애노드(anode)와 캐소드(cathode)로 각각 공급되는데, 수소는 애노드('연료극' 혹은 '산화극'이라고도 함)로 공급되고, 산소(공기)는 캐소드('공기극' 혹은 '산소극', '환원극'이라고도 함)로 공급된다.

애노드로 공급된 수소는 전해질막의 양쪽에 구성된 전극층의 촉매에 의해 수소이온(proton, H⁺)과 전자(electron, e^-)로 분해되며, 이 중 수소이온만이 선택적으로 양이온교환막인 전해질막을 통과하여 캐소드로 전달되고, 동시에 전자는 도체인 기체확산층과 분리판을 통해 캐소드로 전달된다.

상기 캐소드에서는 전해질막을 통해 공급된 수소이온과 분리판을 통해 전달된 전자가 공기공급장치에 의해 캐소드로 공급된 공기 중 산소와 만나서 물을 생성 하는 반응을 일으킨다.

이때 일어나는 수소이온의 이동에 기인하여 외부 도선을 통한 전자의 흐름이 발생하며, 이러한 전자의 흐름으로 전류가 생성된다.

이와 같은 고분자 전해질막 연료전지의 전극 반응을 반응식으로 나타내면 다음과 같다.

[애노드에서의 반응] 2H₂ → 4H⁺ + 4e^-

[캐소드에서의 반응] O₂ + 4H⁺ + 4e^- → 2H₂O

[전체반응] 2H₂ + O₂ → 2H₂O + 전기에너지 + 열에너지

상기와 같은 연료전지에서 분리판은 막전극집합체(MEA)와 더불어 연료전지 핵심부품으로 막전극집합체와 기체확산층(GDL)의 구조적 지지, 발생한 전류의 수집 및 전달, 반응가스의 수송, 반응생성물의 수송 및 제거, 그리고 반응열 제거를 위한 냉각수 수송 등의 다양한 역할을 담당한다. 또한 분리판의 채널은 연료인 수소와 산화제인 산소(공기)를 공급하기 위한 통로로 수소와 산소의 계속적인 접촉이 이루어지는 곳이며, 반응 후 생성된 물(H₂O)이 배출되는 통로이기도 하다.

이에 따라, 연료전지의 효율을 높이기 위해 분리판은 우수한 전기전도성, 부식에 대한 저항성(내부식성), 가스 밀폐성 및 화학적 안정성 등의 재료적 특성이 특별히 요구되며, 특히 발생한 물과 열이 원활히 배출될 수 있도록 우수한 열전도성 및 배수성을 가져야 한다.

기존의 분리판은 우수한 전기전도성 및 화학적 안정성을 갖는 흑연계 소재 또는 수지와 흑연을 혼합한 복합 흑연 재료를 사용해서 제조하여 왔다. 그러나, 흑연계 분리판은 기계적 강성과 밀폐성이 금속계 소재에 비해 낮고, 흑연이 가공시 쉽게 깨지는 위험으로 인해 기계를 사용하지 않고 수작업으로 가공해야 하므로 높은 공정비용 및 낮은 양산성의 문제점을 가지고 있다.

따라서, 이를 금속계 분리판으로 대체하려는 연구가 활발히 진행되고 있다.

하지만 금속분리판에서는 흑연분리판에서 없었던 부식 문제를 해결해야 하며, 특히 금속 부식이 점진적으로 발생하여 막전극집합체를 오염시키고 내부 저항을 증가시켜 전기화학반응의 효율을 떨어뜨린다. 나아가 부식으로 인해 분리판의 표면은 물의 원활한 배출을 방해하는 등 전체 연료전지 스택의 성능을 저하시키게 된다. 일반 스테인리스강 분리판의 경우 시간이 지나면서 부식이 발생하여 전지반응에 따른 출력전압이 계속적으로 감소하므로 결국 연료전지로서의 역할을 하지 못하게 된다.

이에 금속분리판의 표면을 개선하기 위한 다양한 방법들이 시도되고 있다.

연료전지용 금속분리판으로서 스테인리스강 분리판의 표면처리 방법은 크게 두 가지로 나뉘어진다. 첫 번째는 물리적 기상증착(PVD) 방법을 이용하여 표면에 탄화물(Carbide), 질화물(Nitride) 등의 코팅처리를 하는 것이고[예, 크롬 질화물(CrN), 티타늄 질화물(TiN)의 코팅층을 형성], 두 번째는 질화법이나 침탄법을 이용하여 표면을 개질하는 방법이다. 표면개질 방법으로서 600℃ 이하의 온도에서 공정이 가능한 플라즈마를 이용한 질화법을 이용하여 질화층을 형성시킴으로써 표면특성을 향상시키려는 연구가 활발히 진행되고 있다.

그러나, 물리적 기상증착 방법에 의한 CrN 코팅층은 우수한 내부식성을 가지지만 접촉저항이 다소 높고 가격이 높은 단점을 가지고 있다. 특히, CrN, TiN 등 PVD 코팅은 양질의 코팅막을 얻을 수 있어서 연료전지 분리판의 목표성능을 만족하나, 고진공의 공정이 필요하여 장치비 및 양산성에 있어 한계를 가지고 있다.

반면, 질화법 등의 표면개질 방법은 공정비가 저렴하고 양산성이 뛰어나나, 모재의 특성을 해치게 되어 내부식성을 악화시키는 단점이 있다. 일반적인 플라즈마 질화법에 의한 표면질화층의 경우 가격 경쟁력은 우수하나, 모재의 크롬(Cr) 성분과 결합하여 질화물을 형성시키므로, 모재의 크롬을 소비하여 표면에 많은 기공을 가진 크롬 결핍층을 형성시키고, 표면층의 내부식성이 떨어지는 단점을 가지고 있다. 모재의 크롬이 질화되어 스테인리스강 표면층에 크롬 결핍층이 형성되면 강의 표면 산화와 부식이 발생하게 된다. 또한 표면층에 두터운 산화물이 형성될 경우 내부식성은 향상되나, 표면의 접촉저항이 급격히 상승하여 분리판으로서의 역할을 수행할 수 없게 된다.

이에 스테인리스강을 연료전지용 분리판으로 적용하기 위해서는 저온 공정에서 크롬의 질화 및 산화막 생성을 억제할 수 있고 표면결함의 최소화를 통해 내부식성을 향상시킬 수 있는 표면 구조 및 표면처리 공정이 반드시 필요하다.

선행기술로서 일본특개 제2000-353531호에는 모재 표면에 크롬을 코팅한 후 질화처리를 실시하여 CrN, Cr₂N, CrN₂ 및 Cr(N₃)₃ 등으로 이루어진 크롬 질화물을 형 성하는 것이 개시되어 있으나, 양산성 확보 및 공정비용 감소를 위해서 질화처리 온도 및 시간 감소가 요구되고 있다. 보호층인 크롬 질화물층을 형성하는데 있어서 질화처리의 온도 및 시간을 감소시킬 경우에 목표로 하는 내식성 확보가 어렵다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 연료전지용 금속분리판의 전기전도성 및 내부식성, 그리고 생성된 물을 배출시키는 배수성을 향상시키기 위한 새로운 표면 코팅 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 연료전지 분리판용 스테인리스강 모재의 표면에 플루오린이 25 ~ 35 at.% 함유된 카본 코팅층을 형성하여 구성된 것을 특징으로 하는 연료전지용 금속분리판을 제공한다.

바람직한 실시예에서, 상기 카본 코팅층은 0.5 ~ 2 ㎛의 두께로 형성되고, 상기 카본 코팅층의 경도가 16 ~ 19 GPa인 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 연료전지 분리판용 스테인리스강 모재의 표면에 PACVD(Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) 공정을 이용하여 플루오린이 25 ~ 35 at.% 함유된 카본 코팅층을 형성하는 것을 특징으로 하는 연료전지용 금속분리판의 표면 코팅층 형성 방법을 제공한다.

바람직한 실시예에서, 상기 카본 코팅층의 형성에 필요한 프리커서(precusor)로서 CH₄(methane)과 CHF₃(Carbon trifluoride) 가스를 사용하되, CHF₃:CH₄ = 3.5 ~ 4.5 : 1의 유량비(flow rate)로 유지하여 형성하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 카본 코팅층은 0.5 ~ 2 ㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명의 연료전지용 금속분리판 및 이의 표면층 형성 방법에 의하면, 스테인리스강 모재의 표면에 카본 코팅층을 형성하여 우수한 전기전도성과 내부식성을 가지는 금속분리판을 제공할 수 있으며, 특히 플루오린이 카본에 첨가되었을 때 표면에너지를 떨어뜨리는 특성에 의하여 열방출 성능과 물의 배수 성능이 매우 우수한 금속분리판을 제공할 수 있게 된다. 또한 플루오린의 첨가에 의해 표면 코팅층의 내부 잔류응력을 상당량 완화시키므로 스테인리스강과 표면 코팅층 간의 밀착력도 향상시킬 수 있게 된다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 연료전지용 금속분리판의 전기전도성 및 내부식성, 그리고 생성된 물의 배수성을 향상시키기 위한 것으로 스테인리스강 분리판의 모재 표면에 플루오린(Fluorine)을 도핑한 카본(Carbon) 코팅층을 형성하는 것에 주된 특징이 있는 것이다.

본 발명에 의해 스테인리스강 분리판의 모재 표면에 형성된 플루오린(F) 도핑 카본 코팅층은 카본 성분의 높은 전기전도성과 플루오린에 의해 표면에너지가 낮아지는 특성을 함께 가지게 된다.

본 발명에 따른 금속분리판의 표면 코팅층은 기본적으로 카본 코팅층이기 때문에 분리판의 전기전도성 악화를 최소화할 수 있고, 플루오린에 의해 낮아진 표면에너지는 산소와의 반응을 억제하기 때문에 부식 저항성을 향상시킬 수 있다. 또한 낮은 표면에너지는 곧 발수성을 의미하므로 생성된 물이 표면에 잘 둘러붙지 않아 배수성을 향상시키고, 물과의 접촉면적을 줄여서 표면으로부터 열방출을 용이하게 한다. 그리고, 플루오린이 도핑됨으로써 카본 코팅층 내 잔류 응력을 완화시켜 분리판과의 밀착력도 향상시키는 효과가 있다.

첨부한 도 1은 본 발명에 의해 스테인리스강 모재 표면이 플루오린 도핑/카본 코팅된 연료전지용 금속분리판의 구조를 도시한 개략도로서, 도시된 바와 같이, 플루오린(F)이 도핑된 카본 코팅층(12)을 분리판용 스테인리스강 모재(11)의 표면에 형성하여 기존 금속분리판의 부식 문제와 전기전도성 저하에 의한 전압 강하를 방지하며, 생성된 물의 배수성과 열방출성을 향상시킨다.

여기서, 본 발명의 금속분리판 표면 코팅층은 플루오린(F) 25 ~ 35 at.%가 도핑된 카본 코팅층으로 구성되며, 이때 카본 코팅층(12)은 스테인리스강 모재(11)의 표면에서 0.5 ~ 2 ㎛의 두께로 형성한다.

이때, 본 발명에서 사용되는 금속분리판 소재로는 두께 0.1 ~ 0.2 mm의 상업용 스테인리스(Cr 12 ~ 16wt.%를 함유한 페라이트계 스테인리스 또는 Cr 16 ~ 25 wt.%와 Ni 6 ~ 14 wt.%를 함유한 오스테나이트계 스테인리스) 판재가 될 수 있으며, 이는 고가의 흑연분리판에 비해 가격이 월등히 저렴하므로 원가 절감을 가능하게 하고 양산 공정에도 쉽게 적용 가능한 소재이다.

카본 코팅은 플라즈마를 이용한 진공 RF(Radio Frequency)(예, 13.56MHz). PACVD(Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) 장비에서 이루어지며, 카본 코팅층 형성에 필요한 프리커서(precusor)는 CH₄(methane)과 CHF₃(Carbon trifluoride) 가스를 이용한다.

이때, 장비에 가해주는 RF 파워(power)는 100W, 네가티브 바이어스(Negative bias)는 250V, 진공은 10^-4 Torr 이하로 유지하며, CHF₃:CH₄ = 3.5 ~ 4.5 : 1의 유량비(flow rate)로 유지하여, 0.5 ~ 2 ㎛의 카본 코팅층(12)을 얻는다.

이러한 조건에서 얻어진 카본 코팅층(12)의 경도는 16 ~ 19 GPa 수준이며, 코팅층 내에 함유된 플루오린(F)의 양은 25 ~ 35 at.%을 만족하여야 한다.

만약, CHF₃:CH₄의 비가 4.5 : 1을 초과하면, 카본 코팅층 내 플루오린(F)의 양이 35 at.%를 초과하게 되어 불순물로 인한 전기특성이 악화되고, 이에 만족할 만한 전기전도성을 확보할 수 없다. 또한 경도가 너무 낮아지는 문제점이 발생한다.

반면, 3.5 : 1 미만인 경우에는 플루오린의 양이 25 at.% 미만이 되어 물 및 열방출에 필요한 표면에너지 저하가 충분히 이루어지지 못하고, 결국 배수성 향상을 기대할 수 없을 뿐만 아니라 밀착력도 약화되는 문제점이 있다.

또한 카본 코팅층이 두께 2.0 ㎛를 초과하도록 형성되면 코팅층의 전기전도도가 나빠지는 문제점이 있고, 0.5㎛ 미만으로 형성되면 코팅층의 밀착력이 충분히 확보되지 못할 뿐만 아니라 표면에너지의 감소가 충분치 못하는 문제점이 있다.

상기와 같은 본 발명의 금속분리판은 표면 코팅층이 기본적으로 카본 코팅층으로 구성되기 때문에, 전기전도성 및 내부식성이 가장 우수하다고 알려진 흑연분리판과 동등한 수준의 전기전도성 및 내부식성을 확보할 수 있으며, 특히 플루오린의 첨가로 전기전도성과 내부식성을 저해하지 않는 범위 내에서 물 및 열방출 향상의 추가적인 효과를 기대할 수 있다.

본 발명에서와 같이 플루오린이 도핑된 카본 코팅층에서는 표면에너지는 첨부한 도 2와 같이 플루오린의 양에 반비례한다. 또 표면에너지는 일반적으로 물방울 접촉각 측정으로도 함께 표현되는데, 접촉각은 표면에너지와 반비례하고 플루오린의 양에 비례하는 관계를 보인다. 일반적으로 표면에너지가 낮으면 낮을수록 그 물질은 안정한 상태이기 때문에 다른 물질과 반응하지 않으려 하고, 따라서 물방울 접촉각에서도 크게 표현이 된다. 반대로 표면에너지가 높을수록 불안정 상태이기 때문에 다른 물질과 반응하려는 성질이 커 접촉각은 작게 표현된다.

첨부한 도 3은 연료전지 분리판용 스테인리스강 모재의 표면에 본 발명에 따라 플루오린이 도핑된 카본 코팅층을 형성한 경우와 카본 코팅층을 형성하지 않은 경우에서 물방울 접촉각을 보여준다. 본 발명에 따라 코팅하는 경우에는 물방울이 카본 코팅층 표면과 접촉하는 면적이 약 20% 줄어드는 것을 알 수 있는데, 접촉면적은 물의 배수 성능 및 열방출 성능과 연관되며, 본 발명에 의한 접촉면적의 감 소는 공기와의 접촉면적을 상대적으로 크게 하여 분리판의 물 및 열방출 특성을 향상시켜준다.

그리고, 첨부한 도 4는 플루오린의 함량에 따른 코팅층 내 잔류응력 감소와 밀착력 향상 결과를 보여주는 도면으로, 플루오린의 양이 증가할수록 코팅층 내 잔류응력은 감소하게 되고, 이는 밀착력의 향상을 가져오게 된다.

이러한 결과에 따라 본 발명에서는 25 ~ 35 at.%의 플루오린이 도핑된 카본 코팅층을 제시하며, 이러한 함량의 플루오린이 도핑된 카본 코팅층을 PACVD 공정을 이용하여 0.5 ~ 2 ㎛의 두께로 형성한다.

한편, 본 발명자는 본 발명에 따른 스테인리스강 금속분리판의 내부식특성과 접촉저항을 부식 실험과 접촉저항 실험을 통해 평가하였으며, 이에 대해 설명하면 다음과 같다. 부식 실험과 접촉저항 실험은 연료전지 분리판의 전기적 성능 및 내구 특성을 확인하기 위한 일반적인 실험이며, 코팅을 하지 않은 스테인리스강 분리판을 비교예(No coated)로 하였다. 분리판 표면의 접촉저항을 측정하는 접촉저항 실험은 전기전도성을 평가하기 위한 실험이다.

우선, 부식 실험에서는 시간에 따른 부식전류를 측정하였으며, 0.1N 농도의 황산과 2ppm의 불산 용액에 1㎠ 면적의 표면 코팅된 분리판(본 발명의 실시예, DLC-F)을 침전시킨 뒤 80℃의 온도와 에어로 버블링을 유지시켰고, 그 후 potentiostat을 이용해 전류밀도를 측정하였다. 그 측정 결과는 첨부한 도 5에 나타내었다.

미국 에너지국(DOE) 기준으로 부식전류는 약 1㎂/㎠ 이하를 만족하여야 하는 데, 도 5에서 알 수 있는바와 같이 코팅을 하지 않은 비교예(No coated)의 분리판에서는 초기 부식전류 값이 상대적으로 컸으며, 시간이 지남에 따라 부식이 진행되어 부식전류가 증가하는 결과를 보여주었다.

반면, 본 발명에 따른 실시예의 분리판에서는 0.45㎂/㎠의 낮은 전류 값을 일정히 유지하는 결과를 보여주었으며, 부식이 발생하지 않는 것으로 확인되었다.

다음으로, 접촉저항 실험을 실시하였으며, 그 결과는 첨부한 도 6에 나타내었다. 미국 에너지국(DOE) 기준으로 접촉저항은 약 25mΩ㎠ 이하를 만족하여야만 분리판으로 사용 가능한데, 접촉저항 실험 결과, 코팅을 하지 않은 비교예의 분리판에서는 초기 72mΩ㎠에서 시간이 지남에 따라 계속적으로 접촉저항이 증가하는 결과를 보여주었으며, 반면 본 발명에 따른 실시예의 분리판은 각각 15.1mΩ㎠의 일정한 값을 보여주고 있다. 내부식성이 우수하기 때문에 접촉저항 역시 낮게 나오는 것을 확인할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의해 스테인리스강 모재 표면이 플루오린 도핑/카본 코팅된 연료전지용 금속분리판의 구조를 도시한 개략도,

도 2는 플루오린 함량에 따른 표면에너지와 접촉각의 측정 결과를 나타낸 도면,

도 3은 본 발명에 따라 플루오린이 도핑된 카본 코팅층을 형성한 경우와 카본 코팅층을 형성하지 않은 경우에서 분리판 표면의 물방울 접촉각 측정 결과를 나타낸 도면,

도 4는 플루오린의 함량에 따른 코팅층 내 잔류응력 감소와 밀착력 향상 결과를 보여주는 도면,

도 5는 실시예와 비교예의 부식저항 측정 결과를 나타낸 도면,

도 6은 실시예와 비교예의 접촉저항 측정 결과를 나타낸 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

11 : 스테인리스강 모재 12 : 카본 코팅층

Claims (6)

1. 연료전지 분리판용 스테인리스강 모재(11)의 표면에 카본 코팅층(12)을 형성하여 구성되되, 카본 코팅층의 형성에 필요한 프리커서(precusor)로서 CH₄(methane)과 CHF₃(Carbon trifluoride) 가스를 사용하며, CHF₃:CH₄ = 3.5 ~ 4.5 : 1의 유량비(flow rate)로 유지하는 PACVD(Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) 공정을 이용하여 플루오린이 25 ~ 35 at.% 함유된 카본 코팅층(12)을 형성하여 구성된 것을 특징으로 하는 연료전지용 금속분리판.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 카본 코팅층(12)은 0.5 ~ 2 ㎛의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 연료전지용 금속분리판.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

   상기 카본 코팅층(12)의 경도가 16 ~ 19 GPa인 것을 특징으로 하는 연료전지용 금속분리판.
4. 연료전지 분리판용 스테인리스강 모재의 표면에 PACVD(Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) 공정을 이용하여 플루오린이 25 ~ 35 at.% 함유된 카본 코팅층을 형성하며, 상기 카본 코팅층의 형성에 필요한 프리커서(precusor)로서 CH₄(methane)과 CHF₃(Carbon trifluoride) 가스를 사용하되, CHF₃:CH₄ = 3.5 ~ 4.5 : 1의 유량비(flow rate)로 유지하여 형성하는 것을 특징으로 하는 연료전지용 금속분리판의 표면 코팅층 형성 방법.
5. 삭제
6. 청구항 4에 있어서,

   상기 카본 코팅층은 0.5 ~ 2 ㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 연료전지용 금속분리판의 표면 코팅층 형성 방법.

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